JPH0253388B2 - - Google Patents
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- JPH0253388B2 JPH0253388B2 JP62142399A JP14239987A JPH0253388B2 JP H0253388 B2 JPH0253388 B2 JP H0253388B2 JP 62142399 A JP62142399 A JP 62142399A JP 14239987 A JP14239987 A JP 14239987A JP H0253388 B2 JPH0253388 B2 JP H0253388B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/56—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
炭化ケイ素、すなわち金属ケイ素と非金属炭素
との結晶性化合物は、その硬さ、強さ、および酸
化と腐食とに対する抵抗性について長い間知られ
てきている。炭化ケイ素は、低い膨張係数、すぐ
れた熱伝導性をもち、高温において高い強さを保
持する。最近において、炭化ケイ素粉体から高密
度の炭化ケイ素物体を製造する技術が開発され
た。このような技術には反応結合、化学蒸気析
出、加熱圧縮および無加圧焼結（初め物品を成形
し、次いで焼結する）が含まれる。これらの技術
の例は、米国特許3853566、3852099、3954483お
よび3960577に記載されている。このようにして
製造された高密度の炭化ケイ素物体は、きわめて
すぐれた工業材料であり、タービン、熱交換単
位、ポンプならびに、か酷な摩耗および／または
高温条件下の運転にさらされる他の装置や工具の
成分の製作に利用される。本発明は、高密度の炭
化ケイ素物体を加熱圧縮または焼結により製造す
る種々の方法における使用に適する炭化ケイ素粉
末混合物、およびそれから製造されたセラミツク
物品に関する。
との結晶性化合物は、その硬さ、強さ、および酸
化と腐食とに対する抵抗性について長い間知られ
てきている。炭化ケイ素は、低い膨張係数、すぐ
れた熱伝導性をもち、高温において高い強さを保
持する。最近において、炭化ケイ素粉体から高密
度の炭化ケイ素物体を製造する技術が開発され
た。このような技術には反応結合、化学蒸気析
出、加熱圧縮および無加圧焼結（初め物品を成形
し、次いで焼結する）が含まれる。これらの技術
の例は、米国特許3853566、3852099、3954483お
よび3960577に記載されている。このようにして
製造された高密度の炭化ケイ素物体は、きわめて
すぐれた工業材料であり、タービン、熱交換単
位、ポンプならびに、か酷な摩耗および／または
高温条件下の運転にさらされる他の装置や工具の
成分の製作に利用される。本発明は、高密度の炭
化ケイ素物体を加熱圧縮または焼結により製造す
る種々の方法における使用に適する炭化ケイ素粉
末混合物、およびそれから製造されたセラミツク
物品に関する。
高密度および高強度の炭化ケイ素セラミツク材
料を得るため、種々の添加剤が利用されてきた。
たとえば、高密化助材としてアルミニウムと鉄の
添加により炭化ケイ素を理論密度の98％程度の密
度に加熱圧縮する方法は、Alliegro、et al、J.
Ceram.、Soc.、Vol.39、No.11、Nov.、1965、
386〜389ページに開示されている。彼らは１重量
％のアルミニウムを含有する粉末から密な炭化ケ
イ素を製造できることを発見した。それらの製品
は室温において54000psi3797Kg／cm2）、1371℃に
おいて70000psi（4922Kg／cm2）の破壊係数を有し
た。最近の進歩は、高密化剤としてホウ素を通常
粉末の約0.33〜約3.0重量％の範囲で使用するこ
とである。ホウ素添加剤は、元素なホウ素または
ホウ素含有化合物、たとえば炭化ホウ素の形であ
ることができる。ホウ素含有炭化ケイ素粉末の例
は、米国特許3852099、3954483および39681944に
記載されている。
料を得るため、種々の添加剤が利用されてきた。
たとえば、高密化助材としてアルミニウムと鉄の
添加により炭化ケイ素を理論密度の98％程度の密
度に加熱圧縮する方法は、Alliegro、et al、J.
Ceram.、Soc.、Vol.39、No.11、Nov.、1965、
386〜389ページに開示されている。彼らは１重量
％のアルミニウムを含有する粉末から密な炭化ケ
イ素を製造できることを発見した。それらの製品
は室温において54000psi3797Kg／cm2）、1371℃に
おいて70000psi（4922Kg／cm2）の破壊係数を有し
た。最近の進歩は、高密化剤としてホウ素を通常
粉末の約0.33〜約3.0重量％の範囲で使用するこ
とである。ホウ素添加剤は、元素なホウ素または
ホウ素含有化合物、たとえば炭化ホウ素の形であ
ることができる。ホウ素含有炭化ケイ素粉末の例
は、米国特許3852099、3954483および39681944に
記載されている。
さて、本発明によれば、焼結された炭化ケイ素
料の製造における高密化助剤としてベリリウムを
使用できることがわかつた。粉末の約0.03〜約
3.0重量％の範囲のベリリウムとホウ素は主とし
て有用であることがわかり、さらにとくに粉末の
約0.1〜約1.0重量％は炭化ケイ素粉末成形体の高
密化の促進に適することがわかつた。
料の製造における高密化助剤としてベリリウムを
使用できることがわかつた。粉末の約0.03〜約
3.0重量％の範囲のベリリウムとホウ素は主とし
て有用であることがわかり、さらにとくに粉末の
約0.1〜約1.0重量％は炭化ケイ素粉末成形体の高
密化の促進に適することがわかつた。
約0.5〜約5.0重量％の過剰炭素を含有する出発
炭化ケイ素粉末は、微細なベリリウムまたはベリ
リウム含有化合物と混合する。好ましくは、両方
の成分の粘度は５ミクロンより小、さらに好まし
くは２ミクロンより小である。これらの成分が約
1.0ミクロンより小さいとき、きわめてすぐれた
分布が得られる。高密化を得るためには、ベリリ
ウムまたはベリリウム含有添加剤とホウ素または
ホウ素含有化合物とは、粉末の約0.03〜約3.0重
量％がベリリウムとホウ素であるような量で利用
すべきである。約0.03重量％より少ない量の使用
は、焼結製品の密度を実質的に増加させないこと
がわかつた。約3.0重量％より多い量のベリリウ
ムの添加は追加の高密化をほとんど与えず、過度
の粒子生長に導びきかつ焼結製品の強さを低下さ
せる。
炭化ケイ素粉末は、微細なベリリウムまたはベリ
リウム含有化合物と混合する。好ましくは、両方
の成分の粘度は５ミクロンより小、さらに好まし
くは２ミクロンより小である。これらの成分が約
1.0ミクロンより小さいとき、きわめてすぐれた
分布が得られる。高密化を得るためには、ベリリ
ウムまたはベリリウム含有添加剤とホウ素または
ホウ素含有化合物とは、粉末の約0.03〜約3.0重
量％がベリリウムとホウ素であるような量で利用
すべきである。約0.03重量％より少ない量の使用
は、焼結製品の密度を実質的に増加させないこと
がわかつた。約3.0重量％より多い量のベリリウ
ムの添加は追加の高密化をほとんど与えず、過度
の粒子生長に導びきかつ焼結製品の強さを低下さ
せる。
理論密度の少なくとも75％のかさ密度はほとん
どの応用に要求され、理論密度の少なくとも85％
のかさ密度はしばしば要求される。理論密度の85
％の密度はもつ加熱圧縮または焼結製品は、本発
明によつて得られる。
どの応用に要求され、理論密度の少なくとも85％
のかさ密度はしばしば要求される。理論密度の85
％の密度はもつ加熱圧縮または焼結製品は、本発
明によつて得られる。
炭化ケイ素源材料は、表面積が8.0m2／ｇより
大きく、約0.5〜約5.0重量％の過剰炭素を含有す
るサブミクロンの粉末であることが好ましい。一
