JPH0427706A - 内燃機関の触媒式排ガス浄化装置 - Google Patents
内燃機関の触媒式排ガス浄化装置Info
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- JPH0427706A JPH0427706A JP2129850A JP12985090A JPH0427706A JP H0427706 A JPH0427706 A JP H0427706A JP 2129850 A JP2129850 A JP 2129850A JP 12985090 A JP12985090 A JP 12985090A JP H0427706 A JPH0427706 A JP H0427706A
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Landscapes
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- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、内燃機関の触媒式排ガス浄化装置に関して、
特に空燃比がリーン側となる酸素過剰雰囲気でも、ＮＯ
ｘを高率に浄化できる触媒、いゎゆるリーンＮＯｘ触媒
を用いた触媒式排ガス浄化装置に関するものである。
特に空燃比がリーン側となる酸素過剰雰囲気でも、ＮＯ
ｘを高率に浄化できる触媒、いゎゆるリーンＮＯｘ触媒
を用いた触媒式排ガス浄化装置に関するものである。
〔従来の技術］
低燃費化の要求から希薄混合気を燃焼させる（リーンバ
ーン）エンジンが知られている。このようなエンジンで
は設定空燃比をリーン例の酸素過剰雰囲気とするため、
排ガス中の有害成分のうち炭化水素（ＨＣ）、−酸化炭
素（ＣＯ）の酸化除去は容易であるが、窒素酸化物（Ｎ
Ｏｘ）は十分に還元除去することが困難となる。ＮＯＸ
の発生量はリーン雰囲気とすることにより減少するが、
従来の三元触媒では、リーン領域での還元能力は発揮で
きず、ＮＯｘの発生を十分に抑制することができなかっ
た。
ーン）エンジンが知られている。このようなエンジンで
は設定空燃比をリーン例の酸素過剰雰囲気とするため、
排ガス中の有害成分のうち炭化水素（ＨＣ）、−酸化炭
素（ＣＯ）の酸化除去は容易であるが、窒素酸化物（Ｎ
Ｏｘ）は十分に還元除去することが困難となる。ＮＯＸ
の発生量はリーン雰囲気とすることにより減少するが、
従来の三元触媒では、リーン領域での還元能力は発揮で
きず、ＮＯｘの発生を十分に抑制することができなかっ
た。
このため、リーン雰囲気でＮＯｘを十分に浄化すること
のできる、いわゆるリーンＮＯｘ触媒が研究されており
、Ｃｕ等の遷移金属、或いは、貴金属をゼオライトにイ
オン交換担持した金属−ゼオライド触媒が、リーンＮＯ
ｘ触媒として提案されている。
のできる、いわゆるリーンＮＯｘ触媒が研究されており
、Ｃｕ等の遷移金属、或いは、貴金属をゼオライトにイ
オン交換担持した金属−ゼオライド触媒が、リーンＮＯ
ｘ触媒として提案されている。
例えば、本出願人は、特開平１−１３０７３５号公報に
おいて、遷移金属でイオン交換したゼオライトからなる
触媒材料を、耐火性担体上に担持させたリーンＮＯｘ触
媒を用いた触媒式排ガス浄化装置を提案した。この遷移
金属としては、Ｃｕ、 Ｃｏ、 Ｃｒ、Ｎ１％ Ｆｅ、
’Ａｇｓ Ｍｎが好ましく、特にＣｕが好ましい。
おいて、遷移金属でイオン交換したゼオライトからなる
触媒材料を、耐火性担体上に担持させたリーンＮＯｘ触
媒を用いた触媒式排ガス浄化装置を提案した。この遷移
金属としては、Ｃｕ、 Ｃｏ、 Ｃｒ、Ｎ１％ Ｆｅ、
’Ａｇｓ Ｍｎが好ましく、特にＣｕが好ましい。
また、ゼオライトは３次元骨格の結晶構造を形成し、細
孔（スーパーケージ）を有する。そのスーパーケージ中
にはイオン交換により導入された遷移金属の活性サイト
