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JPH04135632A - 中空糸膜を用いる濾過方法 - Google Patents

中空糸膜を用いる濾過方法

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Publication number
JPH04135632A
JPH04135632A JP2254170A JP25417090A JPH04135632A JP H04135632 A JPH04135632 A JP H04135632A JP 2254170 A JP2254170 A JP 2254170A JP 25417090 A JP25417090 A JP 25417090A JP H04135632 A JPH04135632 A JP H04135632A
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JP
Japan
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water
hollow fiber
fiber membrane
filtration
membrane
Prior art date
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Granted
Application number
JP2254170A
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English (en)
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JP2858913B2 (ja
Inventor
Yoshio Sunaoka
好夫 砂岡
Keisuke Kitazato
北里 慶祐
Satoru Tsuda
悟 津田
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Organo Corp
Original Assignee
Organo Corp
Japan Organo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Organo Corp, Japan Organo Co Ltd filed Critical Organo Corp
Priority to JP2254170A priority Critical patent/JP2858913B2/ja
Priority to US07/757,857 priority patent/US5151191A/en
Publication of JPH04135632A publication Critical patent/JPH04135632A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2858913B2 publication Critical patent/JP2858913B2/ja
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D65/00Accessories or auxiliary operations, in general, for separation processes or apparatus using semi-permeable membranes
    • B01D65/02Membrane cleaning or sterilisation ; Membrane regeneration
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2321/00Details relating to membrane cleaning, regeneration, sterilization or to the prevention of fouling
    • B01D2321/04Backflushing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2321/00Details relating to membrane cleaning, regeneration, sterilization or to the prevention of fouling
    • B01D2321/18Use of gases
    • B01D2321/185Aeration
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2321/00Details relating to membrane cleaning, regeneration, sterilization or to the prevention of fouling
    • B01D2321/20By influencing the flow
    • B01D2321/2033By influencing the flow dynamically
    • B01D2321/2058By influencing the flow dynamically by vibration of the membrane, e.g. with an actuator

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は原子力発電所や火力発電所の復水処理や産業廃
水処理等において使用される、中空糸膜モジュールを用
いる濾過塔の濾過方法に°関するものである。
〈従来の技術〉 中空糸膜を用いる濾過塔は、微細孔を多数有する中空糸
膜を多数本束ねて中空糸膜モジュールを形成し、当該中
空糸膜モジュールの多数本を濾過塔内に横設した仕切板
に懸架したもので、従来から行われている濾過方法は、
基本的には濾過工程とスクラビング工程とブロー工程と
からなる。すなわち濾過工程は仕切板で区画した王室に
原水を供給することにより、当該各中空糸膜の外側から
内側へ、原水を通過させて各中空糸膜の外側で原水中の
微粒子を捕捉し、中空糸膜の内側から得る濾過水を仕切
板で区画した上室で集合して濾過塔から流出させるもの
である。
このような濾過工程を行うことにより濾過塔の差圧が上
昇した際に、水中に存する各中空糸膜の近傍の水に気泡
を供給して撹拌することにより、各中空糸膜を振動させ
て各中空糸膜の外側で捕捉した前記微粒子を剥離するス
クラビング工程を行い、次いで剥離した微粒子を含む洗
浄廃水を王室から排出するブロー工程を行い、前記濾過
工程と、スクラビング工程と、ブロー工程を順次繰り返
して処理を行うものである。
なおスクラビング工程の前あるいは後あるいはスクラビ
ング工程中に、中空糸膜の内側から外側に洗浄水を逆流
する逆洗工程を行うこともある。
また各中空糸膜の近傍に気泡を供給する手段としては、
中空糸膜モジュールの下方部に空気等の気体を放出して
、中空糸膜モジュールの内部に気泡を流入させる場合と
、各中空糸膜の内側に空気等の気体を圧入して各中空糸
膜の微細孔から気体を流出させることで気泡を発生させ
る場合とがあり、前者は中空糸膜の微細孔に気体を通過
させ難い中空糸膜を用いる場合に採用されることが多く
、後者は中空糸膜の微細孔に気体を通過させ易い中空糸
膜を用いる場合に採用されることが多い。
このように中空糸膜を用いる濾過塔は基本的には濾過工
程とスクラビング工程とブロー工程を繰り返し行って操
作するものであるため、濾過工程で膜に捕捉された微粒
子が蓄積して濾過塔の差圧が高くなって濾過の継続が出
来なくならないように充分な配慮をする必要がある。
このため、従来から微粒子の蓄積を防止するために、中
空糸膜モジュールの構造、塔構造、スクラビングを含む
中空糸膜の洗浄方法等の検討、試験、開発が進められて
いる。
〈発明が解決しようとする問題点〉 本発明者等も上述のようにより効果的な中空糸膜の洗浄
を開発すべく努力を行って来た。しかし、微粒子として
酸化鉄を含む、たとえば沸騰水型原子力発電所の復水(
−次冷却水)などを原水とした場合、濾過工程によって
差圧が上がった中空糸膜モジュールに対して前記スクラ
ビング工程や逆洗工程を行っても差圧が元に戻らず、さ
らに、酸で中空糸膜モジュールを洗浄して膜面に付着し
ている酸化鉄を溶解、除去しても差圧が元に戻らないケ
ースがあることを知見した。
この原因を究明すべく本発明者等は種々の調査と実験を
行った。その結果以下のことが明らかとなった。
すなわち、差圧が回復しない理由は、 ■ 膜自体の透水性が低下しているためであり、■ 膜
の内外間の差圧により膜が圧密化したものでも、膜が潰
れたものでもなく、膜表面のみが言わば肌荒れ状態にな
っており、当該肌荒れ部分にもともと存在していた微細
孔が閉塞されており、その結果中空糸膜全体の微細孔が
