JPH046644A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
i囲り弦五設置
本発明頃 特定の金属膜を有する光磁気記録媒体に関し
さらに詳しくは、記録パワーの線速依存性が小さく、
かつソリが小さいなど機械的特性に優へ しかも記録感
度に優れるとともに記録パワーのマージンが広い光磁気
記録媒体に関する。
さらに詳しくは、記録パワーの線速依存性が小さく、
かつソリが小さいなど機械的特性に優へ しかも記録感
度に優れるとともに記録パワーのマージンが広い光磁気
記録媒体に関する。
i囲立狡五基11
鉄、コバルトなどの遷移金属と、テルビウム(Tb)、
カドリニウム(Gd)などの希土類元素との合金からな
る光磁気記録膜は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有
獣 一方向に全面磁化された膜面にこの全面磁化方向と
は逆向きの小さな反転磁区を形成することができること
が知られている。この反転磁区の有無を「1」、 「0
」に対応させることによって、上記のような光磁気記録
膜にデジタル信号を記録させることが可能となる。
カドリニウム(Gd)などの希土類元素との合金からな
る光磁気記録膜は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有
獣 一方向に全面磁化された膜面にこの全面磁化方向と
は逆向きの小さな反転磁区を形成することができること
が知られている。この反転磁区の有無を「1」、 「0
」に対応させることによって、上記のような光磁気記録
膜にデジタル信号を記録させることが可能となる。
このような遷移金属と希土類元素とからなる光磁気記録
膜としては、たとえば特公昭57−20691号公報に
15〜30ffl子%のTbを含むTb−Fe系光磁気
記録膜が開示されている。またTb−Feに第3の金属
を添加してなる光磁気記録膜も用いられている。さらに
Tb−Co系、Tb−Fe−Co系などの光磁気記録膜
も知られている。
膜としては、たとえば特公昭57−20691号公報に
15〜30ffl子%のTbを含むTb−Fe系光磁気
記録膜が開示されている。またTb−Feに第3の金属
を添加してなる光磁気記録膜も用いられている。さらに
Tb−Co系、Tb−Fe−Co系などの光磁気記録膜
も知られている。
このようなTb−Fe系、Tb−Co系などの光磁気記
録膜中に、この薄膜の耐酸化性を向上させるために、第
3の金属を添加する方法が種々試みられている。
録膜中に、この薄膜の耐酸化性を向上させるために、第
3の金属を添加する方法が種々試みられている。
このような光磁気記録膜を基板上に積層してなる光磁気
記録媒体では、ソリが小さいなど機械的特性に優れてい
ることが望まれている。
記録媒体では、ソリが小さいなど機械的特性に優れてい
ることが望まれている。
またこのような光磁気記録膜を基板上に積層してなる光
磁気記録媒体は、耐酸化性および記録感度(C/N比)
の向上も望まれていた さらにこのような光磁気記録媒体に情報を書込む際には
、記録パワーマージンが広く、しかも記録パワーの線速
依存性が小さいことが望まれている。ここで情報を書込
む際の記録パワーマージンが広いとは、光磁気記録媒体
にレーザ光などによって情報を書込む際に、書込み光と
してのレーザ光のパワーが多少変化しても正確に光磁気
記録媒体に情報を書込むことができることを意味し 記
録パワーの線速依存性が小さいと:戴 光磁気記録媒体
にレーザ光などによって情報を書込む際鳳記録媒体の内
周部と外周部とで書込み光としてのレーザ光の最適記録
パワーの変化のしかたが小さいことを意味している。
磁気記録媒体は、耐酸化性および記録感度(C/N比)
の向上も望まれていた さらにこのような光磁気記録媒体に情報を書込む際には
、記録パワーマージンが広く、しかも記録パワーの線速
依存性が小さいことが望まれている。ここで情報を書込
む際の記録パワーマージンが広いとは、光磁気記録媒体
にレーザ光などによって情報を書込む際に、書込み光と
してのレーザ光のパワーが多少変化しても正確に光磁気
記録媒体に情報を書込むことができることを意味し 記
録パワーの線速依存性が小さいと:戴 光磁気記録媒体
にレーザ光などによって情報を書込む際鳳記録媒体の内
周部と外周部とで書込み光としてのレーザ光の最適記録
パワーの変化のしかたが小さいことを意味している。
このようにソリが小さく耐酸化性に便法 しかもC/N
比が高く、かつ記録パワーマージンが広く、その上記録
パワーの線速依存性が小さいような光磁気記録媒体の出
現が望まれている。
比が高く、かつ記録パワーマージンが広く、その上記録
パワーの線速依存性が小さいような光磁気記録媒体の出
現が望まれている。
本発明者らは、このような従来技術に鑑みて鋭意検討し
たところ、基板上に、保護膜と、光磁気記録膜と、アル
ミニウム合金膜と、ニッケル合金膜とをこの順序で積層
してなる光磁気記録媒体は、ソリが小さく機械的特性に
便法 記録パワーの線速依存性が小さく、かつ記録パワ
ーマージンが広く、しかも耐酸化性および記録感度に優
れていることを見いだして、本発明を完成するに至っ島
i貝L1濃 本発明Ill ソリが74sさいなど機械的特性に優
へかつ記録パワーマージンが広り、シかも記録パワーの
線速依存性が小さく、かつC/N比が高いような光磁気
記録媒体を提供することを目的としている。
たところ、基板上に、保護膜と、光磁気記録膜と、アル
ミニウム合金膜と、ニッケル合金膜とをこの順序で積層
してなる光磁気記録媒体は、ソリが小さく機械的特性に
便法 記録パワーの線速依存性が小さく、かつ記録パワ
ーマージンが広く、しかも耐酸化性および記録感度に優
れていることを見いだして、本発明を完成するに至っ島
i貝L1濃 本発明Ill ソリが74sさいなど機械的特性に優
へかつ記録パワーマージンが広り、シかも記録パワーの
線速依存性が小さく、かつC/N比が高いような光磁気
記録媒体を提供することを目的としている。
茅1す11
本発明に係る光磁気記録媒体14 基板上【ミ 保護
膜と、光磁気記録膜と、アルミニウム合金膜と、ニッケ
ル合金膜とがこの順序で積層されてなることを特徴とし
ている。
膜と、光磁気記録膜と、アルミニウム合金膜と、ニッケ
ル合金膜とがこの順序で積層されてなることを特徴とし
ている。
このような本発明に係る光磁気記録媒体1戯 ソリが小
さいなど機械的特性に便法 記録パワーの線速依存性が
/JNさく、かつ記録パワーマージンが広く、しかも耐
酸化性および記録感度に優れている。
さいなど機械的特性に便法 記録パワーの線速依存性が
/JNさく、かつ記録パワーマージンが広く、しかも耐
酸化性および記録感度に優れている。
日の、 的濾日
以下、本発明に係る光磁気記録媒体について具体的に説
明する。
明する。
本発明の光磁気記録媒体10番も たとえば第1図に示
すように、 基板1上番ミ 保護膜2と、光磁気記録膜
3と、アルミニウム合金膜4と、ニッケル合金膜5とが
この順序で積層されて形成されている。
すように、 基板1上番ミ 保護膜2と、光磁気記録膜
3と、アルミニウム合金膜4と、ニッケル合金膜5とが
この順序で積層されて形成されている。
以下、基板1、保護WL−2、光磁気記録膜3、アルミ
ニウム合金膜4、ニッケル合金膜5について順次説明す
る。
ニウム合金膜4、ニッケル合金膜5について順次説明す
る。
基 板
本発明で1戴 基板1の材質は特に限定されないが、基
板1側(矢印A)からレーザ光が入射する場合には、透
明基板であることが好ましく、具体的には、ガラスやア
ルミニウム等の無機材料の他に、 ポリメチルメタクリ
レート、ポリカーボネート、ポリカーボネートとポリス
チレンのポリマーアロイ、米国特許第4.614.77
8号明細書に開示しであるような環状オレフィンランダ
ム共電合本 以下に説明するような環状オレフィンラン
ダム共電合本 ポリ4−メチル−1−ペンテン、エポキ
シItj!、ポリエーテルサルフォン、ポリサルフォン
、ポリエーテルイミド等の有機材料を用いることができ
る。この中でIL ポリメチルメタクリレート、ポリ
カーボネート、米国特許第4.614.778号明細書
に記載のような共重合体および下記の環状オレフィンラ
ンダム共重合体が好ましい。
板1側(矢印A)からレーザ光が入射する場合には、透
明基板であることが好ましく、具体的には、ガラスやア
ルミニウム等の無機材料の他に、 ポリメチルメタクリ
レート、ポリカーボネート、ポリカーボネートとポリス
チレンのポリマーアロイ、米国特許第4.614.77
8号明細書に開示しであるような環状オレフィンランダ
ム共電合本 以下に説明するような環状オレフィンラン
ダム共電合本 ポリ4−メチル−1−ペンテン、エポキ
シItj!、ポリエーテルサルフォン、ポリサルフォン
、ポリエーテルイミド等の有機材料を用いることができ
る。この中でIL ポリメチルメタクリレート、ポリ
カーボネート、米国特許第4.614.778号明細書
に記載のような共重合体および下記の環状オレフィンラ
ンダム共重合体が好ましい。
本発明において、基板として特に好ましい材料として屯
特に保護膜あるいは記録膜との密着性が良く、複屈折
率が小さいという観点から、エチレンと、下記一般式[
■コまたは[t’lで表される環状オレフィンとの共重
合体からなる環状オレフィンランダム共重合体が挙げら
れる。
特に保護膜あるいは記録膜との密着性が良く、複屈折
率が小さいという観点から、エチレンと、下記一般式[
■コまたは[t’lで表される環状オレフィンとの共重
合体からなる環状オレフィンランダム共重合体が挙げら
れる。
一般式[Iコ
一般式[工′]
(式中、nは0または1であり、mはOまたは正の整数
であって、 R1〜RI @ 14 それぞれ独立&へ 水素原子
、710ゲン原子および炭化水素基よりなる群から選ば
れる原子もしくは基を表し RI S 4 Rl @ l戴 互いに結合して単環
または多環を形成していてもよく、かつ該単環または多
環が二重結合を有していてもよく、 また、 RIIとR16とで、 またはR17とRa8
とでアルキリデン基を形成していてもよい)。
であって、 R1〜RI @ 14 それぞれ独立&へ 水素原子
、710ゲン原子および炭化水素基よりなる群から選ば
れる原子もしくは基を表し RI S 4 Rl @ l戴 互いに結合して単環
または多環を形成していてもよく、かつ該単環または多
環が二重結合を有していてもよく、 また、 RIIとR16とで、 またはR17とRa8
とでアルキリデン基を形成していてもよい)。
(式[1°]中、pは0または1以上の整数であり、q
およびrは、0、1または2であり、R1−R116は
それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、脂肪族炭化水
素基 芳香族炭化水素基 およびアルコキシ基よりなる
群から原子もしくは基を表しR%(またはR6)とR9
(またはRT)と1戴 炭素数1〜3のアルキレン基を
介して結合していてもよく、また何の基も介さずに直接
結合していてもよい。 ) ただし 上記式[r]において、nはOまたはlであり
、好ましくは0である。また、mは0または正の整数で
あり、好ましくはO〜3である。
およびrは、0、1または2であり、R1−R116は
それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、脂肪族炭化水
素基 芳香族炭化水素基 およびアルコキシ基よりなる
群から原子もしくは基を表しR%(またはR6)とR9
(またはRT)と1戴 炭素数1〜3のアルキレン基を
介して結合していてもよく、また何の基も介さずに直接
結合していてもよい。 ) ただし 上記式[r]において、nはOまたはlであり
、好ましくは0である。また、mは0または正の整数で
あり、好ましくはO〜3である。
また上記式[I′]において、pはOまたは1以上の整
数であり、好ましくは0〜3の整数である。
数であり、好ましくは0〜3の整数である。
そして、R1〜R1l+(式[I])、またはR1−R
15(式[I’])IL それぞれ独立&へ 水素原
子、ハロゲン原子および炭化水素基よりなる群から選ば
れる原子もしくは基を表す。ここで、ハロゲン原子とし
ては、たとえ:fl フッ素原子、塩素原子、臭素原
子およびヨウ素原子を挙げることができる。
15(式[I’])IL それぞれ独立&へ 水素原
子、ハロゲン原子および炭化水素基よりなる群から選ば
れる原子もしくは基を表す。ここで、ハロゲン原子とし
ては、たとえ:fl フッ素原子、塩素原子、臭素原
子およびヨウ素原子を挙げることができる。
また、炭化水素基として屯 それぞれ独立く 通常は炭
素原子数1〜6のアルキル基 炭素原子数3〜6のシク
ロアルキル基を挙げることができ、アルキル基の具体的
な例としてIL メチル基 エチル基 イソプロピル
基 イソブチル基 アミル基をあげることができ、シク
ロアルキル基の具体的な例として(戴 シクロへキシル
基 シクロプロピル基 シクロブチル基 シクロペンチ
ル基を挙げることができる。
素原子数1〜6のアルキル基 炭素原子数3〜6のシク
ロアルキル基を挙げることができ、アルキル基の具体的
な例としてIL メチル基 エチル基 イソプロピル
基 イソブチル基 アミル基をあげることができ、シク
ロアルキル基の具体的な例として(戴 シクロへキシル
基 シクロプロピル基 シクロブチル基 シクロペンチ
ル基を挙げることができる。
また上記式[I’]において、R5(またはR6)とR
e(またはRT)とは、炭素数1〜3のアルキレン基を
介して結合していてもよく、また何の基も介さずに直接
結合していてもよい。
e(またはRT)とは、炭素数1〜3のアルキレン基を
介して結合していてもよく、また何の基も介さずに直接
結合していてもよい。
さらに、上記式[I]において、R15〜RIBは互い
に結合して(共同して)単環または多環を形成していて
もよく、かつ該単環または多環が二重結合を有していて
もよい。また、Ra5とRa6とで、またはR17とR
18とでアルキリデン基を形成していてもよい。このよ
うなアルキリデン基は、通常は炭素原子数2〜4のアル
キリデン基をあげることができ、その具体的な例として
は、エチリデン基 プロピリデン基 イソプロピリデン
基およびインブチリデン基をあげることができる。
に結合して(共同して)単環または多環を形成していて
もよく、かつ該単環または多環が二重結合を有していて
もよい。また、Ra5とRa6とで、またはR17とR
18とでアルキリデン基を形成していてもよい。このよ
うなアルキリデン基は、通常は炭素原子数2〜4のアル
キリデン基をあげることができ、その具体的な例として
は、エチリデン基 プロピリデン基 イソプロピリデン
基およびインブチリデン基をあげることができる。
前記式[r]または[I’]で表される環状オレフィン
1戴 シクロペンタジェン類と、相応するオレフィン類
あるいは環状オレフィン類とをディールス・アルダ−反
応により縮合させることにより容易に製造することがで
きる。
1戴 シクロペンタジェン類と、相応するオレフィン類
あるいは環状オレフィン類とをディールス・アルダ−反
応により縮合させることにより容易に製造することがで
きる。
前記式[I]または[r、’]で表される環状オレフィ
ンとしては、 具体的には、 たとえば下記のよ うな化合物を埜げることができる。
ンとしては、 具体的には、 たとえば下記のよ うな化合物を埜げることができる。
(以下余白)
ン
メチルビシクロ[2
などのようなビシクロ[2,2,11
ヘプト−2−
エン誘
導体
ン
5.10−ジメチルテトラ
CH。
Hs
9−イソブチル−2,7−
9,11,12−)ジメチル
9−エチル−11,12−ジメ
9−イソブチル−11,12
8−メチルテトラシフ
8−エチルテトラシフ
1・]−]3−ドデセ
ン−へキシルテトラシ
C1・h8マ
1@コー3
ドデセン
5、8.9.10−テトラメチ
Illコ
ドデセン
メチル−9−エチルテ
8−クロロテトラシフ
3−ドデセン
プロモチトラシフ
8−フルオロテトラシ
I@コ
3−ドデセン
+sコ
3−ドデセン
+s]−3−ドデセン
ン
8−エチリデン−9−イソ
1eコー3
ドデセン
一ドデセン
−3−ドデセン
、12
5.17
11B]−3−ドデセ
ン
+ s ]−]3−ドデセ
ン、17
目コー3−ドデセン
、12
6.17
1@コー3−ドデセ
8−n−プロピリデン−9
ン
一ドデセン
8−n−プロピリデン
8−イソプロピリデン
[4,4,0,12
S、17・l]
ドデセン
一ドデセン
目]
3−ドデセン
1eコー3−ドデセン
8−n−プロピリデン−9
[4,4,0,12
+@]−3
CH。
[4,4,0,12
11コー3
一ドデセン
一ドデセン
などのテトラシクロ[4,4,0,12s、Iv
+1]−3−ドデセ
ン誘導体;
(以下余白)
8−インプロピリデン
12−メチルへキサシフ
+3.Q2.7
Q
目コー4−ヘプ
タデセン
などのへキサシクロ[6,6,1,13Q2 、 ?
、 □e デセン 14コー4−ヘプタデセン誘導体: デセン トコセン ヘプタデセン ■、1@、113 8、Ql 2・目コー5 トコセン 15−エチルオクタシフ Hs セン などのオクタシクロ[8,8,0,129,14 7,11 1,11 3、+8.Q3 +1.Ql2 1フコ−5−トコセン誘導体 などのペンタシクロ[6,6,1,13・6,027,
09+−]−4− ヘキサデセン誘導体 ヘプタシクロ[8,7,0 コセン などのへブタシクロ−5 イコセン誘導体あるいはへ ブタシクロ−5−ヘンエイコセン誘導体;トリシクロ[
4,3,0,1 などのトリシクロ[4,4,0,12 5コー3−ウンデセン誘導 体; 5−メチル−トリシクロ 1.3 ジメチル−ペンタ などのトリシクロ[4,3,0,12・6コー3−デセ
ン誘導体。
、 □e デセン 14コー4−ヘプタデセン誘導体: デセン トコセン ヘプタデセン ■、1@、113 8、Ql 2・目コー5 トコセン 15−エチルオクタシフ Hs セン などのオクタシクロ[8,8,0,129,14 7,11 1,11 3、+8.Q3 +1.Ql2 1フコ−5−トコセン誘導体 などのペンタシクロ[6,6,1,13・6,027,
09+−]−4− ヘキサデセン誘導体 ヘプタシクロ[8,7,0 コセン などのへブタシクロ−5 イコセン誘導体あるいはへ ブタシクロ−5−ヘンエイコセン誘導体;トリシクロ[
4,3,0,1 などのトリシクロ[4,4,0,12 5コー3−ウンデセン誘導 体; 5−メチル−トリシクロ 1.3 ジメチル−ペンタ などのトリシクロ[4,3,0,12・6コー3−デセ
ン誘導体。
1.6−シメチルベンタ
メチル置換ペンタシ
14、15−ジメチルベン
などのペンタシクロ
[4,7,0,12・5.O8
+3.p
12コ
−3−ペンタデセン誘導体;
などのペンタシクロ[6,5,1
6、QIT、Ql13コー4−
コセン
ペンタデセン誘導体
1Sコ
−4−エイコセン
などのジエン化合物;
などのへブタシクロ
[7,8,0,13
7,11@
7I0
+1.18,112
15コ
4−エイコセン誘導体;
そしてさらには、
21.lI3.211.QIJ、19.11s、+@]
−5−ベンタコセン 0H・ 3.2゜、。14.1゜1+s、+。1−
5−ベンタコセン などのノナシクロ[9,10,1,1’)、03・I
、 Q2 、 l I 、 Ql 22+、 112.
2@、Ql4.l@、lI6.1J −5−/< ンタ
:7 セン誘導体等を挙げることができる。
−5−ベンタコセン 0H・ 3.2゜、。14.1゜1+s、+。1−
5−ベンタコセン などのノナシクロ[9,10,1,1’)、03・I
、 Q2 、 l I 、 Ql 22+、 112.
2@、Ql4.l@、lI6.1J −5−/< ンタ
:7 セン誘導体等を挙げることができる。
(以下余白)
を挙げることができる。
(以下余白)
上記のようなエチレンと、一般式[1]または[1′]
で表される環状オレフィンとの共重合体としては、13
5℃のデカリン中で測定した極限粘度[η]が0.05
〜10a/Hの範囲にあり、軟化温度(TMA)が70
℃以上である環状オレフィン系ランダム共重合体(以下
環状オレフィン系ランダム共重合体[A]という)が好
ましく用いられる。また所望により、環状オレフィン系
ランダム共重合体[A]く エチレンと、下記式[Iコ
または[工°]で表される環状オレフィンとの共重合体
であって、135℃のデカリン中で測定した極限粘度[
η]が0.05〜54Q/gの範囲にあり、軟化温度(
TMA)が70℃未満である環状オレフィン系ランダム
共重合体(以下環状オレフィン系ランダム共重合体[B
]という)を配合して用いてもよい。
で表される環状オレフィンとの共重合体としては、13
5℃のデカリン中で測定した極限粘度[η]が0.05
〜10a/Hの範囲にあり、軟化温度(TMA)が70
℃以上である環状オレフィン系ランダム共重合体(以下
環状オレフィン系ランダム共重合体[A]という)が好
ましく用いられる。また所望により、環状オレフィン系
ランダム共重合体[A]く エチレンと、下記式[Iコ
または[工°]で表される環状オレフィンとの共重合体
であって、135℃のデカリン中で測定した極限粘度[
η]が0.05〜54Q/gの範囲にあり、軟化温度(
TMA)が70℃未満である環状オレフィン系ランダム
共重合体(以下環状オレフィン系ランダム共重合体[B
]という)を配合して用いてもよい。
上記のような環状オレフィン類とエチレンとの共重合体
である環状オレフィン系ランダム共重合体[A]および
[B]鷹 エチレンおよび前記環状オレフィンを必須成
分とするものであるカζ 該必須の二成分の他に本発明
の目的を損なわない範囲で、必要に応じて他の共重合可
°能な不飽和単量体成分を含有していてもよい。任意に
共重合されていてもよい該不飽和単量体として、具体的
には、たとえば生成するランダム共重合体中のエチレン
成分単位と等モル未満の範囲のプロピレン、1−ブテン
、4−メチル−1−ペンテン、1−ヘキセン、1−オク
テン、 1−デセン、 1−ドデセン、 1−テトラデ
セン、1−へキサデセン、1−オクタデセン、1−エイ
コセンなどの炭素原子数が3〜20のa−オレフィンな
どを例示することができる。
である環状オレフィン系ランダム共重合体[A]および
[B]鷹 エチレンおよび前記環状オレフィンを必須成
分とするものであるカζ 該必須の二成分の他に本発明
の目的を損なわない範囲で、必要に応じて他の共重合可
°能な不飽和単量体成分を含有していてもよい。任意に
共重合されていてもよい該不飽和単量体として、具体的
には、たとえば生成するランダム共重合体中のエチレン
成分単位と等モル未満の範囲のプロピレン、1−ブテン
、4−メチル−1−ペンテン、1−ヘキセン、1−オク
テン、 1−デセン、 1−ドデセン、 1−テトラデ
セン、1−へキサデセン、1−オクタデセン、1−エイ
コセンなどの炭素原子数が3〜20のa−オレフィンな
どを例示することができる。
上記のような環状オレフィン系ランダム共重合体[A]
でIL エチレンに由来する繰り返し単位(a)1転
40〜85モル%、好ましくは50〜75モル%の範
囲で存在しており、また該環状オレフィンに由来する繰
り返し単位(b)は15〜60モル%、好ましくは25
〜50モル%の範囲で存在しており、エチレンに由来す
る繰り返し単位(a)および該環状オレフィンに由来す
る繰り返し単位(b)は、ランダムに実質上線状に配列
している。なお、エチレン組成および環状オレフィン組
成は13C−NMRによって測定した この環状オレフ
ィン系ランダム共重合体が実質上線状であり、ゲル状架
橋構造を有していないことは、該共重合体が135℃の
デカリン中に完全に溶解することによって確認できる。
でIL エチレンに由来する繰り返し単位(a)1転
40〜85モル%、好ましくは50〜75モル%の範
囲で存在しており、また該環状オレフィンに由来する繰
り返し単位(b)は15〜60モル%、好ましくは25
〜50モル%の範囲で存在しており、エチレンに由来す
る繰り返し単位(a)および該環状オレフィンに由来す
る繰り返し単位(b)は、ランダムに実質上線状に配列
している。なお、エチレン組成および環状オレフィン組
成は13C−NMRによって測定した この環状オレフ
ィン系ランダム共重合体が実質上線状であり、ゲル状架
橋構造を有していないことは、該共重合体が135℃の
デカリン中に完全に溶解することによって確認できる。
このような環状オレフィン系ランダム共重合体[A]の
135℃のデカリン中で測定した極限粘度[lコは、0
.05〜toa / g、 好ましくは0.08〜5
dΩ/gの範囲にある。
135℃のデカリン中で測定した極限粘度[lコは、0
.05〜toa / g、 好ましくは0.08〜5
dΩ/gの範囲にある。
また環状オレフィン系ランダム共重合体[A]のサーマ
ル・メカニカル・アナライザーで測定した軟化温度(T
MA)は、70℃以上、好ましくは90〜250℃、さ
らに好ましくは100〜200℃の範囲にある。なお軟
化温度(TMA)哄 デュポン社製Thermomec
hanical Analyserを用いて厚さ1鶴の
シートの熱変形挙動により測定した すなわちシート上
に石英製針をのせ、荷重49gをかけ、5℃/分で昇温
していき、針が0.635.侵入した温度をTMAとし
t4 また、該環状オレフィン系ランダム共重合体の
ガラス転移温度(Tg)は、通常50〜230℃、好ま
しくは70〜210℃の範囲にあることが望ましい。
ル・メカニカル・アナライザーで測定した軟化温度(T
MA)は、70℃以上、好ましくは90〜250℃、さ
らに好ましくは100〜200℃の範囲にある。なお軟
化温度(TMA)哄 デュポン社製Thermomec
hanical Analyserを用いて厚さ1鶴の
シートの熱変形挙動により測定した すなわちシート上
に石英製針をのせ、荷重49gをかけ、5℃/分で昇温
していき、針が0.635.侵入した温度をTMAとし
t4 また、該環状オレフィン系ランダム共重合体の
ガラス転移温度(Tg)は、通常50〜230℃、好ま
しくは70〜210℃の範囲にあることが望ましい。
また、この環状オレフィン系ランダム共重合体[A]の
X線回折法によって測定した結晶化度は、0〜10%、
好ましくは0〜7%、とくに好ましくは0〜5%の範囲
である。
X線回折法によって測定した結晶化度は、0〜10%、
好ましくは0〜7%、とくに好ましくは0〜5%の範囲
である。
本発明で1戴 また上記のような軟化温度(TMA)が
70℃以上である環状オレフィン系ランダム共重合体[
A]に、 エチレンと、上記式[1コまたは[I′]で表わされる
環状オレフィンとの共重合体であって、135℃のデカ
リン中で測定した極限粘度[η]が0.05〜5 aQ
/gノ範囲にあり、軟化温度(TMA)が70℃未満
である環状オレフィン系ランダム共重合体[B]を配合
してなる環状オレフィン系ランダム共重合体組成物から
基板を形成することが好ましい。
70℃以上である環状オレフィン系ランダム共重合体[
A]に、 エチレンと、上記式[1コまたは[I′]で表わされる
環状オレフィンとの共重合体であって、135℃のデカ
リン中で測定した極限粘度[η]が0.05〜5 aQ
/gノ範囲にあり、軟化温度(TMA)が70℃未満
である環状オレフィン系ランダム共重合体[B]を配合
してなる環状オレフィン系ランダム共重合体組成物から
基板を形成することが好ましい。
上記のような軟化点(TMA)が70℃未満である環状
オレフィン系ランダム共重合体[B]で(戴エチレンに
由来する繰り返し単位(a)は、60〜98モル%、好
ましくは60〜98モル%の範囲で存在しており、また
該環状オレフィンに由来する繰り返し単位(b)は2〜
40モル%、好ましくは5〜40モル%の範囲で存在し
ており、エチレンに由来する繰り返し単位(a)および
該環状オレフィンに由来する繰り返し単位(b) 14
ランダムに実質上線状に配列している。なお、エチ
レン組成および環状オレフィン組成は+3C−NMRに
よって測定した この環状オレフィン系ランダム共重合
体[B]が実質上線状であり、ゲル状架橋構造を有して
いないこと頃 該共重合体が135℃のデカリン中に完
全に溶解することによって確認できる。
オレフィン系ランダム共重合体[B]で(戴エチレンに
由来する繰り返し単位(a)は、60〜98モル%、好
ましくは60〜98モル%の範囲で存在しており、また
該環状オレフィンに由来する繰り返し単位(b)は2〜
40モル%、好ましくは5〜40モル%の範囲で存在し
ており、エチレンに由来する繰り返し単位(a)および
該環状オレフィンに由来する繰り返し単位(b) 14
ランダムに実質上線状に配列している。なお、エチ
レン組成および環状オレフィン組成は+3C−NMRに
よって測定した この環状オレフィン系ランダム共重合
体[B]が実質上線状であり、ゲル状架橋構造を有して
いないこと頃 該共重合体が135℃のデカリン中に完
全に溶解することによって確認できる。
このような環状オレフィン系ランダム共重合体[B]の
135℃のデカリン中で測定した極限粘度[η]は、0
.05〜5 (LQ /g、 好ましくは0.08〜
3dll/gの範囲にある。
135℃のデカリン中で測定した極限粘度[η]は、0
.05〜5 (LQ /g、 好ましくは0.08〜
3dll/gの範囲にある。
また環状オレフィン系ランダム共重合体[B]のサーマ
ル・メカニカル・アナライザーで測定した軟化温度(T
MA)は、70℃未汎 好ましくは一10〜60℃、さ
らに好ましくは10〜55℃の範囲にある。さらく 該
環状オレフィン系ランダム共重合体[B]のガラス転移
温度(Tg) If、 通常−30〜60℃、好まし
くは一20〜50℃の範囲にあることが望ましい。
ル・メカニカル・アナライザーで測定した軟化温度(T
MA)は、70℃未汎 好ましくは一10〜60℃、さ
らに好ましくは10〜55℃の範囲にある。さらく 該
環状オレフィン系ランダム共重合体[B]のガラス転移
温度(Tg) If、 通常−30〜60℃、好まし
くは一20〜50℃の範囲にあることが望ましい。
また、この環状オレフィン系ランダム共重合体[B]の
Xls回折法によって測定した結晶化度は、0〜10%
、好ましくは0〜7%、 とくに好ましくは0〜5%の
範囲である。
Xls回折法によって測定した結晶化度は、0〜10%
、好ましくは0〜7%、 とくに好ましくは0〜5%の
範囲である。
本発明において、基板として環状オレフィンランダム共
重合体[A]および[B]を用いる場合に14 該環
状オレフィン系ランダム共重合体[A]/該環状オレフ
ィン系ランダム共重合体[B]の重量比は10010.
1〜100/10. 好ましくは10010.3〜1
00/7、とくに好ましくは10010.5〜1001
5の範囲であることが望ましい。 [B]酸成分この範
囲で[A]酸成分配合することによって基板自体の優れ
た透明性と表面平滑性を維持したままで本発明で用いる
反射膜との苛酷な条件下での密着性が[A]酸成分みの
場合に比べさらに向上するという効果があり、 [Aコ
と[B] とのブレンドよりなるこの上記の環状オレフ
ィンランダム共重合体組成物を基板に用いれば本発明で
用いる反射膜との優れた密着性は高温、高温条件下放置
後においてさえも変化がないという特性を有している。
重合体[A]および[B]を用いる場合に14 該環
状オレフィン系ランダム共重合体[A]/該環状オレフ
ィン系ランダム共重合体[B]の重量比は10010.
