JPH03102683A - 磁気ディスク装置 - Google Patents
磁気ディスク装置Info
- Publication number
- JPH03102683A JPH03102683A JP23729089A JP23729089A JPH03102683A JP H03102683 A JPH03102683 A JP H03102683A JP 23729089 A JP23729089 A JP 23729089A JP 23729089 A JP23729089 A JP 23729089A JP H03102683 A JPH03102683 A JP H03102683A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- housing
- head
- magnetic disk
- positioning
- Prior art date
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- Pending
Links
Landscapes
- Moving Of Head For Track Selection And Changing (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
磁気ディスク装置に関し、
低周波は勿論のこと、ディスクと筐体が異なった動きを
する高い周波数においても、ヘッドの位置決めの補償を
有効に行うことができる磁気ディスク装置の提供を目的
とし、 複数の磁気ディスクを取り付けた状態で回転するスピン
ドルと、制御ヘッドを含み、前記各ディスクとデータの
遣り取りを行う複数の磁気ヘッドと、このヘッドをアク
セスさせるモータと、これらを収容する筐体と、この筐
体に取り付けられた加速度検出手段とを備え、前記ヘッ
ドの位置決め信号を前記制御ヘッドからの位置信号によ
り位置決め制御部が発生し、前記センサの出力信号に比
例した補償信号を振動追従制御部が発生し、合戒部にお
いて両信号を合威して、加速度フィードフォーワード制
御を行う磁気ディスク装置において、前記加速度検出手
段の出力信号部と前記合戒部との間に、筺体−ディスク
間の機械的伝達関数を補償する補償手段を設けて構或す
る。
する高い周波数においても、ヘッドの位置決めの補償を
有効に行うことができる磁気ディスク装置の提供を目的
とし、 複数の磁気ディスクを取り付けた状態で回転するスピン
ドルと、制御ヘッドを含み、前記各ディスクとデータの
遣り取りを行う複数の磁気ヘッドと、このヘッドをアク
セスさせるモータと、これらを収容する筐体と、この筐
体に取り付けられた加速度検出手段とを備え、前記ヘッ
ドの位置決め信号を前記制御ヘッドからの位置信号によ
り位置決め制御部が発生し、前記センサの出力信号に比
例した補償信号を振動追従制御部が発生し、合戒部にお
いて両信号を合威して、加速度フィードフォーワード制
御を行う磁気ディスク装置において、前記加速度検出手
段の出力信号部と前記合戒部との間に、筺体−ディスク
間の機械的伝達関数を補償する補償手段を設けて構或す
る。
本発明は磁気ディスク装置に関し、特に、ヘッドの位置
決め精度を向上させた磁気ディスク装置に関する. 電子計算機システムの外部記憶装置として用いられる磁
気ディスク装置は、近年、大容量化、高速化が急速に進
められており、記録トラック幅も高密度化している,こ
のような磁気ディスク装置においては、情報のディスク
からの読み出し/書き込み(リード/ライト)を行うヘ
ッドを、ディスクの所定トラックに正確に位置決めしな
ければならない。ところが、このような磁気ディスク装
置では、ヘッドを位置決めさせるためにディスク上をシ
ークさせると、その反力で磁気ディスク装置の筐体(ハ
ウジング)が振動し、この筐体に回転軸が取り付けられ
ている磁気ディスクも振動する.この結果、筐体の機械
的な振動によるヘッドの位置決め誤差が生じることにな
り、この解決策が望まれている。
決め精度を向上させた磁気ディスク装置に関する. 電子計算機システムの外部記憶装置として用いられる磁
気ディスク装置は、近年、大容量化、高速化が急速に進
められており、記録トラック幅も高密度化している,こ
のような磁気ディスク装置においては、情報のディスク
からの読み出し/書き込み(リード/ライト)を行うヘ
ッドを、ディスクの所定トラックに正確に位置決めしな
ければならない。ところが、このような磁気ディスク装
置では、ヘッドを位置決めさせるためにディスク上をシ
ークさせると、その反力で磁気ディスク装置の筐体(ハ
ウジング)が振動し、この筐体に回転軸が取り付けられ
ている磁気ディスクも振動する.この結果、筐体の機械
的な振動によるヘッドの位置決め誤差が生じることにな
り、この解決策が望まれている。
第9図は従来の磁気ディスク装置の構或を示すものであ
る.同図(八)において、1は磁気ディスクユニットで
あり、情報記憶媒体としての磁気ディスク10がスピン
ドルモータ12によって回転軸11を中心に回転され、
磁気ヘッド13がボイスコイルモー夕部14のアクセッ
サ140に取り付けられ、コイル141と磁石142と
によって磁気ディスク10の半径方向に移動(シーク)
されるものであり、これらが筺体l6に収容されている
.2は速度制御部であり、磁気ヘッド13からのサーボ
信号による位置信号PSを基に速度誤差信号Δ■を発生
するもの、3は位置決め制御部であり、位置信号PSを
P−I−D(比例、積分、微分)処理した信号および検
出信号iにローバスフィルタをかけた信号から位置決め
信号ΔPを発生するもの、4は制御部であり、外部から
の移動指示に応じて速度制御部2を制御して速度誤差信
号ΔVを発生させ、ボイスコイルモータ14を速度制御
させると共に、目標位置近傍においてコアース/ファイ
ン切換信号MSを発し、後述する切換スイッチを動作さ
せるもの、5は切換スイッチであり、コアース/ファイ
ン切換信号MSに応じて切り換えを行うものであり、コ
アース指示では速度誤差信号ΔVをボイスコイルモータ
14へ与え、ファイン指示では位置決め信号ΔPをボイ
スコイルモータ14に与えるものであり、50はパワー
アンプであり、切換スイッチ5の出力をパワー増幅して
ボイスコイルモータ14に与えるものである。
る.同図(八)において、1は磁気ディスクユニットで
あり、情報記憶媒体としての磁気ディスク10がスピン
ドルモータ12によって回転軸11を中心に回転され、
