JPH03183974A - 異方導電性シートの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、異方導電性シートを用いた電気的検査装置お
よび異方導電性シートの製造方法に関する。

〔従来の技術〕

異方導電性シートは、その構造上の特徴から、電気的な
接続を達成するための部材として種々の用途において有
用である。

しかるに、プリント基板等の基板の電気的検査において
は、従来、電気的な接続を達成するための部材として、
ビンプローブか用いられていた。

しかし、このビンプローブは、その構造上の制約から細
形化が困難であり、従って、近年、益々微細化される傾
向にある基板の電気的検査には不都合である。また、被
検査部の電極がパッドである場合には点接触となるため
接触不良を起こしやすく、特に現在広く使用されつつあ
る表面実装基板（以下ｒＳＭＴ基板」という。）の電気
的検査にはまったく不都合である。

これに対して、異方導電性シートは、基板の電気的検査
においてビンプローブのような構造上の制約かなく、Ｓ
ＭＴ基板に代表されるような微細化されたプリント基板
等の導通および絶縁テストにも適用し得る構造のものを
作製することが可能である。

従来においては、このような異方導電性シートとして下
記の構造のものか知られている。

（１）導電性カーボンを充填した導電性ゴムシートに絶
縁性ゴムシートを積層してなる構造（特公昭５６−４８
９５１号公報参照）。

（２）金属粒子をエラストマーに均一に分散してなる構
造（特開昭５１−９３３９３号公報参照）。

（３）導電性磁性体粒子をエラストマーに不均一に分布
させてなる構造（特開昭５３−１４７７７２号公報、同
５４−１４６８７３号公報参照）。

しかし、上記（１）〜（３）の異方導電性シートはいず
れもシートの表面か平坦であるため、有効な導電路を形
成するために大きな加圧力が要求され、しかも微細化さ
れたプリント基板等においては被検査点数が多いため、
全体として必要な加圧力が相当に大きくなり、検査装置
の負担が増大する問題がある。

このような事情から、導電部の表面と絶縁部の表面との
間に段差を形成してなる構造の異方導電性シートが提案
された（特開昭６１−２５０９０６号公報参照）。

〔発明が解決しようとする課題〕

このような段差を形成してなる構造の異方導電性シート
によれば、全体として必要な加圧力の減少を図ることが
可能である。

しかし、この異方導電性シートは、プレス成形により製
造されるものであり、従って、プレス成形に使用する金
型をその都度製造する異方導電性シートの形状に合わせ
て作製しなければならず、また、プレス成形に耐える構
造の金型としなければならないという問題を有する。さ
らに、プレス成形された異方導電性シートが段差を形成
してなる構造であるために、金型からの脱型か困難であ
るという問題も有する。

一方、異方導電性シートを用いて構成された従来の電気
的検査装置としては、第７図に示すように、いわゆる仲
介ピンシステムを採用したものか知られている。この図
において、９１は多数の検査電極９６を備えた検査ヘッ
ト、９２は仲介ピンシステム、９３はオフグリッドアダ
プター、９４はプリント回路基板、９５は裏面アダプタ
ーである。

仲介ピンシステム９２は、一方の異方導電性シート９２
Ａと、仲介ビン９２Ｂと、他方の異方導電性シー）９２
Ｃとからなり、プリント回路基板９４の被検査面に対し
て垂直方向の寸法の誤差を吸収する機能と、仲介ピン９
２Ｂ自身によって異方導電性シート９２Ａおよび９２Ｃ
の内部における電流の横方向への広がりを防止して検査
電極９６と被検査部との間の一対一対応を維持する機能
とを発揮するものである。

しかし、このような仲介ピンシステムを採用した電気的
検査装置は、構造が複雑てあり、製造上の問題を有し、
そのうえ装置が重くなるために取扱いが容易でなく、ま
た接触により電気的導通を行う箇所が多いために信頼性
に劣るという問題を有する。

そこで、本発明の第１の目的は、構造が簡単であり、軽
量化が可能であり、しかも被検査点数の多い基板の検査
を高い信頼性で容易に行うことができる電気的検査装置
を提供することにある。

さらに、本発明の第２の目的は、簡単な構造で耐圧の低
い金型を用いて容易に脱型することができる異方導電性
シートを製造する方法を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

以上の目的を達成するため、本発明の異方導電性シート
を用いた電気的検査装置は、多数の検査電極と、検査の
対象である基板との間に、異方導電性シートを介在させ
て当該基板の電気的検査を行う電気的検査装置において
、前記異方導電性シートは、シートの厚さ方向に伸びる
複数の導電部が、絶縁部により相互に絶縁された状態で
配置されてなり、各導電部は、少なくともシートの一面
側において絶縁部の表面から突出する突出部中に形成さ
れ、かつ、絶縁性で弾性を有する高分子物質中に導電性
粒子か密に充填されてなることを特徴とする。

また、本発明の異方導電性ソートの製造方法は、成形面
か平坦であるかもしくは異方導電性シートの突出部の突
出高さに比へてわずかな凹凸を有する上下一対の金型を
用い、この金型のキャピテイ内に、磁性を有する導電性
粒子と高分子材料との混合物からなる成形材料の層を形
成し、前記金型の上型成形面と前記成形材料の層の上面
との間に間隙が形成された状態で、当該成形材料の層に
強度分布を有する磁場を当該層の厚さ方向にかけてその
磁力によって導電性粒子を移動させながら成形材料を流
動させてその外形を変化させ硬化して上記の異方導電性
シートを製造することを特徴とする。

以下、本発明を具体的に説明する。

第１図および第２図は、本発明の電気的検査装置に用い
る異方導電性シート（以下ｒＰＣＲシート」という）の
具体的構成例を示すものであって、シートの厚さ方向に
伸びる複数の導電部１０が、絶縁部１５により相互に絶
縁された状態てマトリックス状に密に配置され、各導電
部ＩＯは、シートの一面側において絶縁部１５の表面か
ら突出する突出部ｌｌ中に形成されている。なお、各導
電部１０はシートの他面側からも突出していてもよい。

各導電部ＩＯは、絶縁性で弾性を有する高分子物質１２
中に導電性粒子１３が密に充填されて構成され、通常、
加圧により抵抗値か減少する加圧導電性を有する。導電
部１０における導電性粒子１３の充填率は２０体積％以
上であることが好ましく、特に４０体積％を超えること
が好ましい。なお、導電性粒子１３の充填率が低いとき
は、ＰＣＲシートにおいて加圧力を大きくしても抵抗値
が減少せず、従って信頼性の高い電気的接続か困難とな
る。

なお、本発明の電気的検査装置に用いるＰＣＲシートで
は、突出部中に導電部か形成されるが、突出部における
導電部のまわりに、例えば０．５ｍｍ以下程度の絶縁部
か形成されていてもよい。

導電部ｌＯの厚さＤは、その突出部１１の突出高さｈお
よび絶縁部１５の厚さｄを考慮して定められるが、導電
部１０の厚さＤか過大のときには、導電部１０の導通状
態における抵抗値の増大を招くので、その上限は５ｍｍ
程度とするのが好ましく、実用的には、１〜５ｍｍ、特
に２〜４ｍｍであることが好ましい。導電部ｌＯの厚さ
Ｄがこの範囲にあれば、小さな圧力でも有効な導電性が
確実に得られる。

また、絶縁部１５の厚さｄは、実用的には、０．１９− 〜０．８ｍｍであることが好ましい。絶縁部１５の厚さ
ｄかこの範囲にあれば、絶縁性が十分に得られると共に
、導電部１０の厚さＤを過大にすることなく、その突出
高さｈを適正な値に設定することができる。なお、絶縁
部１５の厚さｄが過小のときにはシートとしての強度が
低下するため取扱いか不便となる問題が生ずる。逆に、
厚さｄが過大のときは導電部１０の突出高さｈが過大に
なるため導通状態における抵抗値の増大を招きやすい。

また、突出部１１の外径（四角形の場合はその長辺）Ｒ
と、隣接する突出部１１相互間の最短の離間距離ｒとの
関係においては、 ０．１　　≦ を満たすことが好ましい。この関係を満たすことにより
、突出部１１が厚さ方向に加圧されて変形する際に、横
方向の変位が容易に許容されると共に、隣接する突出部
１１同士が誤って電気的に接触するおそれを十分に回避
することができる。

また、ＰＣＲシートの電気的接続に有効な単位　ｎ 面積Ｓにおいて、突出部ＩＩの専有面積の総和Ｓと絶縁
部１５の専有面積の総和Ｓ＋ｓとの関係においては、実
用上考え得る最大の変位をεとした際に、Ｓ１６　　　
　　　　ε を満たすことが好ましい。

また、導電部ＩＯの単位面積当りの個数すなわち個数密
度は、微細化されたプリン）・基板等に対応し得るため
に、ｌＯ〜７０個／ｃｍ２か好ましい。

なお、突出部１１の平面形状（突出している面から見た
形状）は、円形のみならず、四角形等のその他の種々の
形状を採用してもよい。

導電部１０を構成する導電性粒子としては、例えばニッ
ケル、鉄、コバルト等の磁性を示す金属の粒子もしくは
これらの合金の粒子、またはこれらの粒子に金、銀、パ
ラジウム、ロジウム等のメツキを施したもの、非磁性金
属粒子もしくはガラスピーズ等の無機質粒子またはポリ
マー粒子にニッケル、コバルト等の導電性磁性体のメツ
キを施したもの等を挙げることができる。製造コストの
低減化を図る観点からは、特に、ニッケル、鉄、または
これらの合金の粒子が好ましく、また接触抵抗か小さい
等の電気的特性の点で金メツキされた粒子を好ましく用
いることかできる。

導電性粒子の粒径は、導電部ＩＯにおいて導電性粒子間
の電気的な接触を十分なものとし、かつ、導電部１０の
加圧変形を容易にする観点から、１０〜４００μｍが好
ましく、特に４０〜１００μｍか好ましい。

導電部ＩＯを構成する絶縁性で弾性を有する高分子物質
としては、架橋構造の高分子物質が好ましく、斯かる架
橋構造の高分子物質を得るために用いることができる未
架橋の高分子材料としては、シリコーンゴム、ポリブタ
ジェン、天然ゴム、ポリイソプレン、スチレン−ブタジ
ェン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジェン共重
合体ゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、ウレタ
ンゴム、ポリエステル系ゴム、クロロプレンゴム、エピ
クロルヒドリンゴム等を挙げることができる。

また、絶縁部１５を構成する材料としては、一般目 的には導電部１０を構成する高分子物質と同一のものが
用いられる。

次に、本発明のＰＣＲシートの製造方法について説明す
る。

本発明の製造方法においては、成形面が平坦であるかも
しくはＰＣＲシートの突出部の突出高さに比へてわずか
な凹凸を有する上下一対の金型を用いる。

成形時には、金型のキャビティ内に、磁性を有する導電
性粒子と高分子材料との混合物からなる成形材料の層（
以下「混合物シート」という）を形成する。この混合物
シートの厚さは、実用的には０．１〜３ｍｍが好ましい
。

次いて、金型の上型成形面と混合物シートの上面との間
に間隙が形成された状態で、当該混合物シートに強度分
布を有する磁場を当該シートの厚さ方向にかけてその磁
力によって導電性粒子を移動させながら成形材料を流動
させてその外形を変化させ硬化して、ＰＣＲシートを製
造する。このときの金型の上型成形面と下型成形面の間
隔は、２ 混合物シートの厚さよりも大きくすることが必要である
が、実用的には、１〜５　ｍｍ、特に２〜４ｍｍが好ま
しい。

このように金型のキャビティ内で、金型の上型成形面と
混合物シートの上面との間に間隙が存在するので、混合
物シートにかけられる強度分布を有する磁場によっで弾
性を有する導電性粒子か高分子材料と共に隆起すること
となる。

なお、混合物シートの外形を変化させた後に硬化させる
ための手段としては、−膜内には架橋が用いられる。

さらに、詳しく説明すると、金型としては、全体の形状
がほぼ平板状の対応する上型と下型の２枚−組で構成さ
れたものであって、上型および下型が電磁石に装着可能
に構成されるが、もしくは電磁石と一体的に構成されて
、混合物シートに磁場をかけながら当該混合物シートを
加熱硬化することかできる構造のものがよい。

