JPH03227034A - ウェーハ異物検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、−主面に回路素子あるいはレジスト膜等のパ
ターンが形成されたウェーハの面に異物があるかないか
を検査するウェーハ異物検査装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のウェーハ異物検査装置は、図面には示さ
ないが、レーザ光をパターンが形成されたウェーハ面に
照射するとともにこのウェーハと相対的に移動すること
により前記ウェーハ面を走査するレーザ発信器と、前記
ウェーハ面より反射散乱光を補足するとともに前記反射
散乱光を光電流に変換する受光素子とを有していた。

このウェーハ異物検査装置で、回路パターンが形成され
たウェーハを検査する場合、まず、この回路パターンの
段差部で散乱光がより反射し易いように、レーザ発振器
のウェーハ面に対する傾きを調整し、次に、ウェーハ面
をレーザ光を走査し、その反射散乱光を受光素子で補足
し、この光電流波形をオッシロスコープに写し出して、
不規則の周期で現れるパルスを異物として判定してぃ人
〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、上述した従来のウェーハ異物杉査装置で
は、単に、規則的に現れるパルス波形をパターンの段差
と判断し、不規則に現れるパルス波形と異物と判断して
いるので、段差部と異物との差異を明確するために、受
光素子の感度を落して検査した場合には、段差部による
波形のみ山積し、異物による波形が出現しながったりし
て正確な検査が出来ないという欠点がある。また、感度
を上げてウェーハを検査する場合で、しかも段差部に異
物がある場合、規則的な波形に異物による波形が重なり
、異物が有無を判別し難いという欠点がある。

本発明の目的は、かがる欠点を解消し、異物の付着の有
無を確実に識別できるウェーハ異物検査装置を提供する
ことである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のウェーハ異物検査装置は、レーザ光をパターン
が形成されたウェーハ面に照射するとともにこのウェー
ハと相対的に移動することにより前記ウェーハ面を走査
するレーザ発振器と、前記ウェーハ面より反射散乱光を
補足するとともに前記反射散乱光を光電流に変換する受
光素子とを有するウェーハ異物検査装置において、レー
ザ光を走査するときに発生する光電流波形パターンを記
憶する信号記憶回路と、この得られた光電流波形パター
ンにおける周期の不規則及びレベル強度の違いで現われ
る光電流パルス波形を異物によるものと判定する信号判
定回路とを備え構成される。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明のウェーハ異物検査装置の一実施例を示
すブロック図である。このウェーハ異物検査装置は、第
１図に示すように、レーザ光をミラー２で反射し、回路
パターンが形成されたつ工−ハ３面に照射するとともに
このウェーハ３と相対的に移動することに上りウェーハ
３の面を走査するレーザ発振器１と、ウェーハ３面より
反射散乱光を補足するとともに前記反射散乱光を光電流
に変換する受光素子４と、レーザ光を走査するときに発
生する光電流波形パターンを記憶する信号記憶回路５と
、この得られた光電流波形パターンにおける周期の不規
則及びレベル強度の違いで現われる光電流パルス波形を
異物によるものと判定する信号判定回路６とを備えてい
る。

第２図は第１図のウェーハ異物検査装置の動作を説明す
るためのウェーハ上のパターンとこのパターンを走査し
たときの波形図である。次に、このウェーハ異物検査装
置の動作を説明する。ここで、第２図に示すウェーハ上
の部分領域であるチップ７上に貰物があるか否がを検査
した例で説明する。まず、適切な角度に傾むけてレーザ
発振器１を固定し、ウェーハ３とレーザ発振器１とを相
対的に移動してウェーハ面に走査する。このことにより
受光素子４に補足された反射光は、電流に変換され、電
流波形として出方される。この出方信号は一走査毎に信
号記憶回路５に一時的に記憶され、次の信号が入力され
ると、前の走査による波形信号は信号判定回路６に送ら
れる。このように順次に走査すると、第２図に示すよう
に、パターン８の段差部は規則的周期でパターンエツジ
による信号１１がパルス状の波形として出現する。

このように、ウェーハ３の面を順次走査し、検査を完了
する。

ここで、チップ７に異物が付着していると、つ工−ハの
チップにレーザ光を走査したとき、パターンエツジ以外
にある異物９がある場合は、パターンエツジ以外にある
異物による信号１２として現われる。この波形は規則的
な周期をもっていないから、信号判定回路６は異物と判
定する。また、パターンエツジ部に貰物が付着したとき
は、パターンエツジによる信号１１と重なりパターンエ
ツジ部にある異物による信号１３として現われる。

この波形はパターンエツジによる信号１１と重なった信
号になるが、パターンエツジによる信号よりピークレベ
ルが高いので信号判定回路６は異物と判定する。

第３図は本発明の他の実施例を示すウェーハ異物検査装
置のブロック図である。このウェーハ異物検査装置は、
あらかじめ、異物の付着していないチップを走査したと
きに得られる波形パターンを記憶するパターン信号記憶
回路１４を設けたことである。それ以外は、前述の実施
例と同じである。

このウェーハ異物検査装置で、ウェーハ面の異物の有無
を検査するときは、レーザ光で一走査毎に得られる波形
パターンを、パターン信号記憶回路１４に記憶された波
形パターンと比較して信号判定回路６で異物の有無を判
定するものである。

この実施例のウェーハ異物検査装置は、あらかじめパタ
ーンエツジからの信号波形を記憶されているので、ウェ
ーハを複数枚検査をする場合、連続的に短時間で検査で
きるという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ウェーハ面をレーザ光で
走査し、ウェーハ面の段差あるいは異物より反射する散
乱光を補足する受光素子を設け、この受光素子で変換さ
れた一走査波形パターンを記憶する信号記憶回路を設け
、この信号記憶回路の一走査波形パターン中にある不規
則性パルス波形及び規則性があるがピークレベルの高い
パルス波形を異物であると判定する信号判定回路を設け
ることによって、異物の有無を確実に識別出来るウェー
ハ異物検査装置が得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェーハ異物検査装置の一実施例を示
すブロック図、第２図は第１図のウェーハ異物検査装置
の動作を説明するためのウェーハ上のパターンとこのパ
ターンを走査したときの波形図、第３図は本発明の他の
実施例を示すウェーハ異物検査装置のブロック図である
。 １・・・レーザ発振器、２・・−ミラー　３・・・ウェ
ーハ４・・・受光素子、５・・・信号記憶回路、６・・
・信号判定回路、７・・・チップ、８・・・パターン、
９・・・パターンエツジ以外ある異物、１０−パターン
エツジ部にある異物、１１・・・パターンエツジにより
信号、１２・−・パターンエツジ以外にある異物による
信号、１３・・・パターンエツジ部にある異物による信
号、１４・・・パターン信号記憶回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザ光をパターンが形成されたウェーハ面に照射する
   とともにこのウェーハと相対的に移動することにより前
   記ウェーハ面を走査するレーザ発振器と、前記ウェーハ
   面より反射散乱光を補足するとともに前記反射散乱光を
   光電流に変換する受光素子とを有するウェーハ異物検査
   装置において、レーザ光を走査するときに発生する光電
   流波形パターンを記憶する信号記憶回路と、この得られ
   た光電流波形パターンにおける周期の不規則及びレベル
   強度の違いで現われる光電流パルス波形を異物によるも
   のと判定する信号判定回路とを備えることを特徴とする
   ウェーハ異物検査装置。