[go: up one dir, main page]

JPH04150500A - Manufacture of diaphragm - Google Patents

Manufacture of diaphragm

Info

Publication number
JPH04150500A
JPH04150500A JP27399590A JP27399590A JPH04150500A JP H04150500 A JPH04150500 A JP H04150500A JP 27399590 A JP27399590 A JP 27399590A JP 27399590 A JP27399590 A JP 27399590A JP H04150500 A JPH04150500 A JP H04150500A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
thickness
polymer film
polymer films
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP27399590A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2953022B2 (en
Inventor
Katsuyuki Nakamura
克之 中村
Naomi Nishiki
直巳 西木
Jun Ebara
潤 江原
Mutsuaki Murakami
睦明 村上
Kazuhiro Watanabe
和廣 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP27399590A priority Critical patent/JP2953022B2/en
Publication of JPH04150500A publication Critical patent/JPH04150500A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2953022B2 publication Critical patent/JP2953022B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To easily manufacture a diaphragm having an excellent acoustic characteristic by heat-treating polymer films having specific thicknesses in a specific temperature range while specific pressures are applied to the films in a vacuum or inert gas atmosphere. CONSTITUTION:Polymer films having thicknesses of <=400mum are heat-treated at a temperature of >=1,600 deg.C while pressures of 0.1-50kg/cm<2> are applied to the films in a vacuum or inert gas atmosphere. The pressures applied to the polymer films are set at 0.02-0.2kg/cm<2> per film of <=25mum in thickness, 0.2-1.0kg/cm<2> per film of 25-100mum in thickness, and 1.0-50kg/cm<2> per film of 100-400mum in thickness. Polyoxadiazole, polybenzothiazole, aromatic polyimide, aromatic polyamide, polyphenylene benzoimidazol, etc., are used for forming the polymer films.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は音響機器などに使用される炭素質の振動板に関
し、詳しくはスピーカ、マイクロホンなどに最適な特性
を有する振動板の製造方法に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] Industrial Field of Application The present invention relates to a carbonaceous diaphragm used in audio equipment, etc., and more specifically relates to a method for manufacturing a diaphragm having characteristics optimal for speakers, microphones, etc. .

従来の技術 近年、音響機器はほとんどデジタル化され、音質の飛躍
的な向上が図られてきており、これ以来、スピーカにお
ける振動板に対する要求性能はますます厳しくなってい
る。このような振動板には、外力による変形が少なくて
音の歪みが小さい事、再生音域が広くて明瞭な音質を出
す事が求められており、そのためには、軽くてしかも弾
性率、剛性にすぐれている事が要求されている。この事
を具体的な物性値の条件としてまとめると、■ ヤング
率(E)が大きい事。
BACKGROUND OF THE INVENTION In recent years, most audio equipment has been digitized and sound quality has been dramatically improved, and since then, the performance requirements for diaphragms in speakers have become increasingly strict. Such diaphragms are required to have little deformation due to external forces, low distortion of sound, and to produce clear sound quality with a wide playback range. Excellence is required. To summarize this as a condition for specific physical property values, ■ Young's modulus (E) must be large.

■ 密度(ρ〉が小さい事。■ Density (ρ) is small.

■ 音速(音波の伝搬速度V)が大きい事。■ The speed of sound (velocity of sound wave propagation V) is high.

■ 振動の内部損失(tanδ)が適当である事。■ The internal vibration loss (tanδ) is appropriate.

などである。ただし、V、E、ρの間にはv=L「77
の関係がある。もちろん、これらの条件以外に、加工の
容易性、はんだ付は性、錆びにくさ、熱や湿度などの外
部条件に対して安定である事なども大切である事は言う
までもない。
etc. However, between V, E, and ρ, v=L'77
There is a relationship between Of course, in addition to these conditions, it goes without saying that ease of processing, ease of soldering, resistance to rust, and stability against external conditions such as heat and humidity are also important.

さて、このような振動板材料としては、従来、紙、プラ
スチック、アルミニウム、チタニウム。
Conventional diaphragm materials include paper, plastic, aluminum, and titanium.

