JPH0244394B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0244394B2 JPH0244394B2 JP57184619A JP18461982A JPH0244394B2 JP H0244394 B2 JPH0244394 B2 JP H0244394B2 JP 57184619 A JP57184619 A JP 57184619A JP 18461982 A JP18461982 A JP 18461982A JP H0244394 B2 JPH0244394 B2 JP H0244394B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- ultrasonic
- calculation
- image
- waves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
- G01N29/265—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor by moving the sensor relative to a stationary material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
- G01N29/0609—Display arrangements, e.g. colour displays
- G01N29/0618—Display arrangements, e.g. colour displays synchronised with scanning, e.g. in real-time
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/07—Analysing solids by measuring propagation velocity or propagation time of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/10—Number of transducers
- G01N2291/106—Number of transducers one or more transducer arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、超音波を用いて探査対象物の形状等
を検出する超音波検査装置に係り、特に縦波と横
波を利用して対象物の検査を行なう超音波検査装
置に関するものである。
を検出する超音波検査装置に係り、特に縦波と横
波を利用して対象物の検査を行なう超音波検査装
置に関するものである。
２つの探査対象物（例えば、鋼材中の傷）間の
分解能力を表わす方位分解能を向上させる方法と
して、開口合成法（synthetic aperture）が知ら
れている。開口合成法は、多数の位置で超音波を
送受信して、それぞれの位置で得られた受信信号
の位相を一致させる様にして全ての信号を合成
し、探査対象物の情報を得る方法である。
分解能力を表わす方位分解能を向上させる方法と
して、開口合成法（synthetic aperture）が知ら
れている。開口合成法は、多数の位置で超音波を
送受信して、それぞれの位置で得られた受信信号
の位相を一致させる様にして全ての信号を合成
し、探査対象物の情報を得る方法である。
この開口合成法を用いた場合の方位分解能δ
は、送受信範囲（開口）から反射体（探査対象
物）を見込む角度φと使用超音波の波長λとによ
つてδ＝λ／φと表わされる。δが小さいほど方
位分解能が高い。このため、最近では球面状振動
子を用いて焦点を鋼材の表面位置に設定した、す
なわち角度φの大きな探触子が使用されている。
しかしながら、後述する様に超音波の屈折角が大
きくなると、従来法では感度が低下するため、角
度φの大きさに制限があつた。従つて、開口合成
法における方位分解能の一層の改善が望まれてい
た。
は、送受信範囲（開口）から反射体（探査対象
物）を見込む角度φと使用超音波の波長λとによ
つてδ＝λ／φと表わされる。δが小さいほど方
位分解能が高い。このため、最近では球面状振動
子を用いて焦点を鋼材の表面位置に設定した、す
なわち角度φの大きな探触子が使用されている。
しかしながら、後述する様に超音波の屈折角が大
きくなると、従来法では感度が低下するため、角
度φの大きさに制限があつた。従つて、開口合成
法における方位分解能の一層の改善が望まれてい
た。
本発明の目的は、方位分解能に優れた超音波検
査装置を提供することにある。
査装置を提供することにある。
本発明の超音波検査装置は、被検査体表面上の
多数の点で超音波を送受信する探触子を含む送受
信部と、上記多数の点の各点と被検体の所望の領
域の再生点との距離に対応した受信信号を累積演
算する演算部と、上記累積演算した結果形成され
た映像を表示する表示部とから成る超音波検査装
置において、上記探触子は、振動モードの異なる
２種類の超音波を送受信するように、各振動モー
ドに対応した振動子を備え、上記累積演算部は、
振動モードの異なる２種類の波に対応して上記累
積演算を行なう機構を備えている。
多数の点で超音波を送受信する探触子を含む送受
信部と、上記多数の点の各点と被検体の所望の領
域の再生点との距離に対応した受信信号を累積演
算する演算部と、上記累積演算した結果形成され
た映像を表示する表示部とから成る超音波検査装
置において、上記探触子は、振動モードの異なる
２種類の超音波を送受信するように、各振動モー
ドに対応した振動子を備え、上記累積演算部は、
振動モードの異なる２種類の波に対応して上記累
積演算を行なう機構を備えている。
本発明の実施例について説明する前に、開口合
成法を超音波検査装置に適用した例について簡単
に説明する。第１図乃至第３図を参照する。
成法を超音波検査装置に適用した例について簡単
に説明する。第１図乃至第３図を参照する。
第１図に超音波探触子１０と探触子走査方法と
探触子走査位置に対応した探査対象物２０からの
反射信号である探傷信号１００ａ〜１００ｇを示
す。ここでの超音波探触子１０の走査はｘ軸方向
の一次元走査とし、映像再生は断層について行
う。超音波探触子１０はできるだけ広い走査区間
内で常に探査対象である音響不連続部２１に対し
て超音波の送受信がなされるように、例えば短焦
点凹面形の振動子を用いるものとする。このとき
超音波は焦点に集束されたのち探査対象物２０に
拡散放出され、上記の機能が実現される。いま探
査対象物内に音響不連続部２１が存在するとき走
査に対応する超音波探傷信号１００ａ〜１００ｇ
を得る。
探触子走査位置に対応した探査対象物２０からの
反射信号である探傷信号１００ａ〜１００ｇを示
す。ここでの超音波探触子１０の走査はｘ軸方向
の一次元走査とし、映像再生は断層について行
う。超音波探触子１０はできるだけ広い走査区間
内で常に探査対象である音響不連続部２１に対し
て超音波の送受信がなされるように、例えば短焦
点凹面形の振動子を用いるものとする。このとき
超音波は焦点に集束されたのち探査対象物２０に
拡散放出され、上記の機能が実現される。いま探
査対象物内に音響不連続部２１が存在するとき走
査に対応する超音波探傷信号１００ａ〜１００ｇ
を得る。
該探傷信号より断層像を得る手順を第２図を用
いて説明する。超音波探傷信号１００ａ〜１００
ｇに対応する超音波探触子の位置１０１ａ〜１０
１ｇとする。第２図に示された断層像中の、探査
対象物２０の音響不連続部２１（FIG.i）に対応
する再生点２３の映像形成を考える。超音波探触
子の位置１０１ａと該再生点との距離を計算し、
探査対象物中の音速を用いて伝搬時間を算出し、
超音波探傷信号１００ａより伝搬時間に対応する
該探傷信号を取り出し画像データとする。超音波
探傷信号１００ｂ〜１００ｇについても同様の演
算を行い、得られた各画像データを加算する。以
上で再生点２３の像再生が行なわれた。次に、断
層像の各点について上記の演算を行う。上記の演
算を行うことにより探査対象物の断層像の開口合
成法手法を用いた映像化を行うことができる。探
傷信号１００ａ上の１つのデータは探触子の位置
１０１ａから等距離の画像データに加算される。
他の点も同様に加算されるので、音響不連続部２
１に対応した再生点２３の画像が形成される。
いて説明する。超音波探傷信号１００ａ〜１００
ｇに対応する超音波探触子の位置１０１ａ〜１０
１ｇとする。第２図に示された断層像中の、探査
対象物２０の音響不連続部２１（FIG.i）に対応
する再生点２３の映像形成を考える。超音波探触
子の位置１０１ａと該再生点との距離を計算し、
