JPH04209733A

JPH04209733A - 熱線遮へいガラス

Info

Publication number: JPH04209733A
Application number: JP2304554A
Authority: JP
Inventors: Takashi Muromachi; 隆室町; Atsushi Kawaguchi; 淳川口; Hidemi Nakai; 日出海中井
Original assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Current assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date: 1990-06-04
Filing date: 1990-11-09
Publication date: 1992-07-31
Anticipated expiration: 2016-07-16
Also published as: JP3189277B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コ本発明は、高い可視光線透過率と低い可視光線反射率を
有し、かつ、太陽輻射エネルギーの一部を遮へいするガ
ラスに関し、とりわけ自動車や建築物の窓ガラスとして
有用な熱線遮へい性能を有するガラスに関する。

［従来の技術］高い可視光線透過率を有し、太陽輻射エネルギーの一部
を遮へいするガラスとしては、ガラス板の上に透明誘電
体膜、金属窒化物膜、透明誘電体膜が順次被覆されたも
のが開示されている（ＳＰＩＥ、ｖｏ　１．３２４　（
１９８２）５２）。そして、前記の自ら赤外線に対して
反射を示す金属窒化物の膜としては化学周期律表第４Ａ
族の化学的に安定なチタニウム、ジルコニウム、ハフニ
ウムの窒化物が知られており、これらの金属窒化物膜を
透明誘電体膜ではさんだ三層構成の被膜がガラス板上に
被覆された熱線遮へいガラスがある［発明が解決しよう
とする課題］しかしながら従来の技術では、熱線遮へいガラスは、積
層された膜に入射する可視光線の光干渉作用により、赤
、赤紫あるいは黄などの強い干渉色を呈し、ガラス自身
の色とは外観色が異なるようになるので、自動車の窓ガ
ラスとしてはデザイン上好すしくないという問題がある
。自動車の窓ガラスとして使用される熱線遮へい性能を
有する膜は、太陽の直射光の流入を減らすことにより暑
さを低減して快適性を向上させるとともに、自動車のデ
ザイン上の要求からガラス自身の色、とりわけガラス面
の色がガラスの色と大きく異ならないことが要求される
。

本発明は、ガラス自身の透過色、反射色を実際上はとん
ど変えずに、高い可視光線透過率と低い可視光線反射率
と大きい熱線遮へい性能を合わせ有し、窓ガラスとして
使用するに際しては複層ガラスや合わせガラスにする必
要がなく、すなわち単板で使用できる耐久性を有する熱
線遮へいガラスを提供するにある。

［課題を解決するための手段］本発明の熱線遮へいガラスは、ガラス板上に第１層とし
てｅ３３ｎｍの波長における屈折率が１゜８〜２．１、
厚みが５０〜ｆ００ｎｍの透明誘電体膜が被覆され、前
記第１層の上に８３３　ｎｍの波長における屈折率が２
．２以上、厚みが２０〜８０ｎｍの透明誘電体膜が第２
層として被覆され、前記第２層の上に８３３ｎ＋ｍの波
長における屈折率が１．４８〜２．１、厚みが３Ｑ−８
０ｎｍの透明誘電体膜が第３層として被覆された熱線遮
へいガラスである。

本発明のガラス板上に被覆される第１層、第２層および
第３層として被覆される膜の屈折率および厚みは、上記
の範囲内である必要がある。上記範囲内に限定すること
により、可視光線に対して高透過率で、太陽光線に含ま
れる近赤外域の波長の熱線に対して高い反射率を有する
ようになり、さらに熱線遮へいガラスの色調を、用いる
ガラス板のそれと実質的に同じにすることができる。

第１層、第２層および第３層の膜の厚みは、それぞれ単
独で定められるものでなく、互に関連して可視光線透過
率や熱線遮へい性能を考慮して定められる。前記範囲内
で各層の膜の屈折率と厚みを調整することにより、自動
車の窓ガラスとして要求される可視光線透過率が７０％
以上の可視光線に対して高透過率の熱線遮へい性のガラ
スとすることができる。