また、混合物シートに磁場をかけて適正な位置に導電部
となる突出部を形成するために、少なくとも金型の上型
、好ましくは上型および下型は、鉄、ニッケル等の強磁
性体からなる基盤上に、金型内の磁場に強度分布を生し
させるための鉄、ニッケル等からなる強磁性体部分と、
銅等の非磁性金属、ポリイミド等の耐熱性樹脂、空気等
からなる非磁性体部分とをモザイク状に配列した＠（以
下「モザイク層」という。）を有する構成かよい。

上型および下型の成形面は、平坦であるが、もしくは突
出部の突出高さに比べてわずかな、例えば０．５ｍｍ以
下の凹凸が形威されていてもよく、下型に凹凸が形成さ
れている場合には、ＰＣＲシートの下面に該凹凸が形成
される。

上型および下型の厚さは、それぞれ３ｍｍ〜５ｃｍか好
ましく、特に５ｍｍ〜Ｉｃｍか好ましい。上型および下
型が薄いときは金型の強度が不足するために取扱い中に
金型自体が変形する問題が生ずる。

逆に、上型および下型か厚いときは重くなるために金型
の取扱いが困難になる。

上型および下型の面積、外形等については特に制限はな
いが、少なくとも混合物シートの成形面の全体に電磁石
によって強度分布を有する磁場を形成てきるものである
ことが必要である。

金型のモザイク層の厚さは、実用的には、０．１〜１ｍ
ｍが好ましい。モザイク層が薄いときは磁場の強度分布
が不十分となり、ＰＣＲシートを製造することが困難と
なる。逆に、モザイク層が厚いときは金型の作製に手間
や時間かかかりすぎる問題がある。

モザイク層における強磁性体部分と非磁性体部分の配置
、形状等は、作製しようとするＰＣＲシートに基づいて
決定される。すなわち、ＰＣＲシートの導電部に相当す
る箇所に強磁性体部分を配置し、その強磁性体部分の形
状は導電部の断面形状に適合させることが肝要である。

以上の金型は、例えば下記の方法で製造することができ
る。

（１）強磁性体の板を用い、この板から非磁性体部分を
構成すべき部分を切削、エツチング等の方法により除去
した後、除去した部分に樹脂を流し込む、銅をメツキす
る等の方法で非磁性体を充填し１５− てモザイク層を形威し、金型を製造する。

（２）非磁性体の板を用い、この板の強磁性体部分を構
成すべき部分に穴をあけて、この穴に必要な形状に加工
した強磁性体を埋め込んでモザイク層を形成し、このモ
ザイク層を強磁性体の基盤に張り付けて金型を製造する
。

金型において、強磁性体部分と非磁性体部分のモザイク
層を構成する強磁性体と、基盤となる強磁性体の板とは
、必ずしも同一の材質である必要はない。また、この三
者の強磁性体の間には薄い非磁性体層か介在していても
よい。すなわち、三者の強磁性体が磁気的に密に結合し
て一連の磁気的な回路を形成して金型内に十分な磁場の
分布を形成することかできればよく、三者の強磁性体が
必ずしも直接接触している必要はない。

また、金型の成形面においては、強磁性体部分と非磁性
体部分のモザイク層が必ずしもむき出しになっている必
要はなく、十分薄いものであれば、例えば非磁性の樹脂
の層が存在していてもよい。

強磁性体部分と非磁性体部分のモザイク層にお１６ いて、非磁性体部分は必ずしも埋められている必要はな
く、金型の強度不足等の問題が生じなければ、例えば空
気のような気体であってもよい。この場合は、強磁性体
部分の表面に沿って樹脂等のシートを張り付けることに
より、金型の成形面を平坦化することもできる。

第３図はＰＣＲシートの製造装置の一例を示すものであ
って、ＩＡ、ＩＢは電磁石、２０および３０はそれぞれ
金型を構成する上型および下型、４０は成形材料すなわ
ち磁性を有する導電性粒子と未架橋の高分子材料からな
る混合物シートである。

金型の上型２０および下型３０において、２１．３１は
強磁性体からなる基盤、２２．３２は導電部を形成する
ための強磁性体部分、２３．３３は非磁性体部分てあり
、強磁性体部分２２と非磁性体部分２３とにより上型２
０のモザイク層が構成され、強磁性体部分３２と非磁性
体部分３３とにより下型３０のモザイク層か構成されて
いる。

第３図の例では、上型２０および下型３０か電磁石ＩＡ
およびＩＢから分離てきる構造となっているが、電磁石
の磁極板をそのまま金型に兼用する構造てあってもよい
。

第４図は上型２０の成形面の一例を示し、強磁性体から
なる板２４の一面側に縦横に多数の溝か形成され、この
溝によって空気層からなる非磁性体部分２３が構成され
、この溝の周囲の強磁性体によって強磁性体部分２２が
構成されている。

次に、ＰＣＲシートの具体的な製造プロセスについて説
明する。

まず、水平においた下型３０の上面すなわち成形面上に
、磁性を有する導電性粒子と未架橋の高分子材料の混合
物を均一な厚さで塗り広げて混合物シート４０を形成す
る。

この混合物シート４０の厚さは、前記のように好ましく
は０．１〜３ｍｍであり、導電性粒子の体積分率は、好
ましくは５〜５０体積％程度である。ただし、ＰＣＲシ
ートの性能をさらに高める観点からは、ＰＣＲシートの
導電部の形状、導電性粒子の体積分率、全体の形状等を
総合的に勘案して、最適化することが肝要である。

次いで、この混合物シート４０の上側に、間隙５０を介
して上型２０を対向配置する。この間隙５０は、混合物
シート４０に磁場をかけたときに、磁力によって混合物
シート４０中の導電性粒子か移動てき、かつ、当該混合
物シート４０を形成する成形材料が流動してその外形を
変化させて導電部と絶縁部とが形成されるのを可能にす
るためのものである。

なお、下型３０の成形面から上型２０の成形面までの間
隔が完成後のＰＣＲシートの厚さＤとなる。

そして、以上の状態の上型２０および下型３０をそれぞ
れ電磁石ＩＡおよびＩＢにセットし、電磁石ＩＡ、ＩＢ
を作動させて上型２０および下型３０を介して強度分布
を有する磁場を混合物シート４０の厚さ方向にかけて導
電部を隆起させた後、または磁場をかけながら未架橋の
高分子材料を架橋させることにより、導電部１０と絶縁
部１５の形成を一挙に行う。

磁場をかけた状態で上型２０と下型３０の間隔を変更で
きる構造のものである場合には、始めは上型２０を未架
橋の混合物シート４０のすぐ上に配置し、９− 磁場をかけながら上型２０と下型３０の間隔を除々に広
げ、必要な間隔に達してから架橋を行うようにしてもよ
い。

混合物シート４０にかける磁場の大きさは、通常、金型
のキャビティ内の平均で２００〜２０．０００ガウスで
ある。また、架橋反応における架橋温度および架橋時間
は未架橋の高分子材料の種類、導電性粒子が導電部へ集
中移動し得る時間等を考慮して適宜選定されるが、室温
硬化型シリコーンゴムを用いる場合には、室温て２４時
間程度、４０°Ｃで２時間程度、８０℃で３０分間程度
である。

また、導電性粒子が導電部へ容易に集中移動し得るよう
にするために、架橋反応が開始される前の混合物シート
４０の粘度は、温度２５°Ｃで１０’５ｅｃ−の歪速度
の条件下において１０’〜１０７ポアズ程度が好ましい
。

次に、本発明の電気的検査装置について説明する。第５
図は本発明の電気的検査装置の一例を分解して示す概略
図であり、６１は検査ヘッド、６２はＰＣＲシート、６
３はオフグリッドアダプター、６４０− はプリント回路基板である。

この例の装置は、プリント回路基板６４の両面を同時に
検査できるいわば両面検査型の装置であり、検査ヘッド
６ＬＰＣＲシート６２、オフグリッドアダプター６３は
、プリント回路基板６４の両面側にそれぞれ配置されて
いる。なお、ＰＣＲシート６２は、ＰＣＲシートの突出
部に該当する箇所が穿孔されたキャリアボード（図示省
略）によって保持されている。