般に表面積が約５〜約50m2／ｇの粉末組成物は、
主として有用であることがわかつた。過剰炭素
は、たとえば、製造過程中、炭素または炭素質材
料の引き続く添加により、または焼結前の結合剤
として、導入できる。
大きく、約0.5〜約5.0重量％の過剰炭素を含有す
るサブミクロンの粉末であることが好ましい。一
般に表面積が約５〜約50m2／ｇの粉末組成物は、
主として有用であることがわかつた。過剰炭素
は、たとえば、製造過程中、炭素または炭素質材
料の引き続く添加により、または焼結前の結合剤
として、導入できる。
有用であることがわかつたベリリウムまたはベ
リリウム含有添加剤の出発物質は、一般に50ミク
ロンより小、好ましくは10ミクロンより小さい粒
度をもつ。５ミクロンより小さい粒度は主として
有用であり、そしてベリリウムまたはベリリウム
含有添加剤と炭化ケイ素粉末とを容易に分布させ
て焼結に有用な均質混合物を得るためには、約
1.0ミクロンより小さい粒度は非常に有用である。
リリウム含有添加剤の出発物質は、一般に50ミク
ロンより小、好ましくは10ミクロンより小さい粒
度をもつ。５ミクロンより小さい粒度は主として
有用であり、そしてベリリウムまたはベリリウム
含有添加剤と炭化ケイ素粉末とを容易に分布させ
て焼結に有用な均質混合物を得るためには、約
1.0ミクロンより小さい粒度は非常に有用である。
他の添加剤は利用できるが、焼結中の高密化の
促進には不必要である。好ましくは、焼結は不活
性雰囲気中で実施し、アルゴンまたはヘリウムは
不活性雰囲気として適切である。還元性雰囲気も
利用できる。
促進には不必要である。好ましくは、焼結は不活
性雰囲気中で実施し、アルゴンまたはヘリウムは
不活性雰囲気として適切である。還元性雰囲気も
利用できる。
本発明の粉末組成物は、加熱圧縮または無加圧
焼結に利用できる。たとえば、加熱圧縮におい
て、約0.5〜約5.0重量％の過剰炭素を含有する炭
化ケイ素粉末をベリリウムまたはベリリウム含有
添加剤およびホウ素またはホウ素含有化合物と混
合して、合計約0.03〜約3.0重量％のベリリウム
とホウ素が存在する均質な混合物を形成する。こ
の混合物を加熱圧縮型に入れ、1000〜10000psi
（70.3〜703.1Kg／cm2）の圧力下に約1900〜約2200
℃の温度に十分な時間加熱して、理論密度の75％
より大きい密度をもつ炭化ケイ素製品を得る。さ
らに特定的には、表面積が約11m2／ｇであり約
2.0重量％の過剰炭素を含有する炭化ケイ素粉末
をBe2Cおよび炭化ホウ素として加えた約0.1〜約
1.0重量％のベリリウムおよびホウ素と混合し、
この混合物をグラフアイトの圧縮型に入れ、約
2000℃および約5000psi（352Kg／cm2）の圧力にお
いて加熱圧縮できる。このようにして形成した炭
化ケイ素製品は、典型的には理論密度の85％より
大きい密度をもち、形成したままで使用でき、あ
るいは機械加工して複雑な形状の物品にすること
ができる。
焼結に利用できる。たとえば、加熱圧縮におい
て、約0.5〜約5.0重量％の過剰炭素を含有する炭
化ケイ素粉末をベリリウムまたはベリリウム含有
添加剤およびホウ素またはホウ素含有化合物と混
合して、合計約0.03〜約3.0重量％のベリリウム
とホウ素が存在する均質な混合物を形成する。こ
の混合物を加熱圧縮型に入れ、1000〜10000psi
（70.3〜703.1Kg／cm2）の圧力下に約1900〜約2200
℃の温度に十分な時間加熱して、理論密度の75％
より大きい密度をもつ炭化ケイ素製品を得る。さ
らに特定的には、表面積が約11m2／ｇであり約