が存在するため排ガス中のＦＩＣはスーパーケージに選
択的に吸着される。その吸着されたｌ（ＣがＮＯｘと反
応し、ＮＯｘを還元して除去する。
孔（スーパーケージ）を有する。そのスーパーケージ中
にはイオン交換により導入された遷移金属の活性サイト
が存在するため排ガス中のＦＩＣはスーパーケージに選
択的に吸着される。その吸着されたｌ（ＣがＮＯｘと反
応し、ＮＯｘを還元して除去する。
本出願人は、また、特開平１−１３５５４１号公報にお
いて、遷移金属に代えて貴金属でイオン交換したゼオラ
イトからなるリーンＮＯｘ触媒を用いた触媒式排ガス浄
化装置についても提案している。
いて、遷移金属に代えて貴金属でイオン交換したゼオラ
イトからなるリーンＮＯｘ触媒を用いた触媒式排ガス浄
化装置についても提案している。
ゼオライトには、下記第１表に示すようにスーパーケー
ジ径の異なる各種のものがある。
ジ径の異なる各種のものがある。
ところが、エンジンから排出されるＨＣ成分には、様々
な分子サイズが存在するため、スーパーケージ構造がも
たらすゼオライトの分子篩い効果によってＨＣ成分が選
択的に吸着される。従って単一のスーパーケージ構造の
みからなるリーンＮＯｘ触媒では、）ＩＣの吸着ひいて
はＮＯＸの還元、除去は不十分なものであった。
な分子サイズが存在するため、スーパーケージ構造がも
たらすゼオライトの分子篩い効果によってＨＣ成分が選
択的に吸着される。従って単一のスーパーケージ構造の
みからなるリーンＮＯｘ触媒では、）ＩＣの吸着ひいて
はＮＯＸの還元、除去は不十分なものであった。
そこで、本出願人は特願昭６３−２９２６６２号（未公
開）に於いて、ｗ４（Ｃｕ）でイオン交換したゼオライ
トを用いたリーンＮＯｘ触媒について、スーパーケージ
径サイズの異なる２種以上のリーンＮＯｘ触媒を使用し
てエンジンから排出される様々な分子サイズのＨＣ成分
の吸着を可能にし、ＮＯｘの浄化率を向上させた触媒式
排ガス浄化装置を提案している。
開）に於いて、ｗ４（Ｃｕ）でイオン交換したゼオライ
トを用いたリーンＮＯｘ触媒について、スーパーケージ
径サイズの異なる２種以上のリーンＮＯｘ触媒を使用し
てエンジンから排出される様々な分子サイズのＨＣ成分
の吸着を可能にし、ＮＯｘの浄化率を向上させた触媒式
排ガス浄化装置を提案している。
［発明が解決しようとする課Ｂ］
しかしながら、特願昭６３−２９２６６２号では、ＨＣ
がＮＯｘと反応するに至るまでに触媒中で完全酸化を生
ずる点が考慮されていないため、特に分子の大きさが小
さなＨＣが、ＮＯｘの浄化に有効な状態（部分酸化して
活性種となった状態）での吸着効率が十分でなく、ＮＯ
ｘ浄化率を低下させる場合がある。即ち、排ガス浄化用
触媒装置中においてはリーンＮＯｘ触媒の酸化作用によ
り下流側程高温になるため、分子の小さなＨＣ程、特に
下流側の高温状態において、酸化されやすい性質があり
、完全酸化されたＨＣはＮＯｘの浄化に関与せず、ＩＣ
の完全酸化はＮＯｘの浄化率を低下させる。
がＮＯｘと反応するに至るまでに触媒中で完全酸化を生
ずる点が考慮されていないため、特に分子の大きさが小
さなＨＣが、ＮＯｘの浄化に有効な状態（部分酸化して
活性種となった状態）での吸着効率が十分でなく、ＮＯ
ｘ浄化率を低下させる場合がある。即ち、排ガス浄化用
触媒装置中においてはリーンＮＯｘ触媒の酸化作用によ
り下流側程高温になるため、分子の小さなＨＣ程、特に
下流側の高温状態において、酸化されやすい性質があり
、完全酸化されたＨＣはＮＯｘの浄化に関与せず、ＩＣ
の完全酸化はＮＯｘの浄化率を低下させる。
そこで、本発明は、酸化されやすい分子の小さなＨＣを
、触媒中の排ガスの流れ方向の上流側で比較的低温状態
においてリーンＮＯｘ触媒に吸着させて、ＮＯｘを浄化
させる。このようにして、分子の小さな）ｌＣの完全酸
化を抑制し、ＮＯｘの浄化率を向上させることを目的と
する。
、触媒中の排ガスの流れ方向の上流側で比較的低温状態
