JPH02307844A - 熱線遮へいガラス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ガラス基体の上に熱線を遮へいする被膜が設
けられた自動車や建築用の熱線遮へいガラス、とりわけ
自動車の窓ガラスに適した熱線遮へいガラスに関するも
のである。

〔従来の技術〕

従来、窓ガラスを通して自動車や建築物の室内に流入す
る太陽光の一部を遮へいし、室内の温度上昇を減じて冷
房負荷を軽減するのに、ガラス表面に熱線遮へい性能を
有する膜を被覆したガラスが用いられている。かかる熱
線遮へいガラスとしては、特開昭６３−２０６３３に開
示されているように、熱線遮へい性能を有する金属窒化
物の膜に隣接して、可視域で屈折率が高い酸化物の膜を
被覆し、かつ、゛最上層を５ｉ０２の厚膜を被覆したガ
ラスがある。また、実用的な強度を得る目的で、アルミ
ニウムシリコン合金の酸素と窒素の混合ガスとの反応生
成物を保護膜としたガラス／酸化亜鉛／銀／酸化亜鉛／
アルミニウムシリコン合金の酸化物の膜構成の熱線遮へ
い体が特開昭６３−２４７３５２に開示されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、可視域で高い屈折率の酸化物の膜を金属
窒化物の膜に隣接して用いると、光の干渉作用により、
と（に膜面の反射色は強い干渉色を呈してしまう。これ
を防止するために、前記した屈折率が高い酸化物の膜の
厚みを小さくすることが行われるが、この場合日射透過
率が高（なり、かつ可視光線反射率が高くなってしまう
という欠点が生じる。

また、アルミニウムシリコン合金の酸素または酸素と窒
素の混合ガスとの反応生成物を保護膜とするものは、熱
線遮へいガラスを単板で使用するうえで化学的耐久性、
とりわけアルカリに対する耐久性が弱いという問題点が
あった。

自動車の窓ガラスとして使用される熱線遮へい膜は、直
射光を減らすことにより暑さを低減して、快適性を向上
させるとともに、デザイン上の要求から、ガラス板の色
をそのまま保つことが必要とされる。すなわち、ガラス
板の透過色、反射色を変えないことが強（要求され、さ
らに自動車の重量を増加させないために、単板で使用で
きる耐久性がある熱線遮へいガラスが要求されている。

本発明は上記したように、ガラス板の透過色、反射色を
実際上はとんど変えずに、比較的高い可視光線透過率と
低い可視光線反射率を有しながら、耐゛　機付が優れた
熱線遮へい性能を有するガラスを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、透明なガラス板のうえに、チタニウム窒化物
、ジルコニウム窒化物またはハフニウム窒化物の少なく
とも１つが含まれる窒化物の膜であって、前記窒化物の
膜の厚みが２〜４０ｎｎ＋である第１層と、前記第１層
のうえに５５０ｎｍの波長における屈折率が１．７以下
の可視域で透明な膜であって、前記透明な膜の厚みが２
０〜１１００ｎである第２層と、前記第２層のうえに５
５０ｎｍの波長における屈折率が１．８〜２．５の可視
域で透明な膜であって、前記透明な膜の厚みが２０〜２
００ｎｍである保護膜が被覆された熱線遮へいガラスで
ある。第１層の窒化物の膜の厚みは２〜４０ｎｍである
ことを必要とする。膜の厚みが２ｎｍより小さいと熱線
遮へい性能が小さくなるので好ましくない。一方、４０
ｎｍより大きいと、上記した窒化物の膜が有する可視光
の吸収により、窓ガラスとして透過率が小さくなるので
好ましくない。窒化物の膜としては、チタニウム窒化物
、ジルコニウム窒化物、ハフニウム窒化物のいずれの窒
化物を用いてもよく、透過率や透過色の微妙な調整を行
うために、これらの２つ以上の混合物からなる窒化物の
膜を用いることができる。

本発明にかかる熱線遮へいガラスの第２層の膜は、５５
０ｎｍの波長における屈折率が１．７以下で、可視域で
透明な膜であって、その厚みが２０〜１１００ｎ’であ
ることが必要である。前記した屈折率が１．７を越える
と、可視光線透過率を高くし、日射透過率を低く保ち、
かつ、反射色や透過色の干渉色を目で見て実際上無い状
態にすることは難しくなる。また、膜の厚みが２０ｎｍ
より小さくても、１１００ｎより大きくても、干渉色が
強く呈するようになり、ガラス板自身の色調から大きく
ずれてしまう。とくに目立ちやすい膜面の反射色調をガ
ラスの色とほぼ同じにするには、膜厚は２０ｎｍ〜８０
ｎｍが好ましい。

本発明にかかる熱線遮へいガラスの第２層の透明な膜は
、屈折率および膜の厚みが前記した範囲内であればとく
に限定されないが、二酸化ケイ素または二酸化ケイ素を
主成分とする透明な酸化物が、屈折率が１．７以下の透
明な膜を容易に得ることができるので好んで用いられる
。二酸化ケイ素を主成分とする膜の小量成分としては、
膜を被覆するときの原料の調達が安価に得られる観点か
ら、硼酸を含む二酸化珪素が好んで用いられる。

本発明にかかる熱線遮へいガラスの第２層の膜の他の実
施態様としては、アルミニウムシリサイド、チタニウム
シリサイド、タンタルシリサイド、タングステンシリサ
イド、コバルトシリサイドのいずれかの金属シリサイド
を、減圧された雰囲気中で酸素ガスと反応させた金属シ
リサイドの酸化物の膜が好んで用いられる。さらに上記
した２つ以上の金属シリサイドの混合物を減圧された雰
囲気中の酸素ガスと反応させて用いることもできる。

上記した金属シリサイドの酸化物の膜の屈折率は、被膜
の原料となる金属シリサイドの金属とシリコンの組成比
および、金属シリサイドを減圧下で酸化するときの酸素
量を調節することにより、屈折率を１．７以下にするこ
とができる。

本発明にかかる熱線遮へいガラスの第２Ｎの膜の第３の
実施態様としては、アルミニウムシリサイド、チタニウ
ムシリサイド、クンタルシリサイド、タングステンシリ
サイド、コバルトシリサイドのいずれかの金属シリサイ
ドを、減圧された雰囲気中の酸素ガスと窒素のガスとで
同時に反応させて得られる金属シリサイドの酸窒化物の
膜が好んで用いられる。さらに上記した金属シリサイド
の２つ以上の混合物を、減圧された雰囲気中で酸素と窒
素のガスで同時に反応させた金属シリサイドの酸窒化物
の混合膜も用いることができる。

本発明にかかる熱線遮へいガラスの第３層の膜は、５５
０ｎｍの波長における屈折率が１．８〜２．５の透明な
膜で、前記透明な膜の厚みが２０〜２００開の膜である
。膜の屈折率が１．８より小さいと、第２Ｎの膜との屈
折率差が小さくなり、可視光線透過率が低下し、窓とし
て暗くなるので好ましくない。また２、５より大きいと
、光の干渉に基づく着色が著しくなるので好ましくない
、また膜の厚みが２０ｎｍより小さくなると、第１層お
よび第２層に対する保護、とりわけアルカリに対する保
護が十分でなく、単板で使用するのに耐え得る耐久性を
確保できなくなる。一方、膜の厚みが２００ｎｅｗ以上
になると、干渉色が強く現われガラス板自身の反射色、
および透過色からずれてくる。上記した第３層の膜とし
ては、酸化第二錫、酸化チタニウム、酸化タンタル、酸
化ジルコニウムあるいはこれらの２つ以上からなる混合
物の膜が、耐摩耗性が強く、また酸やアルカリの耐薬品
性を確保するうえで好ましい。なかでも酸化錫は、強い
摩耗強度と優れた化学的耐久性を与えるので最も好まし
い。熱線遮へい機能を有する第１層の金属窒化物膜にチ
タニウムの窒化物、色調を調整する第２層の膜にアルミ
ニウムシリサイドの酸窒化物、保ｉ１膜となる第３層の
酸化物膜に酸化錫が、得られるガラスの熱線遮へい性能
、耐久性から、さらに大面積の基体に均一に被覆するに
際してターゲット材料の調整が容易であることから、最
も好ましく用いられる。

第１層の金属の窒化物の膜の金属と窒素の組成比および
厚み、第２層の膜の金属とシリコンと反応ガス成分の組
成比および厚み、第３層の酸化物膜の厚みを選ぶことに
よって、可視光線透過率が４０％以上、日射透過率が６
５％以下にすることができる。

本発明にかかる第１層の窒化物の膜を被覆する方法とし
ては、通常のマグネトロンスパッタリング法などの減圧
された雰囲気下で行う物理的手段を用いることができる
。たとえばチタニウム、ジルコニウム、ハフニウム金属
またはこれらの金属の合金をターゲットとして窒素を含
む減圧された雰囲気下のスパッタリング法やアーク蒸着
法により得ることができる。また第２Ｎの二酸化珪素や
金属シリサイドの酸化物の膜は、それぞれシリコンや金
属シリサイドをターゲットとして酸素を含む減圧された
雰囲気中でおこなう反応性マグネトロンスパッタリング
法やアーク蒸着法により得ることができる。さらに金属
シリサイドの酸窒化物の膜は、金属シリサイドをターゲ
ットとして酸素と窒素とを含む減圧された雰囲気中でお
こなう反応性マグネトロンスパッタリング法やアーク蒸
着法により得ることができる。また第３Ｎの膜として好
適な酸化第二錫、酸化チタニウム、酸化タンタル、酸化
ジルコニウムの膜は、それぞれ錫、チタニウム、タンタ
ル、ジルコニウムをターゲットとして、酸素を含む減圧
された雰囲気下でおこなう反応性スパッタリング法やア
ーク蒸着法により得ることができる。

〔作用〕

本発明にかかるガラスの熱線遮へい性能を有する金属の
窒化物膜上に被覆される第２層の膜は、ガラス板自身の
色調をほぼ維持したまま、可視光線透過率を光の干渉作
用により高める。〜また第３層の酸化物の膜は、第１Ｎ
および第２層の被覆により得られる上記光学特性を損う
ことなく、第１層および第２層を、化学的な侵蝕、およ
び機械的スクラッチから保護する。

〔実施例〕

第１図は本発明の熱線遮へいガラスの一部断面図を示し
、１はガラス板、２はチタニウム窒化物、ジルコニウム
窒化物またはハフニウム窒化物のうち少な（とも１つが
含まれる膜、３は５５０ｎｍの波長における屈折率が１
．７以下の可視域で透明な膜、４は５５０ｎｍの波長に
おける屈折率が１．８〜２．５の可視域で透明な膜であ
る。

以下に実施例に基いて説明する。

実施例１ ３つのカソードをそなえた直流マグネトロンスパッタ装
置内にターゲットとしてチタニウム、アルミニウムシリ
サイド（アルミニウム８８重量％シリコン１２重量％）
、錫をセットした０表面を清浄にした５鶴厚の着色ガラ
ス板（日本板硝子■製部品名ブロンズベーン）を真空槽
内の基板ホルダに入れ、クライオポンプで１．３　Ｘ　
Ｉ　Ｏ−’Ｐａ以下まで排気した。アルボッ９４体積％
、窒素６体積％の混合ガスを真空槽内に入れ、圧力を０
．４Ｐａにした。チタニウムターゲットに１．８Ｗ／ａ
の電力を印加して、所定時間スパッタをおこないガラス
上にチタニウムの窒化物の膜（ＴｉＮと表記する）を３
．２　ｎｍ被覆した０次に真空槽内の雰囲気をアルボフ
ッ５体積％、酸素２０体積％、窒素５体積％の混合ガス
に置換し、圧力を０．４Ｐａに調整し、アルミニウムシ
リサイドターゲットに３．３Ｗ／ａの電力を印加し、所
定時間スパッタをおこないアルミニウムシリサイドの酸
窒化物の膜（ＡＩＳｉＯＮと表記する）を５８ｎｍ被覆
した。最後に真空槽内の雰囲気をアルボッ２０体積％、
酸素８０体積％の混合ガスに置換し、圧力を０．４Ｐａ
に調整した。

錫ターゲットに３．ＩＷ／ｃｄの電力を印加し、所定時
間スパッタをおこない、Ｓｎ０ｗ膜を１２７ｎｍ被覆し
た。得られた３層の膜が被覆されたガラスサンプルの光
学特性および、用いたガラス板自身との色差を第１表に
示す。ガラスサンプルの色調は、はとんどガラス板自身
と変わらなかった。また第２表に示すように、酸および
アルカリに対する耐久性は良好で、耐摩耗強度について
も膜面の傷はほとんど認められなかった。

実施例２ 実施例１と、チタニウム窒化物の膜厚を８．０　ｎｍ、
アルミニウムシリサイドの酸窒化物の膜厚を３７ｎｌｓ
　ＳｎＯ□膜の膜厚を２０ｎｍとしたほかは全く同様に
して、ガラス上に３層の膜を被覆したガラスサンプルを
得た。このガラスサンプルの光学特性および用いたガラ
ス板自身との色差を第１表に、酸およびアルカリに対す
る耐久性と耐摩耗強度を第２表に示す。ガラスサンプル
の色調は、はとんどガラス板自身と変わらなかった。ま
た第２表に示すように、酸およびアルカリに対する耐久
性は良好で、耐摩耗強度についても膜面のキズはほとん
ど認められなかった。

実施例３ 実施例１と同じ直流マグネトロンスパッタ装置内にター
ゲットとして、ジルコニウム、シリコン、錫をセットし
た。表面を清浄にした５鰭厚の着色ガラス板（日本板ガ
ラス部製商品名ブロンズベーン）を真空槽内の基板ホル
ダに入れ、クライオポンプで１．３　Ｘ　１０−’Ｐａ
以下まで排気した。アルボッ９４体積％、窒素６体積％
の混合ガスを真空槽内に入れ、圧力を０．４Ｐａにした
。ジルコニウムターゲットに１．８Ｗ／−の電力を印加
して、所定時間スパッタをおこない、ガラス上にジルコ
ニウムの窒化物の膜（ＺｒＮと表記する）を２．０　ｎ
ｍ被覆した。次に真空槽内の雰囲気をアルボ２８０体積
％、酸素２０体積％の混合ガスに置換し、圧力を０．４
Ｐａに調整し、シリコンターゲットに４．７Ｗ／ｃｄの
電力を印加し、所定時間スパッタをおこない、ＳｉＯ□
膜を２１ｎｍ被覆した。最後に真空槽内の雰囲気をアル
ボッ２０体積％、酸素８０体積％の混合ガスに置換し、
圧力を０．４Ｐａに調整した。

錫ターゲットに３．１Ｗ／−の電力を印加し、所定時間
スパッタをおこないＳｎＯ□膜を１２８　ｎｍ被覆した
。

得られた３層の膜が被覆されたガラスサンプルの光学特
性および用いたガラス板自身との色差を第１表に示す。

ガラスサンプルの色調はほとんどガラス板自身と変わら
なかった。また第２表に示すように酸およびアルカリに
対する耐久性は良好で、耐摩耗強度についても膜面の傷
はほとんど認められなかった。

実施例４ 実施例１と同じ直流マグネトロンスパッタ装置内にター
ゲットとして、ハフニウム、チタニウムシリサイド（チ
タニウム８０重量％シリコン２０重量％）、錫をセット
した。表面を清浄にした５龍厚の着色ガラス板（日本板
ガラス部製商品名ブロンズベーン）を真空槽内の基板ホ
ルダに入れ、クライオポンプで１．３　Ｘｌ０−’Ｐａ
以下まで排気した。アルボッ９４体積％、窒素６体積％
の混合ガスを真空槽内に入れ、圧力を０．４Ｐａにした
。ハフニウムターゲットに１．８Ｗ／ｃｄの電力を印加
して、所定時間スパッタをおこないガラス上にハフニウ
ムの窒化物の膜（ＴｉＮと表記する）を２．Ｏｎｍ被覆
した。次に真空槽内の雰囲気をアルゴン６０体積％、酸
素４０体積％の混合ガスに置換し、圧力を０．４Ｐａに
調整し、チタニウムシリサイドターゲットに４．４Ｗ／
Ｃ１ｌの電力を印加し、所定時間スパッタをおこないチ
タニウムシリサイドの酸化物の膜（ＴｉＳｉＯと表記す
る）を６３ｎｍ被覆した。

最後に真空槽内の雰囲気をアルボッ２０体積％、酸素８
０体積％の混合ガスに置換し、圧力を０．４Ｐａに調整
した。錫ターゲットに３．ＩＷ／−の電力を印加し、所
定時間スパッタをおこない、ＳｎＯ。

膜を１２５ｎｍ被覆した。得られた３層の膜が被覆され
たガラスサンプルの光学特性および用いたガラス板自身
との色差を第１表に示す。ガラスサンプルの色調はほと
んどガラス板自身と変わらなかった。また第２表に示す
ように酸およびアルカリに対する耐久性は良好で、耐摩
耗強度についても膜面の傷はほとんど認められなかった
。

実施例５ 実施例１と同じ直流マグネトロンスパッタ装置内にター
ゲットとして、チタニウム、タンタルシリサイド（タン
タル７６重量％シリコン２４重量％）、タンタルをセン
トした。表面を清浄にした５鶴厚の着色ガラス板（日本
板ガラス部製商品名ブロンズベーン）を真空槽内の基板
ホルダに入れ、クライオポンプで１．３　Ｘ　１０−’
Ｐａ以下まで排気した。アルボッ９４体積％、窒素６体
積％の混合ガスを真空槽内に入れ、圧力を０．４Ｐａに
した。

チタニウムターゲットに１．８Ｗ／−の電力を印加して
、所定時間スパッタをおこないガラス上にチタニウムの
窒化物の膜（ＴｉＮと表記する）を２．Ｏｎ−被覆した
０次に真空槽内の雰囲気をアルボッ２０体積％、酸素８
０体積％の混合ガスに置換し、圧力を０．４Ｐａに調整
し、タンタルシリサイドのターゲットに２．４Ｗ／−の
電力を印加し、所定時間スパッタをおこないタンタルシ
リサイドの酸化物の膜（Ｔａ５ｉＯと表記する）を６８
ｎｍ被覆した。

最後に真空槽内の雰囲気をアルボッ２０体積％、酸素８
０体積％の混合ガスに置換し、圧力を０．４Ｐａに調整
した。金属タンタルターゲットに６．３Ｗ／ｃｄの電力
を印加し、所定時間スパッタをおこないＴａ、Ｏ，膜を
１１５ｎｍ被覆した。得られた３層の膜が被覆されたガ
ラスサンプルの光学特性および用いたガラス板自身との
色差を第１表に示す。

ガラスサンプルの色調はほとんどガラス板自身と変わら
なかった。また第２表に示すように酸およびアルカリに
対する耐久性は良好で、耐摩耗強度についても膜面の傷
はほとんど認められなかった。

実施例６ ′実施例１と同じ直流マグネトロンスパッタ装置内にタ
ーゲットとして、ジルコニウム、アルミニウムシリサイ
ド（アルミニウム８８重量％シリコン１２重量％）、チ
タニウムをセントした。表面を清浄にした５ｆｉ厚の着
色ガラス板（日本板ガラス■製部品名ブロンズベーン）
を真空槽内の基板ホルダに入れ、クライオポンプで１．
３　Ｘ　１０−３Ｐａ以下まで排気した。アルボッ９４
体積％、窒素６体積％の混合ガスを真空槽内に入れ、圧
力を０．４Ｐａにした。ジルコニウムターゲットに１．
８Ｗ／−の電力を印加して、所定時間スパッタをおこな
い、ガラス上にジルコニウム窒化物の膜（ＺｒＮと表記
する）を２．０層ｍ被覆した。次に真空槽内の雰囲気を
アルボフッ６体積％、酸素５体積％、窒素１９体積％の
混合ガスに置換し、圧力を０．４　Ｐａに調整し、アル
ミニウムシリサイドのターゲットに３．３Ｗ／ｃｄの電
力を印加し、所定時間スパッタをおこない、アルミニウ
ムシリサイドの酸窒化物の膜（Ａβ５ｉＯＮと表記する
）を６６ｎｍ被覆した。

最後に真空槽内の雰囲気をアルボ２４０体積％、酸素６
０体積％の混合ガスに置換し、圧力を０．４Ｐａに調整
した。姑チタニウムターゲットに６．２Ｗ／−の電力を
印加し、所定時間スパッタをおこないＴｉＯ□膜を１１
０４ｎ被覆した。得られた３層の膜が被覆されたガラス
サンプルの光学特性および用いたガラス板自身との色差
を第１表に示す。

ガラスサンプルの色調は、はとんどガラス自身と変わら
なかった。また第２表に示すように、酸およびアルカリ
に対する耐久性は良好で、耐摩耗強度についても膜面の
傷はほとんど認められなかった。

比較例１ 実施例１と同じ直流マグネトロンスパッタ装置内にター
ゲットとして、チタニウム、錫をセットした。表面を清
浄にした５層厚の着色ガラス板（日本板ガラス■製部品
名ブロンズベーン）を真空槽内の基板ホルダに入れ、ク
ライオポンプで１．３　Ｘ　Ｉ　Ｏ−”Ｐａ以下まで排
気した。アルボッ２０体積％、酸素８０体積％の混合ガ
スを真空槽内に入れ、圧力を０．４Ｐａにした。錫ター
ゲットに３．１Ｗ／ｃｄの電力を印加して、所定時間ス
パッタをおこない、ガラス上にＳｎ０ｗ膜を６７ｎｓｗ
被覆した。次に真空槽内の雰囲気をアルボッ９４体積％
、窒素６体積％の混合ガスに置換し、圧力を０．４Ｐａ
に調整し、鯨チタニウムのターゲットに１．８　Ｗ／−
の電力を印加し、所定時間スパッタをおこない、チタニ
ウムの窒化物の膜（ＴｉＮと表記する）をｌｌｎｍ被覆
した。最後に真空槽内の雰囲気をアルボッ２０体積％、
酸素８０体積％の混合ガスに゛置換し、圧力を０．４Ｐ
ａに調整した。錫ターゲソ）３．１Ｗ／ａＪの電力を印
加し、所定時間スパッタをおこない、Ｓｎ０ｇ膜を６３
ｎｍ被覆した。得られた３層の膜が被覆されたガラスサ
ンプルの光学特性および用いたガラス板自身との色差を
第１表に示す。ガラスサンプルのとくに膜面側の反射色
調は、強い干渉色を呈していた。

比較例２ 実施例１と同じ直流マグネトロンスパッタ装置内にター
ゲットとして、チタニウム、アルミニウムシリサイド（
アルミニウム８８重量％シリコン１２重量％）をセット
した。表面を清浄にした５鶴厚の着色ガラス板（日本板
ガラス■製部品名ブロンズベーン）を真空槽内の基板ホ
ルダに入れ、クライオポンプで１．３　Ｘ　１０−’Ｐ
ａ以下まで排気した。アルボッ９４体積％、窒素６体積
％の混合ガスを真空槽内に入れ、圧力を０．４Ｐａにし
た。

チタニウムターゲットに１．８Ｗ／ｃｄの電力を印加し
て、所定時間スパッタをおこない、ガラス上にチタニウ
ムの窒化物の膜（ＴｉＮと表記する）を３．２ｎｍ被覆
した。次に真空槽内の雰囲気をアルボ２４５体積％、酸
素１０体積％、窒素４５体積％の混合ガスに置換し、圧
力を０．４Ｐａに調整し、アルミニウムシリサイドター
ゲットに３．３Ｗ／ｃｄの電力を印加し、所定時間スパ
ッタをおこない、アルミニウムシリサイドの酸窒化物の
膜（＾ｌ５ｉＯＮと表記する）を５８ｎｍ被覆した。得
られた２Ｎの膜が被覆されたガラスサンプルの光学特性
および用いたガラス板自身との色差を第１表に示す。ガ
ラスサンプルの色調はほとんどガラス板自身と変わらな
かった。しかし、第２表に示すように、酸およびアルカ
リに対する耐久性は劣り、膜の色変化が著るしかった。

第　　２　　表 数値はテスト前後の光学特性の変（ｌ−（テスト後の値
）−（テスト前の値）で表わす。

〔発明の効果〕

本発明の熱線遮へいガラスは、可視光線反射率が低く、
かつ、色調は干渉色を呈しないので、自動車の窓ガラス
として使用した場合、外部から窓ガラスを見てもぎらぎ
らした感じを与えず、車両の全体的な美観を損うことが
ない。さらに、単板で使用可能な化学的耐久性と耐摩耗
強度を兼ねそなえているので、複層ガラスにする必要が
なく自動車の重量を増加させることがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の熱線遮へいガラスの一部断面図であ
る。 １・・・ガラス板、２・・・チタニウム窒化物、ジルコ
ニウム窒化物またはハフニウム窒化物のうち少なくとも
１つが含まれる膜、３・・・５５０ｎｍの波長における
屈折率が１．７以下の透明な膜、４・・・５５０ｎｍの
波長における屈折率が１．８〜２．５の透明な膜。 第１図 手続補正書　□ 平成１年８月９日 １、事件の表示 特願平１−１２８３４０号 ２、発明の名称 熱線遮へいガラス ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住所　　大阪市中央区道修町３丁目５番１１号名称　　
（４００）　　日本板硝子株式会社代表者　中島達二 ４、代理人 住所　東京都港区新橋５丁目１１番３号新橋住友ビル 日本板硝子株式会社　特許部内 ６、補正の対象 ７、補正の内容 （１）　明細書第８頁第４行の「タングステンシリサイ
ド、コバルトシリサイドの」を「タングステンシリサイ
ド、ニッケルシリサイド、コバルトシリサイドの」と訂
正します。 （２）　明細書第８頁第１８行〜１９行の「タングステ
ンシリサイド、コバルトシリサイドの」を「タングステ
ンシリサイド、ニッケルシリサイド、コバルトシリサイ
ドの」と訂正します。 （３）　明細書第１７頁第５行のｒＴｉＮと表記する」
をｒＨｆ　Ｎと表記する」と訂正します。 （４）　明細書第２４頁第１表の実施例４欄のｒＴａｓ
ｉＯＪを「Ｔｉ５ｉＯＪと訂正します。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）透明なガラス板上に （ａ）チタニウム窒化物、ジルコニウム窒化物またはハ
   フニウム窒化物の少なくとも１つが含まれる窒化物の膜
   であって、前記窒化物の膜の厚みが２〜４０ｎｍである
   第１層と、 （ｂ）前記第１層のうえに、５５０ｎｍの波長における
   屈折率が１．７以下の可視域で透明な膜であって、前記
   透明な膜の厚みが２０〜１００ｎｍである第３層と、 （ｃ）前記第２層のうえに、５５０ｎｍの波長における
   屈折率が１．８〜２．５の可視域で透明な膜であって、
   前記透明な膜の厚みが２０〜２００ｎｍである第３層と
   が被覆された熱線遮へいガラス。 ２）前記屈折率が１．７以下の可視域で透明な膜が、二
   酸化ケイ素または二酸化ケイ素を主成分とする酸化物で
   ある特許請求範囲第１項記載の熱線遮へいガラス。 ３）前記屈折率が１．７以下である透明な膜が、アルミ
   ニウムシリサイド、チタニウムシリサイド、タンタルシ
   リサイド、ニオブシリサイド、タングステンシリサイド
   、ニッケルシリサイド、コバルトシリサイドからなる群
   から選ばれた１つの金属シリサイドまたは２つ以上の金
   属シリサイドの混合物の酸化物である特許請求範囲第１
   項記載の熱線遮へいガラス。 ４）前記屈折率が１．７以下である透明な膜が、アルミ
   ニウムシリサイド、チタニウムシリサイド、タンタルシ
   リサイド、ニオブシリサイド、タングステンシリサイド
   、ニッケルシリサイド、コバルトシリサイドからなる群
   から選ばれた１つの金属シリサイドまたは２つ以上の金
   属シリサイドの混合物の酸窒化物である特許請求範囲第
   １項記載の熱線遮へいガラス。 ５）前記屈折率が１．８〜２．５の可視域で透明な膜が
   、酸化第二錫、酸化チタニウム、酸化タンタル、酸化ジ
   ルコニウムからなる群から選ばれた１つまたは２つ以上
   からなる酸化物である特許請求範囲第１項乃至第４項の
   いずれかの項記載の熱線遮へいガラス。 ｂ）可視光線透過率が４０％以上で、かつ、日射透過率
   が６５％以下である特許請求範囲第１項乃至第５項のい
   ずれかの項記載の熱線遮へいガラス。