JPH03225978A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH03225978A JPH03225978A JP1927190A JP1927190A JPH03225978A JP H03225978 A JPH03225978 A JP H03225978A JP 1927190 A JP1927190 A JP 1927190A JP 1927190 A JP1927190 A JP 1927190A JP H03225978 A JPH03225978 A JP H03225978A
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- JP
- Japan
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- gas laser
- main discharge
- laser medium
- flow
- discharge space
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- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 title claims description 8
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明はガスレーザ発振装置に関する。
（従来技術）
レーザ光に対して主放電方向が直交するＴＥＡＣＯ２レ
ーザやエキシマレーザなどのパルスレーザでは、その応
用上、高繰返し動作が望まれている。この種の従来のレ
ーザ発振装置について第４図を参照して説明する。すな
わち、レーザ管（１）を有し、内部に陰極（２）および
陽極（３）からなる一対の主放電電極が所定の主放電空
間（４）を形成して設けられている。なお、図示せぬが
主放電空間（４）を間にして紙面垂直方向において共振
器ミラーが配置されている。また、主放電空間（４）の
近傍に、主放電を安定に点弧させるための予備電離用の
ピン電極（５）が紙面垂直方向になるレーザ光軸に沿っ
て複数対設けられている。これらピン電極（５）はそれ
ぞれ波形成形のためのピーキングコンデンサ（６）を介
し主電源（７）に接続されている。レーザ管（１）の内
部には上記主放電電極の他に封入されているガスレーザ
媒質を冷却して循環させる熱交換器（８）、送風機（９
）および風ガイドＣｌ０）が設けられている。
ーザやエキシマレーザなどのパルスレーザでは、その応
用上、高繰返し動作が望まれている。この種の従来のレ
ーザ発振装置について第４図を参照して説明する。すな
わち、レーザ管（１）を有し、内部に陰極（２）および
陽極（３）からなる一対の主放電電極が所定の主放電空
間（４）を形成して設けられている。なお、図示せぬが
主放電空間（４）を間にして紙面垂直方向において共振
器ミラーが配置されている。また、主放電空間（４）の
近傍に、主放電を安定に点弧させるための予備電離用の
ピン電極（５）が紙面垂直方向になるレーザ光軸に沿っ
て複数対設けられている。これらピン電極（５）はそれ
ぞれ波形成形のためのピーキングコンデンサ（６）を介
し主電源（７）に接続されている。レーザ管（１）の内
部には上記主放電電極の他に封入されているガスレーザ
媒質を冷却して循環させる熱交換器（８）、送風機（９
）および風ガイドＣｌ０）が設けられている。
（発明が解決しようとする課題）
上記の構成になるガスレーザ発振装置では、主放電時に
陰極（２）および陽極（３）に多量の電気エネルギが注
入され、放電過程で発生するイオンや電子が例えばＣＣ
Ｉ ＳＮ Ｉ Ｆ ２などの放電生成物が発生する。
陰極（２）および陽極（３）に多量の電気エネルギが注
入され、放電過程で発生するイオンや電子が例えばＣＣ
Ｉ ＳＮ Ｉ Ｆ ２などの放電生成物が発生する。
これら放電生成物はガスレーザ媒質の流れにのって主放
電空間から速やかに排除される。ところで、ピーキング
コンデンサ（６）はレーザ発振装置以外にも使用されて
いる汎用性の円板状のものが使われ、第４図および第５
図に示すように、円形面を陰極（２）の両側面に接し光
共振方向に沿って複数配置されていた。このため、ピキ
ングコンデンサ（６）間の透き間や円弧部で描かれる波
状部分がガスレーザ媒質の流れを妨げ、上記放電生成物
の排除が不十分となっていた。放電生成物が不十分であ
ると主放電を妨げ、レーザの高繰返し化が困難になる問
題があった。
電空間から速やかに排除される。ところで、ピーキング
コンデンサ（６）はレーザ発振装置以外にも使用されて
いる汎用性の円板状のものが使われ、第４図および第５
図に示すように、円形面を陰極（２）の両側面に接し光
共振方向に沿って複数配置されていた。このため、ピキ
ングコンデンサ（６）間の透き間や円弧部で描かれる波
状部分がガスレーザ媒質の流れを妨げ、上記放電生成物
の排除が不十分となっていた。放電生成物が不十分であ
ると主放電を妨げ、レーザの高繰返し化が困難になる問
題があった。
本発明は主放電部のインダクタンスを増すことなく、円
滑なガス流速が得られるガスレーザ発振装置を提供する
ことを目的とする。
滑なガス流速が得られるガスレーザ発振装置を提供する
ことを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段と作用）
ガスレーザ媒質を封入したレーザ管と、このレーザ管内
に対向して設けられた主放電電極と、上記主放電電極の
近傍に設けられた複数のピン電極と、これらピン電極に
それぞれ取付けられ放電波形を整形するピーキングコン
デンサと、主放電空間で発生したレーザ光を共振する光
共振器と、上記レーザ管内に設けられ上記ガスレーザ媒
質を循環させる循環手段とを備えたガスレーザ発振装置
において、上記各ピーキングコンデンサはほぼ直方体に
なり隣接する側面どうしが近接または当接して配置され
、上記主放電空間部側の各側面をほぼ同一面上に配置し
上記ガスレーザ媒質の流れを規制する規制面に形成した
もので、ガスレーザ媒質は規制面に案内されて主放電空
間を流れていく。
に対向して設けられた主放電電極と、上記主放電電極の
近傍に設けられた複数のピン電極と、これらピン電極に
それぞれ取付けられ放電波形を整形するピーキングコン
デンサと、主放電空間で発生したレーザ光を共振する光
共振器と、上記レーザ管内に設けられ上記ガスレーザ媒
質を循環させる循環手段とを備えたガスレーザ発振装置
において、上記各ピーキングコンデンサはほぼ直方体に
なり隣接する側面どうしが近接または当接して配置され
、上記主放電空間部側の各側面をほぼ同一面上に配置し
上記ガスレーザ媒質の流れを規制する規制面に形成した
もので、ガスレーザ媒質は規制面に案内されて主放電空
間を流れていく。
（実施例）
以下、実施例を示す図面に基づいて本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例で、第３図と共通する部分に
は同一符号を付している。すなわち、第３図に示した従
来例と異なる点は、はぼ直方体のピーキングコンデンサ
（１５）を配置した点にある。ピーキングコンデンサ（
１５）は第２図に示すように、６面体の一面がガスレー
ザ媒質の流れの規制面となる傾斜面（１６）に形成され
た形になり、第３図に示すように、傾斜面（１６）を光
共振方向に沿ってほぼ同一面にし、互いに当接して配置
されている。この配置では、傾斜面（１６）はガスレー
ザ媒質の流れの上流側では主放電空間（４）に対して上
記流れを絞り込むように規制する方向に揃えられ、同じ
く下流側では上記流れを発散する方向に揃えられている
。
は同一符号を付している。すなわち、第３図に示した従
来例と異なる点は、はぼ直方体のピーキングコンデンサ
（１５）を配置した点にある。ピーキングコンデンサ（
１５）は第２図に示すように、６面体の一面がガスレー
ザ媒質の流れの規制面となる傾斜面（１６）に形成され
た形になり、第３図に示すように、傾斜面（１６）を光
共振方向に沿ってほぼ同一面にし、互いに当接して配置
されている。この配置では、傾斜面（１６）はガスレー
ザ媒質の流れの上流側では主放電空間（４）に対して上
記流れを絞り込むように規制する方向に揃えられ、同じ
く下流側では上記流れを発散する方向に揃えられている
。
次に上記構成の作用について説明する。ピーキングコン
デンサ（１５）は互いに当接し、また、傾斜面（１６）
がほぼ同一面に揃えられているので、これら傾斜面が風
ガイド（１０）と同様な作用をなしてガスレーザ媒質の
流れを規制して主放電空間に流入させる。また、下流側
はピーキングコンデンサ（１５）の傾斜面（１６）が発
散する方向に向いていているので、上記流入したガスレ
ーザ媒質は速やかに主放電空間（４）から排除される。
デンサ（１５）は互いに当接し、また、傾斜面（１６）
がほぼ同一面に揃えられているので、これら傾斜面が風
ガイド（１０）と同様な作用をなしてガスレーザ媒質の
流れを規制して主放電空間に流入させる。また、下流側
はピーキングコンデンサ（１５）の傾斜面（１６）が発
散する方向に向いていているので、上記流入したガスレ
ーザ媒質は速やかに主放電空間（４）から排除される。
なお、上記実施例では規制面を傾斜面（１６）としたが
、ガスレーザ媒質の流れに沿うような水平面に形成して
もよく、陰極（２）を間にして規制面を形成したピーキ
ングコンデンサ（１５）をガスレーザ媒質の上流側、下
流側の両側に設けたが、上流側のみに設けてガスレーザ
媒質の流れを規制するようにしてもよい。また、傾斜面
（１６）は平面に限らず曲面でも形成できる。さらに、
上記実施例ではピーキンクコンデンサ（１５）を陰極（
２）側でなく、陽極（３）側あるいは両極側に取付ける
中間電位方式に適用してもよい。
、ガスレーザ媒質の流れに沿うような水平面に形成して
もよく、陰極（２）を間にして規制面を形成したピーキ
ングコンデンサ（１５）をガスレーザ媒質の上流側、下
流側の両側に設けたが、上流側のみに設けてガスレーザ
媒質の流れを規制するようにしてもよい。また、傾斜面
（１６）は平面に限らず曲面でも形成できる。さらに、
上記実施例ではピーキンクコンデンサ（１５）を陰極（
２）側でなく、陽極（３）側あるいは両極側に取付ける
中間電位方式に適用してもよい。
［発明の効果コ
以上のように、従来ピーキンクコンデンサがガスレーザ
媒質の流れを阻害していたものが、本発明ではピーキン
グコンデンサがガスレーザ媒質の流れを円滑にし、流路
抵抗を著しく低下させたため、循環しているガス流速を
２０〜５０％も早めることが可能になった。したがって
、放電時に発生した放電生成物は主放電空間（４）から
速やかに排除されるので、主放電の間隔を早められ、レ
ザの高繰返しを向上させることを達成することができた
。
媒質の流れを阻害していたものが、本発明ではピーキン
グコンデンサがガスレーザ媒質の流れを円滑にし、流路
抵抗を著しく低下させたため、循環しているガス流速を
２０〜５０％も早めることが可能になった。したがって
、放電時に発生した放電生成物は主放電空間（４）から
速やかに排除されるので、主放電の間隔を早められ、レ
ザの高繰返しを向上させることを達成することができた
。
第１図は本発明の一実施例を示す要部正面図、第２図は
ピーキンクコンデンサの拡大斜視図、第３図は上記一実
施例を示す要部側面図、第４図および第５図は従来例を
示す断面図および側面図である。 ２）・・・陰極 ３）・・・陽極 ５）・・・ピン電極 １５）・・・ピーキングコンデンサ １６）・・・傾斜面（規制面）
ピーキンクコンデンサの拡大斜視図、第３図は上記一実
施例を示す要部側面図、第４図および第５図は従来例を
示す断面図および側面図である。 ２）・・・陰極 ３）・・・陽極 ５）・・・ピン電極 １５）・・・ピーキングコンデンサ １６）・・・傾斜面（規制面）
Claims (1)
- ガスレーザ媒質を封入したレーザ管と、このレーザ管内
に対向して設けられた主放電電極と、上記主放電電極の
近傍に設けられた複数のピン電極と、これらピン電極に
それぞれ取付けられ放電波形を整形するピーキングコン
デンサと、主放電空間で発生したレーザ光を共振する光
共振器と、上記レーザ管内に設けられ上記ガスレーザ媒
質を循環させる循環手段とを備えたガスレーザ発振装置
において、上記各ピーキングコンデンサはほぼ直方体に
なり隣接する側面どうしが近接または当接して配置され
、上記主放電空間部側の各側面をほぼ同一面上に配置し
上記ガスレーザ媒質の流れを規制する規制面に形成した
ことを特徴とするガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1927190A JPH03225978A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1927190A JPH03225978A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03225978A true JPH03225978A (ja) | 1991-10-04 |
Family
ID=11994782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1927190A Pending JPH03225978A (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03225978A (ja) |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP1927190A patent/JPH03225978A/ja active Pending
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