JPH0487390A

JPH0487390A - 基板の露光装置及び露光方法

Info

Publication number: JPH0487390A
Application number: JP2202924A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Ikemura; 池村　康弘; Tatsuo Suzuki; 龍雄鈴木; Hironobu Suda; 廣伸須田; Naoki Yoshida; 直樹吉田
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 1990-07-31
Filing date: 1990-07-31
Publication date: 1992-03-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、プリント配線板などの基板の露光方法に関す
る。

（従来の技術）従来、プリント配線板などの基板の露光方法としては、
発光手段に臨む透光板に配線パターンを有するパターン
フィルム（投影部材）を固定し、このパターンフィルム
に感光性のある基板を当接させた後に、発光手段からパ
ターンフィルムに光を照射して、パターンフィルムを透
過する光を感光性基板に感光させる露光ユニットを用い
、この霧光ユニットにより配線パターンを基板に投影す
る方法が知られている。

この露光方法では、基板の現像後に基板をパターン検査
装置に搬入して配線パターンのチエツクを行なうように
なっている。

（発明が解決しようとする課題）ところで、パターンフィルムの配線パターンは非常に細
かいために、パターンフィルムに非常に小さな塵や油等
が付着したり、傷によりパターンが切れたりすると、基
板に投影した配線パターンが不良品になってしまう。し
かしながら、従来の基板の露光方法では現像後の基板を
パターン検査装置により検査を行うので、その検査が終
わるまでの長い時間無駄な基板を製造しないように露光
装置を停止するので、露光装置の効率的な運転操作が出
来ないと共に、基板の生産効率が低くなる問題がある。

本発明はかかる課題に着目してなされたものであり、露
光装置による基板の生産効率を向上させると共に、基板
の無駄な生産を防止することを目的とする。

（課題を解決するための手段）上記目的を達成するために、本発明にががる基板の露光
装置は、投影パターンを有する投影部材に対し前記投影
パターンを投影する感光性の基板との位置合わせを行な
うアライメントユニットと、このアライメントユニット
から前記基板が搬入され、発光手段からの光を前記投影
部材を介して照射することにより前記投影パターンを前
記基板に投影する露光ユニットとを備え、この露光ユニ
ット内に前記発光手段に臨むように配設されて前記投影
部材を固定する透光板が、露光ユニット内から着脱可能
に装着されていることを特徴とする。

又、上記目的を達成するために、本発明にかかる基板の
露光方法は、請求項１にかがる露光装置を用いて基板を
露光する基板の露光方法において、前記露光ユニットの
透光板に前記投影部材を固定し、前記アライメントユニ
ットからこの透光板上の投影部材上に前記基板を搬送し
、前記発光手段を発光させて前記基板に投影パターンを
投影した後に、前記透光板を前記露光ユニットから取り
外して新たな透光板を前記露光ユニットに装着し、新た
な透光板上に新たな投影部材を固定して前記アライメン
トユニットから新たな基板を搬入して霧光するとともに
、前記取り外した透光板の投影部材によって投影した基
板の現像処理を行なって投影パターンの検査を行なうこ
とを特徴とする。

（作　用）本発明にかかる露光装置によれば、露光ユニットにて基
板を露光した後にその基板の露光状態を検査する間に、
透光板を外して新たな透光板を露光ユニットの所定位置
にセットし、新たな投影部材を透光板に固定し、アライ
メントユニットから新たな基板を搬入して露光を行なう
ことが出来るので、露光装置を効率的に運転出来る。

又、本発明にかかる基板の露光方法によれば、最初の基
板の露光後、透光板を取り外して新たな透光板に取り替
えて新たな投影部材による新たな露光を行なうと共に、
取り外した透光板の投影部材によって露光した基板の検
査を行なうので、露光装置の効率的運転と基板の効率的
生産を行なうことが出来る。

その検査で欠陥がなければ、新たな露光作業が終了した
後、前記取り外した透光板（投影部材が固定したままと
なっている）を再び露光ユニットに装着して露光作業を
行なう。

（実施例）以下、本発明の実施例にかかる露光装置及び露光方法を
図面を参照にしつつ説明する。

第１図は本実施例にかかる露光装置１の要部構成を示し
たものである。

露光装置１は感光性のある基板２に投影部材としてのパ
ターンフィルム３の回路パターンを投影して露光させる
ものであり、第３図〜第８図に示すように、基板２には
ターゲットマーク２ａ、　２ａが設けられ、パターンフ
ィルム３には回路パターン３ｂ及び位置合わせ用のアラ
イメントマーク３ａ、　３ａが設けられている。

露光装置１は、一番上にパターンフィルム３が搭載され
た状態で多数の基板２が積層して収納されるプリアライ
メントユニット４と、このプリアライメントユニット４
からトラバーサユニット５を介してパターンフィルム３
及び基板２が搬入されるアライメントユニット６と、ト
ラバーサユニット５を介してパターンフィルム３及び基
板２がアライメントユニット６から搬入される露光ユニ
ット７とを備えている。プリアライメントユニット４は
露光装置１の図示しないハウジングから着脱自在とされ
ている。

アライメントユニット６は、パターンフィルム３に対し
て基板２を位置合わせして露光ユニット７に搬出するも
ので、プリアライメントユニット４からパターンフィル
ム３が搬入されるテーブル８を備えている。テーブル８
には、テーブル８上に搬入された時に、パターンフィル
ム３のアライメントマーク３ａ、　３ａの位置及び形状
並びに基板２の一対のターゲットマーク２ａ、　２ａを
観察する一対の開口部９．９が形成されている。テーブ
ル８の一対の開口部９，９の下方には、アライメントマ
ーク３ａ、　３ａ及びターゲットマーク２ａ、　２ａの
位置及び形状を記憶するＣＣＤカメラ１０．１０（第１
の観察手段）が開口部９．９に臨んで配設されている。

テーブル８は、テーブル８を駆動する駆動装置１１の支
持ロッドｌｌａ上に設けられ、図示しない空気吸引手段
によりテーブル８上に位置するパターンフィルム３など
を吸着できるようになっている。支持ロッドｌｌａは、
テーブル８により基板２を吸着した状態で基板２の延在
方向に沿ってＸ、　　Ｙ、　　θ方向（即ち、水平面に
沿って前後左右方向並びに支持ロッド１１ａの軸回り方
向）に駆動されるようになっている。

この駆動装置１１には制御手段１２が設けられており、
制御手段１２は、ＣＣＤカメラ１０．１０にて観察され
たパターンフィルム３のアライメントマーク３ａ、　３
ａの位置及び形状の観察データを基準位置データとして
記憶する第１の記憶手段１３と、ＣＣＤカメラ１０゜１
０にて観察された基板２のターゲットマーク２ａ、　２
ａの位置及び形状を記憶する第２の記憶手段１４とを備
えている。

この第１の記憶手段１３と第２の記憶手段１４は、第１
の演算手段１５を備えており、この第１の演算手段１５
において、アライメントマーク３ａ、３ａに対するター
ゲットマーク２ａ、　２ａの位置ずれ量を算出する。第
１の演算手段１５は、このずれ量に基づいてテーブル８
の姿勢を補正する第１の補正データを出力するように駆
動装置１１の制御装置１６に接続されている。

トラバーサユニット５は、プリアライメントユニット４
からアライメントユニット６及びアライメントユニット
６から露光ユニット７にパターンフィルム３及び基板２
を搬送するものであり、図示しないトラバーサユニット
駆動装置により水平方向と垂直方向に移動可能になって
いる。トラバーサユニット５は、プリアライメントユニ
ット４からテーブル８にパターンフィルム３及び基板２
を搬送する吸着アーム部１７と、テーブル８から露光ユ
ニット７にパターンフィルム３及び基板２を移動させる
吸着部本体１８と、露光ユニット７から基板２及びパタ
ーンフィルム３を搬出する吸着アーム部１９とを備えて
いる。

吸着アーム部１７と吸着アーム部１９は、吸着部本体１
８の移動方向の前後部に突設されている。吸着部本体１
８は駆動制御並びに空気吸引制御を行なう制御手段２０
とガイド手段（図示省略）により、定方向に一定の距離
で精密にパターンフィルム３及び基板２を搬送できるよ
うになっている。

このトラバーサユニット５の移動及び吸着動作は、テー
ブル８及び露光ユニット７との動作と関連しており、プ
リアライメントユニット４或はテーブル８若しくは露光
ユニット７からバター〉フィルム３及び基板２を吸着す
るとき、プリアライメントユニット４並びにアライメン
トユニット６及び露光ユニット７の透明なアクリル板２
１（透光板）に向かって上下動する。そして、吸着アー
ム部１７．１９及び吸着部本体１８は、パターンフィル
ム３及び基板２の搬送時に吸着及び吸着解除を行なうよ
うに制御される。

