JPH05101337A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
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- JPH05101337A JPH05101337A JP29783191A JP29783191A JPH05101337A JP H05101337 A JPH05101337 A JP H05101337A JP 29783191 A JP29783191 A JP 29783191A JP 29783191 A JP29783191 A JP 29783191A JP H05101337 A JPH05101337 A JP H05101337A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 相対向して積層される一対の薄膜磁気コア
7,8と導体コイル11とによって磁気回路部が構成さ
れてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、上記導体コイル11
をスパイラルコイル15とヘリカルコイル12,13の
組合せとする。 【効果】 容量及び電気抵抗のアップなしに少ないスペ
ースで導体コイルの巻数を増やすことができる。
7,8と導体コイル11とによって磁気回路部が構成さ
れてなる薄膜磁気ヘッドにおいて、上記導体コイル11
をスパイラルコイル15とヘリカルコイル12,13の
組合せとする。 【効果】 容量及び電気抵抗のアップなしに少ないスペ
ースで導体コイルの巻数を増やすことができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばハードディスク
に対して情報信号の書込み或いは読出しを行うのに好適
な薄膜磁気ヘッドに関する。
に対して情報信号の書込み或いは読出しを行うのに好適
な薄膜磁気ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、ハードディスク・ドライブ装置
(HDD)に用いられる磁気ヘッドは、記録再生に際し
て磁気ギャップ部をディスク面に対し微小間隙(いわゆ
るフライングハイト)を持って浮上操作させる必要があ
ることから、例えばAl2 O3 −TiC等よりなるスラ
イダーと称される基体に一体構造とされるのが一般的で
ある。
(HDD)に用いられる磁気ヘッドは、記録再生に際し
て磁気ギャップ部をディスク面に対し微小間隙(いわゆ
るフライングハイト)を持って浮上操作させる必要があ
ることから、例えばAl2 O3 −TiC等よりなるスラ
イダーと称される基体に一体構造とされるのが一般的で
ある。
【0003】かかる磁気ヘッドとしては、例えばスライ
ダを含めて全体がフェライト材等により一体形成された
モノリシック型や、スライダに別途作製した磁気ヘッド
を埋め込だコンポジット型、さらにはスライダの一面に
真空薄膜形成技術によって磁気ヘッドを形成した薄膜型
の磁気ヘッド等が開発されている。なかでも、高透磁率
且つ高飽和磁束密度の磁性薄膜を用いることができ、し
かも微小寸法化が高精度で行える等の利点を有すること
から、薄膜磁気ヘッドをスライダに設けた浮上型の磁気
ヘッドが主流となっている。
ダを含めて全体がフェライト材等により一体形成された
モノリシック型や、スライダに別途作製した磁気ヘッド
を埋め込だコンポジット型、さらにはスライダの一面に
真空薄膜形成技術によって磁気ヘッドを形成した薄膜型
の磁気ヘッド等が開発されている。なかでも、高透磁率
且つ高飽和磁束密度の磁性薄膜を用いることができ、し
かも微小寸法化が高精度で行える等の利点を有すること
から、薄膜磁気ヘッドをスライダに設けた浮上型の磁気
ヘッドが主流となっている。
【0004】ところで、近年においては、高密度記録化
に対応して3.5インチ,2.5インチ等と極めて小型
且つ薄型のハードディスク・ドライブ装置の開発が進め
られており、これに応じた小型の磁気ヘッドの開発が早
急に求められている。
に対応して3.5インチ,2.5インチ等と極めて小型
且つ薄型のハードディスク・ドライブ装置の開発が進め
られており、これに応じた小型の磁気ヘッドの開発が早
急に求められている。
【0005】ところが、2.5インチ以下の小さなディ
スクとなると、当該ディスクとヘッド間の相対スピード
が低下し、それに比例して出力が低下する。このため、
出力を補うためにヘッド効率の低下やノイズ(例えば、
熱雑音やインピーダンスノイズ)の増大なしに、導体コ
イルの巻数を増やす必要がある。しかしながら、ドライ
ブ装置が小さくなればなる程、スライダをより小さくす
る必要があり、浮上量の低下とあいまって、レール幅が
小さくなり導体コイルの形成スペースが確保できなくな
る。
スクとなると、当該ディスクとヘッド間の相対スピード
が低下し、それに比例して出力が低下する。このため、
出力を補うためにヘッド効率の低下やノイズ(例えば、
熱雑音やインピーダンスノイズ)の増大なしに、導体コ
イルの巻数を増やす必要がある。しかしながら、ドライ