磁気ヘッド13がボイスコイルモー夕部14のアクセッ
サ140に取り付けられ、コイル141と磁石142と
によって磁気ディスク10の半径方向に移動(シーク)
されるものであり、これらが筺体l6に収容されている
.2は速度制御部であり、磁気ヘッド13からのサーボ
信号による位置信号PSを基に速度誤差信号Δ■を発生
するもの、3は位置決め制御部であり、位置信号PSを
P−I−D(比例、積分、微分)処理した信号および検
出信号iにローバスフィルタをかけた信号から位置決め
信号ΔPを発生するもの、4は制御部であり、外部から
の移動指示に応じて速度制御部2を制御して速度誤差信
号ΔVを発生させ、ボイスコイルモータ14を速度制御
させると共に、目標位置近傍においてコアース/ファイ
ン切換信号MSを発し、後述する切換スイッチを動作さ
せるもの、5は切換スイッチであり、コアース/ファイ
ン切換信号MSに応じて切り換えを行うものであり、コ
アース指示では速度誤差信号ΔVをボイスコイルモータ
14へ与え、ファイン指示では位置決め信号ΔPをボイ
スコイルモータ14に与えるものであり、50はパワー
アンプであり、切換スイッチ5の出力をパワー増幅して
ボイスコイルモータ14に与えるものである。
このような磁気ディスク装置では、第9図(B)に示す
ように、制御部4は外部から移動指示が与えられると、
目標位置への移動量を算出して速度制御部2に与える。
ように、制御部4は外部から移動指示が与えられると、
目標位置への移動量を算出して速度制御部2に与える。
速度制御部2は移動量から台形カーブ等の速度関数に従
って基準速度Vcを発生し、磁気ヘッドl3からの位置
信号PSより得た実速度Vrと比較し、速度誤差信号Δ
Vを発生する。制御部4はコアースモードを指示してい
るので切換スイッチ5はa側に接続されており、速度誤
差信号Δ■がボイスコイルモーク14に与えられ、これ
によってボイスコイルモータ14、磁気ヘッド13は台
形速度カーブに従って目標位置(目標シリンダ)に向か
って速度制御によって移動する.制御部4は位置信号P
Sによって目標位置近傍に達したことを検出すると、コ
アース/ファイン切換信号MSによってファインモード
を指示し、切換スイッチ5をb側に接続する。位置制御
部3は位置信号PSから位置決め信号ΔPを発生し、位
置決め信号ΔPがボイスコイルモータl4に与えられ、
位置決め及び位置保持制御が行われる。
って基準速度Vcを発生し、磁気ヘッドl3からの位置
信号PSより得た実速度Vrと比較し、速度誤差信号Δ
Vを発生する。制御部4はコアースモードを指示してい
るので切換スイッチ5はa側に接続されており、速度誤
差信号Δ■がボイスコイルモーク14に与えられ、これ
によってボイスコイルモータ14、磁気ヘッド13は台
形速度カーブに従って目標位置(目標シリンダ)に向か
って速度制御によって移動する.制御部4は位置信号P
Sによって目標位置近傍に達したことを検出すると、コ
アース/ファイン切換信号MSによってファインモード
を指示し、切換スイッチ5をb側に接続する。位置制御
部3は位置信号PSから位置決め信号ΔPを発生し、位
置決め信号ΔPがボイスコイルモータl4に与えられ、
位置決め及び位置保持制御が行われる。
そして、ファインモードに切換った後、位置信号PSが
許容範囲内であることを制54t部4が検出することに
よって、位置決め完了を示すシークエンド信号を上位へ
送り、磁気ディスクであれば、目標シリンダのリード/
ライトを実行させる。このようなリード/ライト中の位
置の保持は、位置制御部3が磁気ヘッド13の読み取っ
たサーボ信号SvSより得た位置信号PSより位置決め
信号ΔPを作威し、ヘッド13のトラックからの位置ず
れを防止するようにしていた。
許容範囲内であることを制54t部4が検出することに
よって、位置決め完了を示すシークエンド信号を上位へ
送り、磁気ディスクであれば、目標シリンダのリード/
ライトを実行させる。このようなリード/ライト中の位
置の保持は、位置制御部3が磁気ヘッド13の読み取っ
たサーボ信号SvSより得た位置信号PSより位置決め
信号ΔPを作威し、ヘッド13のトラックからの位置ず
れを防止するようにしていた。
ところが、ヘッド13の位置ずれの要因としては、第1
に位置制御部3の位置決め精度、第2に位置制御ループ
以内の機械的要因による振動等が考えられる.両者とも
位置制御部3の追従性を良好にすることによって改善で
きるが、機構部の共振に伴う発振等の問題があって追従
性の向上には限界があり、サブミクロンオーダー以下の
位置保持が難しいという問題があった。特に、機械的要
因による機構部の振動については、それが1(10Fl
z以下の低域振動の時には、同じ外乱に対しても高城よ
りオフトラック量(位置ずれ量)が大きく、従来技術で
はオフトラック量を小とすることができないという問題
があった。
に位置制御部3の位置決め精度、第2に位置制御ループ
以内の機械的要因による振動等が考えられる.両者とも
位置制御部3の追従性を良好にすることによって改善で
きるが、機構部の共振に伴う発振等の問題があって追従
性の向上には限界があり、サブミクロンオーダー以下の
位置保持が難しいという問題があった。特に、機械的要
因による機構部の振動については、それが1(10Fl
z以下の低域振動の時には、同じ外乱に対しても高城よ
りオフトラック量(位置ずれ量)が大きく、従来技術で
はオフトラック量を小とすることができないという問題
があった。
そこで、本発明者らは、機械的振動によるヘッドのトラ
ック位置ずれを少なくすることのできる磁気ディスク装
置を提案した(特開昭64−43881号公報.特開昭
64−73579号公報参照).これらの装置では第9
図に示す従来の装置の筐体工6に加速度センサ6を設け
、磁気ディスク10と位置付け部(磁気ヘッド13及び
ボイスコイルモータ14)15とを収容する筐体16の
ヘッド13のシーク方向の加速度を検出させるようにし
ている。そして、特開昭64−43881号公報の装置
では加速度センサ6の検出出力に比例した補償信号を作
威して、独立に動く複数のへッドポジショナのシーク時
の相互干渉を無くすようにしている。また、特開昭64
−73579号公報の装置では、加速度センサ6の検出
出力を振動の周波数帯では位相特性がフラットであり且
つ高周波域でのゲインの小さいローパスフィルタを含む
振動追従制御部に人力し、検出出力の低周波戒分から振
動追従信号ΔSを発生させてこれを位置決め制御部3の
位置決め信号ΔPと合威してヘッド移動部14を制御さ
せる、いわゆるフィードフォーワード制御を行っている
。この結果、機構部の機械的振動が検出され、磁気ディ
スク10の動きにヘッドl3が追従するようになるので
、ヘッド13のオフトラックが減少した。
ック位置ずれを少なくすることのできる磁気ディスク装
置を提案した(特開昭64−43881号公報.特開昭
64−73579号公報参照).これらの装置では第9
図に示す従来の装置の筐体工6に加速度センサ6を設け
、磁気ディスク10と位置付け部(磁気ヘッド13及び
ボイスコイルモータ14)15とを収容する筐体16の
ヘッド13のシーク方向の加速度を検出させるようにし
ている。そして、特開昭64−43881号公報の装置
では加速度センサ6の検出出力に比例した補償信号を作
威して、独立に動く複数のへッドポジショナのシーク時
の相互干渉を無くすようにしている。また、特開昭64
−73579号公報の装置では、加速度センサ6の検出
出力を振動の周波数帯では位相特性がフラットであり且
つ高周波域でのゲインの小さいローパスフィルタを含む
振動追従制御部に人力し、検出出力の低周波戒分から振
動追従信号ΔSを発生させてこれを位置決め制御部3の
位置決め信号ΔPと合威してヘッド移動部14を制御さ
せる、いわゆるフィードフォーワード制御を行っている
。この結果、機構部の機械的振動が検出され、磁気ディ
スク10の動きにヘッドl3が追従するようになるので
、ヘッド13のオフトラックが減少した。
なお、特開昭64−73579号公報の装置におけるロ
ーパスフィルタとしては、ダンピングを持たせた第8図
(A), (B)に示すような特性の二次系フィルタを
使用した。即ち、低域振動領域である1(10〜3(1
0 Hz程度のffの範囲、即ちカットオフ周波数の1
73〜1/10の周波数ではゲインは高く、位相はフラ
ット(ほぼO)であり一方、高城(例えば10kHz近
傍)ではゲインも低く、位相は反転していてセンサ6の
共振等によるノイズを十分カットできるものであって、
ダンピング係数Qは1.76を中心に1.5〜2である
ような二次系フィルタを使用した. 〔発明が解決しようとする課題〕 本発明者らの提案した磁気ディスク装置は、基本的には
機構部の機械的振動を筐体16に取り付けた加速度セン
サ6によって検出してヘッドL3の動きを補償するもの
(フィードフォーワード制御)であるので、実用上大き
な効果が認められ利用価値が大きい。然しなから、本発
明者らは更に研究を重ねた結果、上述の磁気ディスク装
置は、ディスク10の動きを筺体16で検出するという
点において一部誤差を発生させる要因も内包していると
いうことを見出した。即ち、ディスクIOと筐体16が
異なった動きをする高い周波数では本発明者らの提案す
る補償は適用できず、上述の補償の有効範囲は低周波の
みであるという問題があることを見出した.実際には、
磁気ディスク装置のスピンドル系は数1(10Hzに共
振点を持つ場合が多く、この周波数における上述の制御
は有効ではない。もちろん、ディスクそのものの動きを
検出出来れば問題はないが、回転するディスクのシー夕
方向の加速度を検出するのは実用上難しいという問題が
ある。
ーパスフィルタとしては、ダンピングを持たせた第8図
(A), (B)に示すような特性の二次系フィルタを
使用した。即ち、低域振動領域である1(10〜3(1
0 Hz程度のffの範囲、即ちカットオフ周波数の1
73〜1/10の周波数ではゲインは高く、位相はフラ
ット(ほぼO)であり一方、高城(例えば10kHz近
傍)ではゲインも低く、位相は反転していてセンサ6の
共振等によるノイズを十分カットできるものであって、
ダンピング係数Qは1.76を中心に1.5〜2である
ような二次系フィルタを使用した. 〔発明が解決しようとする課題〕 本発明者らの提案した磁気ディスク装置は、基本的には
機構部の機械的振動を筐体16に取り付けた加速度セン
サ6によって検出してヘッドL3の動きを補償するもの
(フィードフォーワード制御)であるので、実用上大き
な効果が認められ利用価値が大きい。然しなから、本発
明者らは更に研究を重ねた結果、上述の磁気ディスク装
置は、ディスク10の動きを筺体16で検出するという
点において一部誤差を発生させる要因も内包していると
いうことを見出した。即ち、ディスクIOと筐体16が
異なった動きをする高い周波数では本発明者らの提案す
る補償は適用できず、上述の補償の有効範囲は低周波の
みであるという問題があることを見出した.実際には、
磁気ディスク装置のスピンドル系は数1(10Hzに共
振点を持つ場合が多く、この周波数における上述の制御
は有効ではない。もちろん、ディスクそのものの動きを
検出出来れば問題はないが、回転するディスクのシー夕
方向の加速度を検出するのは実用上難しいという問題が
ある。
本発明の目的は本発明者らが既に提案したフィ一ドフォ
ーワード制御を実行する磁気ディスク装置の有する課題
を解消し、低周波は勿論のこと、ディスクと筐体が異な
った動きをする高い周波数においても、ヘッドの位置決
めの補償を有効に行うことができる磁気ディスク装置を
提供することにある。
ーワード制御を実行する磁気ディスク装置の有する課題
を解消し、低周波は勿論のこと、ディスクと筐体が異な
った動きをする高い周波数においても、ヘッドの位置決
めの補償を有効に行うことができる磁気ディスク装置を
提供することにある。
前記目的を達戒する本発明の磁気ディスク装置の構或が
第1図に示される。第l図において、スピンドル12は
複数の磁気ディスク10を取り付けた状態で回転し、複
数の磁気ヘッド13は制御ヘッドを含み、前記各ディス
クIOとデータの遣り取りを行い、また、モータ14は
ヘッドl3をアクセスさせる。そして、筐体16はこれ
らを収容し、加速度検出手段6はこの筐体16に取り付
けられている。更に、位置決め制御部3は前記ヘッド1
3の位置決め信号ΔPを前記制御ヘッドからの位置信号
により発生し、振動追従制御部7は前記センサ6の出力
信号に比例した補償信号ΔSを発生し、合威部8におい
て両信号ΔP,ΔSが合戒されて加速度フィードフォー
ワード制御が行われる。このような磁気ディスク装置に
おいて、前記加速度検出手段6の出力信号部と前記合成
部8との間に設けられた補償手段29は、筺体{6ーデ
ィスク10間の機械的伝達関数を補償する。
第1図に示される。第l図において、スピンドル12は
複数の磁気ディスク10を取り付けた状態で回転し、複
数の磁気ヘッド13は制御ヘッドを含み、前記各ディス
クIOとデータの遣り取りを行い、また、モータ14は
ヘッドl3をアクセスさせる。そして、筐体16はこれ
らを収容し、加速度検出手段6はこの筐体16に取り付
けられている。更に、位置決め制御部3は前記ヘッド1
3の位置決め信号ΔPを前記制御ヘッドからの位置信号
により発生し、振動追従制御部7は前記センサ6の出力
信号に比例した補償信号ΔSを発生し、合威部8におい
て両信号ΔP,ΔSが合戒されて加速度フィードフォー
ワード制御が行われる。このような磁気ディスク装置に
おいて、前記加速度検出手段6の出力信号部と前記合成
部8との間に設けられた補償手段29は、筺体{6ーデ
ィスク10間の機械的伝達関数を補償する。
なお、前記補償手段29は、スピンドル機械共振のダン
ピングよりも大きいダンピングを有するローバスフィル
タであることが望ましい。
ピングよりも大きいダンピングを有するローバスフィル
タであることが望ましい。
(作用)
本発明の磁気ディスク装置によれば、磁気ディスク装置
の筐体に取り付けた加速度センサにより検出された筐体
の加速度が、補償回路によりディスクの伝達関数のOd
Bからのずれを考慮して補正されるので、フィードフォ
ーワードされる補償値におけるディスクの伝達関数のO
dBからのずれがキャンセルされ、加速度センサによっ
て検出された筐体の加速度が実際のディスクの加速度に
等価なものとなる。
の筐体に取り付けた加速度センサにより検出された筐体
の加速度が、補償回路によりディスクの伝達関数のOd
Bからのずれを考慮して補正されるので、フィードフォ
ーワードされる補償値におけるディスクの伝達関数のO
dBからのずれがキャンセルされ、加速度センサによっ
て検出された筐体の加速度が実際のディスクの加速度に
等価なものとなる。
以下添付図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する
。第2図は本発明のフィードフォーワード制御を行う磁
気ディスク装置の一実施例の構或を示すものであり、第
9図に示した従来の磁気ディスク装置と同じ構威部品に
ついては同じ符号を付して説明する。20は基準速度発
生回路であり、制御部4からの移動量に応じて台形速度
カーブに従って基準速度Vcを発生するもの、21は速
度信号作成回路であり、位置信号PSとパワーアンプ5
0の検出電流iとか実速度Vrを発生するもの、22は
誤差信号発生回路であり、基準速度Vcと実速度Vrと
の差をとり速度誤差信号Δ■を発生し、切換スイッチ5
に与えるものである。
。第2図は本発明のフィードフォーワード制御を行う磁
気ディスク装置の一実施例の構或を示すものであり、第
9図に示した従来の磁気ディスク装置と同じ構威部品に
ついては同じ符号を付して説明する。20は基準速度発
生回路であり、制御部4からの移動量に応じて台形速度
カーブに従って基準速度Vcを発生するもの、21は速
度信号作成回路であり、位置信号PSとパワーアンプ5
0の検出電流iとか実速度Vrを発生するもの、22は
誤差信号発生回路であり、基準速度Vcと実速度Vrと
の差をとり速度誤差信号Δ■を発生し、切換スイッチ5
に与えるものである。
30はローパスフィルタであり、位置信号PSの高周波
或分をカットするもの、31は積分回路であり、ローパ
スフィルタ30からの位置信号PSを積分するもの、3
2はアンプであり、ローバスフィルタ30からの位置信
号PSを比例増幅するもの、33は微分回路であり、ロ
ーバスフィルタ30からの位置信号PSを微分するもの
、35はローバスフィルタであり、微分回路33の出力
と検出電流iの和をとり高周波戒分をカットするもので
ある。34は和回路であり、積分回路31の出力とアン
ブ32の出力と、ローバスフィルタ35の出力との和を
とり位置決め信号ΔPを発生し、切換スイッチ5に出力
するものである。
或分をカットするもの、31は積分回路であり、ローパ
スフィルタ30からの位置信号PSを積分するもの、3
2はアンプであり、ローバスフィルタ30からの位置信
号PSを比例増幅するもの、33は微分回路であり、ロ
ーバスフィルタ30からの位置信号PSを微分するもの
、35はローバスフィルタであり、微分回路33の出力
と検出電流iの和をとり高周波戒分をカットするもので
ある。34は和回路であり、積分回路31の出力とアン
ブ32の出力と、ローバスフィルタ35の出力との和を
とり位置決め信号ΔPを発生し、切換スイッチ5に出力
するものである。
40は位置検出回路であり、位置信号PSから位置を検
出するもの、41はマイクロプロセッサ(MPU)であ
り、上位からのシーク命令及び目標シリンダを受けてシ
ーク制御するものであり、位置検出回路40の検出位置
及び速度信号発生回路2lの実速度Vrが入力され、目
標シリンダへの移動量を算出して基準速度発生回路20
に出力し、コアース/ファイン切換信号MSを切換スイ
ッチ5及び後述するスイッチ回路に出力するものであり
、シークの完了により上位にシークエンド信号を発する
ものである。
出するもの、41はマイクロプロセッサ(MPU)であ
り、上位からのシーク命令及び目標シリンダを受けてシ
ーク制御するものであり、位置検出回路40の検出位置
及び速度信号発生回路2lの実速度Vrが入力され、目
標シリンダへの移動量を算出して基準速度発生回路20
に出力し、コアース/ファイン切換信号MSを切換スイ
ッチ5及び後述するスイッチ回路に出力するものであり
、シークの完了により上位にシークエンド信号を発する
ものである。
70はハイバスフィルタであり、加速度検出センサ6の
出力の直流オフセット分を除”去するフィルタ回路とし
て、第4図(A)に示すように演算増幅器70aとコン
デンサC1、及び抵抗R1からなる高城通過アクティブ
フィルタから構威される.71はローバスフィルタであ
り、加速度センサ6の出力の必要帯域のみを取り出し、
高城ノイズをカットするためのもので、第4図(A)に
示すように演算増幅器71aとCR受動素子を用いた低
域通過アクティブフィルタであり、抵抗R2,R3とコ
ンデンサC2と並列コンデンサC3によってダンピング
を持たせた一次系フィルタを構威している(L =9
8 0Hz, Q= 1, 7 6とした時のこのロ
ーパスフィルタ7lの周波数特性は第8図に示してある
)。ゲイン設定部72は、位置決め信号ΔPとのたし込
みゲインを設定し、振動追従信号ΔSを出力するもので
、第4図(A)に示すように、演算増幅器72aと抵抗
R5.R6からなるアンプであり、抵抗R5とローパス
フィルタ71間の抵抗R2,R3の比によってゲインを
設定できる。29は補償回路であり、振動追従信号ΔS
に含まれる磁気ディスク10の伝達関数分の誤差を補償
して補償振動追従信号ΔS′を出力するもの、80はス
イッチ回路であり、MPU4 1からのコアース/ファ
イン切換信号MSによってオン/オフされ、合成部(加
算fs)8に補償された振動追従信号ΔS゛を出力する
ものである。
出力の直流オフセット分を除”去するフィルタ回路とし
て、第4図(A)に示すように演算増幅器70aとコン
デンサC1、及び抵抗R1からなる高城通過アクティブ
フィルタから構威される.71はローバスフィルタであ
り、加速度センサ6の出力の必要帯域のみを取り出し、
高城ノイズをカットするためのもので、第4図(A)に
示すように演算増幅器71aとCR受動素子を用いた低
域通過アクティブフィルタであり、抵抗R2,R3とコ
ンデンサC2と並列コンデンサC3によってダンピング
を持たせた一次系フィルタを構威している(L =9
8 0Hz, Q= 1, 7 6とした時のこのロ
ーパスフィルタ7lの周波数特性は第8図に示してある
)。ゲイン設定部72は、位置決め信号ΔPとのたし込
みゲインを設定し、振動追従信号ΔSを出力するもので
、第4図(A)に示すように、演算増幅器72aと抵抗
R5.R6からなるアンプであり、抵抗R5とローパス
フィルタ71間の抵抗R2,R3の比によってゲインを
設定できる。29は補償回路であり、振動追従信号ΔS
に含まれる磁気ディスク10の伝達関数分の誤差を補償
して補償振動追従信号ΔS′を出力するもの、80はス
イッチ回路であり、MPU4 1からのコアース/ファ
イン切換信号MSによってオン/オフされ、合成部(加
算fs)8に補償された振動追従信号ΔS゛を出力する
ものである。
9は位置信号発生部であり、磁気ディスク10のサーボ
面(例えば、図の2枚目の磁気ディスクエ0の下面)に
記録されたサーボ信号を磁気ヘッド13が読取って得た
正弦波のサーボ信号SVSから位置信号PSを発生する
ものであり、サーボ信号SvSのAGCIII御(自動
利得制御)を行うAGCアンブ90と、AGC制御され
たサーボ信号から正弦波の位置信号PSを出力する位置
信号検出回路91とを有するものである。
面(例えば、図の2枚目の磁気ディスクエ0の下面)に
記録されたサーボ信号を磁気ヘッド13が読取って得た
正弦波のサーボ信号SVSから位置信号PSを発生する
ものであり、サーボ信号SvSのAGCIII御(自動
利得制御)を行うAGCアンブ90と、AGC制御され
たサーボ信号から正弦波の位置信号PSを出力する位置
信号検出回路91とを有するものである。
以上のように構威された実施例の動作は第9図に示した
従来の磁気ディスク装置とほぼ同じであり、異なるのは
、コアース/ファイン切換信号MSによりファイン指示
された時にスイッチsob<オンになり、加速度センサ
6からの検出信号が振動追従制御部7及び補償回路29
で補償されて合戒部8に加わり、位置決め制御部3から
の位置決め信号ΔPに加え合わされる点のみである。
従来の磁気ディスク装置とほぼ同じであり、異なるのは
、コアース/ファイン切換信号MSによりファイン指示
された時にスイッチsob<オンになり、加速度センサ
6からの検出信号が振動追従制御部7及び補償回路29
で補償されて合戒部8に加わり、位置決め制御部3から
の位置決め信号ΔPに加え合わされる点のみである。
第3図は第2図の磁気ディスク装置の伝達間数による信
号伝達特性を示すブロック線図である。
号伝達特性を示すブロック線図である。
この系においてコントローラ3゛が第2図の位置決め制
御部3に対応しており、このコントローラ3゜にはヘッ
ドの位置決め信号PSが入力され、ヘッドの位置決め電
流■。が出力される。また、この系において、Blはモ
ータの力定数、1/mはボイスコイルモー夕のアクチュ
エー夕、G ff (S)は磁気ディスク装置の筐体の
振動特性を示す伝達関数、G4(S)はスピンドル(デ
ィスク)の振動特性を示す伝達関数、1/S”は加速度
を変位に換算する伝達関数、F2。,は外から筐体に加
わる外乱、Hfは筐体に取り付けた加速度センサからの
フィードフォーワード制御信号のゲイン設定器を示して
いる。この系ではモータの反力−81と外から筐体に加
わる外乱Fparとに起因する筐体の振動特性(筐体の
伝達関数C−1(S)>を筐体に取り付けた加速度セン
サにより検出し、ゲイン設定器11fでゲイン設定を行
った位置決め信号にディスクの伝達関数G , (S)
のOdBからのずれによる誤差を伝達関数G 4 (S
) ’で補償してフィードフォーワードを行なし“1、
ヘッドの磁気ディスクのシー夕方向の振動の影響を打ち
消すようにしている。
御部3に対応しており、このコントローラ3゜にはヘッ
ドの位置決め信号PSが入力され、ヘッドの位置決め電
流■。が出力される。また、この系において、Blはモ
ータの力定数、1/mはボイスコイルモー夕のアクチュ
エー夕、G ff (S)は磁気ディスク装置の筐体の
振動特性を示す伝達関数、G4(S)はスピンドル(デ
ィスク)の振動特性を示す伝達関数、1/S”は加速度
を変位に換算する伝達関数、F2。,は外から筐体に加
わる外乱、Hfは筐体に取り付けた加速度センサからの
フィードフォーワード制御信号のゲイン設定器を示して
いる。この系ではモータの反力−81と外から筐体に加
わる外乱Fparとに起因する筐体の振動特性(筐体の
伝達関数C−1(S)>を筐体に取り付けた加速度セン
サにより検出し、ゲイン設定器11fでゲイン設定を行
った位置決め信号にディスクの伝達関数G , (S)
のOdBからのずれによる誤差を伝達関数G 4 (S
) ’で補償してフィードフォーワードを行なし“1、
ヘッドの磁気ディスクのシー夕方向の振動の影響を打ち
消すようにしている。
ここで、ディスクの伝達関数G 4 (S)のOdBか
らのずれによる誤差を伝達関数G 4 (S) ’につ
いて説明する。ボイスコイルモータによるシーク時の反
力により磁気ディスク10に生じる振動は、本来第3図
のディスクの伝達関数G 4 (S)の後で検出しなけ
ればならない。ところが、実際の磁気ディスク10の振
動(加速度)は検出不可能であるので、加速度センサ6
を用いて筐体16の伝達関数G 3 (S)をゲイン設
定器Hfに入力している。このため、筐体一ディスク間
の伝達関数に起因する誤差(第5図に実線で示される)
により、ゲイン設定器11fでゲイン設定を行った位置
決め信号にディスクの伝達関数G 4 (S)のOdB
からのずれによる誤差を伝達関数64(S)゛ で補償
しないフィードフォーワード制御を行うと、第7図に実
線で示すように本来の目的である15082付近におい
ては、フィードフォーワード制御を行わない時の特性(
破線)に比べて30dB弱の効果が得られて実用上十分
ではあるが、周波数が上がるに従ってその効果は減じ、
8(10Hz付近のスピンドル共振点においては、僅か
ながら逆効果となっていることが分かる。
らのずれによる誤差を伝達関数G 4 (S) ’につ
いて説明する。ボイスコイルモータによるシーク時の反
力により磁気ディスク10に生じる振動は、本来第3図
のディスクの伝達関数G 4 (S)の後で検出しなけ
ればならない。ところが、実際の磁気ディスク10の振
動(加速度)は検出不可能であるので、加速度センサ6
を用いて筐体16の伝達関数G 3 (S)をゲイン設
定器Hfに入力している。このため、筐体一ディスク間
の伝達関数に起因する誤差(第5図に実線で示される)
により、ゲイン設定器11fでゲイン設定を行った位置
決め信号にディスクの伝達関数G 4 (S)のOdB
からのずれによる誤差を伝達関数64(S)゛ で補償
しないフィードフォーワード制御を行うと、第7図に実
線で示すように本来の目的である15082付近におい
ては、フィードフォーワード制御を行わない時の特性(
破線)に比べて30dB弱の効果が得られて実用上十分
ではあるが、周波数が上がるに従ってその効果は減じ、
8(10Hz付近のスピンドル共振点においては、僅か
ながら逆効果となっていることが分かる。
このように、本来ディスクの加速度はディスクの伝達関
数0 4 (S)の後で検出しなければならないのに、
筐体の伝達関数G :I (S)を以てディスクの加速
度とすると、ディスクの伝達関数G 4 (S)のOd
Bからのずれが補償不足を発生させて誤差が生じる。こ
の補償誤差はスピンドル共振に近づくにつれて大きくな
り、スピンドル共振点において最大値をとることになる
. この誤差をキャンセルするため、この実施例ではmをボ
ジショナの質量、Bj!をボジショナの力定数として、
下式、 Hf = 1/B l−m−G4(S) ・・・
■となるフィードバックゲインを加速度センサの検出値
に持たせることにより、上述の誤差を理論的に完全にキ
ャンセルするようにしたのである。このフィードバック
ゲインを持たせるものが第2図の補償回路29であり、
この補償回路29としてはディスクの振動特性を示す伝
達関数G 4 (s)と全く同一の特性を持つローバス
フィルタG 4 (S)’ をシミエレータとしてフィ
ードバックルーブに入れることにより実現される。そし
て、このローバスフィルタG 4 (S)’ により、
ディスクの振動特性を示す伝達関数G 4 (S)の影
響が全てキャンセルされる.具体的にはこの伝達関数G
4 (S)’ は、M2をスピンドル・ディスクの質
量、C2をスピンドル・ディスクのダンピング、K!を
スピンドル・ディスクの剛性(軸受またはシャフト剛性
)として下式、G a −xi(s)/ x+(s)
= (Cz +Kz) / (ToS” +CS 十K
g) −■で与えられる. 第4図はこのローバスフィルタc .(s)’ の構成
の一例を示す回路図である。ローパスフィルタc a
(s)’は一般の二次フィルタと異なり、特殊な伝達関
数のため、積分フィードバックを含む形の演算増幅器O
P,〜OP,と抵抗R1〜R,及びコンデンサCI〜C
3により構威される。ここで、抵抗R,〜Rh及びコン
デンサ01〜C3の定数は、式■の無次元化した形の下
式、 G4 x(2( ωJ+ωa” )/(S”+2( ω
J+6)n”)m■をシよユレートするように決めれば
良く〔但し、ωa=(Kz/Mg)”” (=Cz/
2(Mz”Kz)””)、ω,= (R4 /Rl
本R!*Rs*(,*C,)l/xζ”” Rz/ 2
’k (R6*cl,/ R +*Rff*Rs*C
3)””となるように定数を選べば良い。
数0 4 (S)の後で検出しなければならないのに、
筐体の伝達関数G :I (S)を以てディスクの加速
度とすると、ディスクの伝達関数G 4 (S)のOd
Bからのずれが補償不足を発生させて誤差が生じる。こ
の補償誤差はスピンドル共振に近づくにつれて大きくな
り、スピンドル共振点において最大値をとることになる
. この誤差をキャンセルするため、この実施例ではmをボ
ジショナの質量、Bj!をボジショナの力定数として、
下式、 Hf = 1/B l−m−G4(S) ・・・
■となるフィードバックゲインを加速度センサの検出値
に持たせることにより、上述の誤差を理論的に完全にキ
ャンセルするようにしたのである。このフィードバック
ゲインを持たせるものが第2図の補償回路29であり、
この補償回路29としてはディスクの振動特性を示す伝
達関数G 4 (s)と全く同一の特性を持つローバス
フィルタG 4 (S)’ をシミエレータとしてフィ
ードバックルーブに入れることにより実現される。そし
て、このローバスフィルタG 4 (S)’ により、
ディスクの振動特性を示す伝達関数G 4 (S)の影
響が全てキャンセルされる.具体的にはこの伝達関数G
4 (S)’ は、M2をスピンドル・ディスクの質
量、C2をスピンドル・ディスクのダンピング、K!を
スピンドル・ディスクの剛性(軸受またはシャフト剛性
)として下式、G a −xi(s)/ x+(s)
= (Cz +Kz) / (ToS” +CS 十K
g) −■で与えられる. 第4図はこのローバスフィルタc .(s)’ の構成
の一例を示す回路図である。ローパスフィルタc a
(s)’は一般の二次フィルタと異なり、特殊な伝達関
数のため、積分フィードバックを含む形の演算増幅器O
P,〜OP,と抵抗R1〜R,及びコンデンサCI〜C
3により構威される。ここで、抵抗R,〜Rh及びコン
デンサ01〜C3の定数は、式■の無次元化した形の下
式、 G4 x(2( ωJ+ωa” )/(S”+2( ω
J+6)n”)m■をシよユレートするように決めれば
良く〔但し、ωa=(Kz/Mg)”” (=Cz/
2(Mz”Kz)””)、ω,= (R4 /Rl
本R!*Rs*(,*C,)l/xζ”” Rz/ 2
’k (R6*cl,/ R +*Rff*Rs*C
3)””となるように定数を選べば良い。
なお、このようにローバスフィルタG 4 (S)’
によるシミュレータは理論的には完全であるが、実用の
上では温度変化やばらつき等により機械的な振動特性が
第5図に示すようにばらつき易い.即ち、ローバスフィ
ルタG 4 (S)’ の特性を実線のように設定して
おいても、破線のようにずれてしまうことがある.一般
に、スピンドルのダンピング定数ζはかなり小さく、こ
れに設定したローパスフィルタを用いた場合、ω.が何
れかにずれると、制御効果に大きな影響を受けてしまう
.即ち、スピンドル共振を完全にキャンセルしようとす
ると、前述のようにパラメータの変化で大きな影響が生
じてしまう。そこで、スピンドル共振を完全にキャンセ
ルするのではなく、第6図に示すように、ダンピング定
数ζの大きなローパスフィルタを使用し、ピークそのも
のの補償はせずに、ピークの裾の部分をキャンセルする
ようにローバスフィルタc .(s)’ の設定を行い
、第6図に破線イ、ロで示すように機械的特性が温度等
により変化しても両方のピークの裾部分の補償を行える
ようにする。
によるシミュレータは理論的には完全であるが、実用の
上では温度変化やばらつき等により機械的な振動特性が
第5図に示すようにばらつき易い.即ち、ローバスフィ
ルタG 4 (S)’ の特性を実線のように設定して
おいても、破線のようにずれてしまうことがある.一般
に、スピンドルのダンピング定数ζはかなり小さく、こ
れに設定したローパスフィルタを用いた場合、ω.が何
れかにずれると、制御効果に大きな影響を受けてしまう
.即ち、スピンドル共振を完全にキャンセルしようとす
ると、前述のようにパラメータの変化で大きな影響が生
じてしまう。そこで、スピンドル共振を完全にキャンセ
ルするのではなく、第6図に示すように、ダンピング定
数ζの大きなローパスフィルタを使用し、ピークそのも
のの補償はせずに、ピークの裾の部分をキャンセルする
ようにローバスフィルタc .(s)’ の設定を行い
、第6図に破線イ、ロで示すように機械的特性が温度等
により変化しても両方のピークの裾部分の補償を行える
ようにする。
第7図はこのようにダンピング定数ζを大きく設定した
場合にローバスフィルタc a (s)’ の効果を従
来の磁気ディスク装置の特性と比較して示すものである
。この図における破線は前述のフィードフォーワード制
御を行わない時の特性であり、実線が従来のフィードフ
ォーワード制御を行った時の特性であり、一点鎖線がダ
ンピング定数ζを大きくした本発明のフィードフォーワ
ード制御を行った時の特性である。この図から分かるよ
うに、本発明のフィードフォーワード制御を実行すると
、低域の150112付近における通常補償では30d
B弱程度であった効果が60dB以上とれているウモし
て、8(10Hz付近のスピンドル共振点においては、
若干効果は減少しているが、従来に比べて大幅に改善さ
れていることがわかる。このように、ローパスフィルタ
G 4 (S)’ のダンピング定数ζを大きくするこ
とにより、振動パラメータの変化に対してもロバストな
制御系を実現することができた.〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明の磁気ディスク装置によれ
ば、低周波において従来以上の位置決め精度が確保され
、ディスクと筐体が異なった動きをする高い周波数にお
いても、ヘッドの位置決めの補償を有効に行うことがで
きるという効果がある。
場合にローバスフィルタc a (s)’ の効果を従
来の磁気ディスク装置の特性と比較して示すものである
。この図における破線は前述のフィードフォーワード制
御を行わない時の特性であり、実線が従来のフィードフ
ォーワード制御を行った時の特性であり、一点鎖線がダ
ンピング定数ζを大きくした本発明のフィードフォーワ
ード制御を行った時の特性である。この図から分かるよ
うに、本発明のフィードフォーワード制御を実行すると
、低域の150112付近における通常補償では30d
B弱程度であった効果が60dB以上とれているウモし
て、8(10Hz付近のスピンドル共振点においては、
若干効果は減少しているが、従来に比べて大幅に改善さ
れていることがわかる。このように、ローパスフィルタ
G 4 (S)’ のダンピング定数ζを大きくするこ
とにより、振動パラメータの変化に対してもロバストな
制御系を実現することができた.〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明の磁気ディスク装置によれ
ば、低周波において従来以上の位置決め精度が確保され
、ディスクと筐体が異なった動きをする高い周波数にお
いても、ヘッドの位置決めの補償を有効に行うことがで
きるという効果がある。
第1図は本発明の磁気ディスク装置の原理説明図、第2
図は本発明の磁気ディスク装置の一実施例の構或図、第
3図は第2図の装置の伝達関数による信号伝達特性を示
すブロック線図、第3図は第2図のローバスフィルタの
一例の回路構威図、第4図(A)は第2図の振動追従制
御部の構或例を示す回路ず、第4図(B)は第2図の補
償回路の一例を示す回路図、第5図はローバスフィルタ
の温度変化を示す特性図、第6図はダンピング定数の大
きなローバスフィルタの特性図、第7図はダンピング定
数を大きく設定した本発明のローパスフィルタの効果を
従来の磁気ディスク装置の特性と比較して示す図、第8
図は第2図の振動追従制御部に使用するローバスフィル
タの特性線図、第9図(^), (B)は従来の磁気デ
ィスク装置の構成及び制御特性を示す説明図である。 1・・・磁気ディスクユニット、2・・・速度制御部、
3・・・位置決め制御部、4・・・Il 御部、6・・
・加速度センサ、8・・・合成部、10・・・磁気ディ
スク、11・・・回転軸、12・・・スピンドルモータ
、13・・・ift気ヘッド、14・・・ボイスコイル
モー夕、16・・・筐体(ハウジング)、21・・・ロ
ーバスフィルタ、29・・・補償手段(回路)、50・
・・パワーアンプ。 本発明の原理説明図 第1 図 (A)第2図の振動追従制msの構成例79 嘉 4 図 スピンドル共振点 周波数(}−1z) 第 5 図 第 6 図 周波数(Hz) 第 7 図 (B) 口−パスフィルタの特性図 従来技術の説明図
図は本発明の磁気ディスク装置の一実施例の構或図、第
3図は第2図の装置の伝達関数による信号伝達特性を示
すブロック線図、第3図は第2図のローバスフィルタの
一例の回路構威図、第4図(A)は第2図の振動追従制