1〜100/10. 好ましくは10010.3〜1
00/7、とくに好ましくは10010.5〜1001
5の範囲であることが望ましい。 [B]酸成分この範
囲で[A]酸成分配合することによって基板自体の優れ
た透明性と表面平滑性を維持したままで本発明で用いる
反射膜との苛酷な条件下での密着性が[A]酸成分みの
場合に比べさらに向上するという効果があり、 [Aコ
と[B] とのブレンドよりなるこの上記の環状オレフ
ィンランダム共重合体組成物を基板に用いれば本発明で
用いる反射膜との優れた密着性は高温、高温条件下放置
後においてさえも変化がないという特性を有している。
本発明における基板を構成する上記の環状オレフィン共
重合体[A]および[B]は、特開昭60−16870
8号公転 特開昭61−120816号公社 特開開6
1−115912号公転 特開昭61−115916号
公転 特開昭62−252406号公転 特開昭62−
252407号公転 特開昭61−271308号公転
特開昭61−272216号公報などにおいて本出願
人が提案した方法に従い適宜条件を選択することにより
、製造することができる。
重合体[A]および[B]は、特開昭60−16870
8号公転 特開昭61−120816号公社 特開開6
1−115912号公転 特開昭61−115916号
公転 特開昭62−252406号公転 特開昭62−
252407号公転 特開昭61−271308号公転
特開昭61−272216号公報などにおいて本出願
人が提案した方法に従い適宜条件を選択することにより
、製造することができる。
このような環状オレフィン系ランダム共重合体中におい
て、前記式[I]または[!°]で表される環状オレフ
ィンから導かれる構成単位(b)は下記式[nlまたは
[n ’]で表される構造の繰り返し単位を形成してい
ると考えられるが、一部の構成単位(b)が開環重合に
よって結合している場合もあり、また必要に応じて水素
添加することも可能である。
て、前記式[I]または[!°]で表される環状オレフ
ィンから導かれる構成単位(b)は下記式[nlまたは
[n ’]で表される構造の繰り返し単位を形成してい
ると考えられるが、一部の構成単位(b)が開環重合に
よって結合している場合もあり、また必要に応じて水素
添加することも可能である。
[nl
(式[nl中、瓜 nおよびR1−R111は前記式[
I]における定義と同様である。) [n’コ (式[11’コ中、 I)% Q−rおよびRl−R
l 5は前記式[I’]における定義と同様である。)
本発明に係る光磁気記録媒体の基板としては、前述した
とおり、上記のエチレンと環状オレフィンとのランダム
共重合体のほか&へ 同種または異種の環状オレフィン
単量体を開環して得られる環状オレフィン開環重合化
開環共重合体またはそれらの水素添加物を用いることも
できる。このような環状オレフィン開環重合化 開環共
重合体およびこれらの水素添加物について、前記式[r
]で表される環状オレフィンを例にして説明すると、以
下に記載するように反応して開環共重合体およびこれら
の水素添加物を構成していると考えられる。
I]における定義と同様である。) [n’コ (式[11’コ中、 I)% Q−rおよびRl−R
l 5は前記式[I’]における定義と同様である。)
本発明に係る光磁気記録媒体の基板としては、前述した
とおり、上記のエチレンと環状オレフィンとのランダム
共重合体のほか&へ 同種または異種の環状オレフィン
単量体を開環して得られる環状オレフィン開環重合化
開環共重合体またはそれらの水素添加物を用いることも
できる。このような環状オレフィン開環重合化 開環共
重合体およびこれらの水素添加物について、前記式[r
]で表される環状オレフィンを例にして説明すると、以
下に記載するように反応して開環共重合体およびこれら
の水素添加物を構成していると考えられる。
↓開環
↓水素添加
このような重合体の例として、テトラシクロドデセンと
ノルボルネン及びそれらの誘導体との開環共重合体 及
びその水素添加物をあげることができる。
ノルボルネン及びそれらの誘導体との開環共重合体 及
びその水素添加物をあげることができる。
なお、本発明においては上記のような開環重合弧 開環
共重合体 これらの水素添加物および環状オレフィン系
ランダム共重合体の一部が無水マレイン酸等の不飽和カ
ルボン酸等で変性されていてもよい。このような変性物
は、上記のような環状オレフィン系樹脂と、不飽和カル
ボン酸、これらの無水執 および不飽和カルボン酸のア
ルキルエステル等の誘導体とを反応させることにより製
造することができる。なお、この場合の環状オレフィン
系樹脂の変性物中における変性剤から導かれる構成単位
の含有率は、通常は50〜10モル%以下である。この
ような環状オレフィン系樹脂変性物は、所望の変性率に
なるように環状オレフィン系樹脂に変性剤を配合してグ
ラフト重合させて製造することもできるし 予め高変性
率の変性物を調製し 次いでこの変性物と未変性の環状
オレフィン系樹脂とを混合することによっても製造する
ことができる。
共重合体 これらの水素添加物および環状オレフィン系
ランダム共重合体の一部が無水マレイン酸等の不飽和カ
ルボン酸等で変性されていてもよい。このような変性物
は、上記のような環状オレフィン系樹脂と、不飽和カル
ボン酸、これらの無水執 および不飽和カルボン酸のア
ルキルエステル等の誘導体とを反応させることにより製
造することができる。なお、この場合の環状オレフィン
系樹脂の変性物中における変性剤から導かれる構成単位
の含有率は、通常は50〜10モル%以下である。この
ような環状オレフィン系樹脂変性物は、所望の変性率に
なるように環状オレフィン系樹脂に変性剤を配合してグ
ラフト重合させて製造することもできるし 予め高変性
率の変性物を調製し 次いでこの変性物と未変性の環状
オレフィン系樹脂とを混合することによっても製造する
ことができる。
本発明において、上記の開環重合化 開環共重合体 こ
れらの水素添加物および環状オレフィン系ランダム共重
合体ならびにその変性物は、単独で、あるいは組み合わ
せて使用することができる。
れらの水素添加物および環状オレフィン系ランダム共重
合体ならびにその変性物は、単独で、あるいは組み合わ
せて使用することができる。
さら&−本発明においては、上記のような環状オレフィ
ン系ランダム共重合体を製造するに際して、得られる重
合体等の物性を損なわない範囲で、前記式[I]または
[I’]で表される環状オレフィン以外の環状オレフィ
ンを重合させることもできる。このような環状オレフィ
ンとしては、たとえば、 シクロブテン、 シクロペンテン、 シクロヘキセン、 3.4−ジメチルシクロヘキセン、 3−メチルシクロヘキセン、 2−(2−メチルブチル)−1−シクロヘキセン、2、
3.3a、 7a−テトラヒトo −4,7−メタノ−
IH−インデン、 3a、 5.6.7a−テトラヒトO−4,7−メタノ
−IH−インデンなどをあげることができる。このよう
な他の環状オレフィンは単独で、あるいは組み合わせて
使用することができ、通常、0〜50モル%の量で用い
られる。
ン系ランダム共重合体を製造するに際して、得られる重
合体等の物性を損なわない範囲で、前記式[I]または
[I’]で表される環状オレフィン以外の環状オレフィ
ンを重合させることもできる。このような環状オレフィ
ンとしては、たとえば、 シクロブテン、 シクロペンテン、 シクロヘキセン、 3.4−ジメチルシクロヘキセン、 3−メチルシクロヘキセン、 2−(2−メチルブチル)−1−シクロヘキセン、2、
3.3a、 7a−テトラヒトo −4,7−メタノ−
IH−インデン、 3a、 5.6.7a−テトラヒトO−4,7−メタノ
−IH−インデンなどをあげることができる。このよう
な他の環状オレフィンは単独で、あるいは組み合わせて
使用することができ、通常、0〜50モル%の量で用い
られる。
また本発明に係る光磁気記録媒体の基板には、上記[A
]および[B]酸成分他へ 衝撃強度を向上させるため
のゴム成分を配合したり、耐熱安定斉L 耐候安定舷
帯電防止舷 スリップ舷 アンチブロッキング斉L 防
曇舷 清純 染料、顔料、天然源 合成法 ワックスな
どを配合することができ、その配合割合は適宜量である
。たとえ番f1任意成分として配合される安定剤として
具体的に哄 テトラキス[メチレン−3(3,5−ジ−
t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート
コメタン、β−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロ
キシフェニル)プロピオン厳アルキルエステル、2.2
’−オキザミドビス[エチル−3(3,5−ジ−t−ブ
チル−4−ヒドロキシフェニル)コプロピオネートなど
のフェノール系酸化防止弁L ステアリン酸亜鉛、ステ
アリン酸カルシウム、12−ヒドロキシステアリン酸カ
ルシウムなどの脂肪酸金属塩、グリセリンモノステアレ
ート、グリセリンモノラウレート、グリセリンジステア
レート、ペンタエリスリトールモノステアレート、ペン
タエリスリトールジステアレート、ペンタエリスリトー
ルトリステアレート等の多価アルコールの脂肪酸エステ
ルなどを挙げることができる。これらは単独で配合して
もよいカー 組み合わせて配合してもよく、たとえI戴
テトラキス[メチレン−3(3゜5−ジ−t−ブチ
ル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネートコメタン
とステアリン酸亜鉛およびグリセリンモノステアレート
との組合せ等を例示することができる。
]および[B]酸成分他へ 衝撃強度を向上させるため
のゴム成分を配合したり、耐熱安定斉L 耐候安定舷
帯電防止舷 スリップ舷 アンチブロッキング斉L 防
曇舷 清純 染料、顔料、天然源 合成法 ワックスな
どを配合することができ、その配合割合は適宜量である
。たとえ番f1任意成分として配合される安定剤として
具体的に哄 テトラキス[メチレン−3(3,5−ジ−
t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート
コメタン、β−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロ
キシフェニル)プロピオン厳アルキルエステル、2.2
’−オキザミドビス[エチル−3(3,5−ジ−t−ブ
チル−4−ヒドロキシフェニル)コプロピオネートなど
のフェノール系酸化防止弁L ステアリン酸亜鉛、ステ
アリン酸カルシウム、12−ヒドロキシステアリン酸カ
ルシウムなどの脂肪酸金属塩、グリセリンモノステアレ
ート、グリセリンモノラウレート、グリセリンジステア
レート、ペンタエリスリトールモノステアレート、ペン
タエリスリトールジステアレート、ペンタエリスリトー
ルトリステアレート等の多価アルコールの脂肪酸エステ
ルなどを挙げることができる。これらは単独で配合して
もよいカー 組み合わせて配合してもよく、たとえI戴
テトラキス[メチレン−3(3゜5−ジ−t−ブチ
ル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネートコメタン
とステアリン酸亜鉛およびグリセリンモノステアレート
との組合せ等を例示することができる。
本発明では特に、フェノール系酸化防止剤および多価ア
ルコールの脂肪酸エステルとを組み合わせて用いること
が好ましく、該多価アルコールの脂肪酸エステルは3価
以上の多価アルコールのアルコール性水酸基の一部がエ
ステル化された多価アルコール脂肪酸エステルであるこ
とが好ましい。
ルコールの脂肪酸エステルとを組み合わせて用いること
が好ましく、該多価アルコールの脂肪酸エステルは3価
以上の多価アルコールのアルコール性水酸基の一部がエ
ステル化された多価アルコール脂肪酸エステルであるこ
とが好ましい。
このような多価アルコールの脂肪酸エステルとして6戴
具体的に11 グリセリンモノステアレート、グリ
セリンモノラウレート、グリセリンモノミリステート、
グリセリンモノパルミテート、グリセリンジステアレー
ト、グリセリンジラウレート等のグリセリン脂肪酸エス
テル、ペンタエリスリトールモノステアレート、ペンタ
エリスリトールモノラウレート、ペンタエリスリトール
ジラウレート、ペンタエリスリトールジステアレート、
ペンタエリスリトールトリステアレート等のペンタエリ
スリトールの脂肪酸エステルが用いられる。
具体的に11 グリセリンモノステアレート、グリ
セリンモノラウレート、グリセリンモノミリステート、
グリセリンモノパルミテート、グリセリンジステアレー
ト、グリセリンジラウレート等のグリセリン脂肪酸エス
テル、ペンタエリスリトールモノステアレート、ペンタ
エリスリトールモノラウレート、ペンタエリスリトール
ジラウレート、ペンタエリスリトールジステアレート、
ペンタエリスリトールトリステアレート等のペンタエリ
スリトールの脂肪酸エステルが用いられる。
このようなフェノール系酸化防止剤6戴 前記[A]酸
成分よび[B]酸成分合計重量100!量部に対して0
〜10重量部好ましくは0〜5重量部さらに好ましくは
0〜2重量部の量で用いら枳 また多価アルコールの脂
肪酸エステルは[A]酸成分よび[B]酸成分合計重量
100重量部に対して0〜10重量服 好ましくは0〜
5重量部の量で用いられる。
成分よび[B]酸成分合計重量100!量部に対して0
〜10重量部好ましくは0〜5重量部さらに好ましくは
0〜2重量部の量で用いら枳 また多価アルコールの脂
肪酸エステルは[A]酸成分よび[B]酸成分合計重量
100重量部に対して0〜10重量服 好ましくは0〜
5重量部の量で用いられる。
本発明に係る光磁気記録媒体の基板に頃 本発明の目的
を損なわない範囲で、シリカ、ケイ藻土、アルミ九 酸
化チタン、酸化マグネシウム、軽石粉、軽石バルーン、
水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、塩基性炭酸
マグネシウム、ドロマイト、硫酸カルシウム、チタン酸
カリウム、硫酸バリウム、亜硫酸カルシウム、タルク、
クレーマイカ、アスベスト、ガラス織縁 ガラスフレー
ク、ガラスピーズ、ケイ酸カルシウム、モンモリロナイ
ト、ベントナイト、グラファイト、アルミニウム粉、硫
化モリブデン、ボロン繊紙炭化ケイ素織縁 ポリエチレ
ン繊紙 ポリプロピレン織縁 ポリエステル織縁 ポリ
アミド繊維等の充填剤を配合してもよい。
を損なわない範囲で、シリカ、ケイ藻土、アルミ九 酸
化チタン、酸化マグネシウム、軽石粉、軽石バルーン、
水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、塩基性炭酸
マグネシウム、ドロマイト、硫酸カルシウム、チタン酸
カリウム、硫酸バリウム、亜硫酸カルシウム、タルク、
クレーマイカ、アスベスト、ガラス織縁 ガラスフレー
ク、ガラスピーズ、ケイ酸カルシウム、モンモリロナイ
ト、ベントナイト、グラファイト、アルミニウム粉、硫
化モリブデン、ボロン繊紙炭化ケイ素織縁 ポリエチレ
ン繊紙 ポリプロピレン織縁 ポリエステル織縁 ポリ
アミド繊維等の充填剤を配合してもよい。
本発明において、基板として上記のような環状オレフィ
ン系ランダム共重合体または環状オレフィン系ランダム
共重合体組成物を用いると、理由は定かではないカt
記録感度が特に優れているという特長を有する。またこ
の環状オレフィン系ランダム共重合体または該共重合体
を含む組成物からなる基板と記録層積層体とは密着性に
優れており、 したがって記録膜は長期安定性に優れる
とともに記録膜の酸化が効果的に防止される。したがっ
てこの環状オレフィン系ランダム共重合体からなる基板
上に記録膜を積層してなる光記録媒体:戴記録感度に優
へ また耐久性および長期安定性にも優れている。また
本発明に係る光記録媒体は反りがなく割れが生ずること
がない。
ン系ランダム共重合体または環状オレフィン系ランダム
共重合体組成物を用いると、理由は定かではないカt
記録感度が特に優れているという特長を有する。またこ
の環状オレフィン系ランダム共重合体または該共重合体
を含む組成物からなる基板と記録層積層体とは密着性に
優れており、 したがって記録膜は長期安定性に優れる
とともに記録膜の酸化が効果的に防止される。したがっ
てこの環状オレフィン系ランダム共重合体からなる基板
上に記録膜を積層してなる光記録媒体:戴記録感度に優
へ また耐久性および長期安定性にも優れている。また
本発明に係る光記録媒体は反りがなく割れが生ずること
がない。
このような基板1の厚みは特に限定されないカー好まし
くは0.5〜51特に好ましくは1〜2鰭である。
くは0.5〜51特に好ましくは1〜2鰭である。
保」1聰
本発明に係る光磁気記録媒体10で用いられる保護膜2
if、SiN、、Z n S、 Z n S e、
Cd S。
if、SiN、、Z n S、 Z n S e、
Cd S。
Si、ApNなどで示される組成の膜から形成されてお
り、このうちSiN、膜が特に好ましい。
り、このうちSiN、膜が特に好ましい。
SiNxで示される保護膜では、 O<x≦473であ
ることが好ましく、具体的には、5r3NaC四窒化三
ケイ素)などの窒化ケイ素膜あるいは0くx<4/3と
なるようにSi3N、とSiとを混合した混合膜が特に
好ましく用いられる。このようなSiN、で示される保
護膜は、たとえばターゲットとして、 Si、N、また
は、 5i3NaとSiとを用いて、スパッタリング法
により成膜することができる。このようなSiN、から
なる保護膜2は、通常2.0以上の屈折率を有している
ことが好ましく、後述する光磁気記録膜3を酸化などが
ら保護する働き、あるいは光磁気記録膜の記録特性を高
めるエンハンス膜としての働き、あるいはその両方の働
きをしている。またS jN、(0<x≦4/3)から
なる保護膜1戴 特に耐クランク性に優れている。
ることが好ましく、具体的には、5r3NaC四窒化三
ケイ素)などの窒化ケイ素膜あるいは0くx<4/3と
なるようにSi3N、とSiとを混合した混合膜が特に
好ましく用いられる。このようなSiN、で示される保
護膜は、たとえばターゲットとして、 Si、N、また
は、 5i3NaとSiとを用いて、スパッタリング法
により成膜することができる。このようなSiN、から
なる保護膜2は、通常2.0以上の屈折率を有している
ことが好ましく、後述する光磁気記録膜3を酸化などが
ら保護する働き、あるいは光磁気記録膜の記録特性を高
めるエンハンス膜としての働き、あるいはその両方の働
きをしている。またS jN、(0<x≦4/3)から
なる保護膜1戴 特に耐クランク性に優れている。
本発明において、保護膜2の膜厚は500〜2000人
、好ましくは800〜1SoO人程度であることが望ま
しい。
、好ましくは800〜1SoO人程度であることが望ま
しい。
本発明において代 保護膜の膜厚を上記のような範囲に
することによって、良好なC/N比と広い記録パワーマ
ージンを有する光磁気記録媒体を得ることができる。
することによって、良好なC/N比と広い記録パワーマ
ージンを有する光磁気記録媒体を得ることができる。
光JLλ糞ii聰
光磁気記録膜3は、 (i)3d遷移金属から選ばれる
少なくとも1種と、 (1ii)希土類から選ばれる少
なくとも1種の元素とからなるか、あるいは(i)3d
遷移金属から選ばれる少なくとも1種と、 (ii)耐
腐食性金属と、 (1ii)希土類から選ばれる少なく
とも1種の元素とからなっている。
少なくとも1種と、 (1ii)希土類から選ばれる少
なくとも1種の元素とからなるか、あるいは(i)3d
遷移金属から選ばれる少なくとも1種と、 (ii)耐
腐食性金属と、 (1ii)希土類から選ばれる少なく
とも1種の元素とからなっている。
このうち(i)3d遷移金属から選ばれる少なくとも1
種と、 (11)耐腐食性金属と、 (iii)希土類
から選ばれる少なくとも1種の元素とからなる光磁気記
録膜が好ましい。
種と、 (11)耐腐食性金属と、 (iii)希土類
から選ばれる少なくとも1種の元素とからなる光磁気記
録膜が好ましい。
(i)3d遷移金属としては、Fe、 Co、 T
i、Vl Cr、Mn、、Ni、CuS Znなどが用
いられる力で1 このうちFeまたはCoあるいはこ
の両者であることが好ましい。
i、Vl Cr、Mn、、Ni、CuS Znなどが用
いられる力で1 このうちFeまたはCoあるいはこ
の両者であることが好ましい。
この3d遷移金属は、光磁気記録膜中に好ましくは20
〜90原子%、より好ましくは30〜85原子%、とく
に好ましくは35〜80原子%の量で存在している。
〜90原子%、より好ましくは30〜85原子%、とく
に好ましくは35〜80原子%の量で存在している。
(ii)耐腐食性金属は、光磁気記録膜に含ませること
によって、この光磁気記録膜の耐酸化性を高めることが
できる。このような耐腐食性金属としては、Pt、Pd
、Ti、Zr、Ta、Nbなどが用いられるが、このう
ちP tSP d、 T iカ好ましくとくにPtま
たはPdあるいはこの両者であることが好ましい。
によって、この光磁気記録膜の耐酸化性を高めることが
できる。このような耐腐食性金属としては、Pt、Pd
、Ti、Zr、Ta、Nbなどが用いられるが、このう
ちP tSP d、 T iカ好ましくとくにPtま
たはPdあるいはこの両者であることが好ましい。
この耐腐食性金属は、光磁気記録膜中に、30原子%以
下、好ましくは5〜25原子%、とくには10〜25!
JF、千%、さらに好ましくは10〜20原子%の量で
存在している。
下、好ましくは5〜25原子%、とくには10〜25!
JF、千%、さらに好ましくは10〜20原子%の量で
存在している。
希土類元素としては、下記のような元素が挙げられる。
GdS Tb、 DyS Ho、 Er、 Tm
、 Yb。
、 Yb。
Lu La、 Ce、 Pr、 Nd、 P
m、 Sm。
m、 Sm。
u
このうちGd、 Tb、 Dy、 Ho、 N
d55m5Prが好ましく用いられる。
d55m5Prが好ましく用いられる。
上記のような群から選ばれる少なくとも1種の希土類元
素+4 光磁気記録膜中く 好ましくは5〜50原子
%、さらに好ましくは8〜45JPC子%とくに好まし
くは10〜40原子%の量で存在している。
素+4 光磁気記録膜中く 好ましくは5〜50原子
%、さらに好ましくは8〜45JPC子%とくに好まし
くは10〜40原子%の量で存在している。
本発明では、光磁気記録膜力で、特を−下記に記載する
ような組成を有することが好ましい。
ような組成を有することが好ましい。
(i)3d遷移元素
本発明に係る光磁気記録膜中にjL(i)3d遷移元素
として、好ましくはFeまたはCOあるいはこの両者が
含まれており、Feおよび/またはCot戴40原子%
以上80J]K子%以下、好ましくは40原子%以上7
5原子%未鳳 さらに好ましくは40JX子%以上59
原子%以下の量で存在していることが望ましい。
として、好ましくはFeまたはCOあるいはこの両者が
含まれており、Feおよび/またはCot戴40原子%
以上80J]K子%以下、好ましくは40原子%以上7
5原子%未鳳 さらに好ましくは40JX子%以上59
原子%以下の量で存在していることが望ましい。
さらにFeおよび/またはCoは、Co/(Fe十Co
)比[原子比]が0以上0.3以下、好ましくは0以上
0.2以下、さらに好ましくは0.01以上0.2以下
であるような量で、光磁気記録膜中に存在していること
が望ましい。
)比[原子比]が0以上0.3以下、好ましくは0以上
0.2以下、さらに好ましくは0.01以上0.2以下
であるような量で、光磁気記録膜中に存在していること
が望ましい。
Feおよび/またはCoの量が40原子%以上で80W
子%以下の範囲にあると、耐酸化性に優ねかつ膜面に垂
直な方向に磁化容易軸をもった光磁気記録膜が得られる
という利点を有する。
子%以下の範囲にあると、耐酸化性に優ねかつ膜面に垂
直な方向に磁化容易軸をもった光磁気記録膜が得られる
という利点を有する。
ところで光磁気記録膜中に、COを添加すると、(イ)
光磁気記録膜のキュリー点が上昇し また(口)カー回
転角(θk)が大きくなるという現象が認めら汰 その
結%Coの添加量により、光磁気記録膜の記録感度を調