ブ装置が小さくなればなる程、スライダをより小さくす
る必要があり、浮上量の低下とあいまって、レール幅が
小さくなり導体コイルの形成スペースが確保できなくな
る。
【0006】そこで、導体コイルの巻数を増やす方法と
して多層化が考えられる。しかし、これまでの導体材料
で電気抵抗を小さくし(例えば0.7Ω/ターン以下)
且つ多層化を図るには、5層以上のスパイラルコイルが
必要となり作製上現実的ではない。また、5層以上もス
パイラルコイルを重ねると容量が大きくなり、薄膜磁気
ヘッドの特徴である広帯域を損なう可能性が出てくる。
して多層化が考えられる。しかし、これまでの導体材料
で電気抵抗を小さくし(例えば0.7Ω/ターン以下)
且つ多層化を図るには、5層以上のスパイラルコイルが
必要となり作製上現実的ではない。また、5層以上もス
パイラルコイルを重ねると容量が大きくなり、薄膜磁気
ヘッドの特徴である広帯域を損なう可能性が出てくる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上述
の技術的な課題に鑑みて提案されたものであって、容量
及び電気抵抗のアップなしに少ないスペースで導体コイ
ルの巻数を増やすことができる高密度記録化に対応した
薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
の技術的な課題に鑑みて提案されたものであって、容量
及び電気抵抗のアップなしに少ないスペースで導体コイ
ルの巻数を増やすことができる高密度記録化に対応した
薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明は、相対向して積層される一対の薄膜磁気
コアと導体コイルとにより磁気回路部が構成されてなる
薄膜磁気ヘッドにおいて、上記導体コイルがスパイラル
状のコイルとヘリカル状のコイルの組合せからなること
を特徴とするものである。
めに、本発明は、相対向して積層される一対の薄膜磁気
コアと導体コイルとにより磁気回路部が構成されてなる
薄膜磁気ヘッドにおいて、上記導体コイルがスパイラル
状のコイルとヘリカル状のコイルの組合せからなること
を特徴とするものである。
【0009】
【作用】スパイラルコイルは、多層化によって巻数を確
保することができるが、コイル長さが長くなることによ
る電気抵抗の増加や多層化による容量(キャパシタン
ス)の増加が問題となる。一方、ヘリカルコイルは、コ
イル長さを短くすることができるので、電気抵抗が抑え
られ、また容量の問題が解消されるが、巻数が限られ
る。しかしながら、本発明においては、これらを組合せ
ているので、巻数を確保しながらコイルの電気抵抗及び
容量の問題が解消される。
保することができるが、コイル長さが長くなることによ
る電気抵抗の増加や多層化による容量(キャパシタン
ス)の増加が問題となる。一方、ヘリカルコイルは、コ
イル長さを短くすることができるので、電気抵抗が抑え
られ、また容量の問題が解消されるが、巻数が限られ
る。しかしながら、本発明においては、これらを組合せ
ているので、巻数を確保しながらコイルの電気抵抗及び
容量の問題が解消される。
【0010】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。なお本実施例
は、本発明に係る薄膜磁気ヘッドをハードディスクに対
して記録再生する浮上型磁気ヘッド装置に適用した例で
ある。浮上型磁気ヘッド装置は、図1に示すように、薄
膜磁気ヘッド1をスライダ2の一側面に磁気ギャップ部
がハードディスクとの対向面(エア・ベアリング・サー
フェス面)に臨むようにして設けてなる。
いて図面を参照しながら詳細に説明する。なお本実施例
は、本発明に係る薄膜磁気ヘッドをハードディスクに対
して記録再生する浮上型磁気ヘッド装置に適用した例で
ある。浮上型磁気ヘッド装置は、図1に示すように、薄
膜磁気ヘッド1をスライダ2の一側面に磁気ギャップ部
がハードディスクとの対向面(エア・ベアリング・サー
フェス面)に臨むようにして設けてなる。
【0011】上記スライダ2は、例えばAl2 O3 −T
iC等の非磁性且つ導電性を有する材料からなり、ハー
ドディスクとの対向面2aにはこのスライダ2を当該ハ
ードディスクに対して微小間隙を持って安定した浮上姿
勢で浮上させるための空気流入溝3が設けられている。
この空気流入溝3は、スライダー2の長手方向,つまり
空気流入端側2bより空気流出端側2cに亘って上記対
向面2aの略中央部に断面略コ字状のストレート溝とし
て形成されている。この空気流入溝3は、当該溝内に空
気を導入することによりスライダ2の左右方向の振れを
防止することでヘッドの安定した浮上姿勢を確保するよ
うになっている。
iC等の非磁性且つ導電性を有する材料からなり、ハー
ドディスクとの対向面2aにはこのスライダ2を当該ハ
ードディスクに対して微小間隙を持って安定した浮上姿
勢で浮上させるための空気流入溝3が設けられている。
この空気流入溝3は、スライダー2の長手方向,つまり
空気流入端側2bより空気流出端側2cに亘って上記対
向面2aの略中央部に断面略コ字状のストレート溝とし
て形成されている。この空気流入溝3は、当該溝内に空
気を導入することによりスライダ2の左右方向の振れを
防止することでヘッドの安定した浮上姿勢を確保するよ
うになっている。
【0012】また、上記スライダ2の空気流入溝3の両
側に突出する浮上面を有したスライダレール4,5は、
このスライダレール4,5の浮上面とハードディスク間
の空気層の剛性を高めることにより、当該スライダ2を
上記ハードディスクに対して微小間隙を持って浮上させ
る役目をする。例えば、スライダレール4,5のレール
幅を大きくすれば、空気層の剛性が高まってフライング
ハイトが大きくなり、逆にレール幅を狭くすれば空気層
の剛性が弱まってフライングハイトが小さくなる。
側に突出する浮上面を有したスライダレール4,5は、
このスライダレール4,5の浮上面とハードディスク間
の空気層の剛性を高めることにより、当該スライダ2を
上記ハードディスクに対して微小間隙を持って浮上させ
る役目をする。例えば、スライダレール4,5のレール
幅を大きくすれば、空気層の剛性が高まってフライング
ハイトが大きくなり、逆にレール幅を狭くすれば空気層
の剛性が弱まってフライングハイトが小さくなる。
【0013】本実施例では、高密度記録化に対応すべく
スライダ長さLを2.8mm以下、スライダ幅W1 を
2.3mm以下、レール幅W2 ,W3 をそれぞれ300
μm以下とする。具体的には、スライダ長さLが2.6
mm、スライダ幅W1 が2.1mm、レール幅W2,W
3 が0.32mm、スライダ高さHが0.55mmとし
た。
スライダ長さLを2.8mm以下、スライダ幅W1 を
2.3mm以下、レール幅W2 ,W3 をそれぞれ300
μm以下とする。具体的には、スライダ長さLが2.6
mm、スライダ幅W1 が2.1mm、レール幅W2,W
3 が0.32mm、スライダ高さHが0.55mmとし
た。
【0014】一方、薄膜磁気ヘッド1は、図2及び図3
に示すように、スライダ2の表面性等を確保するために
例えばAl2 O3 等よりなる下地膜6を介して上記スラ
イダ2の一側面2cに真空薄膜形成技術によって形成さ
れている。この薄膜磁気ヘッド1は、強磁性金属材料よ
りなる下層薄膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8とがハ
ードディスクとの対向面であるエア・ベアリング・サー
フェス面9側でギャップ膜10を介して積層されて磁気
ギャップgを構成するとともに、その中間部で所定の対
向距離を持って対向配置され、バック側で直接接続され
て閉磁路を構成するようになっている。そして、上記下
層薄膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8を取り囲むよう
にして導体コイル11が設けられ、これら薄膜磁気コア
7,8及び導体コイル11により磁気回路部が構成され
ている。なお、磁気回路部を保護すべく当該磁気回路部
を覆って保護膜層21が設けられている。
に示すように、スライダ2の表面性等を確保するために
例えばAl2 O3 等よりなる下地膜6を介して上記スラ
イダ2の一側面2cに真空薄膜形成技術によって形成さ
れている。この薄膜磁気ヘッド1は、強磁性金属材料よ
りなる下層薄膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8とがハ
ードディスクとの対向面であるエア・ベアリング・サー
フェス面9側でギャップ膜10を介して積層されて磁気
ギャップgを構成するとともに、その中間部で所定の対
向距離を持って対向配置され、バック側で直接接続され
て閉磁路を構成するようになっている。そして、上記下
層薄膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8を取り囲むよう
にして導体コイル11が設けられ、これら薄膜磁気コア
7,8及び導体コイル11により磁気回路部が構成され
ている。なお、磁気回路部を保護すべく当該磁気回路部
を覆って保護膜層21が設けられている。
【0015】特に、本実施例では、少ないスペースでし
かも低容量且つ低電気抵抗の導体コイルを複数ターン形
成するために、スパイラル状のコイルとヘリカル状のコ
イルを組み合わせる。すなわち、下層薄膜磁気コア7と
上層薄膜磁気コア8には、各薄膜磁気コア7,8を取り
巻いてヘリカルコイル12,13を形成し、これら薄膜
磁気コア7,8間には上記下層薄膜磁気コア7と上層薄
膜磁気コア8の磁気的結合部14を取り囲むようにして
スパイラルコイル15を形成する。
かも低容量且つ低電気抵抗の導体コイルを複数ターン形
成するために、スパイラル状のコイルとヘリカル状のコ
イルを組み合わせる。すなわち、下層薄膜磁気コア7と
上層薄膜磁気コア8には、各薄膜磁気コア7,8を取り
巻いてヘリカルコイル12,13を形成し、これら薄膜
磁気コア7,8間には上記下層薄膜磁気コア7と上層薄
膜磁気コア8の磁気的結合部14を取り囲むようにして
スパイラルコイル15を形成する。
