JPH0281041U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0281041U JPH0281041U JP16161488U JP16161488U JPH0281041U JP H0281041 U JPH0281041 U JP H0281041U JP 16161488 U JP16161488 U JP 16161488U JP 16161488 U JP16161488 U JP 16161488U JP H0281041 U JPH0281041 U JP H0281041U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- suction
- suction nozzle
- back surface
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案に係るハンドリング治具の実施
例を示す断面図、第２図は吸着ノズルの動作状態
を示す断面図である。第３図乃至第５図は従来の
治具を示す図面で、第３図は金属製ピンセツトの
側面図、第４図はベルヌーイチヤツクの断面図、
第５図は吸着ピンの部分断面側面図である。 ３……ウエーハ、３ｂ……裏面、４……周縁部
、６……ベルヌーイチヤツク、１１……先端開口
部、２２……開口端、２３……吸着ノズル。
例を示す断面図、第２図は吸着ノズルの動作状態
を示す断面図である。第３図乃至第５図は従来の
治具を示す図面で、第３図は金属製ピンセツトの
側面図、第４図はベルヌーイチヤツクの断面図、
第５図は吸着ピンの部分断面側面図である。 ３……ウエーハ、３ｂ……裏面、４……周縁部
、６……ベルヌーイチヤツク、１１……先端開口
部、２２……開口端、２３……吸着ノズル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 移動可能に設置され、かつ、先端開口部にウエ
ーハを非接触状態で保持可能なベルヌーイチヤツ
クと、 ベルヌーイチヤツクの開口端に回動退避可能に
、かつ、ウエーハの周縁部裏面を吸着可能にする
ために枢着した吸着ノズルとを具備することを特
徴とするウエーハのハンドリング治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16161488U JPH0281041U (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16161488U JPH0281041U (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0281041U true JPH0281041U (ja) | 1990-06-22 |
Family
ID=31444712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16161488U Pending JPH0281041U (ja) | 1988-12-12 | 1988-12-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0281041U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017062490A (ja) * | 2011-12-29 | 2017-03-30 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
-
1988
- 1988-12-12 JP JP16161488U patent/JPH0281041U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017062490A (ja) * | 2011-12-29 | 2017-03-30 | 株式会社ニコン | 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |