JPH04339305A - Magnetic head - Google Patents
Magnetic headInfo
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- JPH04339305A JPH04339305A JP14111291A JP14111291A JPH04339305A JP H04339305 A JPH04339305 A JP H04339305A JP 14111291 A JP14111291 A JP 14111291A JP 14111291 A JP14111291 A JP 14111291A JP H04339305 A JPH04339305 A JP H04339305A
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Abstract
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明は、浮上型の磁気ヘッドに
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a floating magnetic head.
【0002】0002
【従来の技術】浮上型磁気ヘッドは、大記憶容量、高速
データ転送速度を実現するため、コンピュータの磁気記
録再生用として広く利用されている。浮上型磁気ヘッド
は、磁気記憶媒体との間の相対的高速移動により、空気
の粘性によって発生する動圧を利用して、微小な浮上量
を保たせながら、磁気記録再生を行なうもので、その代
表例としては、磁性体でなるスライダに磁気変換素子を
装着したウインチェスタ型磁気ヘッド、非磁性のセラミ
ック構造体でなるスライダの溝内に磁気変換素子を挿入
したコンポジット型磁気ヘッド、及び、半導体製造テク
ノロジーと同様のプロセスによって造られた薄膜素子を
セラミック構造体に付着させた薄膜磁気ヘッド等がある
。2. Description of the Related Art Floating magnetic heads are widely used for magnetic recording and reproducing in computers because of their large storage capacity and high data transfer speed. A floating magnetic head performs magnetic recording and reproduction while maintaining a minute flying height by using the dynamic pressure generated by the viscosity of air due to relatively high-speed movement between the head and the magnetic storage medium. Typical examples include a Winchester type magnetic head in which a magnetic transducer is mounted on a slider made of a magnetic material, a composite type magnetic head in which a magnetic transducer is inserted into a groove in a slider made of a non-magnetic ceramic structure, and a semiconductor head. There are thin film magnetic heads, etc., in which a thin film element made by a process similar to the manufacturing technology is attached to a ceramic structure.
【0003】0003
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の磁気ヘッドには次のような問題点がある。
(A)ウインチェスタ型磁気ヘッドやコンポジット型磁
気ヘッド等のいわゆるバルクタイプ磁気ヘッドは、線材
でなるコイルを、コアとなる磁性体に対して巻き付ける
面倒で複雑なコイル巻回作業が必須である。また、高密
度記録等のために要求される小型化、トラック幅の狭小
化等に対応しにくい。
(B)薄膜磁気ヘッドは、コイル膜をほぼ同一面上で渦
巻状に巻回するため、コイル面積が増大し、導体有効長
が長くなり、コイルインダクタンス成分及び直流抵抗値
の増大等を招き、高周波応答性改善に限界を生じる。
(C)薄膜磁気ヘッドでは、下部磁性膜及び上部磁性膜
の対向面積が大きくなること、しかもこれらの磁性膜間
の間隔が微小であること等のために、漏れ磁束が大きく
なる傾向にある。このため、効率改善に限界がある。
(D)従来の磁気ヘッドは、何れのタイプであっても、
基本的には、磁気変換素子を読み書き素子として兼用す
る構成であるため、読み出し及び書き込みのそれぞれの
最適値に設定することができない。このため、性能向上
に限界を生じている。However, the conventional magnetic head described above has the following problems. (A) So-called bulk-type magnetic heads such as Winchester-type magnetic heads and composite-type magnetic heads require a laborious and complicated coil winding operation in which a coil made of wire is wound around a magnetic material serving as a core. In addition, it is difficult to respond to the miniaturization and narrowing of track width required for high-density recording and the like. (B) In a thin-film magnetic head, the coil film is spirally wound on almost the same surface, which increases the coil area and lengthens the effective length of the conductor, leading to an increase in the coil inductance component and DC resistance value. There is a limit to the improvement of high frequency response. (C) In a thin film magnetic head, leakage flux tends to increase because the opposing areas of the lower magnetic film and the upper magnetic film are large and the spacing between these magnetic films is minute. Therefore, there is a limit to efficiency improvement. (D) Regardless of the type of conventional magnetic head,
Basically, since the magnetic transducer is configured to double as a read/write element, it is not possible to set optimum values for reading and writing. For this reason, there is a limit to performance improvement.