第１層の膜の厚みが５０ｎｍより小さくても、Ｌ　００
　ｎｍより大きくても、また第２層の高屈折率の膜の厚
みが２０ｎｍより小さくても、８０ｎｍより大きくても
、さらに第３層の膜の厚みが３０ｎｍより小さくても、
８０ｎｍより大きくても、着色が感じられる外観をもつ
か、近赤外域での反射率が減じて熱線遮へい性能が低下
してしまう。

第１層、第２槽、第３層の膜の屈折率および厚みを前記
範囲内で定めることにより、熱線遮へいガラスの色度座
標のＸｌ　Ｖの値と、用いるガラス板の色度座標のｘｔ
　　Ｖの値の差ΔＸ、△ｙのそれぞれを、０．０３以下
とすることができる。これにより、熱線遮へいガラスと
熱線遮へいガラスに用いるガラス板の外観色の違いを感
じさせない値にすることができる。

肉眼で色調が同じように感じられるのは、前記のΔＸ、
Δｙの値が同時に０．０３以下であることが実験的に知
られており、本発明にかかる熱線遮へいガラスは、ΔＸ
、Δｙがともに０．０３以下としたことを特徴とする。

上記の△Ｘ、△ｙの値をより小さくシ、すなわち熱線遮
へいガラスとその熱線遮蔽へいガラスに用いるガラス板
との色調の差をより小さくするためには、第１層の膜の
厚みを５５〜７０ｎｍ１第２層の膜の厚みを３０〜５０
ｎｍ１第３層の膜の厚みを４５〜６０ｎｍとすることが
好ましい。

熱線遮へいガラスの被膜の耐摩耗性は、被覆される最上
層の膜の耐摩耗性に大きく依存する。単板で用いられ得
る耐摩耗性を有する熱線遮へいガラスとするには、最上
層すなわち屈折率が１．４６〜２．１の第３層の透明誘
電体膜を、酸化第２錫膜、酸化ジルコニウム膜、五酸化
タンタル膜。

二酸化珪素膜、酸化アルミニウム膜、五酸化ニオブ膜、
酸化ニッケル膜、窒化珪素膜のいずれか１種とすること
が好ましい。

また、単板で用いられ得る耐摩耗性を有する熱線遮へい
ガラスとするには、最上層すなわち第３層の屈折率が１
．４６〜２．１の透明誘電体膜を、錫、ジルコニウム、
タンタル、ビスマス、ニオブおよびシリコンの群から選
ばれた１種と、酸素と、窒素とを含む非晶質膜とするこ
とが好ましい。前記の非晶質膜は、酸化第２錫膜、酸化
ジルコニウム膜、五酸化タンタル膜、酸化ビスマス膜、
五酸化ニオブ膜、二酸化珪素膜の酸素の一部を窒素に置
換することにより得られる可視域で透明な非晶質膜であ
り、膜中に含まれる酸素の量は膜中の窒素の量よりも多
く含むようにされる。すなわち、前記の被膜の組成を化
学式Ｓ　ｎ　Ｏ，Ｎ、、　　Ｚ　ｒ　Ｏ，ＮＦＩ　Ｔ　
ａｏｘＮｙ＋　Ｂ　ｉ　Ｏ，Ｎ、、ＮｂＯ，Ｎ、、Ｓ　
ｉ　ＯＸ　Ｎ　Ｆで表すと、Ｘがｙより大きくなるよう
に定められる。

また、単板で用いられ得る耐摩耗性を有する熱線遮へい
ガラスとするには、最上層すなわち第３層の屈折率が１
．４６〜２．１の透明誘電体膜を、タンタル、アルミニ
ウム、ニオブおよびニッケルからなる群から選ばれた１
種とシリコンと酸素と窒素とを含む非晶質膜とすること
が好ましい。

これらの非晶質膜は、それぞれ化学式ＴａＳ　１ｘｏｖ
Ｎｚ＋　Ａ　Ｉ　Ｓ　ｉ　ｘｏｖＮｉ＋　Ｎｂ　Ｓ　１
ｘｏｖＮｚ＋　ＮｉＳ　１ｘｏｙＮｚで表され、膜中の
酸素と窒素については、膜中に含まれる前記の群から選
ばれる元素の１種とシリコンと結合して膜を透明にする
に必要な量を含むように調整され、また膜中の酸素に対
する窒素の量は膜を非晶質にするように膜中に導入され
る。

また、単板で用いられ得る耐摩耗性を有する熱線遮へい
ガラスとするには、最上層すなわち第３層の屈折率が１
．４６〜２．１の透明誘電体膜を、シリコンと炭素と酸
素と窒素とを含む非晶質膜とすることが好ましい。この
膜の化学式はＳ　ｆ　ＣｘＮＹＯｌで表され、膜中のＳ
ｉおよびＣと化学結合して膜を可視域で透明にするのに
必要な量の酸素と窒素を含むように調整される。

また、単板で用いられ得る耐摩耗性を有する熱線遮へい
ガラスとするには、最上層すなわち第３層の屈折率が１
．４６〜２．１の透明誘電体膜を、ジルコニウムまたは
タンタルのいずれか１種と、硼素と、酸素と、窒素とを
含む非晶質膜とすることが好ましい。膜中の酸素量はジ
ルコニウムと硼素あるいはタンタルと硼素を酸化して透
明にするに必要な量を含むように調整される。

本発明の熱線部へいガラスの第２層とすることができる
膜としては、屈折率が２６２以上であればとくに限定さ
れるものでないが、酸化第２チタン膜や酸化第２チタン
を主成分とする膜やチタニウムの酸窒化物の膜などが例
示でき、とりわけ最も大きい屈折率が得られる酸化第２
チタン膜が、熱線部へい性能を大きくする上で好ましい
。

本発明の熱線部へいガラスの第１層とすることができる
膜は、屈折率が１．８〜２．１の透明誘電体膜であれば
とくに限定されないが、酸化第２錫膜、酸化ジルコニウ
ム膜、窒化珪素膜、五酸化タンタル膜、シリコンと酸素
と窒素とを含む可視光線波長域で透明な誘電体膜、シリ
コンと炭素と酸素と窒素とを含む可視域で透明な誘電体
膜などを例示することができる。

前記の第１層、第２層および第３層の透明誘電体膜は、
いずれも可視光線の波長域で透明で、電気的には絶縁性
である。被膜中に含まれる酸素や窒素の量をやや少なく
することにより、可視光線の透過率を実質的に低下させ
ない範囲で可視域の光の吸収が生じるようにしても用い
ることができる。

また、熱線部へい性能をより大きくするために、前記第
１層と第２層の間に１０ｎｍを越えない厚みのチタニウ
ム、ジルコニウム、クロムまたはハフニウムの窒化物か
らなる吸収膜を説けることができる。前記吸収膜は、そ
れ自身で近赤外線より長波長の熱線を反射するとともに
、可視光線の波長域で光線の一部を吸収する。

また、前記吸収膜を設けても、得られる熱線部へいガラ
スの外観色調は、用いるガラス板の外観色調と大きく変
わることなく熱線部へい性能をより大きくすることがで
きる。前記金属の窒化物からなる吸収膜は、可視域で光
の一部を吸収するため、その厚みは１０ｎｍを越えると
、可視光線の透過が低下し窓ガラスとしては暗くなる。

したがって、ｌｏｎｍを越えない範囲で厚みが調整され
る。

一方、吸収膜の厚みが薄いと熱線部へい性能を大きくす
る効果が得られにくくなるので、吸収膜の厚みは４ｎｍ
以上にすることが好ましい。

また、上記のチタニウム、ジルコニウム、クロムまたは
ハフニウムの窒化物からなる吸収膜は、前記第２層と第
３履の間に設けることもでき、第１層と第２層の間およ
び第２層と第３層の間に同時に設けることもできる。

前記吸収膜は、光学的には可視光線の一部を吸収し近赤
外線の一部を反射し、電気的には１０にΩ／平方以上の
面積抵抗をもっている。

本発明にかかる第１層、第２層および第３層の膜の厚み
、必要により前記の金属窒化物からなる吸収膜の厚みを
適当に定めることにより、可視光線透過率が７０％以上
で、色調が用いるガラス板と色調と大きく変わらず、か
つ、可視光線の反射率が低い熱線部へいガラスとするこ
とができる。

本発明の透明誘電体膜や吸収膜は、公知のスパッタリン
グ法やアーク蒸着法やイオンブレーティング法などによ
り被覆することができる。

本発明の熱線部へいガラスに用いられるガラスとしては
、透明であればとくにガラスの組成によって限定される
ものでない。フローｌ−法で製造された透明ガラス板や
ブロンズ、グレー、ブルーなどの着色剤を含有する着色
ガラス（たとえば、日本板硝子（株）製部品名ブロンズ
ベーンなど）を用いることができる。

［作用コ本発明の熱線部へいガラスの第１層と第２層と第３層の
透明誘電体膜は、光学干渉作用により可視光線透過率を
高く保持したまま、太陽輻射エネルギーの一部を反射す
る。さらに反射光および透過光による外観色は、用いる
ガラス板の外観色とはその差が小さい。また本発明にか
かる第１層と第２層、あるいは第２層と第３層の間に設
けられる吸収膜膜は、可視光線の一部を吸収し、かつ、
近赤外域の光線を一部反射することにより、太陽輻射エ
ネルギーの遮へい性能を高める。

「実施例」以下に本発明を実施例に基づいて説明する。

第１図は、本発明の熱線部へいガラスの実施例の部分断
面図である。第１図（ａ）では、ガラス板６の上に第１
層として透明誘電体膜２が被覆され、その上に第２層と
して透明誘電体膜３が被覆され、さらにその上に第３層
として透明誘電体Ｍ４が被覆されている。第１図（ｂ）
は、第１図（ａ）の熱線遮へいガラスの第１層と第２層
の透明誘電体膜の間に吸収膜５が被覆されたものである
。第１図（ｃ）は、第１図（ａ）の熱線遮へいガラスの
第２層と第３層の透明誘電体膜の間に吸収膜５が被覆さ
れている。第２図（ａ）、　　（ｂ）は、それぞれ実施
例１．２の分光反射特性を示す図、第３図は比較例の分
光反射特性を示す図である。

実施例１４つの２０インチ×６インチサイズのマグネトロンカソ
ードを有するインライン式スパッタリング装置を用い、
そのうちの２つのカソードに、錫のターゲットとチタニ
ウムのターゲットをそれぞれ設置した。表面を洗浄した
３００ｍｍＸ３００ｍｍの大きさで厚みが４ｍｍの着色
ガラス（日本板硝子■製画品名ブロンズベーン）をスパ
ッタリング装置の真空槽内の基板ホルダにセットし、ク
ライオポンプで真空槽内を７Ｘ’１ＯＰａまで排気した
。アルボッ２０体積％、酸素８０体積％の混合ガスを真
空槽内に導入し、圧力を０．３３　Ｐ　ａに調節した。

錫のターゲットに直流電源からカソード電圧４００　Ｖ
ｌ　　カソード電流５Ａを印加し、所定時間スパッタリ
ングをおこないガラス上に６５ｎｍのＳｎＯ２膜を被覆
した。次に真空槽内の雰囲気をアルボッ４０体積％、酸
素６０体積％の混合ガスにほぼ完全に置換し、圧力を０
．４Ｐａに調整し、チタニウムターゲットにカソード電
圧４８０Ｖ１　カソード電流８Ａを直流電源から印加し
、所定時間スパッタリングをおこない、ＳｎＯ２膜の上
に５０ｎｍのＴｉｅ、膜を被覆した。最後に真空槽内の
雰囲気をアルボッ２０体積％、酸素８０体積％の混合ガ
スにほぼ完全に置換し、圧力を０．４０Ｐａに調整した
。その後鍋のターゲットにカソード電圧４００　Ｖｌ　
カソード電流５Ａを直流電源から印加し、所定時間スパ
ッタリングをおこない、ＴｉＯ２膜の上に５０ｎｍの５
ｎ０２膜を被覆した。

得られたサンプル１の光学特性を第１表〜第３表に示し
た。またこのサンプルの硫酸とカセイソーに対する耐薬
品性、煮沸耐久性、耐摩耗性を測定して、その結果を第
４表にまとめて示した。

第１表、第２表および第３表から、サンプル１は熱線遮
へい性能を存し、かつ、可視光線を７０％以上透過する
ガラスであって、用いたガラス板との色調の差△Ｘ、Δ
ｙの両者が反射光、透過光とも０．０３より小さく、ガ
ラス板と色調が大きく変わらないことが分かる。またこ
のサンプル１の第２図（ａ）に示された分光反射曲線で
は、青および赤の色の反射が抑えられているのが分る。

さらに上記のいずれの耐久試験を行っても光学特性の変
化は小さく、膜の剥離や目立ったキズの発生は認められ
なかった。

実施例２実施例１と同じ装置の基板ホルダに、３ｏｏｍｍＸ３０
０ｍｍのサイズで厚さ４ｍｍの着色ガラス（日本板硝子
■製画品名ブロンズベーン）をセットし、クライオポン
プで７Ｘ’１ＯＰａまで真空槽内を排気した。アルボッ
２０体積％、酸素８第１表ＬＬノ　−＋Ｉｔ（ＩＪＨ子は単６　　（ｍｍ）　　ｋ
ＲＴ。

第２表透過率との差を表す。

見３表第４表差を表す。

注＞　ＩＮ−ＨａＳＯｔ、　ｌＮ−ＮａＯＨテストは、
２５℃で２４時間サンプルを漬けて行りた。

真５表０体積％の混合ガスを真空槽内に導入し、圧力を０．３
３Ｐａに調整した。錫のターゲットに直流電源からカソ
ード電圧４００　Ｖｌ　　カソード電流５Ａを直流電源
から印加して所定時間スパッタリングをおこないガラス
板上に８５ｎｍのＳｎＯ２膜を被覆した。その後、真空
槽内をアルボッ４０体積％、酸素６０体積％の混合ガス
にほぼ完全に置換し、圧力を０．４０Ｐａに調整した。

そしてチタニウムのターゲットにカソード電圧４８０　
Ｖｌ　　カソード電流８Ａを直流電源から印加し、さら
に真空槽内をアルボッ９４体積％、窒素６体積％の混合
ガスにほぼ完全に置換し、圧力を０．４０Ｐａに調整し
た。チタニウムのターゲットにカソード電圧３９０ｖ１
　カソード電流３Ａを直流電源から印加し、Ｔ　ｉ　Ｏ
２膜の上にチタニウムの窒化物のＩＩＫを５ｎｍ被覆し
た。最後に、雰囲気ガスをアルボッ２０体積％、酸素８
０体積％の混合ガスにほぼ完全に置換し、圧力を０．３
３　Ｐ　ａに調整した。そして錫のターゲットにカソー
ド電圧４００　Ｖｌ　　カソード電流５Ａを直流電源か
ら印加し、チタニウムの窒化物の膜の上に４６ｎｍのＳ
ｎＯ２膜を被覆した。

得られたサンプル２の光学特性を、第１表、第２表、第
３表にに示した。またこのサンプル２の硫酸およびカセ
イソーダの耐薬品性、煮沸耐久性、耐摩耗性を測定して
、第４表にまとめて示した。

第１表、第２表、第３表から、サンプル２は、熱線遮へ
い性能を有し、かつ、可視光線を７０％以上透過するガ
ラスであって、用いたガラス板との色調の差ΔＸ、△ｙ
の両者が反射光、透過光とも０．０３より小さく、ガラ
ス板と色調が大きく変わらないことが分かる。またこの
サンプル２の第２図（ｂ）に示された分光反射曲線では
、青および赤の色の反射が抑えられているのが分る。さ
らに上記のいずれの耐久試験を行っても光学特性の変化
は小さく、膜の剥離や目立ったキズの発生は認められな
かった。ガラス板自身との色調と大きく変わらないこと
が分かる。また第２図（ｂ）に示したこのサンプルの分
光反射曲線は、青および赤の色の反射が抑えられている
ことが分る。さらに上記のいずれの耐久試験を行っても
光学特性の変化は小さく、膜の剥離や目立ったキズの発
生は認められなかった。

実施例３〜２６実施例１で用いた装置で、ターゲット材料、スパッタリ
ング電源の種類（直流電源または高周波電源）、ターゲ
ットに印加する電流（直流電源使用の場合）または電力
（高周波電源使用の場合）、真空槽へのガス導入量を選
び、第１表に示す膜構成の被膜が被覆されたサンプル３
〜２６の熱線遮へいガラスを製作した。熱線遮へい膜を
構成する膜の被覆条件を第５表にまとめて示す。

得られたサンプル３〜２６の光学特性を第１表、第２表
、第３表に示した。サンプル３〜２６の硫酸とカセイソ
ーダに対する耐薬品性、煮沸耐久性、耐摩耗性を測定し
て、その結果を第４表にまとめて示した。

第１表、第２表、第３表から、サンプル３〜２６はいず
れも熱線遮へい性能を有し、かつ、可視光線を７０％以
上透過するガラスであって、用いたガラス板との色調の
差△Ｘ、△ｙの両者が反射、透過とも０．０３より小さ
（、ガラス板と色調が大きく変わらないことが分かる。

さらに上記の酸、アルカリ、煮沸のいずれの耐久試験を
行っても光学特性の変化は小さく、膜の剥離や目立った
キズの発生は認められなかった。

比較例実施例１と同じ装置の基板ホルダに３００ｍｍＸ３００
ｍｍのサイズで厚さ４ｍｍの着色ガラス（日本板硝子卸
製ブロンズベーン）をセットし、クライオポンプで７Ｘ
１’ＯＰａまで真空槽内を排気した。アルボッ２０体積
％、酸素８０体積％の混合ガスを真空槽内に導入し、圧
力を０．３３Ｐａに調整した。錫のターゲットにカソー
ド電圧４ＯＯＶｌ　　カソード電流５Ａを直流電源から
印加し、所定時間スパッタリングをおこないガラス上に
６２ｎｍのＳｎＯ，膜を被覆した。その後、真空槽内を
アルボッ９４体積％、窒素６体積％の混合ガスにほぼ完
全に置換し、圧力を０．４０Ｐａに調整した。そしてチ
タニウムのターゲットにカソード電圧４８０　Ｖ、カソ
ード電流８Ａを直流電源から印加し、５ｎ０２膜上にチ
タニウムの窒化物の膜を６ｎｍ被覆した。最後に、アル
ボッ２０体積％、酸素８０体積％の混合ガスを真空槽内
に導入し、圧力を０．３３Ｐａに調整した。そして錫の
ターゲットにカソード電圧４００■、カソード電流５Ａ
を直流電源から印加し、チタニウムの窒化物の膜の上に
６２ｎｍのＳｎＯ□膜を被覆した。得られた比較サンプ
ル１の光学特性を第１表、第２表、第３表に示した。ま
たこのサンプルの硫酸とカセイソーダに対する耐薬品性
、煮沸耐久性、耐摩耗性を測定して、その結果を第４表
にまとめて示した。

第１表、第２表および第３表から、比較サンプル１は熱
線遮へい性能を有するものの、反射光によるΔｙは、膜
面側およびガラス面側でそれぞれｏ、ｏｓｉｅおよび０
．０３８０で、外観色が異なって見える上限の値である
０、０３０よりも大きいことが分かる。比較サンプルと
比較サンプルに用いたガラス板を肉眼で比較観察したと
ころ、色調に明かな差が認められた。第３図は、この比
較サンプルの分光反射曲線を示すもので、赤色の波長域
（波長８００ｎｍ付近）の反射が増加し、強い赤色を呈
していることが分かる。

［発明の効果コ本発明によれば、ガラス板自身の色調をほとんど変える
ことなく、可視光線透過率が高く、かつ、熱線遮へい性
能を有するガラスを得ることができる。

また、本発明の熱線遮へいガラスは、単板で使用し得る
耐久性を有しているため、窓ガラスとして使用するにあ
たっては複層ガラスや中間膜で貼り合わせられた安全ガ
ラスにする必要がない。したがって、自動車の窓ガラス
として用いると、デザイン上不都合な色調不良が生じる
ことがなく、また車輌の重量を増加させることなく、室
内に流入する太陽輻射エネルギーを低減することができ
る。

さらに、本発明の熱線遮へいガラスの被膜の電気抵抗は
大きいので、アンテナ線条を組み込んだ自動車用窓ガラ
スとして用いてもアンテナの受信感度を低下させること
がない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の熱線遮へいガラスの部分断面図、第２
図は本発明の実施例１および２の分光反射特性を示す図
、第３図は比較例の分光反射特性を示す図である。ｌｅｅ・熱線遮へいガラス、２−１−第１１５の透明誘
電体膜、３１拳第２層の透明誘電体膜、４−・―第３！
ｌの透明誘電体膜、５１ｓ吸収殺、６・・・ガラス板。（ｂ）第１図波長（ｎｍ）波長（ｎｍ）（ｂ）第２図第３図

Claims

【特許請求の範囲】１）ガラス板上に第１層として屈折率が１．８〜２．１
で厚みが５０〜１００ｎｍの透明誘電体膜が被覆され、
前記第１層の上に屈折率が２．２以上で厚みが２０〜８
０ｎｍの透明誘電体膜が第２層として被覆され、前記第
２層の上に屈折率が１．４６〜２．１で厚みが３０〜８
０ｎｍの透明誘電体膜が第３層として被覆された熱線遮
へいガラス。２）前記第３層の透明誘電体膜が、酸化第２錫膜，酸化
ジルコニウム膜，五酸化タンタル膜，二酸化珪素膜，酸
化アルミニウム膜、五酸化ニオブ膜，窒化珪素膜のいず
れか１種であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載の熱線遮へいガラス。３）前記第３層の透明誘電体膜が、錫、ジルコニウム、
タンタル、ビスマス、ニオブおよびシリコンの群から選
ばれた１種と、酸素と、窒素とを含む非晶質膜であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の熱線遮へ
いガラス。４）前記第３層の透明誘電体膜が、タンタル、アルミニ
ウム、ニオブおよびニッケルからなる群から選ばれた１
種と、シリコンと、酸素と、窒素とを含む非晶質膜であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の熱線
遮へいガラス。５）前記第３層の透明誘電体膜が、シリコンと炭素と酸
素と窒素とを含む非晶質膜であることを特徴とする特許
請求の範囲第１項に記載の熱線遮へいガラス。６）前記第３層の透明誘電体膜が、ジルコニウムまたは
タンタルのいずれか１種と、硼素と、酸素と、窒素とを
含む非晶質膜であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項に記載の熱線遮へいガラス。７）前記第１層と前記第２層の間に１０ｎｍを越えない
厚みのチタニウム、ジルコニウム、クロムまたはハフニ
ウムのいずれかの金属の窒化物からなる吸収膜が設けら
れたことを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第６
項のいずれかの項に記載の熱線遮へいガラス。８）前記第２層と前記第３層の間に１０ｎｍを越えない
厚みのチタニウム、ジルコニウム、クロムまたはハフニ
ウムのいずれかの金属の窒化物からなる吸収膜が設けら
れたことを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第６
項のいずれかの項に記載の熱線遮へいガラス。９）可視光線透過率が７０％以上となるように前記第１
層、第２層および第３層の厚みが選ばれたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項ないし第８項のいずれかの項
に記載の熱線遮へいガラス。