極めて少なくなったためであり、 ■ その状態は酸、酸化剤、還元剤等の洗浄剤を用いて
洗浄しても変化がなく、 ■ 中空糸膜の引張り強度、引張り伸度、破裂強度等の
機械的強度の低下として現れる、いわゆる物性劣化では
ないことが明らかとなった。
さらに調査と実験を重ねた結果以下のことが明らかとな
った。
すなわち、膜表面の肌荒れは、 ■ 膜表面に酸化鉄等の微粒子が衝突することにより発
生し、 ■ それは、中空糸膜が振動を起こしているときに前記
した微粒子が中空糸膜の間に存在すると発生し、 ■ それは、中空糸膜のスクラビング工程において最も
発生しやすく、 ■ それは、スクラビング工程における水温によって大
きく影響を受け、水温が高い程、膜表面に肌荒れが生じ
やすくなることを知見した。
本発明はこのような背景のもとになされたものであり、
膜表面の肌荒れを極力抑え、しかも中空糸膜に捕捉され
た微粒子の剥離効果を低下させない中空糸膜を用いる濾
過方法を提供することを目的とするものである。
〈問題点を解決するための手段〉 上記目的を達成するためになされた本発明よりなる中空
糸膜を用いる濾過方法は、塔内を上室と下室とに区画す
る仕切板に中空糸膜を多数本束ねた中空糸膜モジュール
を懸架してなる濾過塔の前記下室内に、微粒子を含む原
水を流入して各中空糸膜の外側から内側に原水を通過さ
せることにより、各中空糸膜の外側で微粒子を捕捉する
とともに、各中空糸膜の内側に得られる濾過水を前記上
室から流出させる濾過工程と、濾過塔内の水の温度を低
下させる冷却工程と、水中に存する各中空糸膜の近傍の
水に気泡を供給して撹拌することにより、各中空糸膜を
振動させて各中空糸膜の外側で捕捉した前記微粒子を剥
離するスクラビング工程と、剥離した微粒子を含む洗浄
廃水を下室から排出するブロー工程とを含むことを特徴
とするものである。
以下に本発明の詳細な説明する。
膜表面に酸化鉄微粒子が衝突することにより、中空糸膜
がもともと有している微細孔を閉塞させるという問題を
回避するためには、膜表面の肌荒れを起こし易いスクラ
ビング工程の設定時間を短くするか空気流量を小さ(し
たマイルドなスクラビングを行ったり、あるいはスクラ
ビングをしない方法が考えられる。しかし上述のように
すると膜表面に捕捉された微粒子を充分に除去できず、
洗浄が不十分となり、その結果、差圧が回復しないケー
スが発生する。
つまり、従来から行っているスクラビング工程を削除す
ることなく、膜表面の肌荒れを抑制する方法を考える必
要があり、そのためにはスクラビング工程における水温
を低下させればよいことが判明した。
すなわち中空糸膜は通常ポリエチレン、ポリプロピレン
等の高分子有機化合物でできているため、−船釣に中空
糸膜の引張強度、破裂強度、弾性率等の物理的強度は温
度が低くなればなる程大きくなる。とりわけ中空糸膜の
弾性率が大きくなると摩擦やぶつかりによる変形が起こ
りにくくなるため、スクラビング工程時の膜表面の肌荒
れに起因する微細孔の閉塞による中空糸膜の透水量の低
下(濾過差圧上昇)が起こりにくくなる。
〈作用〉 本発明の作用は基本的にはスクラビング工程の前に、濾
過塔内の温度を低下させる冷却工程を行い、中空糸膜の
特に弾性率を強化することによって、スクラビング工程
における膜表面の肌荒れを極力回避するものである。
以下に本発明を図面を用いて説明する。
第1図は本発明に用いる中空糸膜モジュールを示す断面
図であり、第2図は本発明に用いる濾過塔のフローを示
す説明図である。
本発明に用いる中空糸膜モジュール1は第1図に示した
ごとく、0.01μ〜1μの微細孔を有する外径0.3
〜4日、内径0.2〜3日の中空糸膜2を100〜50
,000本前後、外筒3に収納したもので、当該各中空
糸膜2の上端をその中空部を閉塞することなく上部接合
部4で接着し、各中空糸膜2の下端を閉塞して下部接合
部5で接着し、また外筒3の上方部、下方部にそれぞれ
流通口6Aおよび6Bを設けるとともに、下部接合部5
に開口部7を設け、さらに外筒3を下方にやや延長させ
てスカート部8を設けたものである。
なお、上述の中空糸膜モジュールは膜の内側から得られ
る濾過水を上部接合部4からのみ取水する片端集水型で
あるが、下部接合部5で中空糸膜2の下端を閉塞するこ
となく接着して下部接合部5の下方に図示していない小
室を設け、中空糸膜2の下部接合部5からも濾過水を得
て当該小室に集合し、当該小室に連通ずる中空糸膜2に
沿って立設した図示しない集水管により、濾過水を上部
に送水する両端集水型も用いられる。
