JPH03235910A - 赤外顕微鏡 - Google Patents
赤外顕微鏡Info
- Publication number
- JPH03235910A JPH03235910A JP2029591A JP2959190A JPH03235910A JP H03235910 A JPH03235910 A JP H03235910A JP 2029591 A JP2029591 A JP 2029591A JP 2959190 A JP2959190 A JP 2959190A JP H03235910 A JPH03235910 A JP H03235910A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared
- measurement
- sample
- measurement range
- aperture
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 37
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 claims description 3
- 238000004930 micro-infrared spectroscopy Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
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- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＦＩ−ＩＲと組合せて使用される赤外顕微鏡の
構造、とくに試料の測定領域の確定に有効な機構に関す
るものである。
構造、とくに試料の測定領域の確定に有効な機構に関す
るものである。
従来のＦＴ−ＩＲ用赤外顕微鏡については、インフラレ
ッド マイクロスペクトロスコピー 第６巻第１頁から
第１９頁（Ｉ ｎｆｒａｒｅｄ Ｍｉｃｒｏ−ｓｐｅｃ
ｔｒｏｓｅｏｐｙ ＶｏＬ、 ６ ）に論じられている
。すなわち、ＦＴ−ＩＲ用赤外顕微鏡において、開口部
の大きさが変えられるアパーチャプレートによって測定
範囲を決定するが、従来はアパチャプレートで開口部を
形成し測定範囲以外の不要赤外線を除去する遮光板は赤
外線を遮光する金属板をもって形成した。このため可視
光領域でも不透明となり、微小部測定のために開口部を
小さくするに従って試料の測定部以外に対する関連性が
悪くなり、測定部位の正確な把握が困難となって来る欠
点を生じていた。
ッド マイクロスペクトロスコピー 第６巻第１頁から
第１９頁（Ｉ ｎｆｒａｒｅｄ Ｍｉｃｒｏ−ｓｐｅｃ
ｔｒｏｓｅｏｐｙ ＶｏＬ、 ６ ）に論じられている
。すなわち、ＦＴ−ＩＲ用赤外顕微鏡において、開口部
の大きさが変えられるアパーチャプレートによって測定
範囲を決定するが、従来はアパチャプレートで開口部を
形成し測定範囲以外の不要赤外線を除去する遮光板は赤
外線を遮光する金属板をもって形成した。このため可視
光領域でも不透明となり、微小部測定のために開口部を
小さくするに従って試料の測定部以外に対する関連性が
悪くなり、測定部位の正確な把握が困難となって来る欠
点を生じていた。
上記従来技術はアパーチャプレートの遮光部構成部材に
可視光域で不透明な材料を使用しているため測定範囲以
外の視野を観察することが出来なかった。このため、ア
パーチャプレートを動かして測定範囲を小さくするに従
って試料全体に対する測定位置が不明確になり、測定位
置の確認のために試料の全視野の再確認をする必要が生
じ、操作性不良の問題があった。本発明はかかる問題点
を解決し操作性の高いＩＲ顕微鏡を提供することを目的
としたものである。
可視光域で不透明な材料を使用しているため測定範囲以
外の視野を観察することが出来なかった。このため、ア
パーチャプレートを動かして測定範囲を小さくするに従
って試料全体に対する測定位置が不明確になり、測定位
置の確認のために試料の全視野の再確認をする必要が生
じ、操作性不良の問題があった。本発明はかかる問題点
を解決し操作性の高いＩＲ顕微鏡を提供することを目的
としたものである。
上記目的を達成するため、本発明に於いてはアパーチャ
プレートの遮光部構成部材を測定赤外領域で不透明で、
可視光領域では透明な材質を用いることにより達成する
ことができる。
プレートの遮光部構成部材を測定赤外領域で不透明で、
可視光領域では透明な材質を用いることにより達成する
ことができる。
以上の手段により、測定範囲の大小に関係なく顕微鏡の
全視野が常に観察されることとなり、これにより測定範
囲の試料における位置が明確となるため、正確な位置付
けが出来るため操作性の大幅を向上を計ることが出来る
。
全視野が常に観察されることとなり、これにより測定範
囲の試料における位置が明確となるため、正確な位置付
けが出来るため操作性の大幅を向上を計ることが出来る
。
以下本発明により一実施例を第１図において説明する。
図において、１は赤外光源、２は試料観察用可視光源、
３はハーフミラ−で入射光及び反射光を分離する、４は
対物鏡、５はアパーチャプレートで試料の測定範囲を決
める。６は集光鏡で試料から反射した光を７の検出器受
光面に集光させる。８は検出器の冷却を用いるデユワ−
びんである。９，１０は透過測定のための光学系、１１
は反射測定用光学系、１２は分光計からの赤外光を反射
測定系または透過測定系に切換えるための反射鏡である
。１３は測定赤外光と観測可視光とを切換える反射鏡で
ある。この反射鏡を光軸上に出し入れすることによって
、測定赤外光または観測可視光を切換え試料に照射する
ことができる。
３はハーフミラ−で入射光及び反射光を分離する、４は
対物鏡、５はアパーチャプレートで試料の測定範囲を決
める。６は集光鏡で試料から反射した光を７の検出器受
光面に集光させる。８は検出器の冷却を用いるデユワ−
びんである。９，１０は透過測定のための光学系、１１
は反射測定用光学系、１２は分光計からの赤外光を反射
測定系または透過測定系に切換えるための反射鏡である
。１３は測定赤外光と観測可視光とを切換える反射鏡で
ある。この反射鏡を光軸上に出し入れすることによって
、測定赤外光または観測可視光を切換え試料に照射する
ことができる。
この系において、まず光束切換反射鏡１１を光軸上に出
して観察用可視光を試料１４に照射させる。反射光は光
路切替鏡１５で接眼鏡１６に入射させ接眼鏡により試料
を観察し測定位置を確認する、その後測定範囲を決める
ためにアパーチャプレートを回転切換えて開口部の大き
さを測定範囲に合せる、測定範囲が決定したのち、光束
切換反射鏡１５を測定赤外光に切換え試料の測定を行う
。
して観察用可視光を試料１４に照射させる。反射光は光
路切替鏡１５で接眼鏡１６に入射させ接眼鏡により試料
を観察し測定位置を確認する、その後測定範囲を決める
ためにアパーチャプレートを回転切換えて開口部の大き
さを測定範囲に合せる、測定範囲が決定したのち、光束
切換反射鏡１５を測定赤外光に切換え試料の測定を行う
。
３−
ここにおいて、アパーチャプレートの開口部を構成する
部材を測定赤外領域で不透明で可視光領域では透明な部
材で構成する。即ち第２図においてアパーチャプレート
の詳細を説明する。図において、５はアパーチャプレー
ト、１７は遮光板、１８は開口部である。遮光板１７は
測定赤外領域で不透明でｍ察可視領域で不透明の材質で
構成されている。これによれば、測定範囲の切換えによ
る大小に関係なく全測定範囲において、顕微鏡観察視野
全面を見ることができる、従って試料の測定位置及び範
囲が明確になり正確な測定が容易に達成することができ
る。
部材を測定赤外領域で不透明で可視光領域では透明な部
材で構成する。即ち第２図においてアパーチャプレート
の詳細を説明する。図において、５はアパーチャプレー
ト、１７は遮光板、１８は開口部である。遮光板１７は
測定赤外領域で不透明でｍ察可視領域で不透明の材質で
構成されている。これによれば、測定範囲の切換えによ
る大小に関係なく全測定範囲において、顕微鏡観察視野
全面を見ることができる、従って試料の測定位置及び範
囲が明確になり正確な測定が容易に達成することができ
る。
上記本発明によれば、アパーチャプレートの遮光部が可
視光領域で透明な部材で構成されているため、アパーチ
ャプレートを回転し開口部を切換えて測定視野を縮少し
ても顕微鏡が！／Ｒ祭視野は測定視野の大小に関係なく
全体が見えることとなる。
視光領域で透明な部材で構成されているため、アパーチ
ャプレートを回転し開口部を切換えて測定視野を縮少し
ても顕微鏡が！／Ｒ祭視野は測定視野の大小に関係なく
全体が見えることとなる。
このため試料に対する測定部位が正確、確実に把握する
ことが可能となり、従って正確な測定位置＝４ の決定が容易に達成することができる。
ことが可能となり、従って正確な測定位置＝４ の決定が容易に達成することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す光学系を示す図、第２
図は第１図のアパーチャプレートの説明図である。
図は第１図のアパーチャプレートの説明図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、赤外線干渉分光光度計（以下ＦＴ−ＩＲ）に組合せ
て使用される赤外顕微分析装置（以下赤外顕微鏡）にお
いて、試料の測定範囲を規定する寸法可変な開口部と測
定範囲以外の赤外線を検出器から除去する遮光板を有す
る測定範囲切替板（以下アパーチャプレート）の遮光板
を、測定赤外線領域で不透明で可視光領域で透明な部材
で構成したことを特徴とする赤外顕微鏡。 ２、請求項１記載のアパーチャプレートの遮光板開口部
エッジに細い線状のふちどりをほどこしたことを特徴と
する赤外顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2029591A JPH03235910A (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | 赤外顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2029591A JPH03235910A (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | 赤外顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03235910A true JPH03235910A (ja) | 1991-10-21 |
Family
ID=12280316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2029591A Pending JPH03235910A (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | 赤外顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03235910A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0572120A (ja) * | 1991-03-08 | 1993-03-23 | Shimadzu Corp | 赤外顕微測定装置 |
| JPH05181066A (ja) * | 1991-12-28 | 1993-07-23 | Shimadzu Corp | 赤外顕微鏡 |
| JP2006242822A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Chino Corp | 光学的測定装置 |
| JP2006242823A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Chino Corp | 光学的測定装置 |
-
1990
- 1990-02-13 JP JP2029591A patent/JPH03235910A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0572120A (ja) * | 1991-03-08 | 1993-03-23 | Shimadzu Corp | 赤外顕微測定装置 |
| JPH05181066A (ja) * | 1991-12-28 | 1993-07-23 | Shimadzu Corp | 赤外顕微鏡 |
| JP2006242822A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Chino Corp | 光学的測定装置 |
| JP2006242823A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Chino Corp | 光学的測定装置 |
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