JPH05107407A - 光学ミラー - Google Patents
光学ミラーInfo
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- JPH05107407A JPH05107407A JP27070791A JP27070791A JPH05107407A JP H05107407 A JPH05107407 A JP H05107407A JP 27070791 A JP27070791 A JP 27070791A JP 27070791 A JP27070791 A JP 27070791A JP H05107407 A JPH05107407 A JP H05107407A
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Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ミラー面の面性状の劣化やクラックなどの発生
を防止し、量産性に優れ、製造コストの低い光学ミラ
ー。 【構成】光学ミラー１は金属基体のミラー面を形成する
側の面にまず第１の軟質の放射線硬化樹脂層４を形成
し、その上に第２の硬質の放射線硬化樹脂層４を形成
し、さらにその上にアルミニウム等の金属反射膜を形成
して、温湿度による樹脂層の寸法変化に生じる応力の緩
和を図りミラー面３の精度維持およびクラックのない光
学ミラーを得るものである。
を防止し、量産性に優れ、製造コストの低い光学ミラ
ー。 【構成】光学ミラー１は金属基体のミラー面を形成する
側の面にまず第１の軟質の放射線硬化樹脂層４を形成
し、その上に第２の硬質の放射線硬化樹脂層４を形成
し、さらにその上にアルミニウム等の金属反射膜を形成
して、温湿度による樹脂層の寸法変化に生じる応力の緩
和を図りミラー面３の精度維持およびクラックのない光
学ミラーを得るものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学ミラーに係り、特に
反射面性状に優れた光学ミラーおよび製造方法に関す
る。
反射面性状に優れた光学ミラーおよび製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】光学ミラーの従来の製造方法としては鉄
系の硬質金属の切削、研削加工後に研磨加工する方法
や、あるいはＡl系、Ｃu系、Ｎi系金属の鏡面切削加工
による方法がある。しかし、これらの加工法では加工工
数が多く、その量産性、製造コスト低減についての配慮
に欠けていた。そこで、特開平２−１６１４０１では、
高剛性部材からなる母材を切削し一定のピッチをもつ波
状斜面を作成し、この波状斜面状に感光性樹脂を均一に
塗布し、この感光性樹脂の上から平面性及び鏡面性に優
れた透明なマスタ−部材を密着させ吸収波長に見合う光
を露光してその感光性樹脂を硬化し、前記マスタ−部材
を剥離した後、前記感光性樹脂の表面に高反射率部材を
蒸着して反射面（ミラ−面）を形成していた。
系の硬質金属の切削、研削加工後に研磨加工する方法
や、あるいはＡl系、Ｃu系、Ｎi系金属の鏡面切削加工
による方法がある。しかし、これらの加工法では加工工
数が多く、その量産性、製造コスト低減についての配慮
に欠けていた。そこで、特開平２−１６１４０１では、
高剛性部材からなる母材を切削し一定のピッチをもつ波
状斜面を作成し、この波状斜面状に感光性樹脂を均一に
塗布し、この感光性樹脂の上から平面性及び鏡面性に優
れた透明なマスタ−部材を密着させ吸収波長に見合う光
を露光してその感光性樹脂を硬化し、前記マスタ−部材
を剥離した後、前記感光性樹脂の表面に高反射率部材を
蒸着して反射面（ミラ−面）を形成していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術はミラー
が使用される温湿度環境の変化による金属基体と放射線
硬化樹脂との熱膨張(収縮)差、吸湿膨張差について配慮
されておらず、金属反射膜に亀裂が生じるという問題が
あった。本発明の目的は、上記問題点を解決して反射面
性状の優れた光学ミラーおよび製造方法を提供すること
にある。
が使用される温湿度環境の変化による金属基体と放射線
硬化樹脂との熱膨張(収縮)差、吸湿膨張差について配慮
されておらず、金属反射膜に亀裂が生じるという問題が
あった。本発明の目的は、上記問題点を解決して反射面
性状の優れた光学ミラーおよび製造方法を提供すること
にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的は、金属基体の
上に軟質の放射線硬化性樹脂層を形成し、さらに該軟質
の放射線硬化性樹脂層の上に硬質の放射線硬化樹脂層を
設け、放射線を透過する母型によりミラー面を形成し、
放射線照射により該放射線硬化樹脂層を硬化させた後、
金属反射膜を該放射線硬化樹脂層上に形成する。
上に軟質の放射線硬化性樹脂層を形成し、さらに該軟質
の放射線硬化性樹脂層の上に硬質の放射線硬化樹脂層を
設け、放射線を透過する母型によりミラー面を形成し、
放射線照射により該放射線硬化樹脂層を硬化させた後、
金属反射膜を該放射線硬化樹脂層上に形成する。
【０００５】
【作用】一般に、異なる材質のものを一体重合してなる
成形品は、温度や湿度の変化に伴う熱膨張(収縮)差、吸
湿膨張差により反り、うねりが生じたり、表面に亀裂が
生じたりする場合がある。金属基体が高剛性体である場
合は、放射線硬化樹脂層にしわが生じることがある。こ
れは、熱膨張(収縮)差、吸湿膨張差により金属基体と放
射線硬化樹脂層との間に応力が発生するためである。そ
こで、ヤング率（弾性係数）の小さい軟質の放射線硬化
性樹脂を第１の樹脂層として設けることにより応力を緩
和し、その上に硬質の放射線硬化樹脂層を設けさらにそ
の表面に金属反射膜を形成すれば、そり、うねり、しわ
のない光学ミラ−を得ることができる。
成形品は、温度や湿度の変化に伴う熱膨張(収縮)差、吸
湿膨張差により反り、うねりが生じたり、表面に亀裂が
生じたりする場合がある。金属基体が高剛性体である場
合は、放射線硬化樹脂層にしわが生じることがある。こ
れは、熱膨張(収縮)差、吸湿膨張差により金属基体と放
射線硬化樹脂層との間に応力が発生するためである。そ
こで、ヤング率（弾性係数）の小さい軟質の放射線硬化
性樹脂を第１の樹脂層として設けることにより応力を緩
和し、その上に硬質の放射線硬化樹脂層を設けさらにそ
の表面に金属反射膜を形成すれば、そり、うねり、しわ
のない光学ミラ−を得ることができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【０００７】〔実施例１〕本発明による第１の実施例は
図１に示す如く構成されている。即ち、光学ミラー１は
金属基体のミラー面を形成する側の面にまず第１の放射
線硬化樹脂層４を形成し、その上に第２の放射線硬化樹
脂層６を形成し、さらにその上にアルミニウム等の金属
反射膜５を形成して、所望の光学ミラー面を得るもので
ある。該ミラー１の製造方法を図３〜７に示す。先ず、
金属基体２はアルミダイカスト法によって、ミラー面を
形成する面８は最終のミラー面３の概略の形状に加工さ
れたもので、表面あらさは10〜30μmＲmaxである。この
ミラー形成面８の上に表１に示す放射線硬化樹脂のうち
軟質の放射線硬化樹脂、ポリ１,２ブタジエンジアクリ
レート（平均分子量2000）を70重量部と１，６ヘキサン
ジオールジメタクリレート30重量部との混合樹脂をビス
フェノールＡジグリシジルエーテルジアクリレート樹脂
４を図３に示すように供給する。
図１に示す如く構成されている。即ち、光学ミラー１は
金属基体のミラー面を形成する側の面にまず第１の放射
線硬化樹脂層４を形成し、その上に第２の放射線硬化樹
脂層６を形成し、さらにその上にアルミニウム等の金属
反射膜５を形成して、所望の光学ミラー面を得るもので
