JPH0377008A - Ｘ線透過画像信号検出装置並びにｘ線透過画像によるはんだ付検査方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、Ｘｌｉ道過画像信号検出装置並びにＸ線透過
画像によるプリント板等のはんだ付部の検査方式に関す
る。

〔従来の技術〕

従来、Ｘ線透過Ｉｉ像を利用するはんだ付検査装置は特
１１ｗ５４２−２１９６墨２号公報に記載のように第２
図に示す１１ＩＩＩＬをとうている。図中、１はｘｌａ
源、２ははんだ付部を有するプリント基板（検査試料）
、５は試料ステージ、４はｘｌ／Ａ検出器、５はｍｓ処
理部、６はステージ制御部、７はシステム制御部である
。Ｘ線源１から照射されたｘ！Ｉは検査試料を透過し、
Ｘ線検出ｌｓ４で検査試料の透過Ｘ、ｍ１ｌｌが検出さ
れる。プリント基板２のはんだ行部分は鉛が含まれてい
るが、鉛は、プリント基板を構成する他の材料である基
付部および鋼線部に比べてＸ線吸収係数が大きく、かつ
、Ｘ線吸収量は、透過する距離の対数に比例するのでＸ
線透過画像から、プリント基材２上の各点のはんだ付部
の厚さが検出できる。これを、画像処理部５で、あらか
じめ定めた良品はんだ付部の基準と比較して、はんだ付
部の良否を判定する。

プリント基板２の両面に部品が実装されている場合、第
３図に示すように、Ｘ線源１とＸ線検出器４を結ぶＸ１
ｌｌ光軸に対して直角に基板２を置くと、上下それぞれ
の部品２１．２２のはんだ付部２Ｍ、２４が重なり合っ
てしまい、検出器４には両方のはんだ付部２５．２４の
合成画像が検出されてしまい、正しい判定ができない。

そこで第４図に示すようにプリント基板（検査試料）２
を傾けて、上下のはんだ付部２３．２４が重らないよう
にして検査する必要がある。従って、試料ステージ３に
は、検査位置を決めるＸＹステージ倍率を決める２ステ
ージの他に、試料２を傾斜させる（Ｌ４（パントよびチ
ルト）の５軸のステージが必要となる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、試料ステージに５軸ものステージが集
中してシカ１機構的に複雑なため高価で、重量が大きく
なるため、試料の高速移動、制動が困難である。また、
試料ステージの傾斜は、試料が大型化すると、Ｘ線源や
、Ｘ線検出器と試料ステージの干渉が生じるため、大型
試料は検査できないという課題があった。

本発明の目的は、干渉をさせることなく、上下のはんだ
付部のＸ線透過画像を重ならないようにして分離検出で
きるようにしたＸ線透過画像検出装置並びにＸｉｉ透過
画像によるはんだ付部検査方式を提供することにある。

噴た本発明目的は、像歪のないパン、又はチルトＸ線透
過画像信号を検出して正確にはんだ付部を検査すること
ができるようにしたｘｌＩ透過画像によるはんだ付部の
検査方式を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

即ち、本発明は、上記目的を達成するために、試料ステ
ージに集中していたステージ移動軸のうち、試料傾斜輸
すなわちパン、又はチルト機構を、Ｘ線検出器４に２次
元移動機構を付加して代行し、試料ステージを筒素化し
たものである。

〔作用〕

上記構成によ）、試料ステージの傾斜機構を脳血するこ
とにより大型試料の検査を可能にしたものである。

さらに、Ｘ線検出器を検査試料と平行な面内で２次元的
に平行移動させることで、第４図に示すように視舒内Ｏ
各部で倍率が異なることなく、像歪のないパン、又はチ
ル）ＸＭ透過ｉｉｉ＊信号を検出可能としたものである
。

〔実施例〕

以下本発明を図に示す実施例にもとづいて説明する。ま
ず本発明の原理について第５図にもとづいて説明する。

試料ステージ３は検査試料２と同一平面内の０２軸を有
するステージで、検査位置の位置決めを行う。Ｘ線検出
器４は試料２と同一平面内のｘ７２軸を有する検出器ス
テージ８上に置かれる。検出器ステージ８によう検出器
４をＸ線源の真下からずれた位置に置くとＸ線源１と検
出器４とを結ぶ直線すなわち光軸に対して検査試料２が
相対的に傾斜して置かれることとなう、試料ステージＳ
を傾斜したのと同等のパン、又はチル）Ｘ線透過画体信
号が得られる。

さらに、検出器４を試料２と平行画内で移動させること
によ少、視野両端の倍率はム：　Ｂ　”　Ｃ：Ｄで一定
となるため像の歪を生じない。

さらに、Ｘ．Ｘ線源１を２ステージ９上に乗せ、試料２
と垂直方向に移動させることにより倍率を変えるように
する。以上によシ、試料ステージ５はＸ・！２軸のみで
構成できるので、質量が低減でき、よシ高速な試料の移
動、位置決めが可能となる。

第１図は本発明のＸ線透通画像によるはんだ付部を検査
する装置の一実施例を示したものである。

図中１はＸ線源、２は電子部品を実装したプリント基板
等の検査試料、３は試料ステーク、４はＸ線検出器、５
は画像処理部、６はステージ制御部、７はシステム制御
部、８は検出器ステージ、９はＸ線源ステージである。

試料２は試料ステージ５上に搭載され、試料ステージ３
により試料之の表面ε同一平面内をｘ７２軸で平行移動
し、検査位置決めを行う、Ｘ線源１は、試料２の上方に
位置し、Ｘ線源ステーク９により、試料２ε喬直方向に
移動するこεにより、得られるｘｌｓ画像の倍率を決定
する。ｘｍ検凪器Ａは、試料２の下方に位置し、検出器
ステージ８上に搭載きれ、試料２と平行な面目をｘ　＊
　７２軸で平行移動し、Ｘ線光軸ε試料２の法線方向色
を相対的に頷斜畜せる。

検査は、家ず、検凪倍率と、光軸た試料２εの傾斜角を
設定するため、Ｘ線源唯１εＸ線検出器４位置をＸ線源
ステージ９および検出器ステージ８にｘＤ移動きせる。

次に試料２を試料ステージ３に搭載し、検黒したい場所
に試料を試料ステージ３で移動された後、Ｘ線を露光し
、試料のＸ線遜過画像をＸ線検ａｌｌ器４で検出、画像
処理部５で良品データ色比較し、はんだ付部の夾歪を判
定する。以玉のシーケンス、および試料の検査位置はシ
ステム制御部７によりラントロールされ、Ｘ線検出器４
の視野内の指定“きれたはんだ付部の検査が終了したら
、試料ステージ５を動かし、別のはんだ付部の検査をく
υかえず。

本実施例では、倍率変更のため、Ｘ線源の位置を移動し
たが、検崩器スデ・−・ジに試料２．！：ｍ直方同方向
移動軸を追加し、Ｘ線検出器を試料２と垂直方向へ動か
してもよい。

オた、本実施例では、ＸＭｉ光軸と試料２εを傾斜きせ
るため、検出器４を試料と平行閘門で移動きせたが、Ｘ
線源ステージ９に試料ε平Ｔｉ血内で平行移動できる軸
金追加１８、Ｘ線検め器のかわＤにＸ線源を移動吉せ−
１：４よい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、試料ステークの機
構が簡素化できるので、試料ステークが安価に製作でき
、試料ステークが軽量化ｆｉゐので高速な移動１位置決
めができ、さらに、試料が傾斜しないので、大型試料で
も検査できる効果金集する。ｔた、本発明によれば像歪
がな一ノｚ〉を又はチル）−Ｘ線透遜画像償号が得られ
、はんだ付部の検査精度、信頼性を同上させるヒＬがで
倉る効果を奏する。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は従来
方法の構成図、第５図は両面実装基板検査蒔の本具含を
説明する図、第４図は内向実装基板検査方法を説明する
図、第５図は本発明Ｏｗ、埋を説明するための図である
。 １・・・・・・−Ｘ　［！ｌ源、 ２・・・・・・・・・プリント基板（検査試料）％Ｓ・
・・・・・・・・試料ステージ、 ４・・・・・・・・・Ｘ＠検患器、 ５・・・・・・・・・画像処理部、 ６・・・・・・・・・ステージ制御部、７・・・・・・
・・・システム制御部、８・・・・・・・・・検出器ス
テ゛−ジ、９・・・・・・・・・Ｘ線源ステージ。 ５・・・６式１′Ｆステージ゛′ ４・−・Ｘ籟す寅出為 ８°゛°牛尖山享ｈステーン゛ ２［￥１ う回 ４図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. １．Ｘ線源と、該Ｘ線源から試料へ照射されたＸ線の透
   過画像信号を検出するＸ線検出器とを備え、上記試料を
   該試料画内で平行移動させると共に、上記Ｘ線源または
   Ｘ線検出器を上記平行移動させて上記Ｘ線検出器から上
   記試料のパンまたはチルト透過画像信号を検出するよう
   に構成したことを特徴とするＸ線透過画像信号検出装置
   。
2. ２．上記Ｘ線源を上記試料を垂直方向に移動できるよう
   に構成し、信率補正できるようにしたことを特徴とする
   請求項１記載のＸ線透過画像信号検出装置。
3. ３．上記試料が電子部品をはんだ接続して実装したプリ
   ント基板があり、はんだ接続部の検査するように構成し
   たことを特徴とする請求項１又は２記載のＸ線透過画像
   信号検出装置。
4. ４．Ｘ線源と、該Ｘ線源がはんだ付部を有する基板へ照
   射されたはんだ付部のＸ線透過画像信号を検出するＸ線
   検出器とを備え、上記Ｘ線源またはＸ線検出器を上記基
   坂と平行画内で平行移動させてはんだ付部のパン又はチ
   ルト透過画像信号を検出し、はんだ付状態を検査するこ
   とを特徴とするＸ線透過画像によるはんだ付検査方式。