当該中空糸膜モジュール1を濾過塔に配置するにあたっ
ては、第2図に示したごとく、濾過塔9の上方部に仕切
板10を設け、濾過塔内9を上室Fと下室Rに区画し、
当該仕切板10に多数本の中空糸膜モジュール1を懸架
する。
また、濾過塔9内の下方に気泡分配機構11を配置する
。当該気泡分配機構11は気泡分配板12と当該気泡分
配板12に取り付けられた気泡分配管13とからなるも
ので、中空糸膜モジュール1のスカート8の直下に当該
気泡分配管13を対応させた構成とする。
なお、濾過塔9の上部に濾過水流出管14の一端と圧縮
空気流入管15Aの一端を連通し、また濾過塔9の下部
に原水流入管16の一端および圧縮空気流入管15Bの
一端およびドレン管18の一端をそれぞれ連通し、さら
に前記仕切板1oの直下の側胴部に空気抜き管17の一
端を連通ずる。
また、原水流入管16に冷却水流入管19を分岐して連
通ずるとともに、濾過水流出管14に冷却水流出管20
を分岐して連通ずる。
さらに21ないし28はそれぞれ弁を示し、29はバッ
フルプレートである。なお冷却水流出管20および弁2
7は、場合によっては省略することができる。
当該濾過塔9を用いて本発明を、処理対象として酸化鉄
を含む復水を例として以下に説明する。
濾過工程においては、弁21および弁28を開として、
原水を原水流入管16から濾過塔9の下室Rに流入し、
中空糸膜モジュール1により原水中の酸化鉄を濾過し、
濾過水は上室Fで集合し濾過水流出管14から流出する
。中空糸膜2により濾過された酸化鉄は中空糸膜2の外
表面上で捕捉される。
以上の濾過工程において、たとえば火力発電所の復水、
およびBWR型原子力発電所の一次冷却水あるいはPW
R型原子力発電所の二次冷却水からなる復水の場合には
、復水温度はプラント運転中で通常30℃〜40℃であ
るがプラントの運転状態によって大幅に変動し、夏場の
プラント起動時には50℃を越える場合もあり、また6
0℃前後になることもあり得る。したがって濾過中にお
ける中空糸膜2の温度は、当然のことなから復水の温度
と等しくなっており、中空糸膜2の弾性率等の物理的強
度は常温(20〜25℃)の場合より低下している。し
かしながら、濾過工程における中空糸膜の振動は極めて
小さいため、たとえ酸化鉄等の微粒子が中空糸膜2の膜
表面に接触しても膜表面の肌荒れはほとんど生じない。
従来の中空糸膜を用いる濾過方法においては、前述の濾
過工程において濾過塔9の差圧が規定の値に達した際に
は、濾過を中断し下室Rに前述の比較的高温の原水を満
たしたまま圧縮空気流入管15Bから圧縮空気を流入し
てスクラビング工程を行っており、この高温下における
スクラビングが膜表面に肌荒れを生じさせる原因となっ
ていた。
本発明は濾過工程を終了した際に直ちにスクラビング工
程を行うことなく、以下に説明する冷却工程によって濾
過塔9内の水の温度を低下させた後にスクラビング工程
を行う。
すなわち弁21および弁28を閉じて濾過工程を終了し
た後、弁23および弁25を開口して、ドレン管18か
ら下室Rの高温の原水を排出し、次いで弁25を開口し
たまま弁23を閉じ、弁22を開口して冷却水流入管1
9から濾過塔内の水よりも低い温度の冷却水を流入し、
下室R内を満水する。なお空気抜き管17から水がオー
バーフローした時点で冷却水の流入を止めてもよいし、
あるいは多少の水をオーバーフローさせてもよい。
このような濾過塔内の温度を低下させる冷却工程を行っ
た後、以下のスクラビング工程を行う。
すなわち、仕切板IOの上方に濾過水を満たしたまま、
弁24および弁25を開口し、圧縮空気入口管15Bか
ら圧縮空気を流入する。当該圧縮空気は気泡となって濾
過塔9内を上昇し、気泡分配板12の下面で一旦受けら
れ、気泡分配管13を介して当該気泡分配管13の直上
に対応した中空糸膜モジュール1のスカート部8内に上
昇し、次いで開口部7を介して各中空糸膜モジユール1
内に流入する。
当該気泡の上昇により各中空糸膜2は振動するとともに
中空糸膜モジユール1内の水が撹拌され、各中空糸膜2
の表面に形成された酸化鉄付着層が剥離し、濾過塔9の
下室Rに分散する。なお気泡は中空糸膜モジュール1の
流通口6Bから当該モジュール1外に流出し、次いで空
気抜き管17から濾過塔9外に排出する。
次いで以下のブロー工程によって下室R内の水中に分散
した酸化鉄を排出する。
すなわち、弁25を開口したまま弁24を閉じ、弁23
を開口して洗浄廃水をドレン管18から流出させる。な
お、洗浄廃水の流出は水頭差を用いるものであるが、空
気抜き管17あるいは圧縮空気流入管15Bから圧縮空
気を流入して当該空気圧を用いて急速流出を行っても差
し支えない。
このように本発明においては濾過工程が終了した後、直
ちにスクラビング工程を行うことなく、濾過塔内の水の
温度を低下させる冷却工程を行ったのちスクラビング工
程を行うので、中空糸膜2が冷却され中空糸膜2の特に
弾性率が向上するので、スクラビング工程における膜表
面の肌荒れを大幅に低減することができる。
なお上述した冷却工程は、濾過工程終了後に下室R内の
高温水をドレン管18からブローした後に冷却水を流入
したが、場合によっては下室R内の高温水をブローする
ことなく、そのまま冷却水流入管19から冷却水を流入
して当該冷却水で高温水を押し出しても差し支えない。
また本発明の冷却工程としては上述したフローに限定さ
れるものでなく、たとえば次のようにしても差し支えな
い。
すなわち濾過工程終了後、下室R内の高温水を弁23お
よび弁25を開口してドレン管18よりフローし、次い
で弁25を開口したまま弁23を閉じるとともに弁22
を開口して冷却水流入管19から冷却水を流入し、冷却
水が空気抜き管17からオーバーフローする点で弁25
を閉じ、次いで弁27を開口して冷却水流入管19から
冷却水を流入するとともに、当該流入水に相当する水を
冷却水流出管20から流出するものである。
このように冷却水を流入するとともに、流入した冷却水
に相当する水を上室Fから流出すると冷却水が中空糸膜
2に通過するので、中空糸膜2をより確実に冷却するこ
とができる。
また本発明の冷却工程としては、上述したように冷却水
の供給源がない場合は、以下のようにしても差し支えな
い。
すなわち第3図に示したように冷却水流入管19と冷却
水流出管20とを循環ポンプ30および冷却器31を介
して連通し、濾過工程終了後に、弁22および弁27を
開口し、濾過塔9から流出する高温水を冷却器31で冷
却して冷却水を得、当該冷却水を濾過塔9に循環するも
のである。
以上説明した冷却工程に用いる冷却水としては、濾過終
了直後に濾過塔9内に保有する水の温度より低いもので
あって、たとえば原水として温度が30℃〜40℃ある
いは50℃〜60℃の復水が用いられる場合は、20〜
25℃の常温の水を冷却水として用いることができ、ま
た第3図のフローにしたがって冷却器31で濾過塔9内
の水を冷却する場合においても20〜25℃に冷却する
とよい。
もちろん20〜25℃以下の水を用いれば膜表面の肌荒
れをより防止することができるが、後述する実施例に示
すごとく、45℃前後の復水を原水として濾過を行い、
その後に25℃前後の冷却水で冷却し、次いでスクラビ
ング工程を行った場合でも本発明の効果は充分に達成し
得る。なお20〜25℃の原水を濾過する場合に本発明
を実施する時は、5〜10℃の冷却水を用いることとな
る。
なおスクラビング工程の前あるいは後あるいはスクラビ
ング工程中に、圧縮空気流入管15Aから圧縮空気を流
入し上室F内に存在する濾過水を各中空糸膜2の内側か
ら外側に逆流させる逆洗を実施することもできる。
〈効果〉 以上説明したごとく、本発明はスクラビング工程に先立
って予め濾過塔内の水の温度を低下させて、中空糸膜の
温度を下げ、中空糸膜の物理的強度の向上を図るので、
膜表面の肌荒れを従来より大幅に低減することができ、
膜表面の肌荒れに起因する濾過差圧の上昇を効果的に抑
制することができる。またスクラビング工程そのものは
従来のスクラビング工程と同様に行うので、従来と同等
の洗浄効果を確保することができる。
以下に本発明の効果をより明確とするために実施例を説
明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものでは
ない。
〈実施例〉 0、2μ前後の微細孔を有する外径162fi、内径0
.7鶴、長さ2.0mの中空糸膜のs、ooo本程度を
外筒内に束ねて第1図に示したような中空糸膜モジュー
ルを形成し、当該中空糸膜モジュールを濾過塔に1本配
置して、第2図に示したフローに準じて小型実験濾過塔
を構成し、以下の実験を行った。
すなわち、粒径20〜40μのαFe2O3と粒径1〜
3μの水酸化鉄とが2:lの割合で存在する水温が45
℃の原水を中空糸膜の外側から内側へ通過させることに
より通水し、各中空糸膜の表面に酸化鉄付着層を中空糸
膜1耐あたりFeとして15g付着するように形成させ
、次いで通水を停止した後、水温25℃の冷却水で濾過
塔内の保有水を置換した後、スクラビングを30分間行
い、洗浄廃水を排出し、濾過塔内を満水して清浄な水を
通水して通水差圧を測定するという操作を10回繰り返
したところ、差圧上昇幅は0.1kg/ceiであった
。なお、スクラビングを行っている時の濾過塔内の水の
水温は25℃であった。
また、10サイクル終了後の中空糸膜モジュールから中
空糸膜を採取して6規定の塩酸で24時間洗浄した後の
膜の透水量を測定したところ、膜の透水量は新品膜の透
水量に対して10%以下の低下に止まっていた。
第4図に1サイクルから10サイクルまでの通水終了時
とスクラビング終了時の差圧上昇幅の推移を示した。な
お図中の白丸は通水終了時の差圧上昇幅、黒丸はスクラ
ビング終了時の差圧上昇幅である。
〈比較例〉 実施例と同様な小型実験濾過塔を用いて、実施例と同じ
方法で水温45℃の同じ原水を同じ水量、中空糸膜の外
側から内側へ通過させることにより通水し、各中空糸膜
の表面に実施例と同量の酸化鉄付着層を形成させ、次い
で通水を停止した後、濾過塔内の水温を低下することな
くスクラビングを30分間行った後、洗浄廃水を排出し
、再度濾過塔内を満水して清浄な水を通水して通水差圧
を測定するという操作を10回繰り返したところ、差圧
上昇幅は0.4kg/−であった。なおスクラビングを
行っている時の濾過塔内の水の水温は45℃であった。
また、10サイクル終了後の中空糸膜モジュールから中
空糸膜を採取して6規定の塩酸で24時間洗浄した後の
膜の透水量を測定したところ、膜の透水量は新品膜の透
水量に対して30%の低下が見られた。
第5図に1サイクルから10サイクルまでの通水終了時
とスクラビング終了時の差圧上昇幅の推移を示した。な
お図中の白丸は通水終了時の差圧上昇幅、黒丸はスクラ
ビング終了時の差圧上昇幅である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に用いる中空糸膜モジュールを示す断面
図であり、第2図は本発明に用いる濾過塔のフローを示
す説明図であり、第3図は冷却器を用いて濾過塔内の保
有水を循環冷却する場合のフローを示す説明図である。 また第4図は実施例における濾過時の差圧の上昇幅およ
び洗浄により差圧が回復する様子を示したグラフであり
、第5図は比較例における濾過時の差圧の上昇幅および
洗浄により差圧が回復する様子を示したグラフであり、
第4図、第5図とも縦軸に差圧上昇幅、横軸に通水と洗
浄のサイクル数を示す。 1・・・中空糸膜モジュール  2・・・中空糸膜3・
・・外筒         4・・・上部接合部5・・
・下部接合部      6・・・流通ロア・・・開口
部        8・・・スカート部9・・・濾過塔
       10・・・仕切板11・・・気泡分配機
構    12・・・気泡分配板13・・・気泡分配管
     1゛4・・・濾過水流出管15・・・圧縮空
気流入管   16・・・原水流入管17・・・空気抜
き管     18・・・ドレン管19・・・冷却水流
入管    20・・・冷却水流出管1〜28・・・弁 29・・・バフフルプレート 0・・・循環ポンプ 1・・・冷却器 第1図 第3図 第2図 第4図 第5図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、塔内を上室と下室とに区画する仕切板に中空糸膜を
    多数本束ねた中空糸膜モジュールを懸架してなる濾過塔
    の前記下室内に、微粒子を含む原水を流入して各中空糸
    膜の外側から内側に原水を通過させることにより、各中
    空糸膜の外側で微粒子を捕捉するとともに、各中空糸膜
    の内側に得られる濾過水を前記上室から流出させる濾過
    工程と、濾過塔内の水の温度を低下させる冷却工程と、
    水中に存する各中空糸膜の近傍の水に気泡を供給して撹
    拌することにより、各中空糸膜を振動させて各中空糸膜
    の外側で捕捉した前記微粒子を剥離するスクラビング工
    程と、剥離した微粒子を含む洗浄廃水を下室から排出す
    るブロー工程とを含むことを特徴とする中空糸膜を用い
    る濾過方法。 2、冷却工程が、濾過塔内の水の温度よりも低い温度の
    水で濾過塔内の水を置換するものである請求項1に記載
    した中空糸膜を用いる濾過方法。 3、冷却工程が、濾過塔内の水を冷却器を介して循環す
    るものである請求項1に記載した中空糸膜を用いる濾過
    方法。
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