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JPH03117384A - 超音波モータの摩擦材 - Google Patents

超音波モータの摩擦材

Info

Publication number
JPH03117384A
JPH03117384A JP1252996A JP25299689A JPH03117384A JP H03117384 A JPH03117384 A JP H03117384A JP 1252996 A JP1252996 A JP 1252996A JP 25299689 A JP25299689 A JP 25299689A JP H03117384 A JPH03117384 A JP H03117384A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
friction
rotor
friction material
ultrasonic motor
vibrator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1252996A
Other languages
English (en)
Inventor
Atsushi Tamai
淳 玉井
Shoichi Shimura
志村 正一
Yasuyuki Nakai
中居 靖行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP1252996A priority Critical patent/JPH03117384A/ja
Priority to US07/586,303 priority patent/US5122700A/en
Priority to DE69024302T priority patent/DE69024302T2/de
Priority to EP90310553A priority patent/EP0420622B1/en
Publication of JPH03117384A publication Critical patent/JPH03117384A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/005Mechanical details, e.g. housings
    • H02N2/0065Friction interface
    • H02N2/007Materials
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/106Langevin motors

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は超音波モータの摩擦駆動面をなす摩擦材に関す
るものである。
[従来の技術] 従来、超音波モータの摩擦部材の摩擦材料としては、例
えば特開昭62−100178号がある。この例では振
動子側の摩擦材料としてWC−Coの膜状材料を用い、
移動体制の摩擦材料として硬質アルマイトを用いている
。その結果、駆動力が大きく、耐久性の高いモータを提
供できたとしている。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上記従来例の摩擦材料ではWC−Coに
しても硬質アルマイトにしても、ぜい竹材料で、その上
制振性能が低いため、摩耗しやすく音も発生しやすい。
この理由は後述するが、確かにWC−Coはゴルフアイ
アンクラブのフェース面に溶射形成して、バックスピン
がかかりやすくした例の様に、摩擦係数μが大きい事は
知れている。一方、硬質アルマイトもμが大きいことは
公知で、そのためわざわざ二硫化モリブデンをアルマイ
ト膜の穴に含浸させてμを低下させ、すべりを要求する
軸受等の摺動部材に用いた例がある。この様に従来の超
音波モータの摩擦材料はμの大きいものの中から、製品
スペック(仕様)に適合するものを選定してきたのが実
情である。ところで、摩擦材にW(ニーCo膜と硬質ア
ルマイト膜の組み合わせで構成した超音波モータは、例
えばカメラの自動焦点のためのレンズ駆動用に使用され
ているもので、耐久寿命は電磁モータの寿命程長い必要