尚、トラバーサユニット５の動作は露光装置１の動作の
説明において併せて説明する。

露光ユニット７は、透光板としての透明なアクリル板２
１と、発光手段としての紫外線照射聾のランプ２２と、
凹面鏡形状のミラー２３とを備えている。

アクリル板２１は露光ユニット７の図示しないケーシン
グから容易に着脱できるように装着されている。

アクリル板２１は精密な位置に位置決めされるように嵌
め込まれて装着される。アクリル板２１の上面には接着
性のある両面テープが装着され、トラバーサユニット５
によって搬送されるパターンフィルム３を固定できるよ
うになっている。アクリル板２１の下方には、パターン
フィルム３のアライメントマーク３ａ、　３ａを観察す
るための第２の観察手段を構成する一対のハーフミラ−
２４，２４と一対のＣＣＤカメラ２５．２５とが配設さ
れている。このアクリル板２１と一対のハーフミラ−２
４，２４とＣＣＤカメラ２５．２５は、露光ユニット７
から必要に応じていっしょに取り外すことが出来るよう
になっている。ハーフミラ−２４，２４は、ランプ２２
の発光時の光を透過すると共に、基板２からの反射光を
一対のＣＣＤカメラ２５．２５に導くように配設されて
いる。一対のＣＣＤカメラ２５．２５は、アクリル板ｚ
Ｉ上の所定位置にパターンフィルム３が固定され、この
パターンフィルム３の上に基板２が搬入された時に、タ
ーゲットマーク２ａ、　２ａとアライメントマーク３ａ
、　３ａとを観察するものであり、一対のＣＣＤカメラ
２５．２５には、観察したターゲットマーク２ａ、　２
ａとアライメントマーク３ａ、　３ａとめ位置ずれを算
出する第２の演算手段２７が第３の記憶手段２６を介し
て接続されている。

この第３の記憶手段２６は、ＣＣＤカメラ２５．２５か
ら送信される観察データを記憶し、第２の演算手段２７
は、第３の記憶手段２６にて記憶した観察データに基づ
いてターゲットマーク２ａ、　２ａとアライメントマー
ク３ａ、　３ａとの位置ずれ量を算出する。第２の演算
手段２７は、アクリル板２１上におけるアライメントマ
ーク３ａ、　３ａとターゲットマーク２ａ、　２ａとの
画像データよりそれぞれのマークの中心位置を演算し、
アライメントマーク３ａ、　３ａの中心位置とターゲッ
トマーク２ａ、　２ａの中心位置のずれよりパターンフ
ィルム３に対するその上に配置された基板２の位置ずれ
が演算される。その位置ずれ量を第２の補正データとし
て制御装置１６に出力する。制御装置１６に出力された
第２の補正データは、第１の演算手段１５にて算出され
た第１の補正データに加算され、テーブル８の移動を制
御する。

次に、本実施例にかかる露光装置１を用いた露光方法に
ついて説明する。

露光装置１の露光工程にはいる前に、プリアライメント
ユニット４は、一番上に１枚のパターンフィルム３が搭
載された状態で、基板２が多数積層されて収納されるも
のが複数準備される。

次に、パターンフィルム３と基板２とのアライメント調
整が行なわれる。先ず、制御手段２０のからトラバーサ
ユニット５の駆動手段に対して吸着部本体１８をテーブ
ル８に対向させるように駆動命令が出力され、テーブル
８の上方に吸着部本体１８が位置するようにトラバーサ
ユニット５が移動される。このとき、吸着アーム部１７
はプリアライメントユニット４の上方に位置し、吸着ア
ーム部１９はアクリル板２１の上方に位置して静止する
。

次いで、トラバーサユニット５全体が下降して吸着アー
ム部１７にパターンフィルム３が当接し、吸着部本体１
８がテーブル８に接近し、吸着アーム部１９がアクリル
板２１に接近する。この状態で、吸着アーム部１７の空
気吸引が行なわれ、吸着アーム部１７にパターンフィル
ム３がプリアライメントされた状態で吸着される。

吸着アーム部１７にパターンフィルム３が吸着されたら
、吸着アーム部１７はパターンフィルム３を吸引する状
態を保持しながら、トラバーサユニット５は上昇してプ
リアライメントユニット４あるいはアライメントユニッ
ト６及び露光ユニット７がら遠ざかる。トラバーサユニ
ット５は上昇後パターンフィルム３を保持した状態で横
に移動して、パターンフィルム３をテーブル８の上方に
位置させる。パターンフィルム３がテーブル８の真上に
位置したら、トラバーサユニット５が下降する。トラバ
ーサユニット５の下降によりパターンフィルム３がテー
ブル８の上に位置したら、吸着アーム部１７の空気吸引
が停止されると共に、テーブル８の空気吸引が行なわれ
る。

これによって、テーブル８上にパターンフィルム３が吸
着固定される。

パターンフィルム３がテーブル８の上に固定されたら、
ＣＣＤカメラ１０．　１０によりテーブル８上のパター
ンフィルム３のアライメントマーク３ａ、　３ａの観察
が行なわれる。ＣＣＤカメラ１０．１０によって観察さ
れたアライメントマーク３ａ、　３ａの形状と位置は、
第１の記憶手段１３に記憶されて保持される。

第１の記憶手段１３によってアライメントマーク３ａ、
３ａの記憶が完了したら、吸着アーム部１７がテーブル
８から遠ざかるように、再びトラバーサユニット５は上
昇する。トラバーサユニット５は上昇後、吸着アーム部
１７がプリアライメントユニット５の基板２の上方に位
置するように、プリアライメントユニット４側に移動す
る。

吸着アーム部１７がプリアライメントユニット４の基板
２の真上に位置したら、トラバーサユニット５は下降し
、吸着アーム部１７が基板２に当接する。吸着アーム部
１７が基板２に当接したら、吸着アーム部１７がら空気
の吸引が行なわれ、基板２が吸着アーム部１７に吸着さ
れる。このとき、吸着部本体１８においても空気の吸引
が行なわれ、吸着部本体１８がパターンフィルム３の吸
引を行なうと共に、テーブル８の空気吸引が解除され、
吸着部本体１８にパターンフィルム３が吸着される。

吸着アーム部１７が基板２を吸着したら、トラバーサユ
ニット５は上昇した後に、吸着アーム部１７がテーブル
８の真上に位置するように横移動する。このトラバーサ
ユニット５の横移動により、吸着部本体１８は露光ユニ
ット７のアクリル板２１の真上に位置する。吸着アーム
部１７がテーブル８の真上に位置し、吸着部本体１８が
アクリル板２１の真上に位置したら、トラバーサユニッ
ト５は下降し、テーブル８の上に基板２を搭載する。こ
のとき、吸着アーム部１７の空気吸引が解除されると共
に、テーブル８の空気吸弓が開始される。又、このとき
、吸着部本体１８のパターンフィルム３がアクリル板２
１の上面に張り付けられた両面テープに当接し、吸着部
本体１８の空気吸引が解除されてアクリル板２１上にパ
ターンフィルム３が両面テープにより固定される。

テーブル８に基板２が空気吸引により固定され、アクリ
ル板２１にパターンフィルム３が固定されたら、トラバ
ーサユニット５が上昇して吸着部本体１８がテーブル８
の真上に位置し、吸着アーム部１７がプリアライメント
ユニット４の真上に位置するように横移動すると共に、
ＣＣＤカメラ１０．１０によって基板２のターゲットマ
ーク２ａ、　２ａが観察される。

ＣＣＤカメラ１０．１０によって観察されたターゲット
マーク２ａ、２ａの観察データは、第２の記憶手段１４
に送信されて記憶される。この第２の記憶手段１４に記
憶されたターゲットマーク２ａ、　２ａの観察データと
、第１の記憶手段１３に記憶されたアライメントマーク
３ａ、　３ａの観察データとは、第１の演算手段１５に
送信されてアライメントマーク３ａ、　３ａに対するタ
ーゲットマーク２ａ、　２ａの位置ずれ量が算出される
。

第１の演算手段１５にて算出されたアライメントマーク
３ａ、３ａに対するターゲットマーク２ａ、　２ａの位
置ずれ量に関するデータは、第１の補正データとして制
御手段１６に送信され、アライメントマーク３ａ、　３
ａの許容範囲内にターゲットマーク２ａ、　２ａが位置
するように、制御手段１６がら駆動手段１１に姿勢を変
える命令信号が送信され、テーブル８がＸ、　　Ｙ、　
　θ方向に移動する。このテーブル８の移動はトラバー
サユニット５が上昇している間に行なわれる。

テーブル８が第１の補正データに基づいて移動すること
により基板２を受は取る位置が適正に補正されたら、ト
ラバーサユニット５が下降する。このとき、吸着アーム
部１７には基板２゛は吸着されず、吸着部本体１８にテ
ーブル８の基板２が吸着される。このとき吸着部本体１
８並びにテーブル８における空気吸引動作は前述の通り
である。トラバーサユニット５の下降時に吸着部本体１
８に基板２が吸着されたら、トラバーサユニット５は上
昇して吸着アーム部１７がテーブル８の真上に位置し、
吸着部本体１８がパターンフィルム３の真上に位置する
ように、トラバーサユニット５が横移動する。吸着部本
体１８がパターンフィルム３の真上に位置したら、トラ
バーサユニット５が下降し、基板２がパターンフィルム
３の上に固定される。パターンフィルム３上の基板２は
、図示しない空気吸引手段により基板２とアクリル板２
１との間の空気を吸引することによって行なわれる。基
板２がパターンフィルム３の上に固定されたら、ランプ
２２が発光する。ランプ２２の紫外光はハーフミラ−２
４，２４及びアクリル板２１及びパターンフィルム３の
透明部分を通過して基板２に照射され、基板２が露光さ
れる。このとき、基板２がらの反射光により、アライメ
ントマーク３ａ、　３ａとターゲットマーク２ａ、　２
ａの像が、ハーフミラ−２４，２４を介してＣＣＤカメ
ラ２５．２５によって観察される。ＣＣＤカメラ２５．
２５によって観察されたアライメントマーク３ａ、　３
ａとターゲットマーク２ａ、２ａの像は、第３の記憶手
段２６に記憶される。第３の記憶手段２６に記憶された
アライメントマーク３ａ、　３ａとターゲットマーク２
ａ、　２ａの観察データは、第２の演算手段２７におい
てそのずれ量が演算される。露光が完了すると、吸着ア
ーム部１９で露光済みの基板２を吸着し、トラバーサユ
ニット５の移動により基板２をスタッカー２８上に移動
する。

基板２のパターン検査を行なわないで連続的に基板２の
露光を行なう場合には、第２の演算手段２７における位
置ずれ量のデータは第２の補正データとして駆動装置１
１の制御手段１６に出力され、第１の補正データに加算
されて新たな基板２“を露光するときの補正データとさ
れ、以降連続的に基板の露光作業を続ける。

基板２の検査を行なう場合には、前述の露光済みの基板
２を現像し、現像後基板２を検査装置にかけて検査をす
る。又、トラバーサユニット５を上昇させて一時的に待
機状態とさせ、第２の演算手段２７で算出した第２の補
正データは制御装置１６に記憶させ、そのアクリル板２
１を再び露光ユニット７にセットした時にパターンフィ
ルム３及び基板２の正確な位置決めを行なうことに用い
る。露光された基板２を現像処理し、パターン検査装置
にて基板２のパターンの検査を行なっている間、露光ユ
ニット７から取り外されたパターンフィルム３の固定さ
れているアクリル板２１は、露光装置１に設けられた図
示しない収納室に収納保管する。

そして、トラバーサユニット５の上昇待機時に露光ユニ
ット７からそのパターンフィルム３が接着固定されたま
までアクリル板２１を取り外し、前述の基板を現像し、
パターン検査装置にかけて検査が完了するまで、露光装
置１は別の露光作業を行なう。

例えば、検査が完了して欠陥がないとされた別のパター
ンフィルム３の接着固定されたアクリル板２１を露光ユ
ニット７に精密位置決めして装着し、そのパターンフィ
ルム３の露光の際に得られた条件データ（第２の記憶手
段に記憶される位置データと、制御装置に記憶される第
２の補正データ）に直して準備し、トラバーサユニット
５を作動させてプリアライメントユニット４から基板２
をアライメントユニット６に移動固定し、新たな基板２
のアライメント調整が完了したら、トラバーサユニット
５が下降し、前述の動作の如く吸着部本体１８に基板２
が吸着されるとともに、吸着アーム部１７に新たな基板
２が吸着される。この状態でトラバーサユニット５は上
昇し、吸着部本体１８がアクリル板２１の真上に位置す
るようにトラバーサユニット５が横移動する。吸着部本
体１８がアクリル板２１の真上に位置したら、トラバー
サユニット５は下降して、吸着部本体１８の基板２をア
クリル板２１の上に固定し、吸着アーム部１７の基板２
をテーブル８の上に固定する。そして、ランプ２２を発
光させてパターンフィルム３°の露光を行なう、露光の
際トラバーサユニット５はプリアライメントユニット４
方向に移動し、この移動する間にテーブル８上の基板２
は位置合わせされる。そして、トラバーサユニット５は
、プリアライメントユニット６へ、アライメントユニッ
ト６上の基板２を露光ユニット７へ、露光ユニット７上
の基板２をスタッカー２８へ移動し、以下同様の作業を
繰り返し、パターンフィルム３゛の露光作業を行なう。

パターンフィルム３′の露光作業が完了したら、前述の
パターンフィルム３のパターン検査に欠陥がなければ、
パターンフィルム３の露光作業をしても良い。

前述の例では、パターンフィルム３は最初のプリアライ
メントユニット４に配置したが、前述の如く露光ユニッ
ト７にＣＣＤカメラ２５．２５を有するタイプでは、パ
ターンフィルム３を最初からアクリル板２１にＣＣＤカ
メラ２５．２５の映像をモニターテレビを見ながら接着
テープによって固定しても良い。

（発明の効果）本発明にかかる露光装置は、以上説明した構成から明ら
かなように、基板の露光状態をパターン検査装置で検査
するときに、露光に使用した透光板を外して新たな透光
板を露光ユニットの所定位置にセットして別の露光作業
が出来るので、露光装置を効率的に運転出来る。

又、本発明にかかる基板の露光方法によれば、最初の基
板の露光後、その基板のパターン検査をする間に、透光
板を新たな透光板に取り替えて別の露光作業を行なうこ
とが出来るので、露光装置の効率的運転と基板の効率的
生産を行なうことが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例にかかる露光装置の概略構成
を示し且つ露光ユニットにパターンフィルムを搬送する
状態の説明図である。第２図は、第１図の露光装置によって基板を露光ユニッ
トに搬送する状態の説明図である。第３図は、パターンフィルムの説明図である。第４図は、基板の説明図である。第５図は、第１図のテーブルにおけるアライメント調整
前のパターンフィルムと基板の位置ずれ状態の説明図で
ある。第６図は、第１図のテーブルにおけるアライメント調整
後のパターンフィルムと基板の位置調整状態の説明図で
ある。第７図は、第１図のアクリル板上のパターンフィルムと
基板の位置ずれ状態の説明図である。第８図は、第１図のアクリル板上のパターンフィルムと
基板の位置調整状態の説明図である。１・・・露光装置２．２°　２“・・・基板２ａ、　２’　ａ・・・ターゲットマーク３・・・パタ
ーンフィルム（投影部材）３ａ・・・アライメントマー
ク４・・・プリアライメントユニット５・・・トラバーサユニット６・・・アライメントユニット７・・・露光ユニット８・・・テーブル９・・・開口部１０・・・ＣＣＤカメラ（第１の観察手段１１・・・駆
動装置１１ａ・・・支持ロッド１２・・・制御手段１３・・・第１の記憶手段１４・・・第２の記憶手段１５・・・第１の演算手段１６・・・制御装置１７・・・吸着アーム部１８・・・吸着部本体１９・・・吸着アーム部２０・・・制御装置２１・・・アクリル板（透光板）２２・・・ランプ（発光手段）２３・・・ミラー２４・・・ハーフミラ− ２５・・・ＣＣＤカメラ（第２の観察手段）２６・・・
第３の記憶手段２７・・・第２の演算手段２８・・・スタッカー

Claims

【特許請求の範囲】

（１）投影パターンを有する投影部材に対し前記投影パ
ターンを投影する感光性の基板との位置合わせを行なう
アライメントユニットと、このアライメントユニットか
ら前記基板が搬入され、発光手段からの光を前記投影部
材を介して照射することにより前記投影パターンを前記
基板に投影する露光ユニットとを備え、この露光ユニッ
ト内に前記発光手段に臨むように配設されて前記投影部
材を固定する透光板が、露光ユニット内から着脱可能に
装着されていることを特徴とする露光装置。
（２）請求項１にかかる露光装置を用いて基板を露光す
る基板の露光方法において、前記露光ユニットの透光板に前記投影部材を固定し、前
記アライメントユニットからこの透光板上の投影部材上
に前記基板を搬送し、前記発光手段を発光させて前記基
板に投影パターンを投影した後に、前記透光板を前記露
光ユニットから取り外して新たな透光板を前記露光ユニ
ットに装着し、この新たな透光板上に新たな投影部材を
固定して、前記アライメントユニットから新たな基板を
搬入して露光するとともに、前記取り外した透光板の投
影部材によって投影露光した基板の現像処理を行なつて
投影パターンの検査を行なうことを特徴とする基板の露
光方法。