御部の構或例を示す回路ず、第4図(B)は第2図の補
償回路の一例を示す回路図、第5図はローバスフィルタ
の温度変化を示す特性図、第6図はダンピング定数の大
きなローバスフィルタの特性図、第7図はダンピング定
数を大きく設定した本発明のローパスフィルタの効果を
従来の磁気ディスク装置の特性と比較して示す図、第8
図は第2図の振動追従制御部に使用するローバスフィル
タの特性線図、第9図(^), (B)は従来の磁気デ
ィスク装置の構成及び制御特性を示す説明図である。 1・・・磁気ディスクユニット、2・・・速度制御部、
3・・・位置決め制御部、4・・・Il 御部、6・・
・加速度センサ、8・・・合成部、10・・・磁気ディ
スク、11・・・回転軸、12・・・スピンドルモータ
、13・・・ift気ヘッド、14・・・ボイスコイル
モー夕、16・・・筐体(ハウジング)、21・・・ロ
ーバスフィルタ、29・・・補償手段(回路)、50・
・・パワーアンプ。 本発明の原理説明図 第1 図 (A)第2図の振動追従制msの構成例79 嘉 4 図 スピンドル共振点 周波数(}−1z) 第 5 図 第 6 図 周波数(Hz) 第 7 図 (B) 口−パスフィルタの特性図 従来技術の説明図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、複数の磁気ディスク(10)を取り付けた状態で回
転するスピンドル(12)と、制御ヘッドを含み、前記
各ディスク(10)とデータの遣り取りを行う複数の磁
気ヘッド(13)と、このヘッド(13)をアクセスさ
せるモータ(14)と、これらを収容する筐体(16)
と、この筐体(16)に取り付けられた加速度検出手段
(6)とを備え、前記ヘッド(13)の位置決め信号(
ΔP)を前記制御ヘッドからの位置信号により位置決め
制御部(3)が発生し、前記センサ(6)の出力信号に
比例した補償信号(ΔS)を振動追従制御部(7)が発
生し、合成部(8)において両信号(ΔP)(ΔS)を
合成して、加速度フィードフォーワード制御を行う磁気
ディスク装置において、 前記加速度検出手段(6)の出力信号部と前記合成部(
8)との間に、筐体(16)−ディスク(10)間の機
械的伝達関数を補償する補償手段(29)を設けたこと
を特徴とする磁気ディスク装置。 2、前記補償手段(29)が、スピンドル機械共振のダ
ンピングよりも大きいダンピングを有するローパスフィ
ルタであることを特徴とする請求項1に記載の磁気ディ
スク装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23729089A JPH03102683A (ja) | 1989-09-14 | 1989-09-14 | 磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23729089A JPH03102683A (ja) | 1989-09-14 | 1989-09-14 | 磁気ディスク装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03102683A true JPH03102683A (ja) | 1991-04-30 |
Family
ID=17013184
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23729089A Pending JPH03102683A (ja) | 1989-09-14 | 1989-09-14 | 磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03102683A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11118591A (ja) * | 1997-10-08 | 1999-04-30 | Fujitsu Ltd | ディスク装置の筐体の振動解析方法及び解析装置 |
US6934116B2 (en) | 2002-03-13 | 2005-08-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and apparatus for head positioning control in a disk drive |
US7385779B2 (en) | 2006-05-09 | 2008-06-10 | Fujitsu Limited | Disk device with bi-directional communication function |
JP2009147300A (ja) * | 2007-10-02 | 2009-07-02 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
-
1989
- 1989-09-14 JP JP23729089A patent/JPH03102683A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11118591A (ja) * | 1997-10-08 | 1999-04-30 | Fujitsu Ltd | ディスク装置の筐体の振動解析方法及び解析装置 |
US6934116B2 (en) | 2002-03-13 | 2005-08-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and apparatus for head positioning control in a disk drive |
US7385779B2 (en) | 2006-05-09 | 2008-06-10 | Fujitsu Limited | Disk device with bi-directional communication function |
JP2009147300A (ja) * | 2007-10-02 | 2009-07-02 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
US8994919B2 (en) | 2007-10-02 | 2015-03-31 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
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