JPH03199139A - 単板の断熱ガラス板およびその色ガラス - Google Patents
単板の断熱ガラス板およびその色ガラスInfo
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- JPH03199139A JPH03199139A JP33916789A JP33916789A JPH03199139A JP H03199139 A JPH03199139 A JP H03199139A JP 33916789 A JP33916789 A JP 33916789A JP 33916789 A JP33916789 A JP 33916789A JP H03199139 A JPH03199139 A JP H03199139A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、冷暖房効果を向上させるようにするとともに
、比較的低い、例えば約５０％前後以下の可視光透過率
を有するものであって、しかも耐薬品性および耐摩耗性
も優れた単板の断熱ガラス板ならびにその色ガラスに関
し、なかでもスパッタ法で成膜して成る、建築用単板熱
線反射ガラスまたはその色ガラスとして有用であること
はもちろん、特に車輌用断熱ガラスとしても有用であっ
て、ことにサンルーフ、サイドあるいはドア用窓ガラス
など可視光透過率が比較的低い車両用単板の断熱ガラス
またはガラス面倒から見てシルバー系色調を示す車両用
単板の断熱色ガラスとして有用である単板の断熱ガラス
板ならびに単板の断熱色ガラス板を提供するものである
。
、比較的低い、例えば約５０％前後以下の可視光透過率
を有するものであって、しかも耐薬品性および耐摩耗性
も優れた単板の断熱ガラス板ならびにその色ガラスに関
し、なかでもスパッタ法で成膜して成る、建築用単板熱
線反射ガラスまたはその色ガラスとして有用であること
はもちろん、特に車輌用断熱ガラスとしても有用であっ
て、ことにサンルーフ、サイドあるいはドア用窓ガラス
など可視光透過率が比較的低い車両用単板の断熱ガラス
またはガラス面倒から見てシルバー系色調を示す車両用
単板の断熱色ガラスとして有用である単板の断熱ガラス
板ならびに単板の断熱色ガラス板を提供するものである
。
［従来の技術］
近年、建築物の周辺環境との調和などの関係上、例えば
高層建築物では外面における反射の割合が高い高性能断
熱ガラスの採用が多くなってきており、その製法として
はＣＶＤ法、スパッタ法等があるが、反射色調を自由に
調節できて多品種の生産に適する製法としてはスパッタ
法が採用されつつあり、その用途は建築用に限らず車両
用にも広く拡大されつつあり、さらに単板のままで使用
しても耐候性、耐久性があるというものが提案されてき
ており、なかでもスパッタ法で成膜した建築用断熱ガラ
スとして透明基板にＳＵＳ／ＴｉＮ ＩＩ！等を形成す
ることでシルバー色系あるいはゴールド色系等を呈する
ものを得ようとすることが知られている０例えば特開昭
６３−２４２９４８号公報には、熱線反射ガラスが記載
されており、ガラス基板表面に基板側から順に金属膜、
窒化物膜及び酸化物膜を積層して形成した層側表面の可
視光反射率２０％以下の熱線反射ガラスが開示され、金
属膜としてＣｒ、Ｔｉ、Ｚ「、Ｈｆ、Ｔａ、 Ｓｉ及び
これらの合金、並びにステンレスのなかから選ばれたも
の、窒化物としてＴｉ、 Ｚｒ、 Ｔａ、 Ｃｒ、 Ｈ
ｆの窒化物及びこれらの複合窒化物のなかから選ばれた
もの、酸化物としてＴｉ、 Ｃｒ、 Ｚｒ、 Ｓｉ、
Ａｌ、 Ｈｆ、Ｔａ、 Ｎｂの酸化物及びこれらの複合
酸化物のなかから選ばれたものであり、具体的にはガラ
ス基板／クロム［／窒化チタン膜／酸化チタン膜、ある
いはガラス基板／ステンレス膜／窒化チタン膜／酸化チ
タン膜等のｍ＊が記載され、どちらかと言えばシルバー
色を呈すると考えられるものが開示されている。また特
開昭６４−１４１３０号公報には、熱線反射ガラスが記
載されており、ガラス基板上に、基板側から順次窒化物
層（例えばＴｉＮ膜）、酸化物層（例えばＴｉ０２ 、
Ｓｎ０２等）、金属層（例えばＳ［ＩＳ 、 Ｔｉ、
Ｃｒ等）、酸化物層（例えばＴｉｎ ２ 、Ｓｎ０２）
、あるいは基板側から順次例えばＴｉ０２層、ＴｉＮ層
、ＴｉＯ□層、ＳＵＳ層、Ｔｉ０２層をそれぞれ積層さ
せてなるガラス基板側反射色がゴールドを呈し、かつ膜
形成面側反射色がニュートラル系で、反射率が２０％以
下であるというものが開示されている。さらに本出願人
が既に出願した特願平１−５３５６７号では熱線反射ガ
ラス板を記載しており、例えばＧ ／ ＳＵＳＮｘ ／
Ｔ ｉＮあるいはＴｉＮｘ０ｙ／ＴｉＯ□の多層膜、
あるいはさらにＴｉ０２膜の表面にＡｌ−５ｉＮｘＯｙ
を積層した構成で、種々のシルバー色系色調となって単
板でも充分使用可能であるものを提案している。さらに
また特開昭６３−２４７３５２号公報には、反応性スパ
ッタリングによる透明コーティングが記載されており、
基材、基材上のコーテイング膜およびコーティング上の
保ｆｌ１Ｍを含む構成のコートした物品であって、この
保護膜がアルミニウムおよびケイ素を含む合金であるタ
ーゲットを反応性ガス中、特に０層％がＮ２＋０２ガス
中の割合で１０〜３０％にあるなかでスパッタすること
により形成された反応生成物の無定形層を含む膜である
ことが記載され、具体的にはＡｌ−５ｉＲｘ （但しＲ
；例えば０．３０□＋０．７ Ｎ ２等反応ガス）の保
護膜とするものが開示されている。
高層建築物では外面における反射の割合が高い高性能断
熱ガラスの採用が多くなってきており、その製法として
はＣＶＤ法、スパッタ法等があるが、反射色調を自由に
調節できて多品種の生産に適する製法としてはスパッタ
法が採用されつつあり、その用途は建築用に限らず車両
用にも広く拡大されつつあり、さらに単板のままで使用
しても耐候性、耐久性があるというものが提案されてき
ており、なかでもスパッタ法で成膜した建築用断熱ガラ
スとして透明基板にＳＵＳ／ＴｉＮ ＩＩ！等を形成す
ることでシルバー色系あるいはゴールド色系等を呈する
ものを得ようとすることが知られている０例えば特開昭
６３−２４２９４８号公報には、熱線反射ガラスが記載
されており、ガラス基板表面に基板側から順に金属膜、
窒化物膜及び酸化物膜を積層して形成した層側表面の可
視光反射率２０％以下の熱線反射ガラスが開示され、金
属膜としてＣｒ、Ｔｉ、Ｚ「、Ｈｆ、Ｔａ、 Ｓｉ及び
これらの合金、並びにステンレスのなかから選ばれたも
の、窒化物としてＴｉ、 Ｚｒ、 Ｔａ、 Ｃｒ、 Ｈ
ｆの窒化物及びこれらの複合窒化物のなかから選ばれた
もの、酸化物としてＴｉ、 Ｃｒ、 Ｚｒ、 Ｓｉ、
Ａｌ、 Ｈｆ、Ｔａ、 Ｎｂの酸化物及びこれらの複合
酸化物のなかから選ばれたものであり、具体的にはガラ
ス基板／クロム［／窒化チタン膜／酸化チタン膜、ある
いはガラス基板／ステンレス膜／窒化チタン膜／酸化チ
タン膜等のｍ＊が記載され、どちらかと言えばシルバー
色を呈すると考えられるものが開示されている。また特
開昭６４−１４１３０号公報には、熱線反射ガラスが記
載されており、ガラス基板上に、基板側から順次窒化物
層（例えばＴｉＮ膜）、酸化物層（例えばＴｉ０２ 、
Ｓｎ０２等）、金属層（例えばＳ［ＩＳ 、 Ｔｉ、
Ｃｒ等）、酸化物層（例えばＴｉｎ ２ 、Ｓｎ０２）
、あるいは基板側から順次例えばＴｉ０２層、ＴｉＮ層
、ＴｉＯ□層、ＳＵＳ層、Ｔｉ０２層をそれぞれ積層さ
せてなるガラス基板側反射色がゴールドを呈し、かつ膜
形成面側反射色がニュートラル系で、反射率が２０％以
下であるというものが開示されている。さらに本出願人
が既に出願した特願平１−５３５６７号では熱線反射ガ
ラス板を記載しており、例えばＧ ／ ＳＵＳＮｘ ／
Ｔ ｉＮあるいはＴｉＮｘ０ｙ／ＴｉＯ□の多層膜、
あるいはさらにＴｉ０２膜の表面にＡｌ−５ｉＮｘＯｙ
を積層した構成で、種々のシルバー色系色調となって単
板でも充分使用可能であるものを提案している。さらに
また特開昭６３−２４７３５２号公報には、反応性スパ
ッタリングによる透明コーティングが記載されており、
基材、基材上のコーテイング膜およびコーティング上の
保ｆｌ１Ｍを含む構成のコートした物品であって、この
保護膜がアルミニウムおよびケイ素を含む合金であるタ
ーゲットを反応性ガス中、特に０層％がＮ２＋０２ガス
中の割合で１０〜３０％にあるなかでスパッタすること
により形成された反応生成物の無定形層を含む膜である
ことが記載され、具体的にはＡｌ−５ｉＲｘ （但しＲ
；例えば０．３０□＋０．７ Ｎ ２等反応ガス）の保
護膜とするものが開示されている。
［発明が解決しようとする問題点］
前述したような従来の例えば特開昭６３−２４２９４８
号公報に記載のものはガラス側から見た際の可視光反射
率が大きくなりやすくかつ膜全体としての密着性あるい
は耐摩耗性、耐薬品性等においても必ずしも充分耐久性
があるものとは言い難いものであって、建築用単板の断
熱窓ガラスとしてさらに改善が望まれ、特に例えば自動
車用断熱窓ガラスのうち単板で用いるドアあるいはサイ
ドガラス等には必ずしも充分採用できるとは言い難いも
のであり、また特開昭６４−１４１３０号公報に記載の
ものは、ｓｕｓ ｓを多層膜の一つに用いているものの
ガラス面から見た際ゴールド色調を呈するものであって
、特にヘーズ値の変化ならびに耐薬品性において必ずし
も充分満足できるとは言い難いものであり、さらに特願
平１−５３５６７号に記載のものは、前述の両公報に記
載されたものより、耐摩耗性、耐食性ならびに耐候耐久
性において数段優れるものであって建築用単板の熱線反
射ガラスとしては充分有用であると言えるが、車両用単
板の熱線反射ガラスとしてより長期的耐久性あるいは苛
酷な環境または条件においてはまだまだ充分に満足し得
るものとは必ずしも言い難いものであり、さらにまた特
開昭６３−２４７３５２号公報に記載されたものは、最
外表面膜としての耐摩耗性ならびに耐薬品性においては
表面上向上するものの、膜を構成している積層膜全体と
しては耐候耐久性が必ずしも充分優れたものとは言い難
いものである。
号公報に記載のものはガラス側から見た際の可視光反射
率が大きくなりやすくかつ膜全体としての密着性あるい
は耐摩耗性、耐薬品性等においても必ずしも充分耐久性
があるものとは言い難いものであって、建築用単板の断
熱窓ガラスとしてさらに改善が望まれ、特に例えば自動
車用断熱窓ガラスのうち単板で用いるドアあるいはサイ
ドガラス等には必ずしも充分採用できるとは言い難いも
のであり、また特開昭６４−１４１３０号公報に記載の
ものは、ｓｕｓ ｓを多層膜の一つに用いているものの
ガラス面から見た際ゴールド色調を呈するものであって
、特にヘーズ値の変化ならびに耐薬品性において必ずし
も充分満足できるとは言い難いものであり、さらに特願
平１−５３５６７号に記載のものは、前述の両公報に記
載されたものより、耐摩耗性、耐食性ならびに耐候耐久
性において数段優れるものであって建築用単板の熱線反
射ガラスとしては充分有用であると言えるが、車両用単
板の熱線反射ガラスとしてより長期的耐久性あるいは苛
酷な環境または条件においてはまだまだ充分に満足し得
るものとは必ずしも言い難いものであり、さらにまた特
開昭６３−２４７３５２号公報に記載されたものは、最
外表面膜としての耐摩耗性ならびに耐薬品性においては
表面上向上するものの、膜を構成している積層膜全体と
しては耐候耐久性が必ずしも充分優れたものとは言い難
いものである。
いずれにしても、車両用単板の断熱ガラスおよびその着
色ガラスとしては、断熱性能、耐摩耗性、耐薬品性なら
びに耐候耐久性などに充分優れ、しかも所望の長期に亙
る耐久性を充分有するものであるものとは言い難いもの
であった。
色ガラスとしては、断熱性能、耐摩耗性、耐薬品性なら
びに耐候耐久性などに充分優れ、しかも所望の長期に亙
る耐久性を充分有するものであるものとは言い難いもの
であった。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、従来のかかる欠点に鑑みてなしたものであっ
て、特定の膜厚を有する特定の薄膜をガラス表面側と最
外表面側に設け、少なくともｓｕｓ膜あるいはＳＵＳＮ
ｘ ＠ならびにＴｉＮｘ膜、さらにＴｉＯｘ ＠を順次
それぞれ組み合わせることで、耐摩耗性、耐薬品性、耐
候耐久性をもち、冷暖房に効果的な単板の車両用窓ガラ
スとして満足して採用でき、しかもシルバー色系色調を
ガラス面で呈するようにできる単板の断熱ガラス板およ
びその色ガラスを提供するものである。
て、特定の膜厚を有する特定の薄膜をガラス表面側と最
外表面側に設け、少なくともｓｕｓ膜あるいはＳＵＳＮ
ｘ ＠ならびにＴｉＮｘ膜、さらにＴｉＯｘ ＠を順次
それぞれ組み合わせることで、耐摩耗性、耐薬品性、耐
候耐久性をもち、冷暖房に効果的な単板の車両用窓ガラ
スとして満足して採用でき、しかもシルバー色系色調を
ガラス面で呈するようにできる単板の断熱ガラス板およ
びその色ガラスを提供するものである。
すなわち、本発明は、透明ガラス基板の一表面に、ガラ
ス面より第１層および第５層として膜厚がそれぞれ１０
０−１０００人（７） ＳｉＯｘ：ｌ： タハＡｌ ・
ＳｉＯｘｌｌ、第２層としＴ ５ｔｌＳあルイはＳＵＳ
Ｎｘ膜、第３層としてＴｉＮｘ１ｌ、第４層とし７Ｔｉ
Ｏｘｌｌｌをそれぞれスパッタ法で成膜したことを特徴
とする単板の断熱ガラス板、ならびに透明ガラス基板の
一表面に、ガラス面より第１層として膜厚が１００−３
００人のＳｉＯｘまたはＡｌ・ＳｉＯｘ膜、第２層とし
て膜厚が５０−１００人のＳＵＳあるいはＳＵＳＮｘ膜
、第３層として膜厚が２００〜４００人のＴｉＮｘ膜、
第４層として膜厚が０〜２００人のＴｉ０ｘｌｌ、第５
層として膜厚が３００−５００人のＳｉＯｘまたはＡｌ
・ＳｉＯｘ膜をそれぞれスパッタ法で成膜して成るガ
ラス面側から見た反射色調がシルバー色系であることを
特徴とする単板の断熱色ガラス板、さらに前記した単板
の断熱ガラス板ならびに単板の断熱色ガラス板において
、ＣＳ−１０Ｆによる摩耗輪を用いたテーバー試験にて
、１０００回回転後回転後ズ値の変化量が試験前に比し
５％以内であることを特徴とする単板の断熱ガラス板な
らびに単板の断熱色ガラス板をそれぞれ提供するもので
ある。
ス面より第１層および第５層として膜厚がそれぞれ１０
０−１０００人（７） ＳｉＯｘ：ｌ： タハＡｌ ・
ＳｉＯｘｌｌ、第２層としＴ ５ｔｌＳあルイはＳＵＳ
Ｎｘ膜、第３層としてＴｉＮｘ１ｌ、第４層とし７Ｔｉ
Ｏｘｌｌｌをそれぞれスパッタ法で成膜したことを特徴
とする単板の断熱ガラス板、ならびに透明ガラス基板の
一表面に、ガラス面より第１層として膜厚が１００−３
００人のＳｉＯｘまたはＡｌ・ＳｉＯｘ膜、第２層とし
て膜厚が５０−１００人のＳＵＳあるいはＳＵＳＮｘ膜
、第３層として膜厚が２００〜４００人のＴｉＮｘ膜、
第４層として膜厚が０〜２００人のＴｉ０ｘｌｌ、第５
層として膜厚が３００−５００人のＳｉＯｘまたはＡｌ
・ＳｉＯｘ膜をそれぞれスパッタ法で成膜して成るガ
ラス面側から見た反射色調がシルバー色系であることを
特徴とする単板の断熱色ガラス板、さらに前記した単板
の断熱ガラス板ならびに単板の断熱色ガラス板において
、ＣＳ−１０Ｆによる摩耗輪を用いたテーバー試験にて
、１０００回回転後回転後ズ値の変化量が試験前に比し
５％以内であることを特徴とする単板の断熱ガラス板な
らびに単板の断熱色ガラス板をそれぞれ提供するもので
ある。
ここで、前記したようにガラス面より第１層および第５
層として膜厚がそれぞれ１００〜１０００人のＳｉＯｘ
またはＡｌ・ＳｉＯｘ膜としたのは、透明基板と第３層
膜との間に発現する応力を緩和し膜の密着性を高める
ために透明基板の組成成分の一部であるＳｉＯｘ （１
＜ ｘ≦２）またはＡｌ −ＳｉＯｘ（２くｘ≦ ７／
２）膜を用いることとし、また最外表層である第５層と
しても特に耐摩耗性、化学的耐久性を向上せしめるため
ならびに下層の各層における密着性に応力の発現等悪影
響を与えないためすなわち積層膜全体として各種耐久性
が充分向上せしめるため５ｊＯｘまたはＡｌ・ＳｉＯｘ
膜を用いることとしたものであり、前述の効果を安定し
て確実に達成できしかも生産性も加味したなかでは膜厚
がそれぞれ１００−１０００人必要であり、ことに第５
層として好ましい膜厚は２００〜８００人程度であって
、より好ましくは２５０〜７００人である。さらに低屈
折率の干渉層として、構成層の薄膜と干渉を発現するも
のの色調への寄与は少なく、中間層の構成であるＳＵＳ
，ＴｉＮｘ、Ｔｉ０Ｘの各層とマッチィングせしめてガ
ラス面側から見ての反射色調がスパッター膜を成膜する
前とほとんど変化しない中性色すなわち所謂シルバー色
系色調を呈することとなり、これまでの構成品に対し、
光学的な特性をほとんど変えずに、耐候耐久性能のみを
向上させることが可能となるため、とくにＳｉＯｘまた
はＡｌ−ＳｉＯｘ層の膜厚を第１層として１００〜３０
０人、第５層として３００〜５００人とすることが最も
効果的であるためである。つぎに第２層としてＳＵＳま
たは５ＬＩＳＮｘ膜を用いることとしたのは、密着力は
もちろん耐薬品性が金属膜のなかでは優れるものであり
、特にＳＵＳＮｘ （Ｎ ２ ： Ａｒが１：１−１：
０の割合における雰囲気でスパッタリング）膜の方がよ
りこの傾向が強く、ことに耐酸性が良化するものである
等、膜自身の強度が向上するものであり、またガラス面
側から見て反射色調がシルバー色系を発現せしめるた
めに必要であり、第３層としてのＴｉＮｘ（０＜ ｘ≦
１）膜、第４層としてのＴｉＯｘ （０＜ ｘ≦２）膜
と順次積層することによって、それぞれが作用し合って
密着性、膜の強度、耐候耐久性ならびに、干渉膜として
色調と可視光透過率の調整に役立つものであり、特に第
３ならびに４層については膜面側から見た色調のバリニ
ーシランを有するものとすることができるものである。
層として膜厚がそれぞれ１００〜１０００人のＳｉＯｘ
またはＡｌ・ＳｉＯｘ膜としたのは、透明基板と第３層
膜との間に発現する応力を緩和し膜の密着性を高める
ために透明基板の組成成分の一部であるＳｉＯｘ （１
＜ ｘ≦２）またはＡｌ −ＳｉＯｘ（２くｘ≦ ７／
２）膜を用いることとし、また最外表層である第５層と
しても特に耐摩耗性、化学的耐久性を向上せしめるため
ならびに下層の各層における密着性に応力の発現等悪影
響を与えないためすなわち積層膜全体として各種耐久性
が充分向上せしめるため５ｊＯｘまたはＡｌ・ＳｉＯｘ
膜を用いることとしたものであり、前述の効果を安定し
て確実に達成できしかも生産性も加味したなかでは膜厚
がそれぞれ１００−１０００人必要であり、ことに第５
層として好ましい膜厚は２００〜８００人程度であって
、より好ましくは２５０〜７００人である。さらに低屈
折率の干渉層として、構成層の薄膜と干渉を発現するも
のの色調への寄与は少なく、中間層の構成であるＳＵＳ
，ＴｉＮｘ、Ｔｉ０Ｘの各層とマッチィングせしめてガ
ラス面側から見ての反射色調がスパッター膜を成膜する
前とほとんど変化しない中性色すなわち所謂シルバー色
系色調を呈することとなり、これまでの構成品に対し、
光学的な特性をほとんど変えずに、耐候耐久性能のみを
向上させることが可能となるため、とくにＳｉＯｘまた
はＡｌ−ＳｉＯｘ層の膜厚を第１層として１００〜３０
０人、第５層として３００〜５００人とすることが最も
効果的であるためである。つぎに第２層としてＳＵＳま
たは５ＬＩＳＮｘ膜を用いることとしたのは、密着力は
もちろん耐薬品性が金属膜のなかでは優れるものであり
、特にＳＵＳＮｘ （Ｎ ２ ： Ａｒが１：１−１：
０の割合における雰囲気でスパッタリング）膜の方がよ
りこの傾向が強く、ことに耐酸性が良化するものである
等、膜自身の強度が向上するものであり、またガラス面
側から見て反射色調がシルバー色系を発現せしめるた
めに必要であり、第３層としてのＴｉＮｘ（０＜ ｘ≦
１）膜、第４層としてのＴｉＯｘ （０＜ ｘ≦２）膜
と順次積層することによって、それぞれが作用し合って
密着性、膜の強度、耐候耐久性ならびに、干渉膜として
色調と可視光透過率の調整に役立つものであり、特に第
３ならびに４層については膜面側から見た色調のバリニ
ーシランを有するものとすることができるものである。
前述のこれら中間層の膜厚については第２層のＳＵＳあ
るいはＳＵＳＮｘ膜が５０−１００人、第３層のＴｉＮ
ｘ膜が２００−４００人、第４層のＴｉＯｘ膜が０−２
００人にすることによって、耐摩耗性、耐薬品性ならび
に耐候耐久性等の膜全体の強度、さらには所望のシルバ
ー色系色調を生産性よく得るために必要で最も好ましい
ものである。
るいはＳＵＳＮｘ膜が５０−１００人、第３層のＴｉＮ
ｘ膜が２００−４００人、第４層のＴｉＯｘ膜が０−２
００人にすることによって、耐摩耗性、耐薬品性ならび
に耐候耐久性等の膜全体の強度、さらには所望のシルバ
ー色系色調を生産性よく得るために必要で最も好ましい
ものである。
なお、透明ガラス基板としては無色または着色の無機質
あるいは有機質ガラス基板であれば、いずれも採用でき
ることは言うもでもない、また前記した単板の断熱ガラ
ス板およびその色ガラスが例えば複層ガラス、合せガラ
スなどに採用して差し支えないことも言うまでもない。
あるいは有機質ガラス基板であれば、いずれも採用でき
ることは言うもでもない、また前記した単板の断熱ガラ
ス板およびその色ガラスが例えば複層ガラス、合せガラ
スなどに採用して差し支えないことも言うまでもない。
［作用］
前述したとおり、本発明の単板の断熱ガラス板およびそ
の色ガラスは、特定の膜厚を有する特定の薄膜をガラス
表面側と最外表面側に設け、少なくともＳＵＳあるいは
ＳＵＳＮｘ Ｗ４ならびにＴｉＮｘ膜、さらにＴｉＯｘ
膜を順次それぞれ組み合わせたことによって、比較的低
い例えば５０％前後以下の可視光透過率であって、耐摩
耗性としてテーバー試験によるヘーズの変化量を５％以
下にすることかでき、しかも各層の膜間の密着性を高め
しめることとなり、酸あるいはアルカリ等による腐蝕性
を改善して耐薬品性が向上し、例えば従来施工時におけ
るコンクリート液による劣化、傷等の発生を防止するた
めのシートの貼付けが不要になるなど、耐候耐久性に優
れるものとなるとともに、生産性ならびに作業性等もよ
り向上するものであり、単板として充分採用できるもの
となり、さらに適度の干渉効果をもたらし、断熱機能を
有し、ガラス面側から見てシルバー色系色調を発現でき
て高い安全性と居住性を備えるものとなり、建築用窓ガ
ラスではもちろん、車両用窓ガラスとしてもサンルーフ
、サイドあるいはドア用ガラス、ことに上下などに稼動
さすような部分においても充分採用できる単板の断熱ガ
ラス板およびその色ガラスを提供できるものである。
の色ガラスは、特定の膜厚を有する特定の薄膜をガラス
表面側と最外表面側に設け、少なくともＳＵＳあるいは
ＳＵＳＮｘ Ｗ４ならびにＴｉＮｘ膜、さらにＴｉＯｘ
膜を順次それぞれ組み合わせたことによって、比較的低
い例えば５０％前後以下の可視光透過率であって、耐摩
耗性としてテーバー試験によるヘーズの変化量を５％以
下にすることかでき、しかも各層の膜間の密着性を高め
しめることとなり、酸あるいはアルカリ等による腐蝕性
を改善して耐薬品性が向上し、例えば従来施工時におけ
るコンクリート液による劣化、傷等の発生を防止するた
めのシートの貼付けが不要になるなど、耐候耐久性に優
れるものとなるとともに、生産性ならびに作業性等もよ
り向上するものであり、単板として充分採用できるもの
となり、さらに適度の干渉効果をもたらし、断熱機能を
有し、ガラス面側から見てシルバー色系色調を発現でき
て高い安全性と居住性を備えるものとなり、建築用窓ガ
ラスではもちろん、車両用窓ガラスとしてもサンルーフ
、サイドあるいはドア用ガラス、ことに上下などに稼動
さすような部分においても充分採用できる単板の断熱ガ
ラス板およびその色ガラスを提供できるものである。
［実施例］
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。ただし
本発明は係る実施例に限定されるものではない。
本発明は係る実施例に限定されるものではない。
実施例１
大きさ６００Ｘ６００ ａｍ２、厚さ６■の透明ガラス
基板（Ｆｔ６）を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルア
ルコールで順次洗浄し、乾燥した後、マグネトロン反応
スパッタリング装置の真空槽内にセットしであるＳｉ０
２とＳＵＳとＴｉのターゲットに対向して上方を往復で
きるようセットし、つぎに前記槽内を図示していない真
空ポンプで６ 約５ Ｘ １０ Ｔｏｒｒまで脱気した後、該真空槽内
に３ Ａｒと０２ガスを同量導入して真空度を約２×１０Ｔｏ
ｒｒに保持し、前記Ｓｉ０２のターゲットにＲＦ電力約
２．５ＫＷを印加し、０２ガス（但し、Ａｒと０２ガス
の流量比は１：０から０：１の範囲にあればよい、〉に
よるＲＦマグネトロンスパッタ中を、前記ＳｉＯ□ター
ゲット上方においてスピード約５０ｍ／ｓｉｎで前記板
ガラスを搬送することによって約３００人厚さの５ｉＯ
ｘｆｉ膜を成膜した。前記ＳｉＯｘ膜の成膜が完了した
後、ＳｉＯ□ターゲットへの印加を停止する。
基板（Ｆｔ６）を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルア
ルコールで順次洗浄し、乾燥した後、マグネトロン反応
スパッタリング装置の真空槽内にセットしであるＳｉ０
２とＳＵＳとＴｉのターゲットに対向して上方を往復で
きるようセットし、つぎに前記槽内を図示していない真
空ポンプで６ 約５ Ｘ １０ Ｔｏｒｒまで脱気した後、該真空槽内
に３ Ａｒと０２ガスを同量導入して真空度を約２×１０Ｔｏ
ｒｒに保持し、前記Ｓｉ０２のターゲットにＲＦ電力約
２．５ＫＷを印加し、０２ガス（但し、Ａｒと０２ガス
の流量比は１：０から０：１の範囲にあればよい、〉に
よるＲＦマグネトロンスパッタ中を、前記ＳｉＯ□ター
ゲット上方においてスピード約５０ｍ／ｓｉｎで前記板
ガラスを搬送することによって約３００人厚さの５ｉＯ
ｘｆｉ膜を成膜した。前記ＳｉＯｘ膜の成膜が完了した
後、ＳｉＯ□ターゲットへの印加を停止する。
つぎに前述のガラス基板を前記真空槽中に置いたまま、
ＳＵＳターゲットに約１．ＯＫＷを印加し、Ａｒガスに
よるＤＣマグネトロンスパッタ中を、前記ＳＵＳターゲ
ット上方において約５００ ａｍ／＊ｉｎで前記ガラス
基板を搬送することにより約５０人厚さのｓｕｓ ｇを
成膜した。前記ｓｕｓ膜の成膜が完了した後、ＳＵＳタ
ーゲットへの印加を停止する。
ＳＵＳターゲットに約１．ＯＫＷを印加し、Ａｒガスに
よるＤＣマグネトロンスパッタ中を、前記ＳＵＳターゲ
ット上方において約５００ ａｍ／＊ｉｎで前記ガラス
基板を搬送することにより約５０人厚さのｓｕｓ ｇを
成膜した。前記ｓｕｓ膜の成膜が完了した後、ＳＵＳタ
ーゲットへの印加を停止する。
つぎに前述したガラス基板を前記真空槽中に置いたまま
、Ｔｉターゲットに約２．ＯＫＷを印加し、Ｎ２ガスに
よるＤＣマグネトロン反応スパッタ中を、前記Ｔｉター
ゲット上方において約２２５■／鵬ｉｎで前記ガラス基
板を搬送することにより約２００人厚さのＴｉＮｘ膜を
成膜した。前記ＴｉＮｘ膜の成膜が完了した後、Ｔｉタ
ーゲットへの印加を停止する。
、Ｔｉターゲットに約２．ＯＫＷを印加し、Ｎ２ガスに
よるＤＣマグネトロン反応スパッタ中を、前記Ｔｉター
ゲット上方において約２２５■／鵬ｉｎで前記ガラス基
板を搬送することにより約２００人厚さのＴｉＮｘ膜を
成膜した。前記ＴｉＮｘ膜の成膜が完了した後、Ｔｉタ
ーゲットへの印加を停止する。
ついで前述と同様にして約５０重鵬／鵬ｉｎで前記ガラ
ス基板を搬送することにより約３００人のＳｉＯｘ膜を
成膜した。
ス基板を搬送することにより約３００人のＳｉＯｘ膜を
成膜した。
得られた４層膜を有する単板の断熱ガラス板について、
可視光透過率（３８０〜７８０ｎｍ）、可視光反射率（
３８０〜７８０ｒ＋＋ｓ）ならびに日射透過率（３４０
〜１８００ｎｍ）については３４０型自記分光光度計（
日立製作新製）とＪＩＳＺ８７２２． ＪＩＳＲ３１０
６ニヨー） ７それぞれその光学的特性を求めた。さら
にテーバー試験によるヘーズ（曇り具合）値については
、テーバ−試験機（ＭＯＤＥＬ ５０３． ＴＹＢＥＲ
社製）に膜面を上にした１０ｃｍ角の試験片をセットし
、膜面に荷重５００ｇのかかった摩耗輪（ＣＳ−１０Ｆ
）が２ケ所で当たるようになっているもので、１０００
回回転した後、ヘーズメータ−（日本重色工業製、ＮＤ
Ｈ−２００）によって測定し、試験前の測定値と対比し
、その変化量すなわち差（ΔＨ）をもって曇価率で表わ
した数値である。
可視光透過率（３８０〜７８０ｎｍ）、可視光反射率（
３８０〜７８０ｒ＋＋ｓ）ならびに日射透過率（３４０
〜１８００ｎｍ）については３４０型自記分光光度計（
日立製作新製）とＪＩＳＺ８７２２． ＪＩＳＲ３１０
６ニヨー） ７それぞれその光学的特性を求めた。さら
にテーバー試験によるヘーズ（曇り具合）値については
、テーバ−試験機（ＭＯＤＥＬ ５０３． ＴＹＢＥＲ
社製）に膜面を上にした１０ｃｍ角の試験片をセットし
、膜面に荷重５００ｇのかかった摩耗輪（ＣＳ−１０Ｆ
）が２ケ所で当たるようになっているもので、１０００
回回転した後、ヘーズメータ−（日本重色工業製、ＮＤ
Ｈ−２００）によって測定し、試験前の測定値と対比し
、その変化量すなわち差（ΔＨ）をもって曇価率で表わ
した数値である。
次に、耐薬品性のうち耐酸試験については、約６０℃の
温度で０，１５規定のＨＣＩ溶液中に試験片（１０ｃｓ
Ｘ ＩＯＣ厘）を約４８時間浸漬した後、可視光透過率
ならびに反射率（膜面）を測定することによって膜の劣
化状態を見て判断したものであり、耐アルカリ試験につ
いては、約６０’Ｃで０．１５規定のＮａＯＨ溶液に前
記と同じ大きさの試験片を約４８時間浸漬した後、前述
と同様の測定を行い、膜の劣化状態を見て判断したもの
であり、それぞれ○印は試験後の透過率と反射率の変化
が３％以下で外観上はとんど変化が見られなかったもの
、×印は同様の変化が５％以上で外観上の変化が明らか
に目立ったものであり、Δ印は同。
温度で０，１５規定のＨＣＩ溶液中に試験片（１０ｃｓ
Ｘ ＩＯＣ厘）を約４８時間浸漬した後、可視光透過率
ならびに反射率（膜面）を測定することによって膜の劣
化状態を見て判断したものであり、耐アルカリ試験につ
いては、約６０’Ｃで０．１５規定のＮａＯＨ溶液に前
記と同じ大きさの試験片を約４８時間浸漬した後、前述
と同様の測定を行い、膜の劣化状態を見て判断したもの
であり、それぞれ○印は試験後の透過率と反射率の変化
が３％以下で外観上はとんど変化が見られなかったもの
、×印は同様の変化が５％以上で外観上の変化が明らか
に目立ったものであり、Δ印は同。
様にした変化が３〜５％であって外観上前記の中間的な
変化のものである。なお建築用ＪＩＳ案であるｌ規定の
１（ＣＩ、１規定のＮａＯＨ溶液中、常雇で６時間の浸
漬において変化がないことという条件でも試験を行った
。
変化のものである。なお建築用ＪＩＳ案であるｌ規定の
１（ＣＩ、１規定のＮａＯＨ溶液中、常雇で６時間の浸
漬において変化がないことという条件でも試験を行った
。
前述の各測定値については表１に示す通りであり、断熱
性に優れる等、より優れた居住性を示す光学的特性を有
し、耐摩耗性や耐食性を充分有し、耐候耐久性を向上し
たものとなり、単板の断熱ガラス板として有用なものと
なり、所期のめざすものが得られ、ガラス面から見た色
調としてはシルバー色系であった。なお前記建築用ＪＩ
Ｓ案による試験においてももちろん合格するものであっ
た。
性に優れる等、より優れた居住性を示す光学的特性を有
し、耐摩耗性や耐食性を充分有し、耐候耐久性を向上し
たものとなり、単板の断熱ガラス板として有用なものと
なり、所期のめざすものが得られ、ガラス面から見た色
調としてはシルバー色系であった。なお前記建築用ＪＩ
Ｓ案による試験においてももちろん合格するものであっ
た。
実施例２
前記実施例１と同様の方法で行い、表１に示すように一
部膜厚のみ変え４層膜を得て、実施例１で示した測定法
等によって測定し、同様の評価手段で行い、その結果を
表１に示す。
部膜厚のみ変え４層膜を得て、実施例１で示した測定法
等によって測定し、同様の評価手段で行い、その結果を
表１に示す。
実施例１と同様のものが得られた。
実施例３
前記実施例１と同様の方法で行い、ただ第２層のみＳＵ
Ｓ＃からＳＵＳＮｘ Ｈに変え、すなわちＳＵＳ３ ターゲットを用い、真空度約２．５ Ｘ １０ Ｔｏｒ
ｒ、Ｎ２ガス中、印加電力約２．５ ＫＷ、透明ガラス
基板の搬送スピード約６００ ｇｅｍ／＋ｉｎの条件に
より、約１００人厚さのＳＵＳＮｘ膜を成膜した。
Ｓ＃からＳＵＳＮｘ Ｈに変え、すなわちＳＵＳ３ ターゲットを用い、真空度約２．５ Ｘ １０ Ｔｏｒ
ｒ、Ｎ２ガス中、印加電力約２．５ ＫＷ、透明ガラス
基板の搬送スピード約６００ ｇｅｍ／＋ｉｎの条件に
より、約１００人厚さのＳＵＳＮｘ膜を成膜した。
得られた単板の断熱色ガラス板は、実施例１で示した測
定法等によって測定し、同様の評価手段で行い、その結
果は表１の通りであって、前述の各実施例と同様のもの
が得られ、色調もほぼ同色系となった。なお、ＳＵＳＮ
ｘ ＃を第２層に用いたことにより、ＳＵＳ膜を用いた
同様の膜ならびにその膜厚構成に比し優れたものであっ
た。
定法等によって測定し、同様の評価手段で行い、その結
果は表１の通りであって、前述の各実施例と同様のもの
が得られ、色調もほぼ同色系となった。なお、ＳＵＳＮ
ｘ ＃を第２層に用いたことにより、ＳＵＳ膜を用いた
同様の膜ならびにその膜厚構成に比し優れたものであっ
た。
実施例４
前記実施例１と同様の方法、測定、評価手段で行い、第
４層のみＳｉＯｘ膜からＡｌ・ＳｉＯｘ Ｍｌに変え、
すなわちＡｌ−５ｉ合金（Ａｌ：５ｉ＝１＝１）タ３ 一ゲットを用い、真空度約２．５ ＸＩＯＴｏｒｒ、
０□ガス中、印加電力的２．５ ＫＷ、透明ガラス基板
の搬送スピード約２０ｍｍ／ｓｉｎの条件により、約３
００人厚さのＡｌ・ＳｉＯｘ膜を戒膜した。
４層のみＳｉＯｘ膜からＡｌ・ＳｉＯｘ Ｍｌに変え、
すなわちＡｌ−５ｉ合金（Ａｌ：５ｉ＝１＝１）タ３ 一ゲットを用い、真空度約２．５ ＸＩＯＴｏｒｒ、
０□ガス中、印加電力的２．５ ＫＷ、透明ガラス基板
の搬送スピード約２０ｍｍ／ｓｉｎの条件により、約３
００人厚さのＡｌ・ＳｉＯｘ膜を戒膜した。
得られた単板の断熱色ガラス板は、前述の各実施例と同
様のものが得られ、色調もほぼ同色系となった。
様のものが得られ、色調もほぼ同色系となった。
実施例５
前記実施例１と同様の方法、測定、評価手段で行い、た
だ第３層の上面にＴｉ０ｘｌｌを酸膜挿入して５層膜と
したものである。すなわちＴｉターゲットを用い、真空
度とガスと印加電力を実施例４と同じで、透明ガラス基
板の搬送スピードを約５ｍｍ／ｗｉｎの条件により、約
２００人厚さのＴｉＯｘ膜を成膜した。
だ第３層の上面にＴｉ０ｘｌｌを酸膜挿入して５層膜と
したものである。すなわちＴｉターゲットを用い、真空
度とガスと印加電力を実施例４と同じで、透明ガラス基
板の搬送スピードを約５ｍｍ／ｗｉｎの条件により、約
２００人厚さのＴｉＯｘ膜を成膜した。
得られた単板の断熱色ガラス板は、前述の各実施例と同
様のものが得られ、その色調もほぼ同色系となった。
様のものが得られ、その色調もほぼ同色系となった。
実施例６〜ｌＯ
前記各実施例と同様の方法で行い、表１に示すように５
層積層多層膜の各膜厚を得て、実施例１で示した測定法
等によって測定し、同様の評価手段で行い、その結果を
表１に示す。
層積層多層膜の各膜厚を得て、実施例１で示した測定法
等によって測定し、同様の評価手段で行い、その結果を
表１に示す。
得られた単板の断熱色ガラス板は、前述の各実施例と同
様のものが得られ、その色調もほぼ同色系となった。
様のものが得られ、その色調もほぼ同色系となった。
比較例１〜５
前記各実施例と同様の方法によって行い、表１に示すよ
うに２〜４層の積層多層膜およびその各膜厚を得て、実
施例１で示した測定法等によって測定し、同様の評価手
段で行い、その結果を表１に示す。
うに２〜４層の積層多層膜およびその各膜厚を得て、実
施例１で示した測定法等によって測定し、同様の評価手
段で行い、その結果を表１に示す。
得られた断熱色ガラスは、それぞれ実施例の単板の断熱
色ガラス板に比して耐摩耗性、耐薬品性等に劣り、単板
では車両用断熱色ガラスとしてはもちろん採用が困雛で
あり、建築用としても必ずしも優れた特性を有するもの
とは言い難いものであって採用し難いものであった。
色ガラス板に比して耐摩耗性、耐薬品性等に劣り、単板
では車両用断熱色ガラスとしてはもちろん採用が困雛で
あり、建築用としても必ずしも優れた特性を有するもの
とは言い難いものであって採用し難いものであった。
（以下−白子コ
ー」
［発明の効果］
以上前述したように、本発明は透明ガラス基板にスパッ
タ法で、特定の薄膜を特定の膜厚でガラス表面上側と最
外表面側に設け、少なくともＳＵＳあるいはＳＵＳＮｘ
膜ならびにＴｉＮｘ膜、さらにＴｉＯｘ膜を順次それぞ
れ組み合わせて積層したことによって、比較的低い可視
光透過率であって、断熱性能を有し、耐摩耗性、耐食性
ならびに耐候耐久性に優れ、ガラス面から見てシルバー
色系の色調となり、複層あるいは合せガラスはもちろん
単板で車両用としても使用できる居住性のよい効果的で
有用な単板の断熱ガラス板およびその色ガラスを効率よ
く提供できるものである。
タ法で、特定の薄膜を特定の膜厚でガラス表面上側と最
外表面側に設け、少なくともＳＵＳあるいはＳＵＳＮｘ
膜ならびにＴｉＮｘ膜、さらにＴｉＯｘ膜を順次それぞ
れ組み合わせて積層したことによって、比較的低い可視
光透過率であって、断熱性能を有し、耐摩耗性、耐食性
ならびに耐候耐久性に優れ、ガラス面から見てシルバー
色系の色調となり、複層あるいは合せガラスはもちろん
単板で車両用としても使用できる居住性のよい効果的で
有用な単板の断熱ガラス板およびその色ガラスを効率よ
く提供できるものである。
Claims (3)
- （１）透明ガラス基板の一表面に、ガラス面より第１層
および第５層として膜厚がそれぞれ１００〜１０００Å
のＳｉＯ＿ｘまたはＡｌ・ＳｉＯ＿ｘ膜、第２層として
ＳＵＳあるいはＳＵＳＮ＿ｘ膜、第３層としてＴｉＮ＿
ｘ膜、第４層としてＴｉＯ＿ｘ膜をそれぞれスパッタ法
で成膜したことを特徴とする単板の断熱ガラス板。 - （２）透明ガラス基板の一表面に、ガラス面より第１層
として膜厚が１００〜３００ÅのＳｉＯ＿ｘまたはＡｌ
・ＳｉＯ＿ｘ膜、第２層として膜厚が５０〜１００Åの
ＳＵＳあるいはＳＵＳＮ＿ｘ膜、第３層として膜厚が２
００〜４００ÅのＴｉＮ＿ｘ膜、第４層として膜厚が０
〜２００ÅのＴｉＯ＿ｘ膜、第５層として膜厚が３００
〜５００ÅのＳｉＯ＿ｘまたはＡｌ・ＳｉＯ＿ｘ膜をそ
れぞれスパッタ法で成膜して成るガラス面側から見た反
射色調がシルバー色系であることを特徴とする単板の断
熱色ガラス板。 - （３）前記した単板の断熱ガラス板ならびに単板の断熱
色ガラス板において、ＣＳ−１０Ｆによる摩耗輪を用い
たテーバー試験にて、１０００回回転後のベース値の変
化量が試験前に比し５％以内であることを特徴とする請
求項１ならびに２記載の単板の断熱ガラス板ならびに単
板の断熱色ガラス板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33916789A JPH064498B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 単板の断熱ガラス板およびその色ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33916789A JPH064498B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 単板の断熱ガラス板およびその色ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03199139A true JPH03199139A (ja) | 1991-08-30 |
| JPH064498B2 JPH064498B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=18324876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33916789A Expired - Lifetime JPH064498B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 単板の断熱ガラス板およびその色ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH064498B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114933422A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-08-23 | 长兴旗滨节能玻璃有限公司 | 减反射镀膜玻璃及其制备方法 |
-
1989
- 1989-12-27 JP JP33916789A patent/JPH064498B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114933422A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-08-23 | 长兴旗滨节能玻璃有限公司 | 减反射镀膜玻璃及其制备方法 |
| CN114933422B (zh) * | 2022-05-17 | 2024-05-24 | 长兴旗滨节能玻璃有限公司 | 减反射镀膜玻璃及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH064498B2 (ja) | 1994-01-19 |
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