マグネシウム、ベリリウム、ボロン、シリカ等がその素
材として用いられてきた。これらは単独に、あるいはガ
ラス繊維や炭素繊維などとの複合体として、さらには金
属合金などとして多用な形で使用されてきた。しかしな
がら、紙やプラスチックはヤング率や密度、音速などの
特性が振動板として十分でなく、特に高周波数帯域での
周波数特性は著しく劣るものであって、これらの材料か
らツイータなどの振動板として明瞭な音質を得ることは
困難であった。また、アルミニウム、マグネシウム、チ
タニウムなどは音速はかなり優れているものの、振動の
内部損失が小さいため、高周波共振現象などが生じ、こ
れもまた高周波用振動板としては不十分な特性しか得ら
れていなかった。一方、ボロン、ベリリウムなどは上記
の素材に比べ優れた物性値を有しているため、振動板と
して良好な音質を発揮することができる。しかしながら
、ボロンやベリリウムは極めて高価でしかも著しく加工
性が劣っているという欠点を有している。
Magnesium, beryllium, boron, silica, etc. have been used as materials. These materials have been used in a variety of forms, either alone or in composites with glass fibers, carbon fibers, etc., and even as metal alloys. However, paper and plastics do not have sufficient characteristics such as Young's modulus, density, and sound velocity as diaphragms, and their frequency characteristics, especially in high frequency bands, are extremely poor. It was difficult to obtain good sound quality. In addition, although aluminum, magnesium, and titanium have fairly high sound speeds, their low internal loss of vibration causes high-frequency resonance phenomena, and this also results in insufficient characteristics for high-frequency diaphragms. Ta. On the other hand, since boron, beryllium, and the like have superior physical properties compared to the above-mentioned materials, they can provide good sound quality as a diaphragm. However, boron and beryllium have the drawbacks of being extremely expensive and having extremely poor workability.

以上述べたような従来の振動板材料のもつ欠点を克服し
、すぐれた高周波特性を有し、かつ良質の音色の再現を
目ざして、炭素材料を用いた振動板の開発が行われてい
る。これは、炭素および黒鉛(グラファイト)のもつ優
れた物性値を生かして、これを振動板として使用するも
のである。このような手法には、 (1)  黒鉛粉末と高分子樹脂とから成る複合型。
Diaphragms using carbon materials are being developed with the aim of overcoming the drawbacks of conventional diaphragm materials as described above, having excellent high-frequency characteristics, and reproducing high-quality tones. This takes advantage of the excellent physical properties of carbon and graphite and uses them as a diaphragm. Such methods include: (1) A composite type consisting of graphite powder and polymer resin.

(2)  黒鉛粉末と高分子樹脂とから成る複合材をさ
らに焼結した黒鉛/炭素複合型。
(2) A graphite/carbon composite type made by further sintering a composite material consisting of graphite powder and polymer resin.

(3)高分子フィルムを単独で炭化・黒鉛化する方法。(3) A method of carbonizing and graphitizing a polymer film alone.

などがある。and so on.

これらのうち、(1)の方法の代表的なものとして、ポ
リ塩化ビニル樹脂をマトリックスとして、これに黒鉛粉
末を複合させた振動板がある。これは優れた性質を有す
る振動板として知られているが、湿度、温度特性が劣り
、30℃以上ではその振動特性は著しく劣化してしまう
Among these, a typical example of method (1) is a diaphragm in which a polyvinyl chloride resin is used as a matrix and graphite powder is composited with this. Although this diaphragm is known as a diaphragm with excellent properties, it has poor humidity and temperature characteristics, and its vibration characteristics deteriorate significantly at temperatures above 30°C.

(2)の方法としては、原油分解ピッチの液晶成分に黒
鉛粉末を混合させ、しかる後に熱処理し炭化する方法や
、黒鉛粉末にこれを結合する炭化バインダーの原料とし
て熱硬化性樹脂のモノマーまたは初期重合物と加熱時に
分解して相互に反応して架橋硬化する官能基を有する熱
可塑性樹脂を用いて熱処理し炭化する方法などが知られ
ている。これらの方法は有機材料としての炭素収率を高
めて熱処理時における収縮、変形を防止することを目的
として開発されたものであって、優れた特性の振動板を
得ることができる。しかし、これらは製造工程が複雑で
あるため、工業的な量産には著しく不利なものであった
。さらにこの方法によって得られた振動板は、従来にな
い極めて優れた特性を有しているとはいうものの、その
特性は現在最高特性であると言われているベリリウムよ
りはわずかに劣り、また黒鉛単結晶の理論弾性率102
0GPaには、はるかにおよばないものであった。
Method (2) involves mixing graphite powder with the liquid crystal component of crude oil cracking pitch, followed by heat treatment and carbonization, and using a thermosetting resin monomer or initial A method is known in which heat treatment is performed using a thermoplastic resin having a functional group that decomposes and cross-links and hardens with a polymer upon heating. These methods were developed with the aim of increasing the yield of carbon as an organic material and preventing shrinkage and deformation during heat treatment, and it is possible to obtain a diaphragm with excellent characteristics. However, these have complicated manufacturing processes and are extremely disadvantageous for industrial mass production. Furthermore, although the diaphragm obtained by this method has extremely excellent characteristics not found in the past, its characteristics are slightly inferior to that of beryllium, which is currently said to have the best characteristics, and graphite Single crystal theoretical elastic modulus 102
It was far below 0 GPa.

(3)の方法としては、いくつかの高分子フィルムが検
討されている。しかし、いずれも難黒鉛化材料であるた
め、当初予想したほどの特性は得られず、しかも用いら
れたプラスチック材の炭素収率が低いため、熱処理時の
寸法収縮が大きく、これにより、変形、ひび割れなどが
しばしば生じてしまうという欠点があった。
As the method (3), several polymer films are being considered. However, since these materials are non-graphitizable materials, the properties that were initially expected were not obtained.Furthermore, the carbon yield of the plastic materials used was low, resulting in large dimensional shrinkage during heat treatment, which caused deformation, It has the disadvantage that cracks often occur.

そこで本発明者らは難黒鉛化材料に対し、易黒鉛化材料
となる高分子材料に着目して検討を重ねた結果、400
μm以下の厚さを有するポリオキサジアゾール、ポリベ
ンゾチアゾール、ポリベンゾビスチアゾール、ポリベン
ゾオキサゾール、ポリベンゾビスオキサゾール、芳香族
ポリイミド。
Therefore, as a result of repeated studies focusing on polymeric materials that are easily graphitizable in contrast to difficult-to-graphitize materials, the present inventors found that 400
Polyoxadiazole, polybenzothiazole, polybenzobisthiazole, polybenzoxazole, polybenzobisoxazole, aromatic polyimide having a thickness of μm or less.

芳香族ポリアミド、ボリフエニレンベンゾイミタゾール
、ボリフェニレンベンゾビスイミタゾール、ポリチアゾ
ール、ポリパラフェニレンビニレンの高分子フィルムが
特定の温度で熱処理されるとき、従来より知られている
どのような高分子材料よりも容易にグラファイト化率の
高いグラファイトを得ることができることを確認した。
When a polymeric film of aromatic polyamide, polyphenylenebenzimitazole, polyphenylenebenzobisimitazole, polythiazole, polyparaphenylenevinylene is heat treated at a specific temperature, what conventionally known It was confirmed that graphite with a higher graphitization rate can be obtained more easily than polymeric materials.

このことによって、優れた特性を有する炭素質およびグ
ラファイト質の振動板を得ることができ、しかも短時間
で製造できるということが明らかになってきた。
As a result, it has become clear that carbonaceous and graphite diaphragms with excellent properties can be obtained and can be manufactured in a short time.

発明が解決しようとする課題 しかしながら、前述した特殊な高分子フィルムにより、
炭素質およびグラファイト質の振動板を得る方法は容易
で非常に優れた方法であるが、この方法にもその後いろ
いろな検討を加えた結果、次のような問題点があること
が明らかになった。
Problems to be Solved by the Invention However, with the special polymer film mentioned above,
The method of obtaining carbonaceous and graphite diaphragms is easy and very good, but as a result of various subsequent studies, it became clear that this method had the following problems. .

その問題点とは、第一に高分子フィルムを熱処理するこ
とによって生じる歪、あるいは表面の不均一性である。
The first problem is the distortion or non-uniformity of the surface caused by heat treatment of the polymer film.

この歪や表面の不均一性は、熱処理によって得られる優
れた特性を悪化させるだけでなく、外観を損なわせる。
This distortion and surface non-uniformity not only deteriorate the excellent properties obtained by heat treatment, but also impair the appearance.

また、歪が大きいものになると、振動板の表面が発泡し
、さらには破壊に至るものもある。
Furthermore, if the strain is large, the surface of the diaphragm may foam and even break.

またその問題点の第二は高分子フィルムの音響特性がそ
のフィルムの厚さなどのファクターにより太き(変化す
ることである。
The second problem is that the acoustic properties of polymer films vary depending on factors such as the thickness of the film.

本発明は、このような従来の振動板の持つ問題点を改良
するもので、圧力印加の大きさ、印加の温度領域を限定
することにより優れた音響振動板としての特性を有する
炭素質およびグラファイト質の振動板の製造方法を提供
することを目的とするものである。
The present invention aims to improve the problems of conventional diaphragms by limiting the amount of pressure applied and the temperature range to which carbonaceous and graphite materials have excellent characteristics as acoustic diaphragms. The purpose of this invention is to provide a method for manufacturing a high-quality diaphragm.

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために、本発明の振動板の製造方法
は、400μm以下の厚さを有する高分子フィルムを真
空中または不活性ガス中において1600℃以上の温度
領域で0.1ヒ/C♂がら50kg / c−の圧力を
印加しなから熱処理をするようにしたものである。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above-mentioned objects, the method for manufacturing a diaphragm of the present invention involves heating a polymer film having a thickness of 400 μm or less in a temperature range of 1600° C. or higher in vacuum or in an inert gas. The heat treatment is performed without applying a pressure of 0.1 Hi/C♂ and 50 kg/C-.

作用 上記製造方法によれば、従来の方法によって作成された
振動板よりもはるかに優れた音響特性を有する振動板を
容易に製造することができるものである。
Effect: According to the above manufacturing method, it is possible to easily manufacture a diaphragm having much better acoustic characteristics than diaphragms made by conventional methods.

実施例 以下、本発明の実施例について詳細に説明する。Example Examples of the present invention will be described in detail below.

本発明者らは、理想の炭素質およびグラファイト質の振
動板を得る目的で、高分子フィルムの炭化、グラファイ
ト化を試みた。その結果、1600℃以上の温度範囲で
のみ特定の最適圧力範囲の圧力を印加することにより、
優れた音速特性を実現させることができることを見い出
した。また、このときに印加する圧力は高分子フィルム
の厚さに密接に関係していることが明らかになった。そ
の圧力の大きさは25μm以下の厚さの高分子フィルム
1枚あたりでは0.02kg/−から0.2kg/cJ
であり、25μmから100μmまでの厚さの高分子フ
ィルム1枚あたりでは0 、2 kg / cJから1
 、0 kg / cdであり、1001.tmから4
00μmまでの厚さの高分子フィルム1枚あたりでは1
.0kg / cJから50 kg / ciである。
The present inventors attempted to carbonize and graphitize a polymer film in order to obtain an ideal carbonaceous and graphite diaphragm. As a result, by applying pressure within a specific optimum pressure range only in a temperature range of 1600°C or higher,
It was discovered that excellent sound speed characteristics can be achieved. It has also been revealed that the pressure applied at this time is closely related to the thickness of the polymer film. The pressure ranges from 0.02 kg/- to 0.2 kg/cJ for each polymer film with a thickness of 25 μm or less.
0,2 kg/cJ to 1 per polymer film with a thickness of 25 μm to 100 μm.
, 0 kg/cd, and 1001. tm to 4
1 per sheet of polymer film with a thickness of up to 00 μm
.. 0 kg/cJ to 50 kg/ci.

また本発明に使用される高分子フィルムは、400μm
以下の厚さを有するポリオキサジアゾール、ポリベンゾ
チアゾール、ポリベンゾビスチアゾール、ポリベンゾオ
キサゾール、ポリベンゾビスオキサゾール、芳香族ボリ
イミ、ド、芳香族ポリアミド、ポリフェニレンベンゾイ
ミタゾール。
Furthermore, the polymer film used in the present invention has a thickness of 400 μm.
Polyoxadiazole, polybenzothiazole, polybenzobisthiazole, polybenzoxazole, polybenzobisoxazole, aromatic polyimide, do, aromatic polyamide, polyphenylenebenzimitazole with the following thicknesses.

ボリフェニレンベンゾビスイミタゾール、ポリチアゾー
ル、ポリパラフェニレンビニレンのうちがら選択される
。ここで各種芳香族ポリイミドとは下記の一般式で示さ
れるポリイミドである。
selected from polyphenylenebenzobisimitazole, polythiazole, and polyparaphenylene vinylene. Here, various aromatic polyimides are polyimides represented by the following general formulas.

O ただし、 R1は R2は である。O however, R1 is R2 is It is.

また、 各種芳香族ポリアミ ドとは下記の一般式 以下に具体的な実施例によって本発明を説明するが、本
発明がこれらに限定されるものではないことは言うまで
もない。
Further, various aromatic polyamides are represented by the following general formulas.The present invention will be explained below using specific examples, but it goes without saying that the present invention is not limited thereto.

