JPH0425335A - 物体の保持方法 - Google Patents
物体の保持方法Info
- Publication number
- JPH0425335A JPH0425335A JP2127389A JP12738990A JPH0425335A JP H0425335 A JPH0425335 A JP H0425335A JP 2127389 A JP2127389 A JP 2127389A JP 12738990 A JP12738990 A JP 12738990A JP H0425335 A JPH0425335 A JP H0425335A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- suction
- suction hole
- pressure
- hold
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は例えば工作機械の加工テーブル上にワークを固
定するために使用することができる物体の保持方法に関
するものである。
定するために使用することができる物体の保持方法に関
するものである。
(従来の技術)
工作機械の加工テーブル上に物体を固定する方法として
は、機械的なチャック手段により固定する方法や、磁力
を利用して固定する方法が普通である。しかし前者の方
法は構造が複雑で高価となるうえ、物体を傷付けるおそ
れがある。また後者の方法は物体が8Mi性体である場
合には使用できない欠点がある。
は、機械的なチャック手段により固定する方法や、磁力
を利用して固定する方法が普通である。しかし前者の方
法は構造が複雑で高価となるうえ、物体を傷付けるおそ
れがある。また後者の方法は物体が8Mi性体である場
合には使用できない欠点がある。
そこでこれらの欠点を解決するために、多数の吸引孔を
テーブル面に設けておき、真空圧を利用して物体を保持
させる方法が考えられている。ところがこの方法では物
体の形状によって多数の吸引孔が開放されたままとなり
、それらの吸引孔から大気圧の空気が吸引され吸引力が
低下するという問題があった。
テーブル面に設けておき、真空圧を利用して物体を保持
させる方法が考えられている。ところがこの方法では物
体の形状によって多数の吸引孔が開放されたままとなり
、それらの吸引孔から大気圧の空気が吸引され吸引力が
低下するという問題があった。
(発明が解決しようとする課題)
本発明は上記したような従来の問題を解決して、物体の
形状にかかわらず物体の接触面にのみ確実に吸引力を作
用させ、開放された吸引孔からの空気の吸引を防止して
吸引力の低下を防止することができる物体の保持方法を
提供するために完成されたものである。
形状にかかわらず物体の接触面にのみ確実に吸引力を作
用させ、開放された吸引孔からの空気の吸引を防止して
吸引力の低下を防止することができる物体の保持方法を
提供するために完成されたものである。
(課題を解決するための手段)
上記の課題を解決するための本発明は、保持面に形成さ
れた多数の吸引孔の内部に外側と内側の差圧に応じて開
閉する弁を設けておき、保持面の吸引孔のうち物体によ
り表面が塞がれた吸引孔では弁の内外の差圧が小さくな
ることを利用して弁を開かせて物体を吸着し、表面が開
放された吸引孔では弁の内外の差圧が大きくなることを
利用して弁を閉じ、吸引圧の損失を防止することを特徴
とするものである。
れた多数の吸引孔の内部に外側と内側の差圧に応じて開
閉する弁を設けておき、保持面の吸引孔のうち物体によ
り表面が塞がれた吸引孔では弁の内外の差圧が小さくな
ることを利用して弁を開かせて物体を吸着し、表面が開
放された吸引孔では弁の内外の差圧が大きくなることを
利用して弁を閉じ、吸引圧の損失を防止することを特徴
とするものである。
(実施例)
以下に本発明を図示の実施例によって更に詳細に説明す
る。
る。
第1図および第2図において、(1)は内部に真空室(
2)を備えた保持具であり、その保持面(3)には多数
の吸引孔(4)が形成されている。各吸引孔(4)の下
端は真空室(2)に連通しているとともに、保持面(3
)の付近に形成された拡径部(5)の内部には拡径部(
5)よりもやや小径の弁(6)が設けられている。
2)を備えた保持具であり、その保持面(3)には多数
の吸引孔(4)が形成されている。各吸引孔(4)の下
端は真空室(2)に連通しているとともに、保持面(3
)の付近に形成された拡径部(5)の内部には拡径部(
5)よりもやや小径の弁(6)が設けられている。
第2図に拡大して示したように、この弁(6)は弱いコ
イルバネ(7)により外向きに弾発されており、弁(6
)の外側と内側の圧力差に応じて開閉することができる
ものである。即ち、第2図のように吸引孔(4)が物体
0[+1により封鎖されている場合には、保持面(3)
と物体0ωとの隙間から流入する空気量が少ないので吸
引孔(4)の内部はほぼ均等な圧力となり、弁(6)の
内外の差圧が小さくなるので弁(6)はコイルバネ(7
)により外向きに弾発される。これに対して吸引孔(4
)の上部に物体6mがなく開放された状態では、吸引孔
(4)の上面から多量の空気が流入し、弁(6)の上部
は大気圧となるのに対して弁(6)の下部には真空室(
2)内の真空圧が作用し、弁(6)の内外の差圧が大き
くなって弁(6)は第2図に想像線で示すようにコイル
バネ(7)に抗してOリンク(9)に向かって吸着され
る。この結果、吸引孔(4)が物体0ωにより封鎖され
ている場合には弁(6)は開き、吸引孔(4)が開放さ
れている場合には弁(6)が閉じることとなる。
イルバネ(7)により外向きに弾発されており、弁(6
)の外側と内側の圧力差に応じて開閉することができる
ものである。即ち、第2図のように吸引孔(4)が物体
0[+1により封鎖されている場合には、保持面(3)
と物体0ωとの隙間から流入する空気量が少ないので吸
引孔(4)の内部はほぼ均等な圧力となり、弁(6)の
内外の差圧が小さくなるので弁(6)はコイルバネ(7
)により外向きに弾発される。これに対して吸引孔(4
)の上部に物体6mがなく開放された状態では、吸引孔
(4)の上面から多量の空気が流入し、弁(6)の上部
は大気圧となるのに対して弁(6)の下部には真空室(
2)内の真空圧が作用し、弁(6)の内外の差圧が大き
くなって弁(6)は第2図に想像線で示すようにコイル
バネ(7)に抗してOリンク(9)に向かって吸着され
る。この結果、吸引孔(4)が物体0ωにより封鎖され
ている場合には弁(6)は開き、吸引孔(4)が開放さ
れている場合には弁(6)が閉じることとなる。
このため、保持面(3)に物体0ωを載せて真空室(2
)を通じて吸引すれば、多数の吸引孔(4)のうちの物
体0ωにより封鎖されている吸引孔(4)では弁(6)
が開いて物体0ωを吸引するが、物体0ωがなく表面が
開放された吸引孔(4)では弁(6)が閉じ、吸引圧の
損失を防止することができる。このような弁(6)の開
閉は物体0ωの形状に応じて自動的に行われるので、ど
のような形状の物体0ωをも確実に吸着して保持するこ
とができる。
)を通じて吸引すれば、多数の吸引孔(4)のうちの物
体0ωにより封鎖されている吸引孔(4)では弁(6)
が開いて物体0ωを吸引するが、物体0ωがなく表面が
開放された吸引孔(4)では弁(6)が閉じ、吸引圧の
損失を防止することができる。このような弁(6)の開
閉は物体0ωの形状に応じて自動的に行われるので、ど
のような形状の物体0ωをも確実に吸着して保持するこ
とができる。
以上に説明した第1の実施例では平板状の弁(6)を使
用したが、第3図に示す第2の実施例では拡径部(5)
の内部に収納された弁(6)は端部にmaoを持つとと
もに細孔0りと裏面の突起0■を備えている。
用したが、第3図に示す第2の実施例では拡径部(5)
の内部に収納された弁(6)は端部にmaoを持つとと
もに細孔0りと裏面の突起0■を備えている。
この弁(6)はゴムのような弾性体からなるもので、吸
引孔(4)が封鎖された場合には弾力により実線のよう
に開いているが、吸引孔(4)が開放されている場合に
は想像線のように変形して突起0りが真空室(2)との
連通孔面を閉じることとなる。
引孔(4)が封鎖された場合には弾力により実線のよう
に開いているが、吸引孔(4)が開放されている場合に
は想像線のように変形して突起0りが真空室(2)との
連通孔面を閉じることとなる。
また第4図に示す第3の実施例では、弁(6)の裏面の
突起Qωを大きくするとともに、コイルバネ(7)によ
り垂直に開閉可能な構造となっているが、その作用は前
述のものと同様である。
突起Qωを大きくするとともに、コイルバネ(7)によ
り垂直に開閉可能な構造となっているが、その作用は前
述のものと同様である。
(発明の効果)
以上に説明したように、本発明によれば物体の形状にか
かわらず物体の接触面にのみ確実に吸引力を作用させ、
開放された吸引孔からの空気の吸引を防止して吸引力の
低下を防止することができる。このため、本発明によれ
ば物体を確実に保持することができる。また真空室から
の吸引を停止すれば物体に作用する力はただちにゼロと
なり、保持が解除されることとなる。
かわらず物体の接触面にのみ確実に吸引力を作用させ、
開放された吸引孔からの空気の吸引を防止して吸引力の
低下を防止することができる。このため、本発明によれ
ば物体を確実に保持することができる。また真空室から
の吸引を停止すれば物体に作用する力はただちにゼロと
なり、保持が解除されることとなる。
このため、本発明は工作機械の加工テーブル上にワーク
を固定する場合をはしめ、各種物体の保持方法として広
く利用することができるものである。
を固定する場合をはしめ、各種物体の保持方法として広
く利用することができるものである。
第1図は本発明の第1の実施例を示1断面図、第2図は
要部の拡大断面図、第3図は第2の実施例の要部の拡大
断面図、第4図は第3の実施例の要部の拡大断面図であ
る。 (3):保持面、(4):吸引孔、(6):弁、0ω:
物体。 第 図 6:付 1o:刹俊
要部の拡大断面図、第3図は第2の実施例の要部の拡大
断面図、第4図は第3の実施例の要部の拡大断面図であ
る。 (3):保持面、(4):吸引孔、(6):弁、0ω:
物体。 第 図 6:付 1o:刹俊
Claims (1)
- 保持面(3)に形成された多数の吸引孔(4)の内部に
外側と内側の差圧に応じて開閉する弁(6)を設けてお
き、保持面(3)の吸引孔(4)のうち物体(10)に
より表面が塞がれた吸引孔(4)では弁(6)の内外の
差圧が小さくなることを利用して弁(6)を開かせて物
体(10)を吸着し、表面が開放された吸引孔(4)で
は弁(6)の内外の差圧が大きくなることを利用して弁
(6)を閉じ、吸引圧の損失を防止することを特徴とす
る物体の保持方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2127389A JP2501366B2 (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 | 物体の保持装置 |
US07/595,357 US5048804A (en) | 1990-05-17 | 1990-10-09 | Apparatus for holding an object to a surface using valve controlled vacuum force |
EP19900119332 EP0456884A3 (en) | 1990-05-17 | 1990-10-09 | Method of holding objects and apparatus therefor |