においてリーンＮＯｘ触媒に吸着させて、ＮＯｘを浄化
させる。このようにして、分子の小さな）ｌＣの完全酸
化を抑制し、ＮＯｘの浄化率を向上させることを目的と
する。
上記目的を達成するために、本発明は、遷移金属、或い
は、貴金属でイオン交換した酸素過剰雰囲気での還元触
媒材料を、耐火性担体上に担持した触媒式排ガス浄化装
置において、スーパーケージ径が異なる２種以上の、３
次元骨格の結晶構造を有する触媒材料からなり、スーパ
ーケージ径が小さな触媒材料の分布が触媒装置中の排ガ
スの流れ方間の上流側で多くなるように構成する。
は、貴金属でイオン交換した酸素過剰雰囲気での還元触
媒材料を、耐火性担体上に担持した触媒式排ガス浄化装
置において、スーパーケージ径が異なる２種以上の、３
次元骨格の結晶構造を有する触媒材料からなり、スーパ
ーケージ径が小さな触媒材料の分布が触媒装置中の排ガ
スの流れ方間の上流側で多くなるように構成する。
上記の如く構成された、触媒式排ガス浄化装置では、分
子の小さなＩ（Ｃを効率よく吸着するス−バーケージ径
の小さなリーンＮＯＸ触媒が、触媒装置中の排ガスの流
れ方向の上流側に多く分布するため、分子の小さなＨＣ
は、上流側で触媒に吸着されてＮＯｘの浄化に利用され
る。このため、酸化されやすい分子の小さなＨＣの完全
酸化が抑制され、ＮＯＸの浄化率を向上させる。
子の小さなＩ（Ｃを効率よく吸着するス−バーケージ径
の小さなリーンＮＯＸ触媒が、触媒装置中の排ガスの流
れ方向の上流側に多く分布するため、分子の小さなＨＣ
は、上流側で触媒に吸着されてＮＯｘの浄化に利用され
る。このため、酸化されやすい分子の小さなＨＣの完全
酸化が抑制され、ＮＯＸの浄化率を向上させる。
［実施例］
以下、添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の全体構成図であり、１はエンジン、２
は排ガス浄化装置である。排ガス浄化装置２は３つのリ
ーンＮＯｘ触媒からなり、排ガスの流れ方向の上流側か
ら触媒Ａ、触媒Ｂ、触媒Ｃである。エンジン１で燃焼し
た混合気の排ガスは、エギゾーストマニホルド３、エギ
ゾーストバイブ４を経て排ガス浄化装置２に入る。排ガ
スは排ガス浄化装置２にて有害成分が浄化され、排気管
５、マフラ（図示せず）を経て大気に放出される。
は排ガス浄化装置である。排ガス浄化装置２は３つのリ
ーンＮＯｘ触媒からなり、排ガスの流れ方向の上流側か
ら触媒Ａ、触媒Ｂ、触媒Ｃである。エンジン１で燃焼し
た混合気の排ガスは、エギゾーストマニホルド３、エギ
ゾーストバイブ４を経て排ガス浄化装置２に入る。排ガ
スは排ガス浄化装置２にて有害成分が浄化され、排気管
５、マフラ（図示せず）を経て大気に放出される。
排ガス浄化装置２は、第２図の斜視図において示すよう
に、コーディエライト類の正方形断面のハニカムを有す
るモノリス担体に後述する組成の触媒材料をコーティン
グした３種類のリーンＮＯｘ触媒Ａ、、Ｂ、Ｃを、位相
が一致するように結合して一体化したものである。
に、コーディエライト類の正方形断面のハニカムを有す
るモノリス担体に後述する組成の触媒材料をコーティン
グした３種類のリーンＮＯｘ触媒Ａ、、Ｂ、Ｃを、位相
が一致するように結合して一体化したものである。
リーンＮＯｘ触媒Ａ、Ｂ、Ｃは、排ガスの流れ方向の上
流側へスーパーケージ径の小さいものを配置し、下流側
へ順番にスーパーケージ径が大きなものを配置している
。リーンＮＯｘ触媒Ａは第１表に示す２種の酸素環の連
結構造からなるスーパーケージを持つフェリエライトを
配置し、その下流側のリーンＮＯｘ触媒ＢにはリーンＮ
Ｏｘ触媒Ａよりもスーパーケージ径が大きな、第１表に
示すスーパーケージ構造を持つＺＳｌ’ｌ−５を配置し
、更に下流側のリーンＮＯｘ触媒ＣにはリーンＮＯｘ触
媒Ｂよりもスーパーケージ径が大きな、第１表に示すス
ーパーケージ構造を持つモルデナイトを配置した。
流側へスーパーケージ径の小さいものを配置し、下流側
へ順番にスーパーケージ径が大きなものを配置している
。リーンＮＯｘ触媒Ａは第１表に示す２種の酸素環の連
結構造からなるスーパーケージを持つフェリエライトを
配置し、その下流側のリーンＮＯｘ触媒ＢにはリーンＮ
Ｏｘ触媒Ａよりもスーパーケージ径が大きな、第１表に
示すスーパーケージ構造を持つＺＳｌ’ｌ−５を配置し
、更に下流側のリーンＮＯｘ触媒ＣにはリーンＮＯｘ触
媒Ｂよりもスーパーケージ径が大きな、第１表に示すス
ーパーケージ構造を持つモルデナイトを配置した。
スーパーケージ構造は各材料によって異なるが、例えば
フェリエライトでは、第７図に示す様な連結構造をして
いる。スーパーケージは符号６で示される。
フェリエライトでは、第７図に示す様な連結構造をして
いる。スーパーケージは符号６で示される。
本実施例では、３種類のリーンＮＯＸ触媒Ａ、 ＢＣ
を一体とした排ガス浄化装置２を提案したが、第３図に
示す様に、モノリス担体にスーパーケージ径の異なるリ
ーンＮＯｘ触媒材料を各々担持させたリーンＮＯｘ触媒
ａ、ｂ、ｃを含む３つの排ガス浄化装置２１．２２．２
３を持つ構造としてもよい。なお、スーパーケージ径の
大きさは、リーンＮＯＸ触媒ａ、ｂ、ｃの順で太き（な
るように配置する。
を一体とした排ガス浄化装置２を提案したが、第３図に
示す様に、モノリス担体にスーパーケージ径の異なるリ
ーンＮＯｘ触媒材料を各々担持させたリーンＮＯｘ触媒
ａ、ｂ、ｃを含む３つの排ガス浄化装置２１．２２．２
３を持つ構造としてもよい。なお、スーパーケージ径の
大きさは、リーンＮＯＸ触媒ａ、ｂ、ｃの順で太き（な
るように配置する。
本実施例では、３種類のリーンＮＯｘ触媒を用いた例を
示したが、スーパーケージ径の異なるリーンＮＯｘ触媒
を２つ、或いは、４つ以上としてもよい。
示したが、スーパーケージ径の異なるリーンＮＯｘ触媒
を２つ、或いは、４つ以上としてもよい。
また、本実施例ではモノリス担体の例で示したが、ベレ
ット状のものにおいても本発明は有効である。
ット状のものにおいても本発明は有効である。
；比較例１乙
本実施例で使用した、スーパーケージ径が小さなリーン
ＮＯｘ触媒Ａを、３つ並べた排ガス浄化装置。
ＮＯｘ触媒Ａを、３つ並べた排ガス浄化装置。
１比較例２゜
本実施例で使用した、スーパーケージ径が大きなリーン
ＮＯｘ触媒Ｃを、３つ並べた排ガス浄化装置。
ＮＯｘ触媒Ｃを、３つ並べた排ガス浄化装置。
［性能評価試験］
本実施例と比較例１及び比較例２の排ガス浄化装置につ
いて、下記条件でＨＣとＮＯＸの浄化率を測定した。な
お、空燃比（Ａ／Ｆ ）は２５である。
いて、下記条件でＨＣとＮＯＸの浄化率を測定した。な
お、空燃比（Ａ／Ｆ ）は２５である。
試験条件
・エンジン：ディーゼルエンジン（３６６０ｃｃ）、１
２００ｒ、ｐ、ｍ、 −１５ｋｇｍ。
２００ｒ、ｐ、ｍ、 −１５ｋｇｍ。
′ＡＣ： ５０００ｐｐ儀 （炭素原子換算）を基本に
した。
した。
・触 媒 ：４００セル／インチのモノリス担体に各触
媒材料をコートして、排ガ スの流れ方向の上流側より触媒Ａ、 触媒Ｂ、触媒Ｃの３つのリーン ＮＯｘ触媒からなる。
媒材料をコートして、排ガ スの流れ方向の上流側より触媒Ａ、 触媒Ｂ、触媒Ｃの３つのリーン ＮＯｘ触媒からなる。
・分 析 ：ＨＣ・・・ＭＥＸＡ−１１２０ＴＦＩ−Ｆ
。
。
ＮＯｘ−ＭＥＸＡ−８１２０、
（共に、堀場製作所製の分析器）。
試験結果を第４図、第５図、第６図に示す。
これらの図に示すように、ＨＣの吸着率とｌ（Ｃの浄化
率に相関があると考えられる。
率に相関があると考えられる。
第４図は、本実施例の評価試験結果を示す。各リーンＮ
ＯＸ触媒Ａ、Ｂ、Ｃてスーパーケージ径に合った分子サ
イズのＨＣが吸着され、ＩＩｃの浄化率（吸着率）は触
媒長さに対して上昇する。その結果、ＮＯｘの浄化率も
、触媒長さに対して上昇する。つまり、排ガス中の）Ｉ
Ｃが高効率で吸着されるため、ＨＣの浄化率が向上し、
これにともなってＮＯｘの浄化率も向上する。つまり、
ＨＣ、ＮＯｘともに浄化率が高い。
ＯＸ触媒Ａ、Ｂ、Ｃてスーパーケージ径に合った分子サ
イズのＨＣが吸着され、ＩＩｃの浄化率（吸着率）は触
媒長さに対して上昇する。その結果、ＮＯｘの浄化率も
、触媒長さに対して上昇する。つまり、排ガス中の）Ｉ
Ｃが高効率で吸着されるため、ＨＣの浄化率が向上し、
これにともなってＮＯｘの浄化率も向上する。つまり、
ＨＣ、ＮＯｘともに浄化率が高い。
第５図は、比較例１の試験結果を示す。本実施例で使用
した、スーパーケージ径が小さなリーンＮＯｘ触媒Ａを
３つ並べており、中央及び下流側では触媒中の温度が下
流側程高くなるため、吸着し得る分子サイズの小さなＨ
Ｃは、酸化されてＮＯｘの浄化機能が低下し、ＮＯｘの
浄化率はあまり上昇しない。
した、スーパーケージ径が小さなリーンＮＯｘ触媒Ａを
３つ並べており、中央及び下流側では触媒中の温度が下
流側程高くなるため、吸着し得る分子サイズの小さなＨ
Ｃは、酸化されてＮＯｘの浄化機能が低下し、ＮＯｘの
浄化率はあまり上昇しない。
第６図は、比較例２の試験結果を示す。本実施例で使用
したスーパーケージ径が大きなリーンＮＯｘ触媒Ｃを３
つ並べており、主に吸着され得る分子サイズの大きなＨ
Ｃは酸化されにくいため、触媒長さに対してＮＯｘの浄
化率は、はぼ−様に上昇するが、第５図と比べると全体
としてＩＩＣ及びＮＯｘ浄化率は低い。
したスーパーケージ径が大きなリーンＮＯｘ触媒Ｃを３
つ並べており、主に吸着され得る分子サイズの大きなＨ
Ｃは酸化されにくいため、触媒長さに対してＮＯｘの浄
化率は、はぼ−様に上昇するが、第５図と比べると全体
としてＩＩＣ及びＮＯｘ浄化率は低い。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、分子の小さなＦ
ＩＣの完全酸化が抑えられ、ＮＯｘ浄化率が向上する。
ＩＣの完全酸化が抑えられ、ＮＯｘ浄化率が向上する。
また、スーパーケージ径の異なる２種以上のリーンＮＯ
ｘ触媒としていることにより、各種分子サイズの）ＩＣ
を効率よく吸着してリーンＮＯＸ触媒として利用でき、
ＮＯｘの浄化率の高い触媒式排ガス浄化装置を提供でき
る。
ｘ触媒としていることにより、各種分子サイズの）ＩＣ
を効率よく吸着してリーンＮＯＸ触媒として利用でき、
ＮＯｘの浄化率の高い触媒式排ガス浄化装置を提供でき
る。
第１図は、本発明による実施例の排ガス浄化装置を備え
たエンジンの全体構成図、 第２図は、本発明による実施例の排ガス浄化装置の斜視
図、 第３図は、他の実施例の排ガス浄化装置の構成図、 第４図は、本実施例のＨＣとＮＯＸの浄化率性能試験結
果を表す図、 第５図は、比較例１の浄化率性能試験結果を表す図、 第６図は、比較例２の浄化率性能評価結果を表す図、 第７図は、フェリエライトの結晶構造を表す図、を示す
ものである。 符号の説明 １・・・・・・エンジン ２・・・・・・排ガス浄化装置 Ａ・・・・・・リーンＮＯｘ触媒Ａ Ｂ・・・・・・リーンＮＯｘ触媒Ｂ Ｃ・・・・・・リーンＮＯＸ触媒Ｃ ６・・・・・・スーパーケージ 出願人 トヨタ自動車株式会社 第２図 第３図 ６スーパーブーレ′
たエンジンの全体構成図、 第２図は、本発明による実施例の排ガス浄化装置の斜視
図、 第３図は、他の実施例の排ガス浄化装置の構成図、 第４図は、本実施例のＨＣとＮＯＸの浄化率性能試験結
果を表す図、 第５図は、比較例１の浄化率性能試験結果を表す図、 第６図は、比較例２の浄化率性能評価結果を表す図、 第７図は、フェリエライトの結晶構造を表す図、を示す
ものである。 符号の説明 １・・・・・・エンジン ２・・・・・・排ガス浄化装置 Ａ・・・・・・リーンＮＯｘ触媒Ａ Ｂ・・・・・・リーンＮＯｘ触媒Ｂ Ｃ・・・・・・リーンＮＯＸ触媒Ｃ ６・・・・・・スーパーケージ 出願人 トヨタ自動車株式会社 第２図 第３図 ６スーパーブーレ′
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 遷移金属、或いは、貴金属でイオン交換した酸素過剰雰
囲気での還元触媒材料を、耐火性担体上に担持した内燃
機関の触媒式排ガス浄化装置において、 前記触媒材料は、スーパーケージ径が異なる２種以上の
、３次元骨格の結晶構造を有する触媒材料からなり、 スーパーケージ径が小さな触媒材料の分布を、前記浄化
装置中の排ガスの流れ方向の上流側に、多くしたことを
特徴とする内燃機関の触媒式排ガス浄化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2129850A JP2751562B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 内燃機関の触媒式排ガス浄化装置 |
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Family Applications (1)
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5544387A (en) * | 1993-04-15 | 1996-08-13 | Yoshida Kogyo K.K. | Curtain attachment connector assembly and curtain attachment connector |
| JP2002190739A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-05 | Kawasaki Microelectronics Kk | 半導体装置 |
| JP2011125846A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-30 | Ibiden Co Ltd | ハニカム構造体及び排ガス浄化装置 |
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-
1990
- 1990-05-18 JP JP2129850A patent/JP2751562B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5544387A (en) * | 1993-04-15 | 1996-08-13 | Yoshida Kogyo K.K. | Curtain attachment connector assembly and curtain attachment connector |
| JP2002190739A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-05 | Kawasaki Microelectronics Kk | 半導体装置 |
| JP4500439B2 (ja) * | 2000-12-22 | 2010-07-14 | 川崎マイクロエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
| JP2011125846A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-30 | Ibiden Co Ltd | ハニカム構造体及び排ガス浄化装置 |
| JPWO2013141221A1 (ja) * | 2012-03-19 | 2015-08-03 | 富士電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2751562B2 (ja) | 1998-05-18 |
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