【0004】そこで、本発明の課題は上述する従来の問
題点を解決し、コイル膜形成が容易で、磁束の漏れが少
なく、高効率であり、しかも、書き込み及び読み出しの
各条件を最適化するのに好適な磁気ヘッドを提供するこ
とである。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, the object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, to provide a coil film that is easy to form, has little leakage of magnetic flux, is highly efficient, and has optimized write and read conditions. It is an object of the present invention to provide a magnetic head suitable for
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】上述した課題解決のため
、本発明は、 スライダと、磁気変換素子とを含む磁
気ヘッドであって、前記スライダは、一面側に空気ベア
リング面を有しており、前記磁気変換素子は、磁性膜と
、コイル膜とを有し、前記磁性膜が変換ギャップを介し
て対向する一対のポール部と前記一対のポール部に連な
るヨーク部とを有し、前記空気ベアリング面に空気流出
方向及びこれと直交するトラック幅方向を仮想したとき
、膜厚方向が前記トラック幅方向に一致するようにして
、スライダ側面に設けられ、前記コイル膜が前記ヨーク
部の周りに巻回配置されていることを特徴とする。[Means for Solving the Problems] In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a magnetic head including a slider and a magnetic transducer, wherein the slider has an air bearing surface on one side. , the magnetic conversion element has a magnetic film and a coil film, the magnetic film has a pair of pole parts facing each other with a conversion gap in between, and a yoke part connected to the pair of pole parts, and When the air outflow direction and the track width direction perpendicular to the air outflow direction are assumed to be on the bearing surface, the coil film is provided on the slider side surface so that the film thickness direction coincides with the track width direction, and the coil film is formed around the yoke part. It is characterized by a rolled arrangement.
【0006】[0006]
【作用】磁気変換素子は、磁性膜と、コイル膜とを有す
る薄膜素子であるから、従来のウインチェスタ型磁気ヘ
ッドやコンポジット型磁気ヘッド等のいわゆるバルクタ
イプ磁気ヘッドと異なって、線材でなるコイルを、コア
となる磁性体に対して巻き付ける面倒で複雑なコイル巻
回作業が不要である。また、薄膜素子であるので、小型
化、トラック幅の狭小化、高密度記録等にも容易に対応
できる。[Operation] The magnetic transducer element is a thin film element that has a magnetic film and a coil film, so unlike so-called bulk type magnetic heads such as conventional Winchester type magnetic heads and composite type magnetic heads, it differs from so-called bulk type magnetic heads such as conventional Winchester type magnetic heads and composite type magnetic heads. There is no need for the troublesome and complicated coil winding work of winding the coil around the core magnetic material. Furthermore, since it is a thin film element, it can easily accommodate miniaturization, narrow track width, high-density recording, and the like.
【0007】磁気変換素子は、空気流出方向と平行とな
るスライダ側面に設けられており、磁性膜は膜厚方向が
トラック幅方向に一致しているから、トラック幅が磁性
膜の膜厚精度によって定まる高精度の微小厚みに設定さ
れ、高密度記録に適した磁気ヘッドが得られることとな
る。The magnetic conversion element is provided on the side surface of the slider parallel to the air outflow direction, and since the thickness direction of the magnetic film coincides with the track width direction, the track width depends on the film thickness accuracy of the magnetic film. A magnetic head suitable for high-density recording can be obtained by setting the thickness to a predetermined, highly accurate minute thickness.
【0008】コイル膜は、スライダ側面上において、磁
性膜のヨーク部の周りに巻回配置されている。このため
、導体有効長が短縮され、コイルのインダクタンス成分
及び直流抵抗値が低下し、高周波応答性が向上する。
また、磁性膜間の磁束の漏れが少なくなり、効率が向上
する。The coil film is wound around the yoke portion of the magnetic film on the side surface of the slider. Therefore, the effective length of the conductor is shortened, the inductance component and DC resistance value of the coil are reduced, and the high frequency response is improved. Furthermore, leakage of magnetic flux between magnetic films is reduced, improving efficiency.