US07/734,638 US5177857A (en) | 1990-05-17 | 1991-07-23 | Method for holding an object to a surface using valve controlled vacuum force |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2127389A JP2501366B2 (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 | 物体の保持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0425335A true JPH0425335A (ja) | 1992-01-29 |
JP2501366B2 JP2501366B2 (ja) | 1996-05-29 |
Family
ID=14958786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2127389A Expired - Fee Related JP2501366B2 (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 | 物体の保持装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5048804A (ja) |
EP (1) | EP0456884A3 (ja) |
JP (1) | JP2501366B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013193206A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Xerex Ab | 真空グリッパ用物体感知バルブ |
CN103639797A (zh) * | 2013-11-28 | 2014-03-19 | 江西洪都航空工业集团有限责任公司 | 双曲度型面的真空吸附台及加工双曲度蒙皮厚度的方法 |
CN104097158A (zh) * | 2014-06-20 | 2014-10-15 | 苏州拓科仪器设备有限公司 | 一种三次元测量用底座 |
CN105667081A (zh) * | 2014-12-04 | 2016-06-15 | 海德堡印刷机械股份公司 | 抽吸面 |
CN106392944A (zh) * | 2016-12-01 | 2017-02-15 | 无锡市创恒机械有限公司 | 工件吸附平台 |
JP2018079545A (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社 動研 | 吸着機能を備えた載置テーブル |
CN108356782A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-08-03 | 段先平 | 一种新型的划线机 |
CN113333866A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-09-03 | 许碧环 | 一种数控金属切削机床 |
Families Citing this family (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5432429A (en) | 1990-10-23 | 1995-07-11 | Benchmarq Microelectronics, Inc. | System for charging/monitoring batteries for a microprocessor based system |
US5334130A (en) * | 1992-05-13 | 1994-08-02 | Savant Instruments, Inc. | Centrifugal vacuum concentration with holder assembly |
US5284719A (en) | 1992-07-08 | 1994-02-08 | Benchmarq Microelectronics, Inc. | Method and apparatus for monitoring battery capacity |
IL103906A (en) * | 1992-11-27 | 1996-05-14 | Orbotech Ltd | Vacuum holder particularly useful as a vacuum table |
BE1006476A3 (nl) * | 1992-12-28 | 1994-09-06 | Coillie Germaan Van | Werkwijze voor het vervaardigen van een chocolade-artikel met het uiterlijk uitzicht van een friet en aldus bekomen chocolade-artikel. |
FR2706798A1 (en) * | 1993-06-25 | 1994-12-30 | Couval Sa | Device for positioning a workpiece and holding it in position using an air vacuum |
US5647265A (en) * | 1993-06-30 | 1997-07-15 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Tool and system for machining a round strand |
US5429460A (en) * | 1994-03-09 | 1995-07-04 | Campian; Jonathon | Machine for cutting a workpiece made of styrofoam or like material |
US5522478A (en) * | 1994-04-19 | 1996-06-04 | Smartech Llc | Method of elevating a workpiece |
US5580415A (en) * | 1994-04-19 | 1996-12-03 | Diekwisch; Hartmut | Membrane press work base |