はなく、該摩擦材料の組み合わせでも、摩耗量は充分満
足できる程少ない。さらに、摩擦接触面の平面精度を高
め、表面粗度を小さくすることで、均一な接触状態を保
つ様にして、音発生を極力おさえている。また、該摩擦
材料は多孔質であり、微量の油分が表面に付着する様な
ことがあると、極端に駆動力が低下する虞れがあるが、
該カメラレンズ用超音波モータとしては、完全に封じ込
めて使用されるもので、その点でもさしつかえない。
ところが、超音波モータをさらに別の分野に展開しよう
とすると、該摩擦材料の性能では必ずしも充分とはいえ
ない用途がある。つまり、安定した駆動力伝達、摩耗、
音の点でさらにすぐれた摩擦材の開発が望まれていた。
[課題を解決するための手段及び作用]本発明によれば
、摩擦力の発現機構を比較的軟質の金属材料の中に分散
させた無機の硬質粒子により、相手材を掘りおこす作用
で発生させようとしたものである。
ここで、前述した材料のぜい性、制振性能と摩耗、音と
の関係を示す。まず、ぜい性であるが、材料がもろいと
は直接的には一定の′a撃試験によって試験された結果
、破壊時のエネルギー吸収能力が小さいということで、
振動子の振動によってもろい摩擦材表面が打撃力を受は
破壊されやすく、その破壊された粒子は一般に硬質であ
り、研磨材と同様な効果でさらに摩擦摺動部を摩耗させ
る。
一方、制振性能であるが、この性質が小さいとは振動減
衰能が低いという事であり、逆に機械的品質係数Q値が
大きいという事である。もちろん、振動子の材料として
はこの制振性能の低い材料の方が、発生した振動エネル
ギーが材料の内部で熱に変換されにくいため、振動子へ
の入力電力−振動エネルギー変換効率が高くて望ましい
。しかし、音に関しては制振性能が低い場合、摩擦摺動
部の各部に与える打撃力に不均一があると、本来移動体
への駆動力を伝達するのに有効な振動モード以外の可聴
域振動音が生じ、それが減衰しにくいため音が発生しや
すいという事になる。つまり、摩擦材料として有する制
振性能としての理想は、超音波域の振動は減衰しにくく
、可聴域である例えば20 kHz以下の振動数の振動
は、減衰しやすいものという事になるが、現在までその
様な傾向の材料はあるものの、20 kH2を境に急激
に制振性能が変化するものは見つかっていない。
さて、ここで材料のなじみという事について述べる。一
般にこの摩擦材料はなじみが良いと言うのは、相手材を
剛体と仮定した場合、該摩擦材料の弾性率と加工硬化係
数が関係していると考えられる。弾性率が小さいと弾性
域内で相手材との平面精度などに起因する当たり不均一
を吸収して、均一な接触に近づける効果があり、加工硬
化係数が大きいと塑性域でその効果が大きいと考えられ
る。摩擦摺動部における均一な接触を維持することは摩
耗をおさえる上にも、音発生をおさえる上にも重要なこ
とであり、その意味でもなじみの良い摩擦材料の開発が
望まれていた。
その結果、本発明ではブレーキライニング材などに用い
られるサーメット系、Ig擦材料が超音波モータ用の摩
擦材料としても最適であることを見い出した。つまり、
硬質粒子を結合し骨格を形成するなじみの良い金属材料
と、耐摩耗性と摩擦係数の改善に有効な硬質無機材料か
らなるサーメット系摩擦材料を振動波モータの摩擦材と
している。特に摩耗を問題とする用途には第3成分とし
て材料自身と相手材の摩耗を軽減し、摩擦係数の安定化
に貢献する潤滑成分を加えたものを摩擦材としたもので
ある。
サーメット系摩擦材料としては、銅、錫、鉄、アルミニ
ウム、ニッケル、クロム等の基材又はこれらの複合材に
、分散剤であるAt203゜SiC,St等の無機材料
又はこれらを複合したものを加えている。
また、潤滑成分として黒鉛、潤滑油、グリース等が挙げ
られる。
[実 施 例コ 第1図は本発明による摩擦材料を用いたモータの実施例
の分解斜視図である。
1は先端部のφ10の小径軸部1aと後端部のφ18の
大径軸部1bとの間に径が先端部に向は漸減するホーン
形状のホーン部ICを形成した金属丸棒からなる振動体
、2は振動体1の大径軸部1bと同径の外径に形成され
軸心にボルト通し孔を有する金属丸棒からなる押え体、
3゜4.5及び6は大径軸部1bと同径の外径に形成さ
れた円環形状の圧電素子板、7,8.及び9は電極板で
、振動体1と押え体2との間に、電極板)、8,9を挟
むようにして圧電素子板3〜6を配し、ボルト10によ