2.0重量％の過剰炭素を含有する炭化ケイ素粉末
をBe2Cおよび炭化ホウ素として加えた約0.1〜約
1.0重量％のベリリウムおよびホウ素と混合し、
この混合物をグラフアイトの圧縮型に入れ、約
2000℃および約5000psi（352Kg／cm2）の圧力にお
いて加熱圧縮できる。このようにして形成した炭
化ケイ素製品は、典型的には理論密度の85％より
大きい密度をもち、形成したままで使用でき、あ
るいは機械加工して複雑な形状の物品にすること
ができる。
無加圧焼結において、約0.5〜約5.0重量％の過
剰炭素を含有する炭化ケイ素粉末をベリリウムま
たはベリリウム含有添加剤およびホウ素またはホ
ウ素含有化合物と混合して、約0.03〜約3.0重量
％のベリリウムとホウ素が存在する均質混合物を
形成する。次いで、この均質混合物を生製品に成
形する。粒子の流動と結合を増加させる適当な添
加剤を、出発混合物に混入できる。この生製品を
引き続いて不活性雰囲気中または還元性雰囲気中
で約1950〜約2300℃において十分な時間焼結し
て、理論密度の75％より大きい密度をもつ炭化ケ
イ素製品を得る。さらに特定的には、表面積がほ
ぼ11m2／ｇであり、約2.0重量％の過剰炭素を含
有する炭化ケイ素粉末を、適当にはBe2Cとして
または元素状のあるいは炭化ホウ素としてまたは
元素状の約0.03〜約1.0重量％のベリリウムおよ
びホウ素と混合できる。生じた混合物を圧縮し
て、約1.766ｇ／cm2の密度にすることができる。
結合剤を使用して、粉末の流動性を増加でき、あ
るいは圧縮製品の生強度を増加できる。次いで、
圧縮粉末成形体を、好ましくは不活性雰囲気中
で、約2100℃において約30分間焼結する。冷却
後、焼結粉末は典型的には理論密度の85％より大
きい密度をもつ。
剰炭素を含有する炭化ケイ素粉末をベリリウムま
たはベリリウム含有添加剤およびホウ素またはホ
ウ素含有化合物と混合して、約0.03〜約3.0重量
％のベリリウムとホウ素が存在する均質混合物を
形成する。次いで、この均質混合物を生製品に成
形する。粒子の流動と結合を増加させる適当な添
加剤を、出発混合物に混入できる。この生製品を
引き続いて不活性雰囲気中または還元性雰囲気中
で約1950〜約2300℃において十分な時間焼結し
て、理論密度の75％より大きい密度をもつ炭化ケ
イ素製品を得る。さらに特定的には、表面積がほ
ぼ11m2／ｇであり、約2.0重量％の過剰炭素を含
有する炭化ケイ素粉末を、適当にはBe2Cとして
または元素状のあるいは炭化ホウ素としてまたは
元素状の約0.03〜約1.0重量％のベリリウムおよ
びホウ素と混合できる。生じた混合物を圧縮し
て、約1.766ｇ／cm2の密度にすることができる。
結合剤を使用して、粉末の流動性を増加でき、あ
るいは圧縮製品の生強度を増加できる。次いで、
圧縮粉末成形体を、好ましくは不活性雰囲気中
で、約2100℃において約30分間焼結する。冷却
後、焼結粉末は典型的には理論密度の85％より大
きい密度をもつ。
次の実施例により、本発明を説明する。
実施例 １
添加剤混合物
次の仕様をもつ炭化ケイ素粉末を、出発材料と
して使用した。炭化ケイ素粉末は8.0m2／ｇより
大きい表面積と次の重量％で表わした分析値を有
した： 酸 素 0.8より小 鉄 0.2 〃 アルミニウム 0.4 〃 ニツケル 0.1 〃 チタン 0.1 〃 タングステン 0.5 〃 遊離ケイ素 0.4 〃 炭化ケイ素 97.5より大 97.5ｇの前記粉末を4.8ｇのフエノール樹脂
（Resin No.8121と知られている、Varcum
Chemical Company製品）と混合して、フエー