整することができ、しかもCoの添加により、再生信号
のキャリアレベルを増加することができる。本発明に係
る光磁気記録膜では、ノイズレベル、C/N比の点から
Co/(Fe+Co)比[ff子比コは0以上0.3以
下、好ましくは0以上0.2以下、さらに好ましくは0
.01以上0.2以下であることが望ましい。
光磁気記録膜のキュリー点が上昇し また(口)カー回
転角(θk)が大きくなるという現象が認めら汰 その
結%Coの添加量により、光磁気記録膜の記録感度を調
整することができ、しかもCoの添加により、再生信号
のキャリアレベルを増加することができる。本発明に係
る光磁気記録膜では、ノイズレベル、C/N比の点から
Co/(Fe+Co)比[ff子比コは0以上0.3以
下、好ましくは0以上0.2以下、さらに好ましくは0
.01以上0.2以下であることが望ましい。
このような本発明に用いる光磁気記録膜は、記録および
消去を繰り返し行なっても、膜変質が生ずることはない
。たとえば本発明に係るP t 13T b2@F e
ssCO@なる組成を有する光磁気記録膜+L10万回
の記録および消去を繰り返し行なってもC/N比の低下
は認められない。
消去を繰り返し行なっても、膜変質が生ずることはない
。たとえば本発明に係るP t 13T b2@F e
ssCO@なる組成を有する光磁気記録膜+L10万回
の記録および消去を繰り返し行なってもC/N比の低下
は認められない。
(ii)耐腐食性金属
本発明に用いる光磁気記録膜中には、 (ii)耐腐食
性金属として、好ましくはPtまたはPdあるいはこの
両者が含まれており、ptおよび/またはPdは、光磁
気記録膜中に5〜30原子%、好ましくは1o原子%を
超えて30原子%以下、さらに好ましくは10原子%を
超えて20i子%未滌 最も好ましくは11原子%以上
19原子%以下の量で存在していることが望ましい。
性金属として、好ましくはPtまたはPdあるいはこの
両者が含まれており、ptおよび/またはPdは、光磁
気記録膜中に5〜30原子%、好ましくは1o原子%を
超えて30原子%以下、さらに好ましくは10原子%を
超えて20i子%未滌 最も好ましくは11原子%以上
19原子%以下の量で存在していることが望ましい。
光磁気記録膜中のptおよび/またはPdの量が5原子
%以ム 特に10原子%を超えて存在すると、光磁気記
録膜の耐酸化性に優枳 長期間使用しても孔食が発生せ
ず、C/N比も劣化しないという利点を有する。
%以ム 特に10原子%を超えて存在すると、光磁気記
録膜の耐酸化性に優枳 長期間使用しても孔食が発生せ
ず、C/N比も劣化しないという利点を有する。
たとえばP t、、 T b2. F ess COs
あるいはP d12T b2@F essCO7で示さ
れる組成を有する本発明に係る光磁気記録膜は、相対湿
度85%、80℃の環境下に1000時間保持しても、
C/N比は全く変化しない。これに対してptまたはP
dを含まないT b25F e、、Co、で示される組
成を有する光磁気記録膜は、相対湿度85%、80℃の
環境下に1000時間保持すると、C/N比は大きく低
下する。
あるいはP d12T b2@F essCO7で示さ
れる組成を有する本発明に係る光磁気記録膜は、相対湿
度85%、80℃の環境下に1000時間保持しても、
C/N比は全く変化しない。これに対してptまたはP
dを含まないT b25F e、、Co、で示される組
成を有する光磁気記録膜は、相対湿度85%、80℃の
環境下に1000時間保持すると、C/N比は大きく低
下する。
また光磁気記録膜中にptおよび/またはPdを上記の
ような範囲の量で添加することにより、光磁気記録膜に
情報を記録したりあるいは情報を読出す際に、/JXさ
なバイアス磁界で充分に高いC/N比が得られる。小さ
なバイアス−磁界で充分に高いC/N比が得られると、
バイアス磁界発生用のマグネットを/I)さくすること
ができ、しかもマグネットからの発熱も押えることがで
きるため、光磁気記録膜を有する光ディスクのドライブ
装置を簡素化することができる。しかも小さなバイアス
磁界で充分に大きなC/N比が得られるため、オーバー
ライド可能な磁界変調記録用のマグネットの紋針も容易
となる。
ような範囲の量で添加することにより、光磁気記録膜に
情報を記録したりあるいは情報を読出す際に、/JXさ
なバイアス磁界で充分に高いC/N比が得られる。小さ
なバイアス−磁界で充分に高いC/N比が得られると、
バイアス磁界発生用のマグネットを/I)さくすること
ができ、しかもマグネットからの発熱も押えることがで
きるため、光磁気記録膜を有する光ディスクのドライブ
装置を簡素化することができる。しかも小さなバイアス
磁界で充分に大きなC/N比が得られるため、オーバー
ライド可能な磁界変調記録用のマグネットの紋針も容易
となる。
(1ii)希土類元素(RE)
本発明に係る光磁気記録膜中に代 希土類元素(RE)
が含まれており、この希土類元素としてij Nd、
5rrL、Pr、 Ce; Eu、 Gd、
Tb。
が含まれており、この希土類元素としてij Nd、
5rrL、Pr、 Ce; Eu、 Gd、
Tb。
DyまたはHOが用いられる。
これらの中では、NdS Pr、Gd、Tb。
DYが好ましく、用いらね 特にTbが好ましい。
また希土類元素は2種以上併用してもよく、この場合に
Tbを希土類元素のうち50原子%以上含有しているこ
とが好ましい。
Tbを希土類元素のうち50原子%以上含有しているこ
とが好ましい。
この希土類元素頃 膜面に垂直な方向に磁化容易軸をも
った光磁気を得るという点からRE/(RE+Fe+C
o)比[W子比]をXで表わした場合E、 0.15
≦X≦0.45、好ましくは0.20≦X≦0.4であ
るような量で光磁気記録膜中に存在していることが望ま
しい。
った光磁気を得るという点からRE/(RE+Fe+C
o)比[W子比]をXで表わした場合E、 0.15
≦X≦0.45、好ましくは0.20≦X≦0.4であ
るような量で光磁気記録膜中に存在していることが望ま
しい。
本発明において1戯 光磁気記録膜に種々の元素を少量
添加して、キュリー温度や補償温度あるν)は保磁力H
eやカー回転角θにの改善あるいは低コスト化を計るこ
ともできる。これらの元素は、記録膜を構成する全厚子
数に対してたとえば10原子%未溝の割合で用いること
ができる。
添加して、キュリー温度や補償温度あるν)は保磁力H
eやカー回転角θにの改善あるいは低コスト化を計るこ
ともできる。これらの元素は、記録膜を構成する全厚子
数に対してたとえば10原子%未溝の割合で用いること
ができる。
併用できる他の元素の例として(戴 以下のような元素
が挙げられる。
が挙げられる。
(I)Fe、Co以外の3d遷移元素
呉体的には、Sc、 Ti、 V、 Cr、
Mn。
Mn。
N1、 Cu、Znが用いられる。
これらのうち、TiS Ni、Cu、Znなどが好まし
く用いられる。
く用いられる。
(n)Pd以外の4d遷移元素
具体的には、Y、 Zr5Nb、 Mo、Tc。
RuS Rh、AgS Cdが用いられる。
このうちZr、Nbが好ましく用いられる。
(m)Pt以外の5d遷移元素
具体的には、Hf、 Ta、 W、 Re、
Os。
Os。
Ir、Au、Hgが用いられる。
このうちTaが好ましく用いられる。
(rv)mB族元素
具体的にIL、 BSAQ、Ga、 In、Tgが
用いられる。
用いられる。
このうちBS Al15 Gaが好ましく用いられる。
(v)rvB族元素
具体的にIf、 C,5iSGe、 Sn、 P
bが用いられる。
bが用いられる。
このうち、Si、GeS Sn1 Pbが好ましく用い
られる。
られる。
(Vl)VB族元素
具体的には、N、PS AsS Sb、Biが用いられ
る。
る。
このうちsbが好ましく用いられる。
(■)VTB族元素
具体的には、SS Se、Te、Poが用いられる。
このうちTeが好ましく用いられる。
上記のような組成を有する光磁気記録膜は、膜面に垂直
な磁化容易軸を有し 多くはカー・ヒステリシスが良好
な角形ループを示す垂直磁気および光磁気記録可能な非
晶質薄膜となること力\ 広角X線回折などにより確か
められる。
な磁化容易軸を有し 多くはカー・ヒステリシスが良好
な角形ループを示す垂直磁気および光磁気記録可能な非
晶質薄膜となること力\ 広角X線回折などにより確か
められる。
なお本明細書において、カー・ヒステリシスが良好な角
形ループを示すと頃 最大外部磁場におけるカー回転角
である飽和カー回転角(θkl)と外部磁場ゼロにおけ
るカー回転角である残留カー回転角(θに2)との比θ
に2/θに、が龜8以上であることを意味している。
形ループを示すと頃 最大外部磁場におけるカー回転角
である飽和カー回転角(θkl)と外部磁場ゼロにおけ
るカー回転角である残留カー回転角(θに2)との比θ
に2/θに、が龜8以上であることを意味している。
この光磁気記録膜の膜厚は100〜600人、好ましく
は100〜400人、より好ましくは150〜300人
程度である。
は100〜400人、より好ましくは150〜300人
程度である。
アルミニウム合金
本発明に係る光磁気記録媒体10では、上記のような光
磁気記録膜3上に、アルミニウム合金膜4が設けられて
いる。
磁気記録膜3上に、アルミニウム合金膜4が設けられて
いる。
このアルミニウム合金膜4は、アルミニウムと、アルミ
ニウム以外の少なくとも1種の元素を含んで構成されて
いる。
ニウム以外の少なくとも1種の元素を含んで構成されて
いる。
このようなアルミニウム合金として1戴 具体的には以
下のようなものが例示できる。
下のようなものが例示できる。
AQ−Cr合金(Cr含有量0.1〜10ffi子%)
、A11−Cu合金(Cu含有量0.1〜10原子%)
、Ag−Mn合金(Mn含有量0.1〜10原子%)、
AQ−Hf合金(Hf含有量0.1〜10ffit子%
)、AQ−Nb合金(Nb含有量0.1〜10原子%)
、AQ−B合金(B含有量0.1〜10y!、千%)、
AQ −T i合金(Ti含有量0.1−10原子%)
、AQ−Ti−Nb合金(Ti含有量0.1〜5原子%
、Nb含有量0.1〜5M子%)、 AQ−Ti−Hf合金(Ti含有量0.1〜5g、子%
、Hf含有量0.1〜10原子%)、Al1−Cr−H
f合金(Cr含有量0.1〜5原子%、Hf含有量0.
1〜10原子%)、AQ−Cr−Ti合金(Cr含有量
0.1〜5 ffl子%、Ti含有量0.1〜10W、
千%)、A9−Cr−Zr合金(Cr含有量0.1〜5
原子%、Zr含有量0.1〜10W子%)、Aff −
T 1−Nb合金(Ti含有量0.1〜5原子%、Nb
含有量0.1〜5原子%)、 AQ−Ni合金(Ni含有量0.1〜10原子%)、A
Q−Mg合金(Mg含有量0.1〜10原子%)、Ag
−Mg−Ti合金(Mg含有量0.1〜10原子%、T
i含有量0.1〜10原子%)、As−Mg−Cr合金
(Mg含有量0.1〜10原子%、Cr含有量0.1〜
10y!、千%)、AQ−Mg−Hf合金(Mg含有量
0.1〜10原子%、Hf含有量0.1〜1ON、千%
)、A9−3 e合金(Se含有量0.1〜10原子%
)、Am−Zr合金(Zr含有量0.1〜10原子%)
、Ag−Ta合金(Ta含有量0.1〜10J11を子
%)、AQ−Ta−Hf合金(Ta含有量0.1〜10
原子%、Hf含有量0.1〜10原子%)、AN−Si
合金(Si含有量0.1〜10ff子%)、AQ−Ag
合金(Ag含有量0.1〜10原子%)、AQ−Pd合
金(Pd含有量0.1〜10原子%)、A11−Pt合
金(pt含有量0.1〜10原子%)。
、A11−Cu合金(Cu含有量0.1〜10原子%)
、Ag−Mn合金(Mn含有量0.1〜10原子%)、
AQ−Hf合金(Hf含有量0.1〜10ffit子%
)、AQ−Nb合金(Nb含有量0.1〜10原子%)
、AQ−B合金(B含有量0.1〜10y!、千%)、
AQ −T i合金(Ti含有量0.1−10原子%)
、AQ−Ti−Nb合金(Ti含有量0.1〜5原子%
、Nb含有量0.1〜5M子%)、 AQ−Ti−Hf合金(Ti含有量0.1〜5g、子%
、Hf含有量0.1〜10原子%)、Al1−Cr−H
f合金(Cr含有量0.1〜5原子%、Hf含有量0.
1〜10原子%)、AQ−Cr−Ti合金(Cr含有量
0.1〜5 ffl子%、Ti含有量0.1〜10W、
千%)、A9−Cr−Zr合金(Cr含有量0.1〜5
原子%、Zr含有量0.1〜10W子%)、Aff −
T 1−Nb合金(Ti含有量0.1〜5原子%、Nb
含有量0.1〜5原子%)、 AQ−Ni合金(Ni含有量0.1〜10原子%)、A
Q−Mg合金(Mg含有量0.1〜10原子%)、Ag
−Mg−Ti合金(Mg含有量0.1〜10原子%、T
i含有量0.1〜10原子%)、As−Mg−Cr合金
(Mg含有量0.1〜10原子%、Cr含有量0.1〜
10y!、千%)、AQ−Mg−Hf合金(Mg含有量
0.1〜10原子%、Hf含有量0.1〜1ON、千%
)、A9−3 e合金(Se含有量0.1〜10原子%
)、Am−Zr合金(Zr含有量0.1〜10原子%)
、Ag−Ta合金(Ta含有量0.1〜10J11を子
%)、AQ−Ta−Hf合金(Ta含有量0.1〜10
原子%、Hf含有量0.1〜10原子%)、AN−Si
合金(Si含有量0.1〜10ff子%)、AQ−Ag
合金(Ag含有量0.1〜10原子%)、AQ−Pd合
金(Pd含有量0.1〜10原子%)、A11−Pt合
金(pt含有量0.1〜10原子%)。
アルミニウム合金としては、特に以下のようなもの力ζ
光磁気記録媒体の線速依存性が小さくかつ耐腐食性に
優れているので好ましい。
光磁気記録媒体の線速依存性が小さくかつ耐腐食性に
優れているので好ましい。
ハフニウム0.1〜10原子%を含むアルミニウム合金
、 ニオブ0.1〜10原子%を含むアルミニウム合金、チ
タン0.5〜5原子%とハフニウム0.5〜5原子%を
含へ チタンとハフニウムの合計含有量が1〜5.5原
子%であるアルミニウム合金、クロム0.1〜5原子%
とチタン0.1〜9.5原子%を含入 クロムとチタン
の合計含有量が10原子%以下であるアルミニウム合金
、 クロム0.1〜5原子%とチタン0,1〜9.5原子%
とハフニウム0.1〜9.5原子%とを合本 クロムと
チタンとハフニウムの合計含有量が10原子%以下であ
るアルミニウム合金、 マグネシウム0.1〜10原子%とクロム0.1〜10
原子%を含入 マグネシウムとクロムの合計含有量が1
5原子%以下であるアルミニウム合金、クロム0.1〜
5原子%とハフニウム0.1〜9.5原子%ヲ合本
クロムとハフニウムの合計含有量が10原子%以下であ
るアルミニウム合金、 マグネシウム0.1〜10原子%とハフニウム0.1〜
10原子%を合本 マグネシウムとハフニウムの合計含
有量が15原子%以下であるアルミニウム合金、クロム
0.1〜5原子%とジルコニウム0.1〜9.5原子%
を含& クロムとジルコニウムの合計含有量が10原
子%以下であるアルミニウム合金、タンタル0.1〜1
0原子%とハフニウム0.1〜10g。
、 ニオブ0.1〜10原子%を含むアルミニウム合金、チ
タン0.5〜5原子%とハフニウム0.5〜5原子%を
含へ チタンとハフニウムの合計含有量が1〜5.5原
子%であるアルミニウム合金、クロム0.1〜5原子%
とチタン0.1〜9.5原子%を含入 クロムとチタン
の合計含有量が10原子%以下であるアルミニウム合金
、 クロム0.1〜5原子%とチタン0,1〜9.5原子%
とハフニウム0.1〜9.5原子%とを合本 クロムと
チタンとハフニウムの合計含有量が10原子%以下であ
るアルミニウム合金、 マグネシウム0.1〜10原子%とクロム0.1〜10
原子%を含入 マグネシウムとクロムの合計含有量が1
5原子%以下であるアルミニウム合金、クロム0.1〜
5原子%とハフニウム0.1〜9.5原子%ヲ合本
クロムとハフニウムの合計含有量が10原子%以下であ
るアルミニウム合金、 マグネシウム0.1〜10原子%とハフニウム0.1〜
10原子%を合本 マグネシウムとハフニウムの合計含
有量が15原子%以下であるアルミニウム合金、クロム
0.1〜5原子%とジルコニウム0.1〜9.5原子%
を含& クロムとジルコニウムの合計含有量が10原
子%以下であるアルミニウム合金、タンタル0.1〜1
0原子%とハフニウム0.1〜10g。
千%とを含入 タンタルとハフニウムの合計含有量が1
5原子%以下であるアルミニウム合金、チタン0.5〜
5M子%とニオブ0.5〜5原子%を含入 チタンとニ
オブの合計含有量が1〜5.5原子%であるアルミニウ
ム合金、 マグネシウム0.1〜10原子%とチタン0.1〜10
原子%を合本 マグネシウムとチタンの合計含有量が
15原子%以下であるアルミニウム合金、マグネシウム
0.1〜10原子%とチタン0.1〜10原子%とを含
入 かつマグネシウムとチタンの合計含有量が15原子
%以下であるアルミニウム合金、マグネシウム0.1〜
10原子%とハフニウム0.1〜10原子%とチタン0
゜1〜10原子%とを含入 かつマグネシウムとハフニ
ウムとチタンの合計含有量が15J11(子%以下であ
るアルミニウム合金、マグネシウム0.1〜10遼子%
とハフニウム0.1〜10原子%とクロム10原子%以
下とを含べ かつマグネシウムとハフニウムとクロムと
の合計含有量が15原子%以下であるアルミニウム合金
、マグネシウム0.1〜10原子%とチタン0.1〜1
0原子%とクロム10ffi子%以下とを含べ かつマ
グネシウムとチタンとクロムとの合計含有量が15W子
%以下であるアルミニウム合金、 マグネシウム0.1〜10W子%とハフニウムO21〜
10g、子%とチタン0.1〜10W、子%とクロム1
0原子%以下とを含ん かつマグネシウムと71フニウ
ムとチタンとクロムとの合計含有量が15原子%以下で
あるアルミニウム合也 また上記のようなアルミニウム合金膜は、それぞれのア
ルミニウム合金膜を構成する金属以外に下記のような金
属(元素)を1種または2種以上含ませることもできる
。このような金属として(戴たとえば、チタン(Ti)
、クロム(Cr)、シリコン(Si)、タンタル(Ta
)、銅(Cu)、タングステン(W)、ジルコニウム(
zr)、マンガン(Mn)、マグネシウム(Mg)、バ
ナジウム(V)などが挙げら蜆 このような他の金属は
通常5i子%以下好ましくは2原子%以下の量で含まれ
る。 (ただ獣 アルミニウム合金膜に頃上記に例示す
るような金属(元素)のうち、既にアルミニウム合金膜
に含まれている金属(元素)をさらに上記の量で重ねて
含ませることはないものとする。たとえば、アルミニウ
ム合金膜を構成するアルミニウム合金が、上記したAQ
−T i合金、Ag−Ti−Hf合金等である場合には
、上記の金属(元素)のうちでチタン(TI)がさらに
上記のような量で上記アルミニウム合金中に含まれるこ
とはない。) このようなアルミニウム合金膜4の膜厚は、100〜5
000人好ましくは500〜3000人さらに好ましく
は700〜2000人程度であることが望ましい。
5原子%以下であるアルミニウム合金、チタン0.5〜
5M子%とニオブ0.5〜5原子%を含入 チタンとニ
オブの合計含有量が1〜5.5原子%であるアルミニウ
ム合金、 マグネシウム0.1〜10原子%とチタン0.1〜10
原子%を合本 マグネシウムとチタンの合計含有量が
15原子%以下であるアルミニウム合金、マグネシウム
0.1〜10原子%とチタン0.1〜10原子%とを含
入 かつマグネシウムとチタンの合計含有量が15原子
%以下であるアルミニウム合金、マグネシウム0.1〜
10原子%とハフニウム0.1〜10原子%とチタン0
゜1〜10原子%とを含入 かつマグネシウムとハフニ
ウムとチタンの合計含有量が15J11(子%以下であ
るアルミニウム合金、マグネシウム0.1〜10遼子%
とハフニウム0.1〜10原子%とクロム10原子%以
下とを含べ かつマグネシウムとハフニウムとクロムと
の合計含有量が15原子%以下であるアルミニウム合金
、マグネシウム0.1〜10原子%とチタン0.1〜1
0原子%とクロム10ffi子%以下とを含べ かつマ
グネシウムとチタンとクロムとの合計含有量が15W子
%以下であるアルミニウム合金、 マグネシウム0.1〜10W子%とハフニウムO21〜
10g、子%とチタン0.1〜10W、子%とクロム1
0原子%以下とを含ん かつマグネシウムと71フニウ
ムとチタンとクロムとの合計含有量が15原子%以下で
あるアルミニウム合也 また上記のようなアルミニウム合金膜は、それぞれのア
ルミニウム合金膜を構成する金属以外に下記のような金
属(元素)を1種または2種以上含ませることもできる
。このような金属として(戴たとえば、チタン(Ti)
、クロム(Cr)、シリコン(Si)、タンタル(Ta
)、銅(Cu)、タングステン(W)、ジルコニウム(
zr)、マンガン(Mn)、マグネシウム(Mg)、バ
ナジウム(V)などが挙げら蜆 このような他の金属は
通常5i子%以下好ましくは2原子%以下の量で含まれ
る。 (ただ獣 アルミニウム合金膜に頃上記に例示す
るような金属(元素)のうち、既にアルミニウム合金膜
に含まれている金属(元素)をさらに上記の量で重ねて
含ませることはないものとする。たとえば、アルミニウ
ム合金膜を構成するアルミニウム合金が、上記したAQ
−T i合金、Ag−Ti−Hf合金等である場合には
、上記の金属(元素)のうちでチタン(TI)がさらに
上記のような量で上記アルミニウム合金中に含まれるこ
とはない。) このようなアルミニウム合金膜4の膜厚は、100〜5
000人好ましくは500〜3000人さらに好ましく
は700〜2000人程度であることが望ましい。
このアルミニウム合金膜4は、熱良伝導体層としての機
能を果たしており、このアルミニウム合金膜が存在する
ことによって記録層が記録レーザ光によって過度に高温
になることが防止さ蜆 その結果 記録パワーの線速依
存性が小さくなると考えられる。
能を果たしており、このアルミニウム合金膜が存在する
ことによって記録層が記録レーザ光によって過度に高温
になることが防止さ蜆 その結果 記録パワーの線速依
存性が小さくなると考えられる。
また本発明におけるアルミニウム合金膜は、耐腐食性に
優れているため、長期間使用した後においても、記録媒
体の線速依存性がtJ・さいという特徴を有しており、
記録層に対する保護作用にも優れている。
優れているため、長期間使用した後においても、記録媒
体の線速依存性がtJ・さいという特徴を有しており、
記録層に対する保護作用にも優れている。
三ム文」」シ創甥
本発明に係る光磁気記録媒体10では、上記のようなア
ルミニウム合金膜4上に、 ニッケル合金膜5が設けら
れている。
ルミニウム合金膜4上に、 ニッケル合金膜5が設けら
れている。
このニッケル合金膜51戯 ニッケルと、ニッケル以
外の少なくとも1種の元素を含んで構成されている。
外の少なくとも1種の元素を含んで構成されている。
このようなニッケル合金としては、具体的には、下記の
ような合金を用いることができる。
ような合金を用いることができる。
Ni−Cr系合金(たとえば30〜99原子%Ni、1
〜70原子%Cr、 特に好ましくは70〜95ff
l子%Ni、5〜30W子%Cr)Ni−Si系合金(
たとえば85N、子%Ni110m子%Si、3原子%
Cu、2原子%A)Ni−Cu系合金(たとえば63厚
子%Ni。
〜70原子%Cr、 特に好ましくは70〜95ff
l子%Ni、5〜30W子%Cr)Ni−Si系合金(
たとえば85N、子%Ni110m子%Si、3原子%
Cu、2原子%A)Ni−Cu系合金(たとえば63厚
子%Ni。
29〜30Jli(子%Cu、0.9〜2ff子%Fe
。
。
0.1〜4原子%Si、O〜2.75J]i!子%A)
Ni−Mo−Fe系合金(たとえば60〜65原子%N
i、25〜35原子%MO15原子%Fe) Ni−Mo−Fe−Cr系合金(たとえば55〜60原
子%Ni、15〜20原子%Mo、6原子%Fe、
12〜16JPC子%Cr、5原子%W)Ni−Mo−
Fe−Cr−Cu系合金(たとえば60原子%Ni15
原子%Mo18原子%F e。
Ni−Mo−Fe系合金(たとえば60〜65原子%N
i、25〜35原子%MO15原子%Fe) Ni−Mo−Fe−Cr系合金(たとえば55〜60原
子%Ni、15〜20原子%Mo、6原子%Fe、
12〜16JPC子%Cr、5原子%W)Ni−Mo−
Fe−Cr−Cu系合金(たとえば60原子%Ni15
原子%Mo18原子%F e。
21原子%Cr、3i子%Cu、1fJi1.子%S
i。
i。
1原子%Mn、1原子%W1 あるいは44〜47原
子%Ni、 5.5〜7.5原子%Mo、21〜23
原子%Cr、0.15原子%Cu、1原子%Si、1〜
2原子%Mn、2.5N、子%C011原子%W11.
7〜2.5ffl子%N b、 残部Fe)Ni−C
r−Cu−Mo系合金(たとえば56〜57原子%Ni
、23〜24i子%Cr、8yK子%Cu、4[子%M
O12yK子%W、 1原子%SiまたはM n ) Ni−Cr−Fe系合金(たとえば79.5N子%Ni
113JjC子%Cu、6.5原子%F e。
子%Ni、 5.5〜7.5原子%Mo、21〜23
原子%Cr、0.15原子%Cu、1原子%Si、1〜
2原子%Mn、2.5N、子%C011原子%W11.
7〜2.5ffl子%N b、 残部Fe)Ni−C
r−Cu−Mo系合金(たとえば56〜57原子%Ni
、23〜24i子%Cr、8yK子%Cu、4[子%M
O12yK子%W、 1原子%SiまたはM n ) Ni−Cr−Fe系合金(たとえば79.5N子%Ni
113JjC子%Cu、6.5原子%F e。
0.2原子%Cu、 あるいは30〜34原子%Ni
、19〜22原子%Cr、0.5J]iE子%Cu、1
原子%Si、1.5原子%Mn、 残部Fe)これら
のうち特にNi−Cr系合金膜が好ましく用いられる。
、19〜22原子%Cr、0.5J]iE子%Cu、1
原子%Si、1.5原子%Mn、 残部Fe)これら
のうち特にNi−Cr系合金膜が好ましく用いられる。
このようなニッケル合金膜5の膜厚+4200〜5oo
o人好ましくは300〜3000人さらに好ましくは5
00〜2000人程度であることが望ましい。
o人好ましくは300〜3000人さらに好ましくは5
00〜2000人程度であることが望ましい。
上記のようなニッケル合金膜5を有する本発明の光磁気
記録媒体哄 ソリが小さいなど機械的特性に優れている
。
記録媒体哄 ソリが小さいなど機械的特性に優れている
。
なお本発明に係る光磁気記録媒体10で檄 上記のよう
なアルミニウム合金膜4とニッケル合金膜5との聞く
保護膜を有していてもよい。このような保護膜としてL
上記したような保護膜2と同様なものが用いられる
。
なアルミニウム合金膜4とニッケル合金膜5との聞く
保護膜を有していてもよい。このような保護膜としてL
上記したような保護膜2と同様なものが用いられる
。
最外層であるニッケル合金層の上にオーバーコートを施
してもよい。オーバーコート剤として頃紫外線硬化樹脂
、例えばアクリル型紫外線硬化樹脂が用いら瓢 通常、
1〜100μm程度の膜厚にコートされる。また、保
護膜とは反対側の基板上にトップコートを施してもよい
。
してもよい。オーバーコート剤として頃紫外線硬化樹脂
、例えばアクリル型紫外線硬化樹脂が用いら瓢 通常、
1〜100μm程度の膜厚にコートされる。また、保
護膜とは反対側の基板上にトップコートを施してもよい
。
本発明に係る光磁気記録媒体1014 基板上く保護
膜 光磁気記録膜 アルミニウム合金層 ニッケル合金
膜を、たとえば真空蒸着法、スパッタリング法あるいは
電子ビーム蒸着法などの成膜法を採用して成膜すること
によって製造することができる。
膜 光磁気記録膜 アルミニウム合金層 ニッケル合金
膜を、たとえば真空蒸着法、スパッタリング法あるいは
電子ビーム蒸着法などの成膜法を採用して成膜すること
によって製造することができる。
i尻pIJ
本発明に係る光磁気記録媒体哄 基板上に保護膜 光磁
気記録膜 アルミニウム合金膜などニッケル合金膜を有
獣 かつ基板上に保護膜 光磁気記録膜 アルミニウム
合金層 ニッケル合金膜がこの順序で積層されているの
で、ソリが小さいなど機械的特性に優蜆 記録パワーの
線速依存性が小さく、かつ記録パワーマージンが広く、
シかも耐酸化性および記録感度に優れている。
気記録膜 アルミニウム合金膜などニッケル合金膜を有
獣 かつ基板上に保護膜 光磁気記録膜 アルミニウム
合金層 ニッケル合金膜がこの順序で積層されているの
で、ソリが小さいなど機械的特性に優蜆 記録パワーの
線速依存性が小さく、かつ記録パワーマージンが広く、
シかも耐酸化性および記録感度に優れている。
[実施例コ
以下本発明を実施例によって説明するカー 本発明はこ
れら実施例に限定されるものではない。
れら実施例に限定されるものではない。
以下DMONと略記する)の非品性の共重合体(13C
−NMR分析で測定したエチレン含量59モル%、DM
ON含量41モル%、135℃デカリン中で測定した極
限粘度[lコが0.42dl/ g、軟化温度(TMA
) 154℃)からなる基板上&へ 厚さ1100人の
Si2N4からなる保護膜と、厚さ300^のPt、。
−NMR分析で測定したエチレン含量59モル%、DM
ON含量41モル%、135℃デカリン中で測定した極
限粘度[lコが0.42dl/ g、軟化温度(TMA
) 154℃)からなる基板上&へ 厚さ1100人の
Si2N4からなる保護膜と、厚さ300^のPt、。
T b2@F essc o2からなる光磁気記録膜と
を順次スパッタリング法により積層し この記録膜上に
アルミニウムーチタン−ハフニウムの複合ターゲットを
用いてスパッタリング法によって、厚さ2000人のア
ルミニウムーチタン−ハフニウム合金からなるアルミニ
ウム合金層を積層した 得られたアルミニウム合金層を
構成するアルミニウム合金(層)中のチタンの含有量は
1y!、子%であり、ハフニウムの含有量は2原子%で
あった さらくこのアルミニウム合金層上に、ニッケル
ークロムの複合ターゲットを用いてスパッタリング法に
よって、厚さ500人のニッケルークロム合金からなる
ニッケル合金層を積層した 得られたニッケル合金(層
)中のニッケルの含有量は90Jl[子%であり、クロ
ムの含有量は10原子%であった得られた光磁気記録媒
体を、70℃、相対湿度85%の雰囲気下に約48時間
保持した後、この光磁気記録媒体のソリ(反り)変化を
調べたところ、基板(成膜前)に比べて変化が認められ
なかった また、この光磁気記録媒体は線速5 、7 m / s
ecにおける最適記録パワーが4.1mWであり、線速
11 、3 m/secにおける最適記録パワーが6.
5mWであっへ また、パワーマージンとは、C/ N Max−3d
B以上が得られる記録パワ゛−の範囲のことであり、f
=3.7MHz1 duty 33.3%、線速=5.
7m / secにおいて、パワーマージン(Pm)は
3.6mW、C/N比は47.7dBであツタなお、本
明細書において、最適記録パワーとはf冨I MHzS
duty 50%の書込み信号に対して再生信号の2次
高調波が最小となる記録パワーのことを表わし 線速に
よる最適記録パワーの差が小さい程線速依存性が外さい
。
を順次スパッタリング法により積層し この記録膜上に
アルミニウムーチタン−ハフニウムの複合ターゲットを
用いてスパッタリング法によって、厚さ2000人のア
ルミニウムーチタン−ハフニウム合金からなるアルミニ
ウム合金層を積層した 得られたアルミニウム合金層を
構成するアルミニウム合金(層)中のチタンの含有量は
1y!、子%であり、ハフニウムの含有量は2原子%で
あった さらくこのアルミニウム合金層上に、ニッケル
ークロムの複合ターゲットを用いてスパッタリング法に
よって、厚さ500人のニッケルークロム合金からなる
ニッケル合金層を積層した 得られたニッケル合金(層
)中のニッケルの含有量は90Jl[子%であり、クロ
ムの含有量は10原子%であった得られた光磁気記録媒
体を、70℃、相対湿度85%の雰囲気下に約48時間
保持した後、この光磁気記録媒体のソリ(反り)変化を
調べたところ、基板(成膜前)に比べて変化が認められ
なかった また、この光磁気記録媒体は線速5 、7 m / s
ecにおける最適記録パワーが4.1mWであり、線速
11 、3 m/secにおける最適記録パワーが6.
5mWであっへ また、パワーマージンとは、C/ N Max−3d
B以上が得られる記録パワ゛−の範囲のことであり、f
=3.7MHz1 duty 33.3%、線速=5.
7m / secにおいて、パワーマージン(Pm)は
3.6mW、C/N比は47.7dBであツタなお、本
明細書において、最適記録パワーとはf冨I MHzS
duty 50%の書込み信号に対して再生信号の2次
高調波が最小となる記録パワーのことを表わし 線速に
よる最適記録パワーの差が小さい程線速依存性が外さい
。
第1図頃 本発明の光磁気記録媒体の断面図である。
1・・基板
3・光磁気記録膜
5・・ニッケル合金膜
0・・光磁気記録媒体
2・・保護膜
アルミニウム合金膜
上皇
ゲジ
]
図
Claims (1)
- (1)基板上に、保護膜と、光磁気記録膜と、アルミニ
ウム合金膜と、ニッケル合金膜とがこの順序で積層され
てなることを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10828290A JPH046644A (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | 光磁気記録媒体 |
CA002041032A CA2041032A1 (en) | 1990-04-24 | 1991-04-23 | Magnetooptical recording media |
EP91106576A EP0454079A2 (en) | 1990-04-24 | 1991-04-24 | Magnetooptical recording media |
CN 91103491 CN1056944A (zh) | 1990-04-24 | 1991-04-24 | 磁光记录体 |
KR1019910006571A KR920005790A (ko) | 1990-04-24 | 1991-04-24 | 광자기 기록매체 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10828290A JPH046644A (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH046644A true JPH046644A (ja) | 1992-01-10 |
Family
ID=14480701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10828290A Pending JPH046644A (ja) | 1990-04-24 | 1990-04-24 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH046644A (ja) |
-
1990
- 1990-04-24 JP JP10828290A patent/JPH046644A/ja active Pending
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