り押え体2を振動体1に固定することにより、圧電素子
板3〜6を撮動体1と押え体2との間に固定して、振動
子Aを構成、している、その結果、振動子への全長は7
2mmとなった。なお、振動体1と電極板8と押え体2
はすべて電気的導通がとれている。
圧電素子板3〜6は、片面側に分極方向が互いに異なり
、且つ厚み方向に分極された2つの電極(+電極a、−
電極b)が中心軸線位置に形成された絶縁部dの両側に
対称に形成されると共に、他面側に十電極a、−電極す
の共通電極Cが形成されていて、振動子Aの軸心に対し
て圧電素子板3.4と圧電素子板5.6は互いに位置的
位相が90°の角度ずれて配置されている。なお、圧電
素子板3の分割電極(+電極a、−電極b)は導通体で
ある振動体1の後端面に接し、また圧電素子板6は導通
体である押え体2の前端面に接している。
そして、電極板7と振動体1との間に交流電圧vlを、
また電極板9と振動体1との間に交流電圧■、を印加す
ることにより、圧電素子板3.4の厚み方向における伸
縮変位による振動と、圧電素子@5.6の厚み方向にお
ける伸縮変位による撮動との合成により振動子Aを振動
させる。
なお、本実施例では圧電セラミックを4枚使用して低電
圧化を図ったが、圧電素子3.5の2枚と電極板8を使
用するだけの構成でももちろんかまわない。その場合は
振動体1と押え体2が電気的に非接触状態を保つために
ボルト10には絶縁ワッシャ(不図示)を設ける。
11は小径軸部1aに嵌合されるロータで、このロータ
11と振動子Aとにより、モータMを構成している。
第2図はロータ11の断面図である。llaは円筒形状
に形成されたロータハウジング、12はロータハウジン
グ1laO後端部内周面に設けられた摩擦部材であり、
摩擦部材12のラッパ状開口部Eが振動体1のホーン部
ICの摺動部Bに圧接される。
交流電圧■1と交流電圧■2とは、343図に示すよう
に、振幅及び周波数が共に同じで、時間的、空間的位相
が90’のずれを有している。
したがって、SwJ子Aは、軸心を中心とし、円運動を
行なうことになる。なお、この円運動が生じる原理につ
いては、公知であるので説明は省略する。
本実施例は、振動子Aにおける振動体1のホーン部IC
の摺動部已に縄飛び回転運動の腹の位置が(るように振
動子Aを設計し、その共振周波数で圧電素子板3〜6を
駆動している。
すなわち、振動子Aは、縄飛び回転運動の3節又はそれ
以上のモードで振動し、少なくとも振動子Aの両端と摺
動部Bとを該振動モードの腹として振動し、振動体1は
第4図(a) 、 (b)に示すように、軸1が軸心1
を中心とし、軸1の縄飛び回転運動の腹部H1の中心点
Pが、第4図(b) に示すように、真円Cの円周上を
移動する縄飛び回転運動を行なうことになる。そして、
摺動部Bにおける縄飛び回転運動を利用し、ロータ11
を軸心1を中心として回転させるようにしており、この
摺動部Bで得られるトルクは先端部りで得られるトルク
よりも大きいものであった。
第5図に示す様にロータ11は、振動子Aの軸心りと同
軸に嵌合し、ロータ11の内径部の摩擦部材8bを摺動
部Bに対応する位置まで延出し、摩擦部材8bのラッパ
状開口部Eをホーン部1cの摺動部Bに当接させている
。該ホーン部は軸方向の加圧力を受ける事で、摺動部已
において適切な摩擦力を得るために設けられている。そ
して、この摺動部Bは振動体1において、縄飛び振動の
腹になっている。
ロータ11は低摩擦係数の部材13を介して、振動体1
において縄飛び回転運動の節の位置に接する構造になっ
ており、摺動部B以外で生じる振動に対して接触して音
を発生するのを防ぐため、ロータ11には逃げllbが
設けられている。
ロータ11に組み込まれた摩擦部材12は、摺動部Bの
外周形状と合致するラッパ形状に開口し、振動体1の縄
飛び回転運動時に摺動部已に面接触する。
ロータ11は、例えば不図示のスラストベアリングを介
して不図示のバネ等で、前述の適切な径の漸増形状を有
する摺動部により、所定の摩擦力を発生させ、また該ス
ラストベアリングにより軸方向の回転が許容されている
すなわち、振動子Aが摺動部Bを該振動モードの腹の位
置とする、例えば3節のモードで振動すると、前述した
ように振動体1は第4図に示すように、軸心lを中心と
した縄飛び回転運動を行ない、第6図(a)に示すよう
に、摺動部Bがロータ11の摩擦部材12と摩擦接触し
ながら時計方向又は反時計方向に軸心1に対し所定の半
径rの軌跡を描きながら円運動し、ロータ11を回転さ
せることとなる。なお、第6図(a)は摺動部Bがロー
タ11の摩擦部材12の内周面をこじりながら円運動す
ることを説明するために、摺動部Bの外径をロータ11
の摩擦部材12の内径よりもかなり小さくしているが、
摺動部Bにおける縄飛び回転運動の半径は実際に極僅か
であるので、摺動部Bとロータ11の摩擦部材12の内
周面とは微小の間隙となっている。
すなわち、振動体1の摺動部の任意の点1dに注目する
と、鎖点1dは円運動を行ない、その過程でロータ11
の内周部に接触し、ロータ11に回転運動を行なわせる
ための摩擦駆動力を与える。
第6図(b)は第6図(a) とは逆に、振動体1は円
筒状で、ロータ11が該円筒状振動体の中空内側面に接
触摩擦しながら回転する場合を示している。この場合は
振動体の振動回転方向とロータの回転方向は逆向きにな
る。
第1表は実験した種々摩擦部材12(No、1〜8)の
組成であり、第2表はそれに対応した実験の結果である
。実験で用いた振動体1はマルテンサイト系ステンレス
鋼、 JIS 5tlS 420J2 ヲ焼入・焼戻し
して硬さHRC52に調質したものを用いた。振動体1
にはメツキ等の表面処理は施しておらず、単に最大表面
粗さが2μm以下になる様ラップしである。入力端子8
0 V p−p、ロータの振動体に対するスラスト方向
圧接力は500g−fとした。3節振動モードの共振周
波数は25.3k)lxであった。
第 表 なお、各項目の評価は以下の基準による。
トルク評価 最大トルク 300g−f−0m以上          0200
g−f−0m以上 300g・f−cm未満  010
0g−f−am以上 200g−f−cm未満  Δ1
00g−f−cm未満          ×摩耗評価
 定格(負荷150g−f−cm)回転時2時間以上 
摩耗粉確認できない 30分間以上 摩耗粉確認できない 1分間以上 摩耗粉確認できない 1分以内に摩耗粉が確認できた 昔 評価 定格回転時音発生なし 無負荷回転時音発生なし 無負荷回転時音発生あり モ定性評価 ◎ 総合評価 ◎・・・5点、○・・・3点、Δ・・・1点、×又は評
価できず・・・0点として4評僅の合計点が16点以上
            012点以上16点未満  
     O8点以上12点未満        68
点未満             ×その結果、トルク
を発生させるためには金属基材中に硬質粒子が含有され
ていることが望ましく、摩耗減少には潤滑成分が大きく
寄与しており、無機繊維は基材が軟質な場合において摩
耗をおさえる効果があるとわかった。また、音に関して
は摩耗接触面の精度にも影響されるが、一般的には軟質
材の方が発生しにくい傾向がある。さらに安定性におい
て、例えば回転むらを少なくするには、潤滑剤添加が大
きい効果を示した。
なお、本発明の摩擦材は、振動体のロータとの摩擦接触
部が楕円運動を行なうことにより、ロータを駆動させる
原理の超音波モータにおいては、前述した本発明の摩擦
材のトルク発生原理、摩耗形態及び音発生機構から考え
て、すべて適用できる。
[発明の効果] 以上、説明してきたように、金属基材中に硬質な無機粒
子を配合したサーメット系材料を用いることで、金属単
体では得られないモータトルクを得ることができ、その
上潤滑剤を適宜加えることで、摩耗、音、安定性の点で
すぐれた特性をもフたモータを作製することができた。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を有効に実施できる超音波モータの分解
斜視図、 第2図はそのロータの断面図、 第3図は圧電素子板に印加する交流電源の波形図、 第4図(a) 、 (b)は3節の縄飛び回転運動を示
す正面図及び側面図、 第5図はモータの組み付は状態を示す図、第6図(a)
 、 (b)は駆動原理を示す図で、(a)は軸が縄飛
び回転運動をして、中空部材を回転させる原理図、(b
)は中空振動体が縄飛び回転運動して、軸を回転させる
原理図である。 1:振動体 4.5,6:圧電素子 7 。 8 。 9 : 電極板 11:ロータ 12:摩擦部材 他4名 第 図 第 図 第 4 図 1 1 2 2 3

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 超音波振動子と該超音波振動子に摩擦接触し、回転
    や直線運動等の駆動を行なう移動体を有する超音波モー
    タにおいて、 該摩擦接触面の少なくとも一方に使用される材料として
    、サーメット材料を用いたことを特徴とする超音波モー
    タの摩擦材。 2 サーメット材料に潤滑成分を含有させて構成したこ
    とを特徴とする請求項1に記載の超音波モータの摩擦材
    。 3 サーメット材料の骨材となる金属材料として、銅、
    アルミニウム、鉄、錫、ニッケル、クロム及びそれら金
    属の合金のうち少なくとも一種以上を用いていることを
    特徴とする請求項1又は2に記載の超音波モータの摩擦
    材。 4 サーメット材料の分散材となる無機材料として、ア
    ルミナ、炭化ケイ素、シリコンのうち少なくとも一種以
    上を用いていることを特徴とする請求項1又は2に記載
    の超音波モータの摩擦材。 5 摩擦接触面の少なくとも一方に使用される材料は、
    粉末冶金的に焼結固化させる方法にて形成されることを
    特徴とする請求項1、2、3又は4に記載の超音波モー
    タの摩擦材。
JP1252996A 1989-09-28 1989-09-28 超音波モータの摩擦材 Pending JPH03117384A (ja)

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US07/586,303 US5122700A (en) 1989-09-28 1990-09-21 Frictional material for vibration wave driven motor
DE69024302T DE69024302T2 (de) 1989-09-28 1990-09-27 Reibschlüssiges Material für Vibrationsmotor
EP90310553A EP0420622B1 (en) 1989-09-28 1990-09-27 Frictional material for vibration motor

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5770916A (en) * 1995-01-31 1998-06-23 Canon Kabushiki Kaisha Laminated piezoelectric element and vibration wave actuator
US6191520B1 (en) 1997-05-16 2001-02-20 Canon Kabushiki Kaisha Electro-mechanical energy conversion element and vibration type driving device

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2996483B2 (ja) * 1990-04-05 1999-12-27 キヤノン株式会社 振動型モータ
JP2879955B2 (ja) * 1990-08-03 1999-04-05 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
DE69130751T2 (de) * 1990-08-03 1999-07-01 Canon K.K., Tokio/Tokyo Vibrationsangetriebener Motor
JP3015090B2 (ja) * 1990-10-05 2000-02-28 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
US5345137A (en) * 1991-04-08 1994-09-06 Olympus Optical Co., Ltd. Two-dimensionally driving ultrasonic motor
JP3016617B2 (ja) * 1991-05-08 2000-03-06 キヤノン株式会社 振動波モータ
JP3045564B2 (ja) * 1991-06-12 2000-05-29 アルプス電気株式会社 超音波モータ
JP3171887B2 (ja) * 1991-10-21 2001-06-04 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
US5448128A (en) * 1991-12-12 1995-09-05 Honda Denshi Kabushiki Kaisha Vibration type driving device
CA2088234C (en) * 1992-01-29 1999-09-14 Akio Atsuta A vibration driven motor or actuator
JP3205026B2 (ja) * 1992-01-30 2001-09-04 キヤノン株式会社 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する装置
US5410204A (en) * 1992-02-28 1995-04-25 Olympus Optical Co. Ltd. Ultrasonic oscillator
JP3167432B2 (ja) * 1992-07-16 2001-05-21 キヤノン株式会社 振動波駆動装置および振動波駆動装置を備えた機器
DE69315767T2 (de) * 1992-08-25 1998-05-07 Canon Kk Verfahren zur Herstellung einer laminierten piezoelektrischen Anordnung und Polarisationsverfahren und vibrationswellengetriebener Motor
JP3241129B2 (ja) * 1992-11-20 2001-12-25 太平洋セメント株式会社 振動波モータ用の積層型圧電素子及びその製造方法
JP3107946B2 (ja) * 1993-05-07 2000-11-13 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JP3412861B2 (ja) * 1993-05-10 2003-06-03 キヤノン株式会社 振動波アクチュエータの駆動制御方法及び装置
US5760529A (en) * 1995-04-24 1998-06-02 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave actuator and system using the same
KR970015052A (ko) * 1995-09-19 1997-04-28 오노 시게오 진동 액츄에이터
JPH1084682A (ja) * 1996-09-09 1998-03-31 Canon Inc 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する機器
JP3397627B2 (ja) * 1997-04-08 2003-04-21 キヤノン株式会社 振動型駆動装置およびこれを用いた装置
JPH1146487A (ja) * 1997-07-28 1999-02-16 Canon Inc 振動アクチュエータ
JP3825890B2 (ja) * 1997-07-28 2006-09-27 キヤノン株式会社 振動アクチュエータ
JP4444395B2 (ja) * 1999-06-15 2010-03-31 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JP4596610B2 (ja) 2000-05-31 2010-12-08 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
GB2378573B (en) * 2001-06-20 2003-09-10 Polatis Ltd A piezoelectric actuator
DE102005036822A1 (de) * 2005-08-04 2007-02-15 Siemens Ag Elektromechanischer Motor
US10530277B2 (en) 2016-06-10 2020-01-07 Canon Kabushiki Kaisha Friction member to contact opposite member, method for manufacturing friction member, vibration-type actuator, and electronic device

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1208269A (en) * 1982-02-25 1986-07-22 Toshiiku Sashida Motor device utilizing ultrasonic oscillation
JPS59201684A (ja) * 1983-04-30 1984-11-15 Canon Inc 振動波モ−タ
JPH072024B2 (ja) * 1985-10-24 1995-01-11 キヤノン株式会社 振動波モ−タ
JPS633661A (ja) * 1986-06-20 1988-01-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モ−タ−
JPS63154075A (ja) * 1986-12-17 1988-06-27 Canon Inc 振動波モ−タ
EP0289734B1 (en) * 1987-03-18 1994-06-01 Honda Electric Co., Ltd. An ultrasonic driving device
JPH01129783A (ja) * 1987-11-14 1989-05-23 Marcon Electron Co Ltd 超音波モータ
JP2578903B2 (ja) * 1988-05-06 1997-02-05 キヤノン株式会社 振動波モータ
US4965482A (en) * 1988-06-17 1990-10-23 Nec Corporation Ultrasonic motor and method of adjusting the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5770916A (en) * 1995-01-31 1998-06-23 Canon Kabushiki Kaisha Laminated piezoelectric element and vibration wave actuator
US6191520B1 (en) 1997-05-16 2001-02-20 Canon Kabushiki Kaisha Electro-mechanical energy conversion element and vibration type driving device

Also Published As

Publication number Publication date
EP0420622A3 (en) 1991-09-25
DE69024302T2 (de) 1996-05-15
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EP0420622A2 (en) 1991-04-03
US5122700A (en) 1992-06-16
DE69024302D1 (de) 1996-02-01

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