検査ヘッド６１には、ＰＣＲシート６２の各導電部１０
に対応する位置にそれぞれピン状の検査電極６５が配置
されている。

オフグリッドアダプター６３は、プリント回路基板６４
の各被検査部６４Ａの配置パターンを、検査電極６５の
配置パターンに対応させるためのものである。なお、こ
のオフグリッドアダプター６３は、プリント回路基板６
４の各被検査部６４Ａの配置パターンによって選択的に
用いられるものであり、各被検査部６４Ａの配置パター
ンが検査電極６５の配置パターンに一致している場合に
は省略することができる。

この装置においては、多数の検査電極６５と、検査の対
象であるプリント回路基板６４との間に、ＰＣＲシート
６２を介在させて当該プリント回路基板６４の電気的検
査が行われる。

すなわち、加圧手段（図示省略）によって、プリント回
路基板６４の両側に配置された、検査電極６５と、ＰＣ
Ｒシート６２と、オフグリッドアダプター６３とを、プ
リント回路基板６４を挟圧するように加圧すると、ＰＣ
Ｒシート６２の導電部１０か加圧されて有効な導電性か
発揮され、プリント回路基板６４の各被検査部６４Ａの
導通または絶縁の良否を検査することかできる。

加圧手段は、通常、検査ヘッド６１の背後側に設けられ
るが、この検査ヘット６１の背後には、検査に必要な電
気回路が配設されるので、この電気回路に力学的な負担
をかけないようにすることが肝要である。

〔作用〕

本発明の電気的検査装置に用いるＰＣＲシートは、導電
部を絶縁部の表面から突出する突出部中に形成し、しか
もこの突出部中には、導電性粒子を密に充填しているの
で、導電性粒子間の接触を十分なものとして導電部の導
通状態における抵抗値を小さくし、かつ加圧力の変化に
対する抵抗値の変化を小さく抑え、加圧力の不均一に起
因する導電性のばらつきを防止することができる。

このようにＰＣＲシートの導電部の導通状態における抵
抗値が小さく、かつ加圧力の変化に対する抵抗値の変化
が小さいため、各導電部の加圧力については高い均一性
が要求されず、加圧手段に要求される条件が相当に緩和
される。また、ＰＣＲシートにおける突出部中の導電部
自体が電流の横方向への広がりを防止して従来の仲介ビ
ンシステムの仲介ビンの機能をも発揮するようになるた
め、複雑な仲介ビンシステムを採用せずに簡単な構成に
よって、被検査点数の多い基板に対しても信頼性の高い
電気的検査が可能となる。

そして、本発明のＰＣＲシートの製造方法では、成形面
が平坦であるかもしくはわずかな凹凸を有２３ する上下一対の金型のキャビティ内に、金型の上型成形
面との間に間隙が形成されるように混合物シートを形威
し、この状態で当該混合物シートに特定の磁場をかけて
その磁力を利用して特定形状に変化させてＰＣＲシート
を製造するので、ＰＣＲシートにおける突出部の突出高
さは実質上金型の上型成形面と混合物シートの上面との
間の間隙の大きさによって規定することができ、従って
、簡単な構造の金型を用いて突出高さを容易に制御する
ことができる。これに対して、金型のキャビティ内に間
隙が生じないように成形材料を充満させてプレス成形す
る場合には、金型に設けられる溝の深さにより突出部の
突出高さか一義的に定まってしまうので、一つの金型に
よって突出高さを自由に制御することが困難である。

また、本発明では、上記のように金型のキャピテイ内の
混合物シートの上面と金型の上型成形面との間に間隙を
形成した状態で、すなわち混合物シートに直接圧力をか
けないで成形するので、金型に要求される耐圧か小さく
なって金型の構造か４− 簡単となり、また軽量化が可能となって取扱いか容易と
なる。これに対して、金型のキャビティ内に成形材料を
充満させるプレス成形法では、金型に要求される耐圧が
大きくなるため、金型の構造か複雑化し、また重量が増
加して取扱いが不便になる また、上記のように金型内の混合物シートの上面と上型
の成形面との間に間隙を形成しているので、成形品すな
わちＰＣＲシートの脱型かきわめて容易となる。これに
対して、金型のキャビティ内に成形材料を充満させるプ
レス成形法では、金型の成形面に突出部に対応する凹凸
を形成する必要があるため、突出部の脱型が困難となっ
てＰＣＲシートか損傷するおそれがある。

また、金型の成形面か平坦もしくは平坦に近いので構造
が簡単となり、また下型の成形面の形態は自由であって
導電部に該当する部分が突出していても陥没していても
よいので構造かさらに簡単となる。なお、プレス成形法
では金型の成形面にはＰＣＲシートの突出しない絶縁部
を形成するための突部を設けることが必要であり、構造
が複雑となる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を比較例と共に説明するが、本発
明はこれらの実施例に限定されるものではない。

〔実施例１〕 厚さが８ｍｍで１辺が１２ｃｍの正方形の鉄板の一面側
に、深さ０．４６ｍｍ、幅１．７ｍｍの溝を２．６ｍｍ
のピッチで縦横に５１本ずつ形成して、この溝に銅を充
填することによって形成された非磁性体部分と、溝の周
囲の鉄からなる強磁性体部分とを有する上型および下型
を作製した。

これらの上型および下型を用いて、第３図と同様の製造
装置を作製し、上型と下型の間隔を第１表のとおりに設
定し、第１表に示す組成の混合物シートを、第１表に示
す製造条件で架橋反応させて、第２表に示す構成のＰＣ
Ｒシートｌを製造した。

〔実施例２〜３および比較例１〕 製造装置の構成、混合物シートの組成、製造条件を第１
表のとおりにしたほかは、実施例１と同様にして、第２
表に示す構成のＰＣＲシート２゜３および比較用のＰＣ
Ｒシートａを製造した。

以上の第１表および第２表から明らかなように、製造さ
れたＰＣＲシート１〜３は、シートの厚さ方向に伸びる
複数の導電部が、絶縁部により相互に絶縁された状態で
配置されており、各導電部は、シートの一面側において
絶縁部の表面から突出する突出部中に形成されており、
絶縁性で弾性を有する高分子物質中に導電性粒子が密に
充填されているものである。

これに対して比較用のＰＣＲシー１□　ａは、上型と下
型の間隔と混合物シートの厚さとを同じに設定して製造
されているため、突出部が形成されない平坦なものであ
った。

〔実施例４〜６〕 実施例１〜３により得られたＰＣＲシート１〜３をそれ
ぞれ用いて、第５図に示した構成と同様の電気的検査装
置を作製した。

これらの電気的検査装置をそれぞれ駆動して、加圧手段
により、導電部をその自然長から徐々に圧縮することに
より、 ■　検査電極の１本あたりにおいて、導電部の圧縮変位
が０．１〜０．５ｍｍの範囲における検査電極と基板の
被検査部との間の合計の抵抗値の最大変化量と、 ■　検査電極の１本あたりにおいて、導電部の圧縮変位
が０．３ｍｍての導通状態における検査電極と基板の被
検査部との間の合計の抵抗値とを調べるテストを行った
。

結果を第３表に示す。なお、実施例４については、第６
図に曲線■て実測値を示す。

〔比較例２〕 比較例１により得られた両面が平坦なＰＣＲシーｌａを
用いて、第７図に示した構成の仲介ピンシステムを採用
した従来の電気的検査装置を作製した。

この電気的検査装置を駆動して、実施例４と同様にして
テストを行った。結果を第３表および第６図に曲線■で
実測値を示す。

０ ３１ 以上の第３表および第６図の結果からも理解されるよう
に、ＰＣＲシート１〜３によれば、高密度で配置された
導電部の導通状態における抵抗値が小さくて検査精度の
向上を図ることができるうえ、各導電部の加圧力にばら
つきがあっても同様の導電性が得られるため、加圧手段
に要求される条件が相当に緩和され、さらに被検査点数
の多い基板に対しても信頼性の高い電気的検査が可能と
なる。

〔発明の効果〕

本発明の電気的検査装置によれば、構造が簡単であって
、軽量化が可能であり、しかもＰＣＲシートの導電部の
導通状態における抵抗値が小さくて良好な導電性が発揮
されるうえ、加圧力の変化に対する導電部の抵抗値の変
化が小さくて各導電部における加圧力に不均一があって
も一定のレベルの導電性が確実に得られるので、各検査
電極による加圧力にばらつきがあっても良好で一定レベ
ルの導電性が確実に得られ、検査精度か高くて信頼性の
高い検査を行うことができる。

　３− また、ＰＣＲシートにおける突出部中に形成された導電
部自体が、電流の横方向への広がりを防止して検査電極
と被検査部との間の一対一対応を確実にする機能をも発
揮するため、従来のような仲介ピンシステムを用いずに
簡単な構成によって、被検査点数の多い基板の電気的検
査を確実に行うことができる。

そして、本発明のＰＣＲシートの製造方法によれば、金
型の上型成形面と混合物シートの上面との間に間隙を形
成した状態で磁力を利用して成形材料を成形するので、
突出部の突出高さを当該間隙によって規定することがで
き、突出高さの制御が容易である。

また、金型のキャビティ内の混合物シートにはプレス成
形法のような圧力をかけないので、金型に必要とされる
耐圧が小さくてよい。

さらに、金型の成形面は平坦かもしくは平坦に近いもの
であるため、ＰＣＲシートの脱型がきわめて容易である
。

また、金型に要求される条件が大幅に緩和されるため、
金型の設計の自由度か大きくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ本発明の電気的検査装置
に用いるＰＣＲシートの一部を示す縦断正面図および平
面図、第３図はＰＣＲシートの製造装置の一例を示す概
略図、第４図は上型の成形面の一例を示す斜視図、第５
図は本発明の電気的検査装置を分解して示す分解図、第
６図は実施例４および比較例２における実験結果を示す
グラフ、第７図は従来の仲介ピンシステムを採用した電
気的検査装置を分解して示す分解図である。 １０・・・導電部　　　　　　ＩＩ・・・突出部１２・
・高分子物質　　　　１３・・・導電性粒子１５・・絶
縁部　　　　　　２０・・金型の上型３０・・・金型の
下型　　　　２１．３＋・・・基盤２２、３２・・・強
磁性体部分　２３．３３・・非磁性体部分２４・・・強
磁性体の板　　　４０・・・混合物シート５０・・・間
隙　　　　　　　６１・・・検査ヘッド６２・ＰＣＲソ
ー１− ６３・・オフグリッドアダプター ３４ ６４・プリント回路基板　６５・・・検査電極６４Ａ・
・被検査部　　　　９１・・・検査ヘッド９２・・・仲
介ピンシステム ９３・・・オフグリッドアダプター ９４・・・プリント回路基板　９５・・・裏面アダプタ
ー９６・・・検査電極 ９２Ａ、９２Ｃ・・・異方導電性シート９２Ｂ・・・仲
介ピン ３５ 〜 「０ −〜

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）多数の検査電極と、検査の対象である基板との間
   に、異方導電性シートを介在させて当該基板の電気的検
   査を行う電気的検査装置において、前記異方導電性シー
   トは、シートの厚さ方向に伸びる複数の導電部が、絶縁
   部により相互に絶縁された状態で配置されてなり、 各導電部は、少なくともシートの一面側において絶縁部
   の表面から突出する突出部中に形成され、かつ、絶縁性
   で弾性を有する高分子物質中に導電性粒子が密に充填さ
   れてなることを特徴とする異方導電性シートを用いた電
   気的検査装置。
2. （２）請求項１に記載の異方導電性シートを製造する方
   法において、 成形面が平坦であるかもしくは異方導電性シートの突出
   部の突出高さに比べてわずかな凹凸を有する上下一対の
   金型を用い、 この金型のキャビティ内に、磁性を有する導電性粒子と
   高分子材料との混合物からなる成形材料の層を形成し、 前記金型の上型成形面と前記成形材料の層の上面との間
   に間隙が形成された状態で、当該成形材料の層に強度分
   布を有する磁場を当該層の厚さ方向にかけてその磁力に
   よって導電性粒子を移動させながら成形材料を流動させ
   てその外形を変化させ硬化して請求項１に記載の異方導
   電性シートを製造することを特徴とする異方導電性シー
   トの製造方法。