探査対象物中の音速を用いて伝搬時間を算出し、
超音波探傷信号１００ａより伝搬時間に対応する
該探傷信号を取り出し画像データとする。超音波
探傷信号１００ｂ〜１００ｇについても同様の演
算を行い、得られた各画像データを加算する。以
上で再生点２３の像再生が行なわれた。次に、断
層像の各点について上記の演算を行う。上記の演
算を行うことにより探査対象物の断層像の開口合
成法手法を用いた映像化を行うことができる。探
傷信号１００ａ上の１つのデータは探触子の位置
１０１ａから等距離の画像データに加算される。
他の点も同様に加算されるので、音響不連続部２
１に対応した再生点２３の画像が形成される。
上記の開口合成手法を用いた画像形成処理を第
３図を用いて数式で説明する。超音波探触子１０
はｘ軸方向に走査する。映像再生はｘ−ｚ平面の
断層像とする。ｘ−ｚ平面内の点は（x0、z0）と
表現しｘ＝x0、ｚ＝z0の点を表わす。超音波探触
子１０の座標を（x0、０）、探査対象物２０をｚ
≧０の範囲とし、該探査対象物内の再生点２３の
座標を（xr、zr）とする。超音波探触子１０より
時刻ｔにおける送信波 St＝ｕ（ｔ）sin（2πf0t） 但しf0は搬送波周波数 を送出すると、探査対象物の音響不連続部より反
射され、探触子の位置（x0、０）における受信信
号Sr（x0，ｔ）は Sr（X0、ｔ）＝∫ρ（ｘ、ｚ）St（ｔ−２√（ｘ−x0
）2＋z2／ｖ）dxdz………(1) となる。ここでｖは探査対象物中での音速、積分
は探査対象物の全空間で行い、ρ（ｘ、ｚ）は
（ｘ、ｚ）点における超音波反射率を示す。再生
点（xr、zr）における再生像の強度Ｉ（xr、zr）
は、次式で示される。
３図を用いて数式で説明する。超音波探触子１０
はｘ軸方向に走査する。映像再生はｘ−ｚ平面の
断層像とする。ｘ−ｚ平面内の点は（x0、z0）と
表現しｘ＝x0、ｚ＝z0の点を表わす。超音波探触
子１０の座標を（x0、０）、探査対象物２０をｚ
≧０の範囲とし、該探査対象物内の再生点２３の
座標を（xr、zr）とする。超音波探触子１０より
時刻ｔにおける送信波 St＝ｕ（ｔ）sin（2πf0t） 但しf0は搬送波周波数 を送出すると、探査対象物の音響不連続部より反
射され、探触子の位置（x0、０）における受信信
号Sr（x0，ｔ）は Sr（X0、ｔ）＝∫ρ（ｘ、ｚ）St（ｔ−２√（ｘ−x0
）2＋z2／ｖ）dxdz………(1) となる。ここでｖは探査対象物中での音速、積分
は探査対象物の全空間で行い、ρ（ｘ、ｚ）は
（ｘ、ｚ）点における超音波反射率を示す。再生
点（xr、zr）における再生像の強度Ｉ（xr、zr）
は、次式で示される。
Ｉ（xr、zr）＝｜∫Sr（x0、２√（xr−x0）2＋zr 2／
ｖ）dx0｜2………(2) 上記第(2)式が開口合成法の基本式であり、上記
第(2)式の演算結果に基づいて再生点２３の画像が
形成され表示される。
ｖ）dx0｜2………(2) 上記第(2)式が開口合成法の基本式であり、上記
第(2)式の演算結果に基づいて再生点２３の画像が
形成され表示される。
第４図に本発明の一実施例の全体構成を示す。
探触子１０は被検査体２０の表面上を手動又は自
動的に走査される。全体構成について説明する前
に、本発明に用いる探触子の構造について説明す
る。探触子１０の具体的構造を第５図に示す。
探触子１０は被検査体２０の表面上を手動又は自
動的に走査される。全体構成について説明する前
に、本発明に用いる探触子の構造について説明す
る。探触子１０の具体的構造を第５図に示す。
１４Ｌは縦波用振動子であり、１４Ｓは横波用
振動子である。振動子１４Ｌと１４Ｓは同心円面
上に配置されている。２個の振動子１４Ｓは、振
動子１４Ｌに対して対称な位置に配置されてい
る。ただし、中心点Ｏから両振動子までの距離は
必ずして等しくなくとも良い。ここで、両振動子
の位置関係を説明するために、第６図を参照す
る。第６図は、アクリル樹脂のシユー１５（縦波
音速度V0＝2720ｍ／ｓ）を介して鋼材（縦波音
速度Vl＝5850ｍ／ｓ、横波音速度Vs＝3230ｍ／
ｓ）へ入射した超音波ビームの入射角θiに対する
往復音圧透過率との関係を示す。横軸のθlrは縦波
の屈折角を、θsrは横波の屈折角を示す。また、
実線は横波を、破線は縦波を示している。図から
次のことがわかる。θiが小さい範囲では、探傷信
号として縦波が寄与するが、θiの増大とともに縦
波の透過率が低下する一方、横波の寄与が漸次増
大し、最終的には横波だけが寄与するようにな
る。従つて、第５図に示された探触子では、縦波
用振動子１４と横波用振動子１４Ｓとの関係を次
のように定めている。
振動子である。振動子１４Ｌと１４Ｓは同心円面
上に配置されている。２個の振動子１４Ｓは、振
動子１４Ｌに対して対称な位置に配置されてい
る。ただし、中心点Ｏから両振動子までの距離は
必ずして等しくなくとも良い。ここで、両振動子
の位置関係を説明するために、第６図を参照す
る。第６図は、アクリル樹脂のシユー１５（縦波
音速度V0＝2720ｍ／ｓ）を介して鋼材（縦波音
速度Vl＝5850ｍ／ｓ、横波音速度Vs＝3230ｍ／
ｓ）へ入射した超音波ビームの入射角θiに対する
往復音圧透過率との関係を示す。横軸のθlrは縦波
の屈折角を、θsrは横波の屈折角を示す。また、
実線は横波を、破線は縦波を示している。図から
次のことがわかる。θiが小さい範囲では、探傷信
号として縦波が寄与するが、θiの増大とともに縦
波の透過率が低下する一方、横波の寄与が漸次増
大し、最終的には横波だけが寄与するようにな
る。従つて、第５図に示された探触子では、縦波
用振動子１４と横波用振動子１４Ｓとの関係を次
のように定めている。
15゜≦θl≦20゜
30゜≦θt1≦35゜
50゜≦θt2≦57゜
次に、第４図を再び参照する。超音波信号の送
受信は、予め指定された探触子位置で行なわれ
る。この送受信動作は、縦波と横波について夫々
１回ずつ行なわれる。縦波用超音波送受信部３０
及び横波用超音波送受信部１３でそれぞれ高圧音
波パルスを送出する。被検査体２０からの受信信
号１２，１３２は、それぞれ超音波送受信部３
０，１３で別個に増幅される。縦波信号と横波信
号は、マルチプレクサ４０によつて選択された
後、AD変換器４５に送られる。デジタル化され
た信号は、波形記憶部５０に記憶される。
受信は、予め指定された探触子位置で行なわれ
る。この送受信動作は、縦波と横波について夫々
１回ずつ行なわれる。縦波用超音波送受信部３０
及び横波用超音波送受信部１３でそれぞれ高圧音
波パルスを送出する。被検査体２０からの受信信
号１２，１３２は、それぞれ超音波送受信部３
０，１３で別個に増幅される。縦波信号と横波信
号は、マルチプレクサ４０によつて選択された
後、AD変換器４５に送られる。デジタル化され
た信号は、波形記憶部５０に記憶される。
波形記憶部５０に記憶された波形データはコン
トローラ１１内のメモリ１１３に、バス１１１を
通して転送される。コントローラ１１は、マイク
ロプロセツサ等によつて構成される中央処理装置
（CPU）１１５によつて制御される。次に、コン
トローラ１１の動作を説明する。
トローラ１１内のメモリ１１３に、バス１１１を
通して転送される。コントローラ１１は、マイク
ロプロセツサ等によつて構成される中央処理装置
（CPU）１１５によつて制御される。次に、コン
トローラ１１の動作を説明する。
波形メモリ５０に貯えられた波形データは、
CPU１１５により時系列順に読出される。読出
された波形データは、予め入力されている波形デ
ータのスレツシヨルドレベル値と比較される。ス
レツシヨドレベル値を越える波形データについて
は、下記の処理がなされる。
CPU１１５により時系列順に読出される。読出
された波形データは、予め入力されている波形デ
ータのスレツシヨルドレベル値と比較される。ス
レツシヨドレベル値を越える波形データについて
は、下記の処理がなされる。
波形データのスレツシヨルドレベルをSTHとす
れば、探触子の位置xrにおける受信信号の波形デ
ータSr（Xr、ｔ）のうち Sr（xr、ｔ）＞STH ………(3) ここで、ｔは時刻を示す。
れば、探触子の位置xrにおける受信信号の波形デ
ータSr（Xr、ｔ）のうち Sr（xr、ｔ）＞STH ………(3) ここで、ｔは時刻を示す。
を満足する波形データSr（xr、ti）について、ま
ず、画像記憶部９０に書き込む際の半径R1を次
式に従つて算出する。
ず、画像記憶部９０に書き込む際の半径R1を次
式に従つて算出する。
R1＝vj・ti／２ ………(4)
ここで、vjは、使用した超音波の音速である。
鋼材の場合、音速vjは次の値をとる。縦波を使用
した場合は、例えばvj＝VL＝5850ｍ／ｓであり、
横波を使用した場合は、vj＝vs＝3230ｍ／ｓであ
る。また、tiは離散化された時刻のうち(3)式を満
足する時刻である。縦波及び横波の音速は、コン
トローラ１１のキーボード１１２からメモリ１１
３に予め入力されている。
鋼材の場合、音速vjは次の値をとる。縦波を使用
した場合は、例えばvj＝VL＝5850ｍ／ｓであり、
横波を使用した場合は、vj＝vs＝3230ｍ／ｓであ
る。また、tiは離散化された時刻のうち(3)式を満
足する時刻である。縦波及び横波の音速は、コン
トローラ１１のキーボード１１２からメモリ１１
３に予め入力されている。
探触子の位置xrがバス１１１を介して距離演算
部７０に転送された後、第(4)式の演算によつて得
られたR1の値が、バス１１１を介して距離演算
部７０に転送される。
部７０に転送された後、第(4)式の演算によつて得
られたR1の値が、バス１１１を介して距離演算
部７０に転送される。
また波形データSr（xr、ti）は、バス１１１を介
して、合成演算部６０に転送される。以上のデー
タの設定が済んだ時点で、コントローラ１１より
バス１１１を介して、距離演算部７０にスタート
信号が送られる。スタート信号に同期して、距離
演算部７０では波形データSr（ｘ、ti）を書き込む
べく、画像記憶部９０の座標（メモリのアドレ
ス）が計算される。画像記憶部９０には、円の中
心xr、半径Riの軌跡に沿つて波形データSr（xr，
ti）が書き込まれる。この軌跡は画像記憶部９０
の座標をxR，yRとすれば、次式で表わされる。
して、合成演算部６０に転送される。以上のデー
タの設定が済んだ時点で、コントローラ１１より
バス１１１を介して、距離演算部７０にスタート
信号が送られる。スタート信号に同期して、距離
演算部７０では波形データSr（ｘ、ti）を書き込む
べく、画像記憶部９０の座標（メモリのアドレ
ス）が計算される。画像記憶部９０には、円の中
心xr、半径Riの軌跡に沿つて波形データSr（xr，
ti）が書き込まれる。この軌跡は画像記憶部９０
の座標をxR，yRとすれば、次式で表わされる。
（xR−xr）2＋y2 R＝Ri 2 ………(5)
距離演算部７０は画像記憶部９０の座標xRに対
応するyRを第(5)式より算出して、（xR、yR）の座
標を計算し、画像記憶部９０に、画像アドレスデ
ータ７１として入力する。入力されたアドレスに
対応する画像データは、画像記憶部９０から読み
出され、合成演算部６０に入力される。合成演算
部６０では、予め説定されている波形データと画
像データの和が計算され、再度画像記憶部に合成
データ６１が書き込まれる。以上の合成演算は、
(5)式を満足するすべての（xR、yR）について行な
われる。以上の合成演算は距離演算部７０にスタ
ート信号が入ると自動的に行う高速ハードウエア
構成で実現できる。
応するyRを第(5)式より算出して、（xR、yR）の座
標を計算し、画像記憶部９０に、画像アドレスデ
ータ７１として入力する。入力されたアドレスに
対応する画像データは、画像記憶部９０から読み
出され、合成演算部６０に入力される。合成演算
部６０では、予め説定されている波形データと画
像データの和が計算され、再度画像記憶部に合成
データ６１が書き込まれる。以上の合成演算は、
(5)式を満足するすべての（xR、yR）について行な
われる。以上の合成演算は距離演算部７０にスタ
ート信号が入ると自動的に行う高速ハードウエア
構成で実現できる。
１つの受信信号について(3)、(4)式の演算を行
い、条件を満足すると(5)式の座標（xR、yR）につ
いて合成演算を実行する。１つの探触子位置xrに
ついて、縦波と横波の２つの受信信号について、
上記の演算を行う。縦波、横波共に同じ手順で処
理を行う。
い、条件を満足すると(5)式の座標（xR、yR）につ
いて合成演算を実行する。１つの探触子位置xrに
ついて、縦波と横波の２つの受信信号について、
上記の演算を行う。縦波、横波共に同じ手順で処
理を行う。
以上探触子位置xrにおける処理について述べた
が、他の探触子位置についても同様の合成演算が
実行される。すべての探触子位置についての処理
が完了した段階で、画像メモリ９０内に形成され
た画像が、コントローラ１１内のプログラムメモ
リ１１４のプログラムに従つて、表示部９５に表
示される。コントローラ１１が画像用バツフアメ
モリ付のCRT１１６を持つている場合は、この
CRT１１６に表示させることもできる。
が、他の探触子位置についても同様の合成演算が
実行される。すべての探触子位置についての処理
が完了した段階で、画像メモリ９０内に形成され
た画像が、コントローラ１１内のプログラムメモ
リ１１４のプログラムに従つて、表示部９５に表
示される。コントローラ１１が画像用バツフアメ
モリ付のCRT１１６を持つている場合は、この
CRT１１６に表示させることもできる。
全体の制御は、コントローラ１１によつてなさ
れている。コントローラ１１の制御手順は、プロ
グラムメモリ１１４内の命令プログラムによつて
実行される。ここで、プログラムの流れの観点か
ら装置の動作を、再度概説する。
れている。コントローラ１１の制御手順は、プロ
グラムメモリ１１４内の命令プログラムによつて
実行される。ここで、プログラムの流れの観点か
ら装置の動作を、再度概説する。
まず、キーボード１１２より、音速vL，vS波形
データのスレツシヨルド値STH、探触子走査点xr
の設定値等を入力し、ハードウエアの初期値設定
を行なう。まず最初の探触子走査位置xrを設定す
る。次に、位置検出器８０より位置信号を取り込
み走査位置xrと比較する。両者が一致した時点で
超音波送受信部３０を駆動し、探触子１０より超
音波を発生させる。その後、受信信号Sr（xr、ｔ）
をマルチプレクサ４０、AD変換器４５を経由し
て波形記憶部５０にストアする。次にストアされ
る波形データをコントローラ内のメモリ１１３に
入力し、上述の処理を行ない、距離演算部７０、
画像記憶部９０及び合成演算部６０を起動し、合
成演算処理を行う。続いて、同様の動作を横波に
ついても行なう。次に探触子の位置を移動し、同
様の動作を行なう。
データのスレツシヨルド値STH、探触子走査点xr
の設定値等を入力し、ハードウエアの初期値設定
を行なう。まず最初の探触子走査位置xrを設定す
る。次に、位置検出器８０より位置信号を取り込
み走査位置xrと比較する。両者が一致した時点で
超音波送受信部３０を駆動し、探触子１０より超
音波を発生させる。その後、受信信号Sr（xr、ｔ）
をマルチプレクサ４０、AD変換器４５を経由し
て波形記憶部５０にストアする。次にストアされ
る波形データをコントローラ内のメモリ１１３に
入力し、上述の処理を行ない、距離演算部７０、
画像記憶部９０及び合成演算部６０を起動し、合
成演算処理を行う。続いて、同様の動作を横波に
ついても行なう。次に探触子の位置を移動し、同
様の動作を行なう。
すべての信号取り込み処理を完了した時点で、
画像記憶部７０内の画像データをもとにして、表
示部９５に画像を表示する。
画像記憶部７０内の画像データをもとにして、表
示部９５に画像を表示する。
第７図は、本発明の他の実施例を示している。
本実施例では、縦波と横波の両者の探傷信号の取
込みと処理を同時に行なうようにしている。従つ
て、同一性能の部品等を用いて、より高速のデー
タ処理ができる。第８図の装置は、マルチプレク
サを含んでおらず、送受信部３０，１３、AD変
換器４５，４６、波形記憶部５０，５３、距離演
算部７０，１７、合成演算部６０，１６、画像記
憶部９０，１９が二重化されている。また、波形
記憶部５０，５３から夫々の合成演算部６０，１
６へのデータ転送用バスとして、夫々独立の専用
バス５１，５２を備えている。合成演算部６０，
１６と画像記憶部９０，１９とは夫々協調して動
作するようハードウエア的に構成されている。画
像処理部２５は、合成演算部６０，１６で求めら
れた画像の選択または統合を行ない・縦波、横波
による画像のいずれか１つ、または縦波・横波の
合成画像を表示部９５に表示する。
本実施例では、縦波と横波の両者の探傷信号の取
込みと処理を同時に行なうようにしている。従つ
て、同一性能の部品等を用いて、より高速のデー
タ処理ができる。第８図の装置は、マルチプレク
サを含んでおらず、送受信部３０，１３、AD変
換器４５，４６、波形記憶部５０，５３、距離演
算部７０，１７、合成演算部６０，１６、画像記
憶部９０，１９が二重化されている。また、波形
記憶部５０，５３から夫々の合成演算部６０，１
６へのデータ転送用バスとして、夫々独立の専用
バス５１，５２を備えている。合成演算部６０，
１６と画像記憶部９０，１９とは夫々協調して動
作するようハードウエア的に構成されている。画
像処理部２５は、合成演算部６０，１６で求めら
れた画像の選択または統合を行ない・縦波、横波
による画像のいずれか１つ、または縦波・横波の
合成画像を表示部９５に表示する。
第１図乃至第３図は、本発明の原理説明図であ
る。第４図は本発明の一実施例のブロツク図であ
る。第５図は本発明で用いられる探触子の詳細構
造図である。第６図は第５図に示された探触子の
原理説明図である。第７図は本発明の他の実施例
のブロツク図である。 １０……超音波探触子、１１……コントロー
ラ、１３，３０……超音波送受信部、４０……マ
ルチプレクサ、４５……ADコンバータ、５０…
…波形メモリ、６０……合成演算部、７０……距
離演算部、９０……画像記憶部。
る。第４図は本発明の一実施例のブロツク図であ
る。第５図は本発明で用いられる探触子の詳細構
造図である。第６図は第５図に示された探触子の
原理説明図である。第７図は本発明の他の実施例
のブロツク図である。 １０……超音波探触子、１１……コントロー
ラ、１３，３０……超音波送受信部、４０……マ
ルチプレクサ、４５……ADコンバータ、５０…
…波形メモリ、６０……合成演算部、７０……距
離演算部、９０……画像記憶部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被検査体表面上の複数の点で超音波を送受信
する探触子と、 前記探触子を駆動する送受信部と、 前記複数の点のそれぞれと前記被検査体内の領
域の映像再生点との距離に対応した送受信信号を
累積演算する演算部と、 前記累積演算して得られた映像を表示する表示
部とからなる超音波検査装置において、 前記探触子は、前記超音波振動波成分の内の縦
波成分の送受信に対応した第一の振動子と、横波
成分の送受信に対応した複数の第二の振動子とを
備え、 前記累積演算部は、前記縦波成分及び横波成分
のそれぞれに対応した前記累積演算を行う機構を
備えることを特徴とする超音波検査装置。 ２ 特許請求の範囲第１項において 前記送受信部は、前記第一及び第二の振動子の
それぞれが超音波を独立に送受信する手段を備
え、 前記累積演算部は、前記送受信された超音波を
前記累積演算するための演算制御パラメータを逐
次変更しながら演算する機構を備えることを特徴
とする超音波検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57184619A JPS5975147A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 超音波検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57184619A JPS5975147A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 超音波検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5975147A JPS5975147A (ja) | 1984-04-27 |
| JPH0244394B2 true JPH0244394B2 (ja) | 1990-10-03 |
Family
ID=16156396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57184619A Granted JPS5975147A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 超音波検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5975147A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0502508B1 (en) | 1991-03-05 | 1999-07-07 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Diffusion transfer color photographic material and heat-developable color photographic material |
| JP2007017164A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Hitachi Ltd | 超音波探傷方法及び探傷システム |
| DE102013201975A1 (de) * | 2013-02-07 | 2014-08-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Verbesserung der SAFT-Analyse bei unregelmäßiger Messung |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57187653A (en) * | 1981-05-15 | 1982-11-18 | Hitachi Ltd | Ultrasonic image pickup apparatus |
-
1982
- 1982-10-22 JP JP57184619A patent/JPS5975147A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57187653A (en) * | 1981-05-15 | 1982-11-18 | Hitachi Ltd | Ultrasonic image pickup apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5975147A (ja) | 1984-04-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4481822A (en) | Synthetic aperture ultrasonic testing apparatus with shear and longitudinal wave modes | |
| CN104135937B (zh) | 使用多孔超声确定材料刚度 | |
| CN101273903A (zh) | 超声波成像装置以及超声波速度优化方法 | |
| US4011750A (en) | Method and apparatus for ultrasonic examination of objects | |
| JP3961359B2 (ja) | 超音波画像化装置 | |
| JPH03500454A (ja) | 人為構造を除外した超音波反射伝送映像化方法および装置 | |
| US4557145A (en) | Ultrasonic echography process and device | |
| US4624143A (en) | Ultrasonic reflex transmission imaging method and apparatus with external reflector | |
| JP2014074726A (ja) | 超音波映像化方法及び超音波映像化装置 | |
| US11796659B2 (en) | Suppression of multiple scattering noise in pulse echo imaging | |
| US4467653A (en) | Method and apparatus for ultrasonic analysis | |
| JPH0244394B2 (ja) | ||
| EP0105966B1 (en) | Ultrasonic testing apparatus | |
| JPH0679065B2 (ja) | 海底探索装置 | |
| JPS6157017B2 (ja) | ||
| JPH0364831B2 (ja) | ||
| JP3038256B2 (ja) | 超音波信号処理装置 | |
| JPS6219711B2 (ja) | ||
| JP2672123B2 (ja) | 超音波顕微鏡 | |
| US20230101818A1 (en) | Method and system for processing a set of signals received by a transducer element | |
| JP3021176B2 (ja) | ナトリウム中透視映像化方法及びその装置 | |
| JPH0399645A (ja) | 超音波診断装置 | |
| JPH10253599A (ja) | 超音波探傷方法および装置 | |
| JPH0862191A (ja) | 超音波開口合成方法及びその装置 | |
| KR100543736B1 (ko) | 초음파 영상 표시 방법 |