ノル樹脂として加えたほぼ２重量％の過剰炭素を
含有する典型的な炭化ケイ素粉末を、30ｇの粉末
バツチに0.1重量％のホウ素を提供するに十分な
炭化ホウ素と0.1重量％のベリリウムを提供する
に十分な炭化ベリリウムと混合した。炭化ホウ素
と炭化ベリリウム粉末は、粒度が10ミクロンより
小さかつた。ポリビニルアルコールと可塑剤とを
含有する結合剤５％を混合物に加えて、圧縮粉末
成形体の生強度を増加するようにした。この混合
物の調製は閉じた環境内で実施した。粉末中の添
加剤のすぐれた分散を確保するため、湿式混合技
術を用いた。この混合物を80容量％のメチルアル
コールと20容量％の水との混合物中のスラリーと
した。よく混合したのち、このスラリーを蒸発乾
固して粉末混合物を得た。
して使用した。炭化ケイ素粉末は8.0m2／ｇより
大きい表面積と次の重量％で表わした分析値を有
した： 酸 素 0.8より小 鉄 0.2 〃 アルミニウム 0.4 〃 ニツケル 0.1 〃 チタン 0.1 〃 タングステン 0.5 〃 遊離ケイ素 0.4 〃 炭化ケイ素 97.5より大 97.5ｇの前記粉末を4.8ｇのフエノール樹脂
（Resin No.8121と知られている、Varcum
Chemical Company製品）と混合して、フエー
ノル樹脂として加えたほぼ２重量％の過剰炭素を
含有する典型的な炭化ケイ素粉末を、30ｇの粉末
バツチに0.1重量％のホウ素を提供するに十分な
炭化ホウ素と0.1重量％のベリリウムを提供する
に十分な炭化ベリリウムと混合した。炭化ホウ素
と炭化ベリリウム粉末は、粒度が10ミクロンより
小さかつた。ポリビニルアルコールと可塑剤とを
含有する結合剤５％を混合物に加えて、圧縮粉末
成形体の生強度を増加するようにした。この混合
物の調製は閉じた環境内で実施した。粉末中の添
加剤のすぐれた分散を確保するため、湿式混合技
術を用いた。この混合物を80容量％のメチルアル
コールと20容量％の水との混合物中のスラリーと
した。よく混合したのち、このスラリーを蒸発乾
固して粉末混合物を得た。
粉末を約16000psi（1125Kg／cm2）の圧力で圧縮
して、直径0.5インチ（1.27cm）、重さほぼ0.75ｇ
のペレツトにした。これらのペレツトをそれらと
同じ粉末混合物から作つた小型のるつぼに入れ、
るつぼを閉じ、ペレツトとるつぼをほぼ2150℃の
温度で約30分間不活性雰囲気中で焼成した。初め
焼結前の密度が1.71ｇ／cm3（理論密度の53％）で
あつた、焼結されたペレツトは2.9ｇ／cm3（理論
密度の93％）の密度をもつことがわかつた。
して、直径0.5インチ（1.27cm）、重さほぼ0.75ｇ
のペレツトにした。これらのペレツトをそれらと
同じ粉末混合物から作つた小型のるつぼに入れ、
るつぼを閉じ、ペレツトとるつぼをほぼ2150℃の
温度で約30分間不活性雰囲気中で焼成した。初め
焼結前の密度が1.71ｇ／cm3（理論密度の53％）で
あつた、焼結されたペレツトは2.9ｇ／cm3（理論
密度の93％）の密度をもつことがわかつた。
実施例 ２
添加剤混合物
実施例１の操作を用い、粉末混合物に0.33重量
％のBeを提供するに十分な炭化ベリリウムを加
え、一方他のすべての成分は前述と同じように維
持した。直径0.5インチ（1.27cm）、重さほぼ0.75
ｇのペレツトをこの混合物から圧縮し、ペレツト
と同じ組成をもつ粉末から形成したるつぼに入れ
てふたをした。ペレツトとるつぼをほぼ2150℃の
濃度で不活性雰囲気中で約30分間焼結した。焼結
前、圧縮粉末成形体の平均密度は1.70ｇ／cm3（理
論密度の53％）であつたが、2150℃における焼結
後粉末成形体の平均密度は3.02ｇ／cm3（理論密度
の94.1％）であつた。
％のBeを提供するに十分な炭化ベリリウムを加
え、一方他のすべての成分は前述と同じように維
持した。直径0.5インチ（1.27cm）、重さほぼ0.75
ｇのペレツトをこの混合物から圧縮し、ペレツト
と同じ組成をもつ粉末から形成したるつぼに入れ
てふたをした。ペレツトとるつぼをほぼ2150℃の
濃度で不活性雰囲気中で約30分間焼結した。焼結
前、圧縮粉末成形体の平均密度は1.70ｇ／cm3（理
論密度の53％）であつたが、2150℃における焼結
後粉末成形体の平均密度は3.02ｇ／cm3（理論密度
の94.1％）であつた。
実施例 ３
添加剤混合物
実施例１の操作を用い、ほぼ２重量％の過剰炭
素を含有する炭化ケイ素粉末に十分な炭化ホウ素
を加えて、粉末混合物に0.2重量％のホウ素を提
供した。添加において、十分な量の炭化ベリリウ
ムを加えて粉末混合物中のベリリウムを0.03重量
％とした。この混合物は0.08ｇのマイナス325メ
ツシユの炭化ホウ素、0.02ｇのマイナス325メツ
シユの炭化ベリリウムおよび29.90ｇの実施例１
記載の特性を有する炭化ケイ素からなり、フエノ
ール樹脂の形で加えられた２重量％の過剰炭素を
含有し、そしてこの混合物をポリビニルアルコー
ルと可塑剤とを含有する結合剤系５重量％といつ
しよに湿式混合した。乾燥後、粉末を16000psi
（1125Kg／cm2）において圧縮して、直径約0.5イン
チ（1.27cm）、重さ約0.75ｇのペレツトにした。
このようにして作つた試料をペレツトと同じ組成
のるつぼへ入れ、このるつぼにふたをし、そして
るつぼと試料を約2150℃において不活性雰囲気中
で約30分間焼結した。試料は、初め約1.72ｇ／cm3
（理論密度の54％）の密度を有し、焼結後ほぼ
3.15ｇ／cm2（理論密度の98％）のかさ密度を有し
た。
素を含有する炭化ケイ素粉末に十分な炭化ホウ素
を加えて、粉末混合物に0.2重量％のホウ素を提
供した。添加において、十分な量の炭化ベリリウ
ムを加えて粉末混合物中のベリリウムを0.03重量
％とした。この混合物は0.08ｇのマイナス325メ
ツシユの炭化ホウ素、0.02ｇのマイナス325メツ
シユの炭化ベリリウムおよび29.90ｇの実施例１
記載の特性を有する炭化ケイ素からなり、フエノ
ール樹脂の形で加えられた２重量％の過剰炭素を
含有し、そしてこの混合物をポリビニルアルコー
ルと可塑剤とを含有する結合剤系５重量％といつ
しよに湿式混合した。乾燥後、粉末を16000psi
（1125Kg／cm2）において圧縮して、直径約0.5イン
チ（1.27cm）、重さ約0.75ｇのペレツトにした。
このようにして作つた試料をペレツトと同じ組成
のるつぼへ入れ、このるつぼにふたをし、そして
るつぼと試料を約2150℃において不活性雰囲気中
で約30分間焼結した。試料は、初め約1.72ｇ／cm3
（理論密度の54％）の密度を有し、焼結後ほぼ
3.15ｇ／cm2（理論密度の98％）のかさ密度を有し
た。
比較例 １
対 照
実施例１に記載するような特性をもち、フエノ
ール樹脂（Varcum Chemical Company No.
8121）の形で加えたほぼ２重量％の過剰炭素を含
有する50ｇの炭化ケイ素粉末を、炭化ホウ素と炭
化ベリリウムを添加しない以外は実施例１の操作
に従つて、調製し、焼結した。製造した粉末成形
体は、約2.25ｇ／cm3（理論密度の70％）より少な
いかさ密度を有することがわかつた。
ール樹脂（Varcum Chemical Company No.
8121）の形で加えたほぼ２重量％の過剰炭素を含
有する50ｇの炭化ケイ素粉末を、炭化ホウ素と炭
化ベリリウムを添加しない以外は実施例１の操作
に従つて、調製し、焼結した。製造した粉末成形
体は、約2.25ｇ／cm3（理論密度の70％）より少な
いかさ密度を有することがわかつた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 炭化ケイ素、0.5〜5.0重量％の過剰炭素およ
び0.03〜3.0重量％のベリリウムとホウ素との混
合物を含有してなり、該ベリリウムとホウ素は元
素状ベリリウム、ベリリウム含有化合物、元素状
ホウ素、ホウ素含有化合物またはそれらの混合物
の群から選ばれることを特徴とする炭化ケイ素焼
結体製造用原料粉末混合物。 ２ 0.03〜3.0重量％のベリリウムとホウ素との
混合物；0.5〜5.0重量％の過剰炭素；および不純
物として2.0重量％より少ない他の元素を含有す
る残部量の炭化ケイ素からなることを特徴とする
理論密度の85％より大きいかさ密度を有する焼結
セラミツク製品。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US74503576A | 1976-11-26 | 1976-11-26 | |
| US745035 | 1996-11-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6325274A JPS6325274A (ja) | 1988-02-02 |
| JPH0253388B2 true JPH0253388B2 (ja) | 1990-11-16 |
Family
ID=24994976
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14009977A Granted JPS5367711A (en) | 1976-11-26 | 1977-11-24 | Silicon carbioe composite powder containing beryllium |
| JP62142399A Granted JPS6325274A (ja) | 1976-11-26 | 1987-06-09 | 炭化ケイ素粉末混合物およびその焼結セラミツク製品 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14009977A Granted JPS5367711A (en) | 1976-11-26 | 1977-11-24 | Silicon carbioe composite powder containing beryllium |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JPS5367711A (ja) |
| BR (1) | BR7707857A (ja) |
| CA (1) | CA1079309A (ja) |
| DE (1) | DE2751851A1 (ja) |
| GB (1) | GB1558254A (ja) |
| SE (1) | SE7713343L (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4144207A (en) * | 1977-12-27 | 1979-03-13 | The Carborundum Company | Composition and process for injection molding ceramic materials |
| CA1122384A (en) * | 1978-08-28 | 1982-04-27 | Richard H. Smoak | Pressureless sintering beryllium containing silicon carbide powder composition |
| JPS6125472Y2 (ja) * | 1979-08-03 | 1986-07-31 | ||
| JPS5987893A (ja) * | 1982-11-12 | 1984-05-21 | 株式会社日立製作所 | 配線基板とその製造方法およびそれを用いた半導体装置 |
| US4874725A (en) * | 1984-04-27 | 1989-10-17 | Nippon Tungsten Co., Ltd. | High-density sintered article of silicon carbid |
| DE3840594A1 (de) * | 1988-02-05 | 1989-08-17 | Hoechst Ag | Verfahrensmethode zur herstellung hochfester und hochdichter, polykristalliner siliziumkarbid-formkoerper mit homogener kohlenstoffverteilung durch kontrollierte diffusion |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52140099A (en) * | 1976-05-17 | 1977-11-22 | Leitner Kajetan | Chuck for use in screw |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3993602A (en) * | 1975-11-17 | 1976-11-23 | General Electric Company | Polycrystalline silicon carbide with increased conductivity |
-
1977
- 1977-10-31 CA CA289,906A patent/CA1079309A/en not_active Expired
- 1977-11-18 GB GB4801477A patent/GB1558254A/en not_active Expired
- 1977-11-19 DE DE19772751851 patent/DE2751851A1/de not_active Withdrawn
- 1977-11-24 JP JP14009977A patent/JPS5367711A/ja active Granted
- 1977-11-25 BR BR7707857A patent/BR7707857A/pt unknown
- 1977-11-25 SE SE7713343A patent/SE7713343L/ unknown
-
1987
- 1987-06-09 JP JP62142399A patent/JPS6325274A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52140099A (en) * | 1976-05-17 | 1977-11-22 | Leitner Kajetan | Chuck for use in screw |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB1558254A (en) | 1979-12-19 |
| CA1079309A (en) | 1980-06-10 |
| JPS6325274A (ja) | 1988-02-02 |
| JPS6253473B2 (ja) | 1987-11-10 |
| JPS5367711A (en) | 1978-06-16 |
| DE2751851A1 (de) | 1978-06-01 |
| SE7713343L (sv) | 1978-05-27 |
| BR7707857A (pt) | 1978-09-05 |
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