ある。該ミラー１の製造方法を図３〜７に示す。先ず、
金属基体２はアルミダイカスト法によって、ミラー面を
形成する面８は最終のミラー面３の概略の形状に加工さ
れたもので、表面あらさは10〜30μmＲmaxである。この
ミラー形成面８の上に表１に示す放射線硬化樹脂のうち
軟質の放射線硬化樹脂、ポリ１,２ブタジエンジアクリ
レート（平均分子量2000）を70重量部と１，６ヘキサン
ジオールジメタクリレート30重量部との混合樹脂をビス
フェノールＡジグリシジルエーテルジアクリレート樹脂
４を図３に示すように供給する。
【０００８】
【表１】
【０００９】次に、所望のミラー面形状および表面あら
さに研磨されたミラー面10を有するガラス型９で該放射
線硬化樹脂４を押圧し(図４)、10〜200μm程度の該樹脂
４の薄層を形成する。その後、ガラス型９の後方より放
射線、ここでは波長λ＝365nmの紫外線を照射する。 紫
外線強度150mW/cm2で約 15secで該樹脂４は硬化する。
硬化中(紫外線照射中)は、樹脂の硬化収縮によるヒケ防
止や寸法精度の劣化を防止するために厚み方向に圧力を
負荷しておく。硬化後、ガラス型９を除去し(図５)、図
６〜７に示す手順、即ち基本的には図３〜５に示した手
順によって表１に示した硬質の放射線硬化樹脂６、ビス
フェノールＡジグリシジルエーテルジアクリレートを該
軟質の放射線硬化樹脂４の層の上に1〜200μmの層を、
所望のミラー面形状および表面あらさに研磨されたミラ
ー面形成面10を有するガラス型９によって形成し硬化さ
せる。ミラー面が転写成形された該樹脂４の上にアルミ
ニウム蒸着により600〜2000Åのアルミニウム反射膜５
を形成する。今回、蒸着法を採用したが、スパッタ法、
イオンプレーティング法を用いても良い。
さに研磨されたミラー面10を有するガラス型９で該放射
線硬化樹脂４を押圧し(図４)、10〜200μm程度の該樹脂
４の薄層を形成する。その後、ガラス型９の後方より放
射線、ここでは波長λ＝365nmの紫外線を照射する。 紫
外線強度150mW/cm2で約 15secで該樹脂４は硬化する。
硬化中(紫外線照射中)は、樹脂の硬化収縮によるヒケ防
止や寸法精度の劣化を防止するために厚み方向に圧力を
負荷しておく。硬化後、ガラス型９を除去し(図５)、図
６〜７に示す手順、即ち基本的には図３〜５に示した手
順によって表１に示した硬質の放射線硬化樹脂６、ビス
フェノールＡジグリシジルエーテルジアクリレートを該
軟質の放射線硬化樹脂４の層の上に1〜200μmの層を、
所望のミラー面形状および表面あらさに研磨されたミラ
ー面形成面10を有するガラス型９によって形成し硬化さ
せる。ミラー面が転写成形された該樹脂４の上にアルミ
ニウム蒸着により600〜2000Åのアルミニウム反射膜５
を形成する。今回、蒸着法を採用したが、スパッタ法、
イオンプレーティング法を用いても良い。
【００１０】以上の工程によって図１に示す所望のミラ
ー面３を有する光学ミラー１が製造される。ここに示し
たミラーはトーリック状ミラーであったが、平面ミラ
ー、球面ミラー、非球面ミラー、トロイダルミラー、パ
ラボロイダルミラー、エリプソロイダルミラーなどの面
形状であっても同様である。また、金属基体としてアル
ミニウムダイカスト品を用いたが、他の金属で切削、研
削などの加工品であっても本発明の域を出ない。ガラス
型８の材質としては、紫外域における吸収が少ない石英
ガラスが望ましい。なお、軟質の放射線硬化樹脂として
は表１に示したNo.４の樹脂水素添加ポリ１,２ブタジエ
ンジアクリレート（平均分子量 2000）を70重量部と
１，６ヘキサンジオールジメタクリレート30重量部との
混合樹脂を用いても良く、また硬質の放射線硬化樹脂と
しても表１に示したNo.２の樹脂水素添加ビスフェノ−
ルＡエ−テルジグリシジルエ−テルジアクリレ−トを用
いても良い。
ー面３を有する光学ミラー１が製造される。ここに示し
たミラーはトーリック状ミラーであったが、平面ミラ
ー、球面ミラー、非球面ミラー、トロイダルミラー、パ
ラボロイダルミラー、エリプソロイダルミラーなどの面
形状であっても同様である。また、金属基体としてアル
ミニウムダイカスト品を用いたが、他の金属で切削、研
削などの加工品であっても本発明の域を出ない。ガラス
型８の材質としては、紫外域における吸収が少ない石英
ガラスが望ましい。なお、軟質の放射線硬化樹脂として
は表１に示したNo.４の樹脂水素添加ポリ１,２ブタジエ
ンジアクリレート（平均分子量 2000）を70重量部と
１，６ヘキサンジオールジメタクリレート30重量部との
混合樹脂を用いても良く、また硬質の放射線硬化樹脂と
しても表１に示したNo.２の樹脂水素添加ビスフェノ−
ルＡエ−テルジグリシジルエ−テルジアクリレ−トを用
いても良い。
【００１１】〔実施例２〕本発明による第２の実施例は
図２に示す如く構成されている。即ち、金属基体２のミ
ラーを形成する側の面に表１に示した軟質の放射線硬化
樹脂層６、ポリ１,２ブタジエンジアクリレート（平均
分子量2000）70重量部と１,６ヘキサンジオールジメタ
クリレート30重量部との混合樹脂の層の上にニトロセル
ロースあるいはエチルセルロースの薄膜を形成し、その
上に金属反射膜５を形成したものである。これは、〔実
施例２〕による効果を有し、且つその製造プロセスを簡
易化したものである。その製造方法は下記に示す通りで
ある。先ず、図８に示すように、所望のミラー面を形成
するためのガラス型９のミラー面10にニトロセルロース
あるいはエチルセルロース（いずれも平均分子量約10,0
00）の酢酸ｎ−ブチル溶液を、スピンコート法等により
0.01〜1μmの薄膜７を形成し、自然乾燥法により乾燥さ
せる。該ガラス型９を用いて、基本的には先に示した図
３〜５の手順によって軟質の放射線硬化樹脂４、即ち表
１に示すNo.３の樹脂の10〜200μmの層を形成し、硬化
させる。その後、ガラス型を除去すると、該硬質放射線
硬化樹脂の上にニトロセルロースあるいはエチルセルロ
ースの薄膜が形成される。ニトロセルロースあるいはエ
チルセルロースの薄膜の上にアルミニウム蒸着により60
0〜2000Åの厚さのアルミニウム反射膜５を形成する。
これによって図２に示す光学ミラー１´が形成される。
なお、軟質の放射線硬化樹脂としては表１に示したNo.
４の樹脂水素添加ポリ１,２ブタジエンジアクリレート
（平均分子量 2000）を70重量部と１，６ヘキサンジオ
ールジメタクリレート30重量部との混合樹脂を用いても
良い。
図２に示す如く構成されている。即ち、金属基体２のミ
ラーを形成する側の面に表１に示した軟質の放射線硬化
樹脂層６、ポリ１,２ブタジエンジアクリレート（平均
分子量2000）70重量部と１,６ヘキサンジオールジメタ
クリレート30重量部との混合樹脂の層の上にニトロセル
ロースあるいはエチルセルロースの薄膜を形成し、その
上に金属反射膜５を形成したものである。これは、〔実
施例２〕による効果を有し、且つその製造プロセスを簡
易化したものである。その製造方法は下記に示す通りで
ある。先ず、図８に示すように、所望のミラー面を形成
するためのガラス型９のミラー面10にニトロセルロース
あるいはエチルセルロース（いずれも平均分子量約10,0
00）の酢酸ｎ−ブチル溶液を、スピンコート法等により
0.01〜1μmの薄膜７を形成し、自然乾燥法により乾燥さ
せる。該ガラス型９を用いて、基本的には先に示した図
３〜５の手順によって軟質の放射線硬化樹脂４、即ち表
１に示すNo.３の樹脂の10〜200μmの層を形成し、硬化
させる。その後、ガラス型を除去すると、該硬質放射線
硬化樹脂の上にニトロセルロースあるいはエチルセルロ
ースの薄膜が形成される。ニトロセルロースあるいはエ
チルセルロースの薄膜の上にアルミニウム蒸着により60
0〜2000Åの厚さのアルミニウム反射膜５を形成する。
これによって図２に示す光学ミラー１´が形成される。
なお、軟質の放射線硬化樹脂としては表１に示したNo.