【0009】磁気変換素子は、スライダ側面において、
書き込み専用、及び、読み出し専用の2種類のもを、同
一トラック上に別々に形成できる。このため、書き込み
及び読み出しのそれぞれに個別的に要求される各条件を
最適化できる。[0009] The magnetic transducer element has, on the side surface of the slider,
Two types of write-only and read-only tracks can be formed separately on the same track. Therefore, each condition individually required for writing and reading can be optimized.
【0010】0010
【実施例】図1は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図、図
2は磁気変換素子部分の拡大斜視図、図3は磁気変換素
子を設けたスライダ部分の拡大斜視図である。図におい
て、1はスライダ、2は磁気変換素子である。スライダ
1はセラミック構造体である。使用できるセラミック構
造体の例としてはSiO2、Al2O3−TiC 、S
i、フォトセラム等をあげることができる。スライダ1
をSi基板とした場合、読み書き回路をスライダ1の上
に直接に形成できる。スライダ1は、媒体対向面側とな
る一面側にレール部101、102を有する。レール部
101、102の表面は平面度の高い空気ベアリング面
103、104となっている。105、106はテーパ
部、aは媒体との組合せにおける空気流出方向を示して
いる。図示はしないが、レール部のない平面状の空気ベ
アリング面であってもよい。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head according to the present invention, FIG. 2 is an enlarged perspective view of a magnetic conversion element portion, and FIG. 3 is an enlarged perspective view of a slider portion provided with a magnetic conversion element. In the figure, 1 is a slider and 2 is a magnetic conversion element. Slider 1 is a ceramic structure. Examples of ceramic structures that can be used include SiO2, Al2O3-TiC, S
i, photoceram, etc. slider 1
When a Si substrate is used, the read/write circuit can be formed directly on the slider 1. The slider 1 has rail portions 101 and 102 on one side that is the medium facing surface side. The surfaces of the rail parts 101 and 102 are air bearing surfaces 103 and 104 with high flatness. Reference numerals 105 and 106 indicate tapered portions, and a indicates an air outflow direction in combination with a medium. Although not shown, it may be a planar air bearing surface without a rail portion.
【0011】磁気変換素子2は、磁性膜21と、コイル
膜22とを有し、空気流出方向aと平行となるスライダ
側面108に設けられている。磁気変換素子2は薄膜素
子であるから、従来のウインチェスタ型磁気ヘッドやコ
ンポジット型磁気ヘッド等のいわゆるバルクタイプ磁気
ヘッドと異なって、線材でなるコイルを、コアとなる磁
性体に対して巻き付ける面倒で複雑なコイル巻回作業が
不要である。また、薄膜であるので、小型化、トラック
幅の狭小化、高密度記録等にも容易に対応できる。The magnetic transducer element 2 has a magnetic film 21 and a coil film 22, and is provided on the slider side surface 108 parallel to the air outflow direction a. Since the magnetic conversion element 2 is a thin film element, unlike so-called bulk type magnetic heads such as conventional Winchester-type magnetic heads and composite-type magnetic heads, there is no need for the trouble of winding a coil made of wire around the magnetic material that serves as the core. This eliminates the need for complicated coil winding work. In addition, since it is a thin film, it can be easily adapted to miniaturization, narrow track width, high-density recording, etc.
【0012】磁性膜21は、変換ギャップ23を介して
対向する一対のポール部211、212と、ポール部2
11、212に連なるヨーク部213とを有し、膜厚方
向が空気流出方向aと直交するトラック幅方向bに一致
している。このため、トラック幅が、磁性膜21の膜厚
精度によって定まる高精度の微小厚みに設定され、高密
度記録に適した磁気ヘッドが得られることとなる。磁性
膜21はパーマロイ膜、センダストまたはアモルファス
等によって構成する。The magnetic film 21 has a pair of pole parts 211 and 212 facing each other with a conversion gap 23 in between, and a pole part 2
11 and 212, and the film thickness direction coincides with the track width direction b perpendicular to the air outflow direction a. Therefore, the track width is set to a highly accurate minute thickness determined by the thickness accuracy of the magnetic film 21, and a magnetic head suitable for high-density recording is obtained. The magnetic film 21 is made of a permalloy film, sendust, amorphous, or the like.
【0013】コイル膜22は、ヨーク部213の周りに
巻回配置されている。即ち、ヨーク部21の下側から上
側、上側から下側へと順次に、スパイラル状に巻回配置
されている。かかる構造であると、コイル膜22の導体
有効長が短縮され、コイルインダクタンス成分及び直流
抵抗値が低下し、高周波応答性が向上する。また、従来
の薄膜磁気ヘッドと異なって、磁束の漏れが少なくなり
、効率が向上する。コイル膜22は銅等の導電性の良好
な材料によって構成する。221、222はコイル膜2
2に接続された取出し電極である。The coil membrane 22 is wound around the yoke portion 213. That is, they are wound in a spiral manner sequentially from the lower side of the yoke portion 21 to the upper side and from the upper side to the lower side. With such a structure, the conductor effective length of the coil film 22 is shortened, the coil inductance component and the DC resistance value are reduced, and the high frequency response is improved. Also, unlike conventional thin-film magnetic heads, leakage of magnetic flux is reduced and efficiency is improved. The coil film 22 is made of a material with good conductivity such as copper. 221 and 222 are coil membranes 2
This is the extraction electrode connected to 2.
【0014】実施例において、磁性膜21のポール部2
11、212は、スライダ側面108に設けられた凹部
109、110の内部にそれぞれ配置されている。変換
ギャップ23は凹部109ー110間に残したスライダ
部材によって構成されている。これにより、ポール部2
11、212のパターン及び変換ギャップ23が凹部1
09、110の精度によって定まる高精度の値に設定さ
れる。In the embodiment, the pole portion 2 of the magnetic film 21
11 and 212 are arranged inside recesses 109 and 110 provided in the slider side surface 108, respectively. The conversion gap 23 is constituted by the slider member left between the recesses 109-110. As a result, the pole part 2
11 and 212 and the conversion gap 23 form the recess 1
It is set to a high precision value determined by the precision of 09 and 110.
【0015】図4は本発明に係る磁気ヘッドの別の実施
例を示す図である。この実施例はスライダ側面108に
、書き込み専用磁気変換素子2A、及び、読み出し専用
磁気変換素子2Bの2種類を形成した例を示している。
磁気変換素子2A、2Bは変換ギャップ23、23が同
一トラック上に位置するように形成する。これにより、
書き込み及び読み出しのそれぞれにおいて、個別的に要
求される各条件を最適値に設定できるようになる。FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the magnetic head according to the present invention. This embodiment shows an example in which two types of magnetic transducers, a write-only magnetic transducer 2A and a read-only magnetic transducer 2B, are formed on the slider side surface 108. The magnetic transducer elements 2A, 2B are formed so that the transducer gaps 23, 23 are located on the same track. This results in
In each of writing and reading, each individually required condition can be set to an optimal value.
【0016】図5〜図11に本発明に係る磁気ヘッドの
製造工程例を示す。まず、図5に示すように、スライダ
となる基板1の一面に、ポール部211、212を形成
する。ポール部211、212はスパッタ等の膜形成技
術またはメッキ技術等によって形成できる。基板1はウ
エハとし、その一面上に多数の磁気ヘッドを形成する。
基板1のポール部211、212を形成する位置には予
め凹部(図3の参照符号109、110)を形成してお
く。凹部はイオンミーリング等の手段によって形成でき
る。FIGS. 5 to 11 show examples of manufacturing steps for the magnetic head according to the present invention. First, as shown in FIG. 5, pole parts 211 and 212 are formed on one surface of a substrate 1 that will become a slider. The pole parts 211 and 212 can be formed by a film forming technique such as sputtering or a plating technique. The substrate 1 is a wafer, and a large number of magnetic heads are formed on one surface thereof. Recesses (reference numerals 109 and 110 in FIG. 3) are formed in advance in the positions of the substrate 1 where the pole parts 211 and 212 are to be formed. The recess can be formed by means such as ion milling.
【0017】次に、図6に示すように、ポール部211
、212の端部にかかるように、絶縁膜31を形成する
。絶縁膜31は有機絶縁膜、無機絶縁膜の何れであって
もよい。有機絶縁膜の場合はフォトリソグラフィ等の高
精度パターン形成技術が適用できる。無機絶縁膜はスパ
ッタ成膜技術によって形成できる。Next, as shown in FIG.
, 212 is formed so as to cover the ends thereof. The insulating film 31 may be either an organic insulating film or an inorganic insulating film. In the case of organic insulating films, high precision pattern forming techniques such as photolithography can be applied. The inorganic insulating film can be formed by sputter deposition technology.
【0018】次に図7に示すように、下側コイル膜22
Aを形成した後、図8に示すように絶縁膜32を形成す
る。下側コイル膜22Aはスパッタまたはメッキ等によ
って形成できる。絶縁膜32は下側コイル膜22Aの両
端が露出するように設ける。Next, as shown in FIG. 7, the lower coil film 22
After forming A, an insulating film 32 is formed as shown in FIG. The lower coil film 22A can be formed by sputtering, plating, or the like. The insulating film 32 is provided so that both ends of the lower coil film 22A are exposed.
【0019】次に、図9に示すように、絶縁膜32の上
にヨーク部213をスパッタ等の手段によって形成する
。ヨーク部213は両端がポール部211、212の上
に重なるように設ける。次に、図10に示すように、ヨ
ーク部213の全体を覆うように、絶縁膜33を形成し
た後、絶縁膜33の上に上側コイル膜22Bを形成する
。上側コイル膜22Bは、ヨーク部213をスパイラル
状に回るコイル膜が形成されるように、両端を下側コイ
ル膜22Bの端部に接続させてある。この後、絶縁膜や
保護膜を形成して全体を覆う。磁気変換素子をウエハの
上に形成した場合は、ウエハ切断、溝入れ加工等を経て
磁気ヘッドピースが得られる。Next, as shown in FIG. 9, a yoke portion 213 is formed on the insulating film 32 by means such as sputtering. The yoke portion 213 is provided so that both ends overlap the pole portions 211 and 212. Next, as shown in FIG. 10, an insulating film 33 is formed to cover the entire yoke portion 213, and then an upper coil film 22B is formed on the insulating film 33. Both ends of the upper coil film 22B are connected to the ends of the lower coil film 22B so that a coil film that spirals around the yoke portion 213 is formed. After this, an insulating film and a protective film are formed to cover the entire structure. When the magnetic transducer element is formed on a wafer, a magnetic head piece is obtained by cutting the wafer, grooving the wafer, and the like.
【0020】上記製造工程は、一例であり、種々の工程
をとり得ることは言うまでもない。[0020] The above manufacturing process is just an example, and it goes without saying that various processes can be used.
【0021】[0021]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。
(a)磁気変換素子は、磁性膜と、コイル膜とを有する
から、従来のウインチェスタ型磁気ヘッドやコンポジッ
ト型磁気ヘッド等のバルクタイプ磁気ヘッドと異なって
、コイル巻回作業が不要で、小型化、トラック幅の狭小
化、高密度記録等に対応し得る磁気ヘッドを提供できる
。
(b)磁気変換素子を構成する磁性膜が変換ギャップを
介して対向する一対のポール部と一対のポール部に連な
るヨーク部とを有し、膜厚方向がトラック幅方向に一致
するようにして、スライダ側面に設けられているから、
膜厚精度によって定まる高精度の微小トラック幅を有し
、高密度記録に適した磁気ヘッドを提供できる。
(c)コイル膜は、スライダ側面上に設けられた磁性膜
のヨーク部の周りに巻回配置されているから、導体有効
長が短縮され、コイルインダクタンス成分及び直流抵抗
値が低く、高周波応答性に優れ、磁束の漏れが少なく、
高効率の磁気ヘッドを提供できる。
(d)磁気変換素子は、書き込み専用、及び、読み出し
専用の2種類のもを、同一トラック上に別々に形成でき
るから、書き込み及び読み出しの各条件を最適化した磁
気ヘッドを提供できる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. (a) Since the magnetic conversion element has a magnetic film and a coil film, unlike bulk type magnetic heads such as conventional Winchester-type magnetic heads and composite-type magnetic heads, there is no need for coil winding work, and the device is compact. Accordingly, it is possible to provide a magnetic head that can cope with increasing size, narrowing of track width, high-density recording, etc. (b) The magnetic film constituting the magnetic transducer element has a pair of pole parts facing each other across a transducer gap and a yoke part connected to the pair of pole parts, and the film thickness direction is aligned with the track width direction. , since it is provided on the side of the slider.
It is possible to provide a magnetic head that has a highly accurate minute track width determined by the film thickness accuracy and is suitable for high-density recording. (c) Since the coil film is wound around the yoke part of the magnetic film provided on the side surface of the slider, the effective length of the conductor is shortened, the coil inductance component and DC resistance value are low, and high frequency response is achieved. Excellent, with little leakage of magnetic flux,
A highly efficient magnetic head can be provided. (d) Since two types of magnetic transducer elements, one for writing only and one for reading only, can be formed separately on the same track, it is possible to provide a magnetic head with optimized write and read conditions.
【図1】本発明に係る磁気ヘッドの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head according to the present invention.
【図2】本発明に係る磁気ヘッドの磁気変換素子部分の
拡大斜視図である。FIG. 2 is an enlarged perspective view of a magnetic transducer element portion of a magnetic head according to the present invention.
【図3】本発明に係る磁気ヘッドのスライダの拡大斜視
図である。FIG. 3 is an enlarged perspective view of the slider of the magnetic head according to the present invention.
【図4】本発明に係る磁気ヘッドの他の実施例における
斜視図である。図5〜図11本発明に係る磁気ヘッドの
製造工程例を示す図である。FIG. 4 is a perspective view of another embodiment of the magnetic head according to the present invention. 5 to 11 are diagrams illustrating an example of the manufacturing process of a magnetic head according to the present invention.
1 スライダ10
3、104 空気ベアリング面2
磁気変換素子21
磁性膜22
コイル211、212 ポ
ール部1 slider 10
3,104 Air bearing surface 2
Magnetic conversion element 21
Magnetic film 22
Coils 211, 212 Pole part
Claims (2)
気ヘッドであって、前記スライダは、一面側に空気ベア
リング面を有しており、前記磁気変換素子は、磁性膜と
、コイル膜とを有し、前記磁性膜が変換ギャップを介し
て対向する一対のポール部と前記一対のポール部に連な
るヨーク部とを有し、前記空気ベアリング面に空気流出
方向及びこれと直交するトラック幅方向を仮想したとき
、膜厚方向が前記トラック幅方向に一致するようにして
、スライダ側面に設けられ、前記コイル膜が前記ヨーク
部の周りに巻回配置されていることを特徴とする磁気ヘ
ッド。1. A magnetic head including a slider and a magnetic transducer, wherein the slider has an air bearing surface on one side, and the magnetic transducer includes a magnetic film and a coil film. the magnetic film has a pair of pole parts facing each other with a conversion gap in between, and a yoke part connected to the pair of pole parts, and the air bearing surface has an air outflow direction and a track width direction perpendicular thereto. A magnetic head characterized in that the coil film is provided on a side surface of a slider so that the film thickness direction coincides with the track width direction when imagined, and the coil film is wound around the yoke portion.
設けられた凹部内に配置されていることを特徴とする請
求項1に記載の磁気ヘッド。2. The magnetic head according to claim 1, wherein the pole portion is disposed within a recess provided on a side surface of the slider.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14111291A JPH04339305A (en) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14111291A JPH04339305A (en) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | Magnetic head |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04339305A true JPH04339305A (en) | 1992-11-26 |
Family
ID=15284444
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14111291A Withdrawn JPH04339305A (en) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | Magnetic head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04339305A (en) |
-
1991
- 1991-05-16 JP JP14111291A patent/JPH04339305A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |