JPH03262923A - 環境センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は空気調和機、加湿器、空気清浄機等の人間の居
住環境を調整する環境調整装置に用いられる環境センサ
に関する。

（従来の技術及びその課題） 従来、空気調和機を１１１１ｍ＋するためのリモートコ
ントローラには気温センサ、湿度センサが取り付けられ
、居住環境の気温及び温度を検知して、これらの変化に
対応して空気調和機を制御していた。

近年、居住環境の快適性を向上するため、居住環境の気
温や湿度だけでなく、気流や輻射熱をも検知してこれら
の変化に対応して空気調和機を制御することが望まれて
いる。

しかし、既存の気流センサ及び輻射センサはそのサイズ
及び消費電力が大きいため、これら気流センサ及び輻射
センサをリモートコントローラに取り付けると、リモー
トコントローラが大型となるのみならずリモートコント
ローラに組込まれている電池によってはこれらを駆動で
きないという問題があった。

（課題を解決するための手段） 本発明は上記！Ｉ題を解決するために発明されたもので
あって、その要旨とするところは、シリコン半導体チッ
プに気温センサ、湿度センサ、気流センサ及び輻射セン
サを薄膜形成により一体形成したことを特徴とする環境
センサにある。

（作用） 本発明の環境センサは上記構成を具えているため、小型
、軽量で消費電力が小さいとともに気温、湿度、気流、
輻射を同時に、かつ、個別に検出できる。

（実施例） 本発明の１実施例が第１図及び第２図に示され、第１図
は斜視図、第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿う部分的断面
図である。

５ないし６１１１１角のシリコン半導体チップｌ上に絶
縁膜２を介して気温センサ３、湿度センサ４、気流セン
サ５及び輻射センサ６が薄膜形成により一体形成されて
いる。

気温センサ３は薄膜状の電気抵抗体からなり、このまわ
りの気温の変化に対応してこの電気抵抗体を流通する電
流の電気抵抗が変化するのを利用してこの電気抵抗を検
知することによって気温を検出するようになっている。

湿度センサ４は上記電気抵抗体と同じ材料からなる薄膜
状の電極７と薄膜状の感湿材８とからなり、これら電極
７と感湿材８とによって構成されるコンデンサの静電容
量が吸湿により変化するのを利用してこの静電容量を検
知することによって湿度を検出するようになっている。

気流センサ５は気温変化を補正するための気温補正部９
と気流部１０とからなり、気流による大気の熱伝達率の
変化を温度変化として捉え、最終的に薄膜状の電気抵抗
体の抵抗変化を検知することによって気流を検出するよ
うになっている。

輻射センサ６は輻射熱の吸収率を高めるための具体材料
１１と熱検出のための薄膜状の電気抵抗体１２とからな
り、輻射熱の入熱による温度変化に対応する抵抗変化を
検知することによって輻射熱を検出するようになってい
る。

絶縁膜２は上記薄膜状の抵抗体間を電気的に絶縁すると
ともに気流センサ５及び輻射センサ６を熱絶縁するよう
になっている。

また、第２図に示すように、気流センサ５及び輻射セン
サ６の背後のシリコン半導体チップ１をエンチング等の
微細加工技術により取り除いて空所１３を形成すること
によって気流センサ５の熱抵抗を増大させて僅かな消費
電力で気流を検出できるようにすることができ、また、
輻射センサ６を僅かな輻射エネルギで温度上昇するよう
にすることができる。

（発明の効果） 本発明の環境センサはシリコン半導体チップに気温セン
サ、湿度センサ、気流センサ及び輻射センサを薄膜形成
により一体形成したため、気温、湿度、気流及び輻射を
同時、かつ、個別に検出できるとともに小型、軽量で消
費電力が少なくなるので、これを環境調整装置のリモー
トコントローラにも容易に組み込むことができ、この場
合には快適な環境を容易に得ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例を示す斜視図、第２図は第１
図のｎ−ｎ線に沿う部分的断面図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. シリコン半導体チップに気温センサ、湿度センサ、気流
   センサ及び輻射センサを薄膜形成により一体形成したこ
   とを特徴とする環境センサ。