GB2291926B (en) * | 1994-08-02 | 1999-01-13 | Tobias Michael Cardew | Vacuum securing arrangements |
US5685513A (en) * | 1995-05-17 | 1997-11-11 | Nihon Biso Co., Ltd. | Vacuum-suction attachment pad |
US5950670A (en) * | 1996-12-05 | 1999-09-14 | Rayco Manufacturing Inc. | Vacuum cup safety device |
DE19746497C2 (de) * | 1997-10-22 | 2000-04-06 | Schmalz J Gmbh | Vakuumspannsystem |
US6080050A (en) * | 1997-12-31 | 2000-06-27 | Applied Materials, Inc. | Carrier head including a flexible membrane and a compliant backing member for a chemical mechanical polishing apparatus |
US5993302A (en) * | 1997-12-31 | 1999-11-30 | Applied Materials, Inc. | Carrier head with a removable retaining ring for a chemical mechanical polishing apparatus |
US6264185B1 (en) * | 2000-04-19 | 2001-07-24 | Shoda Iron Works Co., Ltd. | Suction pad |
TWI222423B (en) * | 2001-12-27 | 2004-10-21 | Orbotech Ltd | System and methods for conveying and transporting levitated articles |
EP1545885B1 (en) * | 2002-08-22 | 2010-11-17 | MVM Technologies, Inc. | Universal inkjet printer device |
TWI230110B (en) * | 2004-01-19 | 2005-04-01 | Ji-Wang Liang | Suction device |
JP4733929B2 (ja) * | 2004-04-20 | 2011-07-27 | 株式会社ディスコ | 半導体ウエーハの切断方法 |
US20060032037A1 (en) * | 2004-08-13 | 2006-02-16 | Dar-Wen Lo | [assembling method and device thereof] |
US7584947B2 (en) * | 2005-05-20 | 2009-09-08 | The Boeing Company | Reconfigurable workpiece support fixture |
US7434453B2 (en) * | 2005-07-08 | 2008-10-14 | General Electric Company | Vacuum-assisted fixture for holding a part |
US20070194511A1 (en) * | 2006-02-17 | 2007-08-23 | Dana Neer | Water-tight seal and attachment apparatus |
US8336188B2 (en) * | 2008-07-17 | 2012-12-25 | Formfactor, Inc. | Thin wafer chuck |
IL203353A (en) * | 2010-01-17 | 2015-10-29 | Orbotech Ltd | Empty grip system |
DE102010000526A1 (de) * | 2010-02-24 | 2011-08-25 | Krones Ag, 93073 | Unterdruck-Greifervorrichtung |
DE102012206469A1 (de) | 2012-04-19 | 2013-10-24 | Krones Aktiengesellschaft | Unterdruck-Greifvorrichtung |
CN103904011B (zh) * | 2012-12-28 | 2016-12-28 | 上海微电子装备有限公司 | 翘曲硅片吸附装置及其吸附方法 |
US8746438B1 (en) * | 2013-02-19 | 2014-06-10 | Nulabel Technologies, Inc. | Labeling apparatus using vacuum based label transport |
CN103448044B (zh) * | 2013-09-23 | 2015-06-10 | 南京帝鼎数控科技有限公司 | 组合式吸附加工平台 |
KR101469688B1 (ko) | 2014-03-21 | 2014-12-05 | 한국뉴매틱(주) | 진공 시스템용 체크-밸브 어셈블리 |
CN105082165B (zh) * | 2014-05-14 | 2017-08-25 | 宁夏巨能机器人系统有限公司 | 一种机械臂夹具 |
CN105114440A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-12-02 | 苏州市玄天环保科技有限公司 | 一种负压强力吸附装置 |
KR101710299B1 (ko) * | 2016-02-22 | 2017-02-28 | 강희창 | 석재 원판 |
DE202016107328U1 (de) * | 2016-12-23 | 2018-03-26 | Krones Ag | Flexible Vakuumleiste |
DE102017106936B4 (de) * | 2017-03-31 | 2020-09-10 | J. Schmalz Gmbh | Saugvorrichtung |
US11059197B2 (en) * | 2017-08-24 | 2021-07-13 | Cozzini Llc | Method of slicing a food item and slicing mechanism employing a gripping element that generates a vacuum grip |
IT201700123759A1 (it) * | 2017-10-31 | 2019-05-01 | Scm Group Spa | Macchina utensile con sistema perfezionato per il bloccaggio di pezzi da lavorare. |
IT201700123766A1 (it) * | 2017-10-31 | 2019-05-01 | Scm Group Spa | Macchina utensile con un sistema di bloccaggio di pezzi da lavorare dotato di un sistema perfezionato di alimentazione elettrica. |
IT201700123747A1 (it) * | 2017-10-31 | 2019-05-01 | Scm Group Spa | Macchina utensile con sistema perfezionato per il bloccaggio di pezzi da lavorare. |
IT201900016838A1 (it) * | 2019-09-20 | 2021-03-20 | Scm Group Spa | Macchina utensile con sistema perfezionato per il bloccaggio di pezzi. |
CN111391005B (zh) * | 2020-03-25 | 2024-06-25 | 南京工业职业技术学院 | 一种阵列阀承台 |
CN113213153B (zh) * | 2021-05-06 | 2022-12-27 | 扬州快乐机械有限公司 | 一种吸盘装置与一种人造板生产设备 |
EP4509282A1 (en) * | 2023-08-16 | 2025-02-19 | Imec Vzw | A self-closing valve |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5215082U (ja) * | 1975-07-22 | 1977-02-02 | ||
JPS618250A (ja) * | 1984-06-23 | 1986-01-14 | Mitsubishi Electric Corp | 真空吸着台 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2680994A (en) * | 1951-10-22 | 1954-06-15 | Boeing Co | Suction holding device |
US2782574A (en) * | 1954-09-16 | 1957-02-26 | Gen Dynamics Corp | Work holder |
US2855653A (en) * | 1955-10-07 | 1958-10-14 | Tile Council Of America | Apparatus for making tile panels |
US3307819A (en) * | 1965-04-12 | 1967-03-07 | Cocito Joe Michael | Disc valve for vacuum board |
US3460822A (en) * | 1965-10-23 | 1969-08-12 | E & E Eng Co | Vacuum workholder |
US3489093A (en) * | 1968-09-11 | 1970-01-13 | Cav Ltd | Liquid fuel pumping apparatus |
US3907268A (en) * | 1974-03-29 | 1975-09-23 | Thomas F Hale | Valve means for vacuum holding device |
US4221356A (en) * | 1978-11-09 | 1980-09-09 | Fortune William S | Vacuum operated holding fixture |
DD141661A1 (de) * | 1979-02-26 | 1980-05-14 | Heinz Buehn | Vakuumspanneinrichtung zum transport von halbleiterscheiben |
FR2472441A1 (fr) * | 1979-09-26 | 1981-07-03 | Kis France Sa | Dispositif de maintien de plaques, notamment pour une machine a graver les plaques planes |
DE3140882A1 (de) * | 1980-10-17 | 1982-05-27 | Dai Nippon Insatsu K.K., Tokyo | Vorrichtung zum befestigen einer offset-druckplatte oder einer aehnlichen platte in ebenem zustand durch unterdruck |
GB8815553D0 (en) * | 1988-06-30 | 1988-08-03 | Mpl Precision Ltd | Vacuum chuck |
-
1990
- 1990-05-17 JP JP2127389A patent/JP2501366B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1990-10-09 EP EP19900119332 patent/EP0456884A3/en not_active Withdrawn
- 1990-10-09 US US07/595,357 patent/US5048804A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5215082U (ja) * | 1975-07-22 | 1977-02-02 | ||
JPS618250A (ja) * | 1984-06-23 | 1986-01-14 | Mitsubishi Electric Corp | 真空吸着台 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013193206A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Xerex Ab | 真空グリッパ用物体感知バルブ |
CN103639797A (zh) * | 2013-11-28 | 2014-03-19 | 江西洪都航空工业集团有限责任公司 | 双曲度型面的真空吸附台及加工双曲度蒙皮厚度的方法 |
CN104097158A (zh) * | 2014-06-20 | 2014-10-15 | 苏州拓科仪器设备有限公司 | 一种三次元测量用底座 |
CN105667081A (zh) * | 2014-12-04 | 2016-06-15 | 海德堡印刷机械股份公司 | 抽吸面 |
JP2018079545A (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社 動研 | 吸着機能を備えた載置テーブル |
CN106392944A (zh) * | 2016-12-01 | 2017-02-15 | 无锡市创恒机械有限公司 | 工件吸附平台 |
CN108356782A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-08-03 | 段先平 | 一种新型的划线机 |
CN113333866A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-09-03 | 许碧环 | 一种数控金属切削机床 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0456884A3 (en) | 1992-04-15 |
US5048804A (en) | 1991-09-17 |
JP2501366B2 (ja) | 1996-05-29 |
EP0456884A2 (en) | 1991-11-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0425335A (ja) | 物体の保持方法 | |
US5374021A (en) | Vacuum holder particulary useful as a vacuum table | |
JPH04228978A (ja) | スリット・バルブ装置と方法 | |
WO2002029856A3 (en) | A testing device for semiconductor components and a method of using the same | |
JPH10135316A (ja) | 薄板状基板の真空吸着方法及びその真空吸着テーブル装置 | |
TW201731749A (zh) | 吸附裝置 | |
KR102339079B1 (ko) | 흡착 스테이지 | |
EP1429379A4 (en) | SPECIMEN HOLDER AND CORRESPONDING TRANSFER DEVICE | |
JPH0582631A (ja) | 半導体ウエーハ用真空チヤツク | |
KR970053297A (ko) | 진공튀저 | |
TW201448105A (zh) | 夾頭台 | |
US6893069B1 (en) | Die edge-picking vacuum tool | |
JPS6362347A (ja) | チヤツクテ−ブル | |
JP3076775B2 (ja) | 真空処理装置 | |
JP2003158169A (ja) | 基板真空吸着ハンド | |
JP2002137183A (ja) | 吸着パッド | |
JP3954405B2 (ja) | 吸着ノズル | |
JPH01206643A (ja) | 基板吸着構造 | |
JPH0537939Y2 (ja) | ||
CN220821523U (zh) | 一种晶圆吸附装置 | |
JPH01198046A (ja) | 半導体チップ搬送装置 | |
JPH08125003A (ja) | 挟込み式基板搬送アーム | |
JPH06335834A (ja) | 工作物真空保持具 | |
JPH04107809A (ja) | 半導体製造装置 | |
JPH0632376A (ja) | 保管箱及びそのキャップ開閉制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080313 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090313 Year of fee payment: 13 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |