JPH04180830A - 紫外線処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は遠紫外線を照射して、板状のガラス。

樹脂、金属等の被処理物（以下ワークという）を１枚づ
つ搬送させて処理する紫外線処理装置に関するものであ
る。

従来の技術とその課題 近年、遠紫外線ランプを用いて、カラス、金属。

樹脂等の表面の有機物汚れを分解し除去する光洗浄や、
ガラス、樹脂表面を改質して、塗装膜や蒸着膜の密着強
度を改善する表面改質の処理法が実施されるようになっ
てきた。

遠紫外線ランプとしては合成石英製の低圧水銀ランプが
使用され、主として１８５ｎｉと２５４ｎ１１の波長の
紫外線を放射する。１８５ｒｖの紫外線は空気中の酸素
をオゾンに変化させる。

１８５ｎＩｌ、　２５４ｎｎの紫外線とオゾンがワーク
表面に作用して光洗浄や表面改質の効果をもたらすもの
である。すなわち、１８５ｎｉの紫外線が有機物の化学
結合を切断し、２５４ｒ＋ｎの紫外線はオゾンに作用し
て活性化された酸素原子をつくり、切断された有機物と
化学反応し、ガス状物質に変化させたリ、新規な表面層
を形成したりする。

低圧水銀ランプからは、紫外線とともに熱線も放射され
るため一定時間以上照射するとワークの温度が上昇し、
熱に弱いプラスチック等は変形、損傷することになる。

従来の熱除去の方法としては、赤外線を透過し、紫外線
を反射するコールドミラーや、赤外線を反射し紫外線を
透過するコールドフィルターを採用したり、水の層が形
成された２重石英管にランプを挿入して点灯する水冷ジ
ャケット方式等がある。

しかし、これらの方式は波長２００ｎｎ以上の紫外線を
利用する紫外線装置では普及しているか遠紫外線処理装
置で重要な１８５ｎｎの紫外線は従来のコールドミラー
では反射されず、コールドフィルターや水冷ジャケット
では吸収されて使用できないという問題があった。

課題を解決するための手段 本発明はかかる問題を解決するためになされたもので、
ワークからの熱を除去する搬送装置を具備した遠紫外線
処理装置を提供するものである。

具体的には、被処理物を移動テーブルに乗せて搬送させ
ながら遠紫外線ランプにより照射処理する紫外線処理装
置において、該移動テーブルは水冷された金属ブロック
から構成され、該移動テーブルの移動速度が往路と復路
とで異なるように設定されていることを特徴とする。

作用 本発明ではワークがランプ照射領域を通過する時に水冷
されている移動テーブルの上にのせてワークを接触させ
ながら搬送させることで、金属。

ガラス、プラスチック等の薄板のワークを熱伝導により
冷却しながら照射することができる。

上記の移動テーブルは内部に配水路を設けた金属ブロッ
クで構成されていて、これに伸縮性のホースを取付けて
、水を循環させて冷却する方式である。移動テーブルは
このような方式のため往復運動をする必要があり、復路
の分だけ余分に時間を要しコンベア搬送方式の２倍の時
間かかかることになる。そこで、水冷テーブルの搬送速
度を往路では処理に必要な所定のスピードで搬送させ、
復路では、往路より数倍早いスピードで戻るようにさせ
た。これによって作業能率を向上させ、かつランプから
の熱の影響を除去した遠紫外線処理装置が得られるよう
にしたものである。

更に、少ないランプ灯数で照射処理する場合には、照射
領域だけを処理に必要な速度で搬送させ（低速）、照射
領域前後では、それ以上の早い速度（中速）で搬送させ
、復路は支障のない範囲においてより早い速度（高速）
で走行させる３迷走行式を採用することで作業能率を上
げることができる。

ここで述べた低速、中速、高速は相対的な値を示すもの
であり、各速度範囲は低遠く中速く高速を満足するもの
とする。

実施例 以下、本発明の好適な実施例を図を用いて説明する。第
１図は本発明による遠紫外線照射装置の平面図であり、
第２図は同装置の断面図である。

装置は照射部Ａとロータ部Ｂとアンローダ部Ｃがら構成
されている。

照射部Ａは波長１８５ｒ＋ｎと２５４ｎｍを放射するＵ
字形の遠紫外線ランプ１が２本配置されている。配水用
のホース（図示せず）か取付けられ、水冷されているテ
ーブル２はワーク搬送用であり、カップリング３により
シャフト４に取付けられ、モータ５によりシャフト４を
回転することでテーブル２はランプの下を往復運動する
。

ローダ部Ｂはガラスのワークを収納したカセット６がセ
ットされ、搬送ベルト７と昇降装置８によってワークを
１枚毎に排出する機構となっている。

アンローダ部Ｃは処理されたワークを１枚づつカセット
６′に収納するｍ構となっている。

装置の動作を下記に説明する。

■処理すべきガラスを収納したカセット６をローダ部に
セットし、空のカセット６′をアンローダ部にセットす
る。

■ランプ１を点灯し、水冷テーブルに通水し安定後、ロ
ーダ部からワークの排出を開始する。

■ワークはローダ部のベルトにより排出され照射部のロ
ーダ側ベルトにのって、所定位置まで進んで停止する。

■照射部の昇降装置９によりテーブルが上昇しワークを
ベルトからテーブルにのせかえる。■テーブルはワーク
をのせて処理に必要なスピードで搬送されランプ直下を
通過して、アンロータ側ベルトの所定の位置で停止する
。

■テーブルは下降しワークはベルトにのりうつり照射部
のアンローダ側ベルトと、アンローダ部のベルトによっ
てカセットに収納される。

■テーブルは下降の状態で速度を早めてローダ側の元の
場所に戻る。

第３図は照射中のワーク温度上昇を測定するためにワー
クに熱電対を張り付けて表面温度を記録した例である。

０曲線は通常のベルトにのせて搬送させた場合、Ｅ曲線
は水冷テーブルにのせて搬送させた場合であり、いずれ
も０．Ｅｖ／分の搬送速度でワークは１００ＩＩｎｘ　
１００ｎｎ　ｘ　ｌ　ｎｎ寸法のガラス板、ランプは発
光長さ５００１１１４００−の低圧水銀ランプ２灯、ラ
ンプ下端とワークとの距離は３０１′１１とじた条件で
ある。

ワークの最高温度は、通常ベルト使用のとき９０°Ｃ１
水冷テーブル使用のとき５０°Ｃであった。水冷テーブ
ルとワークとの接触により、ワークが良く冷却されてい
るのが示されている。

復路はワークのカセットからの排出・収納等の全体の動
作上タイムロスが少ないように早く戻すのか良い。

例えば、搬出長さ１ｍの照射装置の速度例として往路０
．５ｎ／分、復路１０ｎ／分とすれば、往復に要する時
間は、往路・復路共０．５ｍ／分の場合に要する４分に
比して　２．１分でよ＜、１．９倍のスピードアップが
できる。

更に、ランプ２灯、搬送長さ１１の照射装置の３速度実
施例として、２００１１１の照射領域では必要照射量に
より０．５＋１１／分に設定し、その前後の往路は２１
１／分で、復路は１０ｎ／分とすれは、往路・復路共０
．ｂ ですみ、処理速度は４．４倍と更にスピードアップする
。

発明の詳細 な説明したように、本発明の紫外線処理装置は遠紫外線
ランプによって照射加熱されるワークは冷却しなから搬
送でき、かつ、作業能率も大幅に向上させることができ
るという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例に係る紫外線処理装置の平面図で
あり、第２図は同装置の断面図である。 ■・・・ランプ　、　２・・・水冷テーブル３・・・カ
ップリング　、　４・・・シャフト５・・・モータ　、
　６・・・カセット７・・・ベルト　、　８．９・・・
昇降装置Ａ・・・本体照射部、　Ｂ・・・ローダ部。 Ｃ・・・アンローダ部 第３図は照射中のワークの温度変化を示した図である。 Ｄ・・・従来例 Ｅ・・・本発明実施例 注　１　図 Ｂ　　　　　　　　　　Ａ　　　　　　　　　　Ｃ水淳
テーブル 汀　７　酊 Ｂ　　　　　　　　　　　Ａ　　　　　　　　　　　Ｃ
オ　３　図 υ−ツ′停Ｊ　　　　　　　ランプ１下　　　　　　Ｔ
じローｙｔｕＪ照ＪＦ＝１″部１立！

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. １．被処理物を移動テーブルに乗せて搬送させながら遠
   紫外線ランプにより照射処理する紫外線処理装置であっ
   て、 該移動テーブルは水冷された金属ブロックから構成され
   、 該移動テーブルの移動速度が往路と復路とで異なるよう
   に設定されていることを特徴とした紫外線処理装置。
2. ２．請求項１記載の紫外線処理装置であって、移動テー
   ブルの移動速度が、 往路のランプ照射領域＜往路の照射領域前後の領域＜復
   路 となるように設定されていることを特徴とする紫外線処
   理装置。