【0016】下層薄膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8
を取り巻くヘリカルコイル12,13は、これら下層薄
膜磁気コア7、上層薄膜磁気コア8と電気的に接続しな
いように上記下層薄膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8
の上下にそれぞれ絶縁膜16a,16b,16c,16
dを介して断面矩形状の細長い導体パターンを上下が互
いに逆向きとなるように斜めに所定間隔で配列し、その
上下の導体パターンの端部同士を接続することでヘリカ
ル状とされる。このように、ヘリカル状とすれば、1タ
ーン当たりのコイル長さをスパイラルコイルの1/2〜
1/3以下とすることができ、当該コイルの電気抵抗値
を小さなものとすることができる。また、本例のように
下層薄膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8にそれぞれコ
イルをヘリカルに巻き付けているので、これら下層薄膜
磁気コア7と上層薄膜磁気コア8の膜厚分によって上下
のコイル間距離が飛躍的に大きくなり、容量の低下が図
れる。なお、コイルの電気抵抗をより小さなものとする
ため、例えばヘリカルコイル12,13の断面積を従来
より大きくすることが望ましい。
を取り巻くヘリカルコイル12,13は、これら下層薄
膜磁気コア7、上層薄膜磁気コア8と電気的に接続しな
いように上記下層薄膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8
の上下にそれぞれ絶縁膜16a,16b,16c,16
dを介して断面矩形状の細長い導体パターンを上下が互
いに逆向きとなるように斜めに所定間隔で配列し、その
上下の導体パターンの端部同士を接続することでヘリカ
ル状とされる。このように、ヘリカル状とすれば、1タ
ーン当たりのコイル長さをスパイラルコイルの1/2〜
1/3以下とすることができ、当該コイルの電気抵抗値
を小さなものとすることができる。また、本例のように
下層薄膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8にそれぞれコ
イルをヘリカルに巻き付けているので、これら下層薄膜
磁気コア7と上層薄膜磁気コア8の膜厚分によって上下
のコイル間距離が飛躍的に大きくなり、容量の低下が図
れる。なお、コイルの電気抵抗をより小さなものとする
ため、例えばヘリカルコイル12,13の断面積を従来
より大きくすることが望ましい。
【0017】一方、スパイラルコイル15は、下層薄膜
磁気コア7と上層薄膜磁気コア8の磁気的結合部14を
取り囲むようにして、所定距離隔てて積層された下層薄
膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8間に形成される。す
なわち、下層薄膜磁気コア7を取り巻いて形成したヘリ
カルコイル12と上層薄膜磁気コア8を取り巻いて形成
したヘリカルコイル13との間に電気的接続を防止する
絶縁膜16eを介して上記磁気的結合部14を取り囲ん
でスパイラルコイル15を形成する。
磁気コア7と上層薄膜磁気コア8の磁気的結合部14を
取り囲むようにして、所定距離隔てて積層された下層薄
膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8間に形成される。す
なわち、下層薄膜磁気コア7を取り巻いて形成したヘリ
カルコイル12と上層薄膜磁気コア8を取り巻いて形成
したヘリカルコイル13との間に電気的接続を防止する
絶縁膜16eを介して上記磁気的結合部14を取り囲ん
でスパイラルコイル15を形成する。
【0018】上記のようにヘリカルコイル12,13と
スパイラルコイル15を組合せれば、これらヘリカルコ
イル12,13とスパイラルコイル15の重なり合う部
分が少なくなり、コイルの容量の低減が望める。また、
下層薄膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8の磁極間距離
を小さなものとすることができるため、コイルの多層化
に有利となる。つまり、スパイラルコイルを多層化した
だけでは、磁極間距離が大きくなり、上層薄膜磁気コア
8を作製する際のパターンニング精度が損なわれトラッ
ク幅精度が劣化するが、本例では磁極間距離を小さなも
のとすることができるので高精度にトラック幅を制御す
ることが可能となる。また、スパイラルコイルのみで多
層化した場合には、コイルの形成スペースを広く取らな
ければならないが、ヘリカルコイル12,13とスパイ
ラルコイル15の組合せとすることにより、コイルの形
成スペースを小さなものとすることができる。
スパイラルコイル15を組合せれば、これらヘリカルコ
イル12,13とスパイラルコイル15の重なり合う部
分が少なくなり、コイルの容量の低減が望める。また、
下層薄膜磁気コア7と上層薄膜磁気コア8の磁極間距離
を小さなものとすることができるため、コイルの多層化
に有利となる。つまり、スパイラルコイルを多層化した
だけでは、磁極間距離が大きくなり、上層薄膜磁気コア
8を作製する際のパターンニング精度が損なわれトラッ
ク幅精度が劣化するが、本例では磁極間距離を小さなも
のとすることができるので高精度にトラック幅を制御す
ることが可能となる。また、スパイラルコイルのみで多
層化した場合には、コイルの形成スペースを広く取らな
ければならないが、ヘリカルコイル12,13とスパイ
ラルコイル15の組合せとすることにより、コイルの形
成スペースを小さなものとすることができる。
【0019】そして、上述のように形成されたヘリカル
コイル12,13とスパイラルコイル15は、図4に示
すように直列に接続される。すなわち、スパイラルコイ
ル15の巻始め部15aと上層薄膜磁気コア8を取り巻
いて設けられるヘリカルコイル13の巻始め部13aと
に亘って導体配線パターン17を形成することでこれら
ヘリカルコイル13とスパイラルコイル15を電気接続
する。そして、スパイラルコイル15の巻終わり部15
bと下層薄膜磁気コア7を取り巻いて設けられるヘリカ
ルコイル12の巻始め部12aとに亘って導体配線パタ
ーン18を形成することでこれらヘリカルコイル12と
スパイラルコイル15を電気接続する。これによって、
40ターン以上の導体コイル11を形成することが可能
となる。なお、上記導体コイル11に記録情報信号に基
づいた電気信号を供給するには、上層薄膜磁気コア8及
び下層薄膜磁気コア7を取り巻いて設けられるヘリカル
コイル12,13の巻終わり部12b、13bより導体
引き出しパターン19,20をそれぞれ設ければよい。
コイル12,13とスパイラルコイル15は、図4に示
すように直列に接続される。すなわち、スパイラルコイ
ル15の巻始め部15aと上層薄膜磁気コア8を取り巻
いて設けられるヘリカルコイル13の巻始め部13aと
に亘って導体配線パターン17を形成することでこれら
ヘリカルコイル13とスパイラルコイル15を電気接続
する。そして、スパイラルコイル15の巻終わり部15
bと下層薄膜磁気コア7を取り巻いて設けられるヘリカ
ルコイル12の巻始め部12aとに亘って導体配線パタ
ーン18を形成することでこれらヘリカルコイル12と
スパイラルコイル15を電気接続する。これによって、
40ターン以上の導体コイル11を形成することが可能
となる。なお、上記導体コイル11に記録情報信号に基
づいた電気信号を供給するには、上層薄膜磁気コア8及
び下層薄膜磁気コア7を取り巻いて設けられるヘリカル
コイル12,13の巻終わり部12b、13bより導体
引き出しパターン19,20をそれぞれ設ければよい。
【0020】ここで実際に、上述の薄膜磁気ヘッドを表
1に示す条件の下に作製し、再生効率及びコイルの容量
並びに抵抗値を測定した。
1に示す条件の下に作製し、再生効率及びコイルの容量
並びに抵抗値を測定した。
【0021】
【表1】
【0022】この結果、本実施例の薄膜磁気ヘッドにお
いては、スパイラルコイルのみを多層化した従来の薄膜
磁気ヘッドに比べて、磁路長が短く、且つ容量及び抵抗
が小さく、しかも出力特性の面で優れていることがわか
る。また、レール幅が小さくても十分薄膜磁気ヘッドを
作製することができることがわかる。
いては、スパイラルコイルのみを多層化した従来の薄膜
磁気ヘッドに比べて、磁路長が短く、且つ容量及び抵抗
が小さく、しかも出力特性の面で優れていることがわか
る。また、レール幅が小さくても十分薄膜磁気ヘッドを
作製することができることがわかる。
【0023】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の薄膜磁気ヘッドによれば、ヘリカルコイルとスパイ
ラルコイルの組合せとしたことにより、導体コイルの巻
数を増加してもコイル形状を小さくすることができると
ともに、コイルの電気抵抗と容量を小さなものとするこ
とができる。したがって、ヘッド効率が向上するととも
に、ノイズの発生も抑制される。また、磁極間距離が大
きくならないことから、上層薄膜磁気コアのパターンニ
ング精度が向上し、高精度にトラック幅を規制すること
ができる。以上により、本発明に係る薄膜磁気ヘッド
は、小型化・大容量化が望まれるハードディスク・ドラ
イブ装置に使用して効果絶大である。
明の薄膜磁気ヘッドによれば、ヘリカルコイルとスパイ
ラルコイルの組合せとしたことにより、導体コイルの巻
数を増加してもコイル形状を小さくすることができると
ともに、コイルの電気抵抗と容量を小さなものとするこ
とができる。したがって、ヘッド効率が向上するととも
に、ノイズの発生も抑制される。また、磁極間距離が大
きくならないことから、上層薄膜磁気コアのパターンニ
ング精度が向上し、高精度にトラック幅を規制すること
ができる。以上により、本発明に係る薄膜磁気ヘッド
は、小型化・大容量化が望まれるハードディスク・ドラ
イブ装置に使用して効果絶大である。
【図1】本発明を適用した薄膜磁気ヘッドをスライダに
搭載状態を示す斜視図である。
搭載状態を示す斜視図である。
【図2】本発明を適用した薄膜磁気ヘッドの拡大平面図
である。
である。
【図3】本発明を適用した薄膜磁気ヘッドの拡大断面図
である。
である。
【図4】本発明を適用した薄膜磁気ヘッドの導体コイル
の電気的接続状態を示す模式図である。
の電気的接続状態を示す模式図である。
7・・・下層薄膜磁気コア 8・・・上層薄膜磁気コア 11・・・導体コイル 12,13・・・ヘリカルコイル 15・・・スパイラルコイル
Claims (1)
- 【請求項1】 相対向して積層される一対の薄膜磁気コ
アと導体コイルとにより磁気回路部が構成されてなる薄
膜磁気ヘッドにおいて、 上記導体コイルがスパイラル状のコイルとヘリカル状の
コイルの組合せからなることを特徴とする薄膜磁気ヘッ
ド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29783191A JPH05101337A (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29783191A JPH05101337A (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05101337A true JPH05101337A (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=17851720
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29783191A Withdrawn JPH05101337A (ja) | 1991-10-04 | 1991-10-04 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05101337A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2325229A (en) * | 1996-01-31 | 1998-11-18 | Nippon Kayaku Kk | 2,3-Disubstituted cyclopentanone derivatives, process for producing the same, and medicinal use thereof |
US6778354B2 (en) | 2000-11-29 | 2004-08-17 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Magnetic head and method of manufacturing the same |
US8619389B1 (en) | 2013-02-26 | 2013-12-31 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield |
US8817418B1 (en) | 2013-08-15 | 2014-08-26 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield |
US8867168B2 (en) | 2012-12-07 | 2014-10-21 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield |
-
1991
- 1991-10-04 JP JP29783191A patent/JPH05101337A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2325229A (en) * | 1996-01-31 | 1998-11-18 | Nippon Kayaku Kk | 2,3-Disubstituted cyclopentanone derivatives, process for producing the same, and medicinal use thereof |
US6778354B2 (en) | 2000-11-29 | 2004-08-17 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Magnetic head and method of manufacturing the same |
US8867168B2 (en) | 2012-12-07 | 2014-10-21 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield |
US8619389B1 (en) | 2013-02-26 | 2013-12-31 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield |
US8817418B1 (en) | 2013-08-15 | 2014-08-26 | Tdk Corporation | Magnetic head for perpendicular magnetic recording having a write shield |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990107 |