４の樹脂水素添加ポリ１,２ブタジエンジアクリレート
（平均分子量 2000）を70重量部と１，６ヘキサンジオ
ールジメタクリレート30重量部との混合樹脂を用いても
良い。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、金属基体に接着する部
分に軟質の樹脂を用いているので温湿度による樹脂の寸
法変化によるミラー面の面性状の劣化やクラックなどを
防止することができる。また、反射膜を形成する面を硬
質の放射線硬化性樹脂にしたので、光学ミラ−表面の傷
つきを低減することができる。さらに、光学ミラー本体
を構成する金属基体を機械加工による鏡面加工によら
ず、１つの母型によって複製できるので、光学ミラーの
加工工数低減ができ、量産および生産コスト低減を可能
にする効果がある。さらに、機械加工では面性状がばら
つくのに対して本発明は同一の母型を用いるのでミラー
面の性状のばらつきは極めて少ない。
分に軟質の樹脂を用いているので温湿度による樹脂の寸
法変化によるミラー面の面性状の劣化やクラックなどを
防止することができる。また、反射膜を形成する面を硬
質の放射線硬化性樹脂にしたので、光学ミラ−表面の傷
つきを低減することができる。さらに、光学ミラー本体
を構成する金属基体を機械加工による鏡面加工によら
ず、１つの母型によって複製できるので、光学ミラーの
加工工数低減ができ、量産および生産コスト低減を可能
にする効果がある。さらに、機械加工では面性状がばら
つくのに対して本発明は同一の母型を用いるのでミラー
面の性状のばらつきは極めて少ない。
【図１】本発明によるミラーの斜視図である。
【図２】同じくミラーの斜視図である。
【図３】本発明によるミラーの製造方法を示す断面図で
ある。
ある。
【図４】同じくミラーの製造方法を示す断面図である。
【図５】同じくミラーの製造方法を示す断面図である。
【図６】同じくミラーの製造方法を示す断面図である。
【図７】同じくミラーの製造方法を示す断面図である。
【図８】同じくミラーの製造方法を示す断面図である。
１,１′…ミラー ２…金属基体 ３…ミラー面 ４…
軟質の放射線硬化樹脂 ５…金属反射膜 ６…硬質の放射線硬化樹脂 ７…ニト
ロセルロースあるいはエチルセルロース ９…ガラス型
軟質の放射線硬化樹脂 ５…金属反射膜 ６…硬質の放射線硬化樹脂 ７…ニト
ロセルロースあるいはエチルセルロース ９…ガラス型
Claims (2)
- 【請求項１】光学ミラーにおいて、該ミラー形状あるい
はそれに近い形状に加工された金属品を基体とし、金属
基体の上に軟質の放射線硬化性樹脂層を形成し、さらに
該軟質の放射線硬化性樹脂層の上に硬質の放射線硬化樹
脂層を設け、放射線を透過する母型によりミラー面を形
成し、放射線照射により該放射線硬化樹脂層を硬化させ
た後、金属反射膜を該放射線硬化樹脂層上に形成してな
ることを特徴とする光学ミラー。 - 【請求項２】請求項１に示した光学ミラーにおいて、金
属基体の上に軟質の放射線硬化性樹脂層を形成し、該放
射線硬化性樹脂の上にエチルセルロースあるいはニトロ
セルロース樹脂層を形成し、その上に金属反射膜を形成
したことを特徴とする光学ミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27070791A JPH05107407A (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 光学ミラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27070791A JPH05107407A (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 光学ミラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05107407A true JPH05107407A (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=17489843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27070791A Pending JPH05107407A (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 光学ミラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05107407A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4440981B4 (de) * | 1993-11-17 | 2007-06-06 | Pentax Corp. | Optisches Verbundbauelement vom Reflexionstyp |
| JP2015206875A (ja) * | 2014-04-18 | 2015-11-19 | 株式会社島津製作所 | レプリカ光学素子及びその製造方法 |
| WO2019039502A1 (ja) * | 2017-08-24 | 2019-02-28 | キヤノン株式会社 | 反射光学素子およびステレオカメラ装置 |
| JP2019174781A (ja) * | 2017-08-24 | 2019-10-10 | キヤノン株式会社 | 反射光学素子およびステレオカメラ装置 |
-
1991
- 1991-10-18 JP JP27070791A patent/JPH05107407A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4440981B4 (de) * | 1993-11-17 | 2007-06-06 | Pentax Corp. | Optisches Verbundbauelement vom Reflexionstyp |
| JP2015206875A (ja) * | 2014-04-18 | 2015-11-19 | 株式会社島津製作所 | レプリカ光学素子及びその製造方法 |
| WO2019039502A1 (ja) * | 2017-08-24 | 2019-02-28 | キヤノン株式会社 | 反射光学素子およびステレオカメラ装置 |
| JP2019174781A (ja) * | 2017-08-24 | 2019-10-10 | キヤノン株式会社 | 反射光学素子およびステレオカメラ装置 |
| US11693222B2 (en) | 2017-08-24 | 2023-07-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Reflective optical element and stereo camera device |
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