(実施例1) 25μmの厚さを有するデュポン社製のポリイミドフィ
ルム(商品名カプトンHフィルム)をグラファイト板に
はさんで、窒素ガス中において、毎分5℃の速度で昇温
させ、1000℃で1時間熱処理した。こうして得られ
た熱処理フィルムを黒鉛基板でサンドイッチし、アルゴ
ンガスの気流中で室温より毎分10℃の速度で昇温させ
、そして3000℃で1時間処理し、毎分20℃の速度
で降温させた。その際、2500℃以上でのみ0.05
kg / cn?の圧力の印加を行った。そして室温ま
で冷却した後、試料を取り出した。その特性は、音速1
8.1km/sec、内部損失0.16であった。
(Example 1) A polyimide film made by DuPont (trade name: Kapton H film) having a thickness of 25 μm was sandwiched between graphite plates, and the temperature was raised at a rate of 5°C per minute in nitrogen gas to 1000°C. It was heat-treated for 1 hour. The heat-treated film thus obtained was sandwiched between graphite substrates, heated at a rate of 10°C per minute from room temperature in a stream of argon gas, treated at 3000°C for 1 hour, and cooled at a rate of 20°C per minute. Ta. At that time, 0.05 only at temperatures above 2500℃
kg/cn? of pressure was applied. After cooling to room temperature, the sample was taken out. Its characteristics are that the speed of sound is 1
The speed was 8.1 km/sec, and the internal loss was 0.16.

(実施例2) 100μmの厚さを有するデュポン社製のポリイミドフ
ィルム(商品名カプトンHフィルム)を直径90mmに
カットし、圧力を0.1kg/c−として実施例1と同
様の熱処理を行ったところ、表面の所々にしわがみられ
、音速値は3km/seeという低い値であった。そこ
で、圧力を1kg/−に変えて同様の熱処理を行ったと
ころ、表面性が著しく向上し、音速は10.4km/s
eeであった。
(Example 2) A polyimide film made by DuPont (trade name: Kapton H film) having a thickness of 100 μm was cut into a diameter of 90 mm, and the same heat treatment as in Example 1 was performed at a pressure of 0.1 kg/c-. However, wrinkles were observed in some places on the surface, and the sound velocity value was as low as 3 km/see. Therefore, when we performed the same heat treatment by changing the pressure to 1 kg/-, the surface properties were significantly improved, and the sound speed was 10.4 km/s.
It was ee.

なお、上記実施例においては、熱処理を窒素ガス、アル
ゴンガスなどの不活性ガス中において行うものについて
説明したが、真空中で熱処理を行ってもよいものである
In the above embodiments, the heat treatment was performed in an inert gas such as nitrogen gas or argon gas, but the heat treatment may also be performed in a vacuum.

発明の効果 上記実施例の説明から明らかなように、本発明の振動板
の製造方法は、400μm以下の厚さを有する高分子フ
ィルムを真空中または不活性ガス中において1600℃
以上の温度領域で0.1賄/ cnlから50 kg 
/ an?の圧力を印加しながら熱処理をするようにし
ているため、従来の方法によって作成された振動板より
もはるかに優れた音響特性を有する振動板を容易に製造
することができ、かつこの製造方法によって得られた振
動板はスピーカ、マイクロホンなどの音響機器に最適と
なるものである。
Effects of the Invention As is clear from the description of the above embodiments, the method for manufacturing a diaphragm of the present invention involves heating a polymer film having a thickness of 400 μm or less at 1600° C. in vacuum or in an inert gas.
From 0.1 kg/cnl to 50 kg in the temperature range above
/ an? Because the heat treatment is performed while applying a pressure of The obtained diaphragm is ideal for audio equipment such as speakers and microphones.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)400μm以下の厚さを有する高分子フィルムを
真空中または不活性ガス中において1600℃以上の温
度領域で0.1kg/cm^2から50kg/cm^2
の圧力を印加しながら熱処理をするようにしたことを特
徴とする振動板の製造方法。
(1) Polymer film with a thickness of 400 μm or less in a vacuum or inert gas at a temperature range of 1600°C or higher at 0.1 kg/cm^2 to 50 kg/cm^2
A method for manufacturing a diaphragm, characterized in that heat treatment is performed while applying pressure.
(2)印加される圧力は、25μm以下の厚さの高分子
フィルム1枚あたりでは0.02kg/cm^2から0
.2kg/cm^2であり、25μmから100μmま
での厚さの高分子フィルム1枚あたりでは0.2kg/
cm^2から1.0kg/cm^2であり、100μm
から400μmまでの厚さの高分子フィルム1枚あたり
では1.0kg/cm^2から50kg/cm^2であ
る請求項1記載の振動板の製造方法。
(2) The applied pressure ranges from 0.02 kg/cm^2 to 0 for each polymer film with a thickness of 25 μm or less.
.. 2 kg/cm^2, and 0.2 kg/cm per sheet of polymer film with a thickness of 25 μm to 100 μm.
cm^2 to 1.0kg/cm^2 and 100μm
2. The method for manufacturing a diaphragm according to claim 1, wherein the weight per polymer film having a thickness of from 1.0 to 50 kg/cm^2 is 1.0 kg/cm^2 to 50 kg/cm^2.
(3)高分子フィルムが、ポリオキサジアゾール、ポリ
ベンゾチアゾール、ポリベンゾビスチアゾール、ポリベ
ンゾオキサゾール、ポリベンゾビスオキサゾール、芳香
族ポリイミド、芳香族ポリアミド、ポリフェニレンベン
ゾイミタゾール、ポリフェニレンベンゾビスイミタゾー
ル、ポリチアゾール、ポリパラフェニレンビニレンのう
ちから選ばれた少なくとも一種類である請求項1記載の
振動板の製造方法。
(3) The polymer film is polyoxadiazole, polybenzothiazole, polybenzobisthiazole, polybenzoxazole, polybenzobisoxazole, aromatic polyimide, aromatic polyamide, polyphenylenebenzimitazole, polyphenylenebenzobisimita 2. The method for manufacturing a diaphragm according to claim 1, wherein the diaphragm is at least one selected from sol, polythiazole, and polyparaphenylene vinylene.
JP27399590A 1990-10-11 1990-10-11 Manufacturing method of diaphragm Expired - Fee Related JP2953022B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27399590A JP2953022B2 (en) 1990-10-11 1990-10-11 Manufacturing method of diaphragm

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27399590A JP2953022B2 (en) 1990-10-11 1990-10-11 Manufacturing method of diaphragm

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04150500A true JPH04150500A (en) 1992-05-22
JP2953022B2 JP2953022B2 (en) 1999-09-27

Family

ID=17535480

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27399590A Expired - Fee Related JP2953022B2 (en) 1990-10-11 1990-10-11 Manufacturing method of diaphragm

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2953022B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014175329A1 (en) * 2013-04-24 2014-10-30 三菱鉛筆株式会社 Carbonaceous acoustic diaphragm and process for producing same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014175329A1 (en) * 2013-04-24 2014-10-30 三菱鉛筆株式会社 Carbonaceous acoustic diaphragm and process for producing same
JP2014216752A (en) * 2013-04-24 2014-11-17 三菱鉛筆株式会社 Carbonaceous acoustic diaphragm and process of manufacturing the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2953022B2 (en) 1999-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3630669B2 (en) Composite carbon diaphragm and manufacturing method thereof
JPH01259698A (en) Diaphragm, electroacoustic transducer, and method for manufacturing the diaphragm
US5080743A (en) Process for preparation of a wholly carbonaceous diaphragm for acoustic equipment use
EP0468524B1 (en) Method of manufacturing acoustic diaphragm
JPH04150500A (en) Manufacture of diaphragm
US4975318A (en) Improved acoustic carbon diaphragm
JP2890789B2 (en) Manufacturing method of diaphragm
JPH0385898A (en) Acoustic diaphragm
US4919859A (en) Process of making an acoustic carbon diaphragm
US5152938A (en) Process for preparation of a wholly carbonaceous diaphragm for acoustic equipment use
JP2998305B2 (en) Manufacturing method of acoustic diaphragm
JP2584114B2 (en) Manufacturing method of acoustic diaphragm
US4938829A (en) Process of making a diaphragm of vitreous hard carbonaceous material for an acoustic device
JPH0423699A (en) Acoustic diaphragm
US4959185A (en) Process for producing acoustic carbon diaphragm
JPH03274999A (en) Manufacture of acoustic diaphragm
JPH0385899A (en) Acoustic diaphragm
JPH0484599A (en) Manufacture of acoustic diaphragm
US4921559A (en) Process of making an acoustic carbon diaphragm
JPH0353799A (en) Speaker diaphragm and its manufacture
JPS63138900A (en) Manufacture of diaphragm for carbon acoustic equipment subject to boron doping
JPS62163495A (en) Manufacture of acoustic carbon diaphragm
JP3725686B2 (en) Method for manufacturing aluminum nitride whisker
JPH0468839B2 (en)
JPS61236298A (en) Manufacture of diaphragm for completely carbonaceous acoustic equipment

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees