[go: up one dir, main page]

JPH02269481A - 超音波モータ - Google Patents

超音波モータ

Info

Publication number
JPH02269481A
JPH02269481A JP1048767A JP4876789A JPH02269481A JP H02269481 A JPH02269481 A JP H02269481A JP 1048767 A JP1048767 A JP 1048767A JP 4876789 A JP4876789 A JP 4876789A JP H02269481 A JPH02269481 A JP H02269481A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
common electrode
vibrating body
notch
ultrasonic motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1048767A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasumasa Kyodo
京藤 康正
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP1048767A priority Critical patent/JPH02269481A/ja
Publication of JPH02269481A publication Critical patent/JPH02269481A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は位置と位相がずれた定在波を生じる2枚の圧電
体を用いて進行波を発生させる超音波モータに関する。
[発明の概要] 本考案は、移動体が圧接された振動体の他面にそれぞれ
駆動用電極が設けられ第1・第2の圧電体を2枚重ねて
固着し、この第2の圧電体に共通電極用切欠部を設け、
これらの圧電体に電圧を印加し、前記振動体に発生する
進行波にて移動体を回転させる超音波モータにおいて、
前記第2の圧電体の駆動用電極をその中心に関し、前記
共通電極用切欠部と対称に切欠くことにより、第2圧電
体の定在波の歪みによるモータの特性の低下を防止する
ものである。
[従来の技術] 従来から第6図に示すような超音波モータlが知られて
いる。
この超音波モータ1は、振動体6と、この振動体6の一
面に圧接された移動体9と、前記振動体6の他面に2枚
重ねられて固着された第1・第2の圧電体7.8とを備
えている。
前記振動体は円盤状の金属からなり、その−面の所定の
半径上には、くし歯状の突起6aが複数形成されている
。前記移動体9は円盤状に形成され、前記突起6aの上
面に圧接されている。
第4図に示すように前記第1・第2の圧電体7゜8は円
形に形成され、そのたわみ方向を反転させた領域即ち、
電圧を印加すると伸びる領域(+)と縮む領域(−)と
が周方向に交互に並ぶように2n個に分極されている(
nは振動モード、この従来例ではn=4)。
前記第2の圧電体8は第1の圧電体7に対し、それぞれ
に電圧を印加した際に生じる波長の位置されている。前
記第1・第2の圧電体7,8の両面にはそれぞれ駆動用
電極パターン14.1516.17が印刷され、前記第
2の圧電体8には共通電極用切欠部18を設けである。
この共通電極用切欠部18から露出した第1の圧電体7
の駆動用電極パターン15を第1・第2の圧電体7゜8
の共通電極としている。そして、金属からなる振動体6
および第2の圧電体8の反搬動体9例の駆動用電極パタ
ーン17に、それぞれハーネス21.20.22を接続
する。
而して、第4図に示すように、図示を省略した移相装置
にて第1・第2の圧電体7.8に位相がπ −ずれた電圧、即ちeO8波とsin波とを印加する。
すると、第1・第2の圧電体7,8には位置と位相がず
れた定在波が発生し、この2種類の定在波が合成され、
前記振動体6には進行波が生じる。
すると第5図に示すように振動体6の突起6aは楕円運
動を繰り返し、所定の押圧力でこの突起61に圧接され
た移動体9は摩擦により前記楕円運動の水平方向の分力
が作用して回転する。
[発明が解決しようとする課題] しかし、前記第2の圧電体8には共通電極用切欠部18
を設けであるので、第2の圧電体8の中心に関する点対
称性が失われて定在波に歪みが生じる。その結果、回転
むら・感度の低下等、モータの特性が低下するという問
題点がある。
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、
共通電極用切欠を設けること?こよるモータの特性の低
下を防止することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 本発明は振動体と、この振動体の一面に圧接された移動
体と、前記振動体の他面に2枚重ねられて固着され、か
っ、それぞれ枢動用電極か設けられた第1−第2の圧電
体とを備え、前記第2の圧電体に共通電極用切欠部を設
け、この切欠部から露出した駆動用電極を共通電極とし
、これら第■第2の圧電体に電圧を印加して、前記振動
体に発生した進行波にて前記移動体を回転させる超音波
モータにおいて、前記第2の圧電体の駆動用電極をその
中心に関し共通電極用切欠部と対称に切欠いたことを、
その構成とする。
[作用] 前記第2の圧電体の枢動用電極を切欠いた部分は逆ピエ
ゾ効果による収縮がおこらずかつ、この電極を切欠いた
部分と共通電極用切欠部とは中心に関し対称に設けであ
るので、前記第2圧電体の撓み変位の中心に関する対称
性が維持され定在波の歪がなくなる。
[実施例] 以下、本発明の一実施例を第1図〜第5図に基づいて説
明する。
第1図および第2図において、超音波モータlのベース
2にはブラケット嵌合孔2aが形成され、このブラケッ
ト嵌合孔2aにブラケット3が嵌合している。このブラ
ケット3の軸挿通孔3aには回転軸4が回転自在に挿通
し、この回転軸4とブラケット3との間にはベアリング
5が設けられている。前記ブラケット3の外周には、振
動体6とこの振動体6の下面に固着された第1・第2の
圧電体7.8のブラケット嵌合孔6a、7a、8aが嵌
合している。前記振動体6は円盤状の金属がらなり、そ
の−面(図中上面)の所定半径上には放射方向にくし歯
状の複数の突起6aが形成されている。この突起6aの
上面には円盤状に形成された移動体9の外周部9aが当
接するとともにその中心部9bの軸嵌合孔9cには前記
回転軸4が嵌合している。前記移動体9の外周部9a下
面には摩擦材10を設けである。前記移動体9の中心部
9bと外周部9aとの中間部はバネ座収納凹部9dが形
成されている。このバネ座収納凹部9dにはバネ座!l
が収納され、このバネ座11の上面には前記回転軸4に
嵌合したバネ押え12が当接している。このバネ押え1
2の上面は回転軸4に固着されたEリング13にて上方
への移動が規制され、前記移動体9は前記バネ座IIに
て所定の圧力で前記振動体6の突起6aの上面に押圧さ
れている。
第1図および第4図に示すように、前記振動体6の他面
(第1図中下面)には第1・第2の圧電体7.8か2枚
重ねられ、互いに接着剤にて接着されている。この第1
・第2の圧電体7.8は中央にブラケット嵌合孔7a、
8aを有する円形に形成され、たわみ方向を反転させた
領域、即ち、電圧を印加すると伸びる領域(+)と縮む
領域(−)とが周方向にに所定角度−で交互に並ぶよう
に2n個(この実施例ではn=4、n=振動モード)に
分極されている。これら第1・第2の圧電体7.8の振
動体6側の一面には第1・第2の圧電体7.8に通電す
るための駆動用電極パターン14.16が前記分極され
た各領域(+、 −)に対応して扇形に印刷されている
。また、前記第1・第2の圧電体7.8の他面には、こ
れらの圧電体7.8に通電するための電極パターン15
17が略全面に渡って印刷されている。
第1図および第3図において前記第2の圧電体8の外周
縁の一部には円弧状の共通電極用切欠部I8が設けであ
る。この共通電極用切欠部18は、該切欠部18から露
出した第1の圧電体7の駆動用電極パターン!5を共通
電極としてこれに通電することにより、第1の圧電体7
および駆動用電極パターン16を介して第2の圧電体8
の両者に電圧を印加するためのもである。
第3図に示すように、前記第2の圧電体8の他面(反搬
動体6側)の駆動用電極パターン17を、中心Oに関し
前記共通電極用切欠部18と形状および位置を点対称に
切欠いた駆動用電極切欠部17aを設けである。この駆
動用電極切欠部17aには前記駆動用電極パターン17
と分極した状態で円弧状のセンサー電極パターン19を
印刷しである。このセンサー電極パターン19には図示
を省略した振動変位を検出するためのセンサーが電気的
に接続されている。
また、前記振動体6、共通電極用切欠部18から露出し
た駆動用電極パターン15および第2の圧電体8の反搬
動体6側の駆動用電極パターン17にはそれぞれハーネ
ス20,21.22が電気的に接続されている。前記振
動体6にハーネス20を電気的に接続したのは、振動体
6が金属からなっており、前記第1の圧電体7の振動体
6側の駆動用電極パターン14に導通するからである。
これらのハーネス20,21.22には第4図に示すよ
うに電源が接続され、第1の圧電体7にはがずれだ電圧
を印加する。
次に、前記実施例の作用を第4図および第5図に基づい
て説明する。
一般的には進行波の基本式は Z(θ、  t)=a  5in(nθ+ωt )−・
−■(n=振動7モード) で表される。この弐〇を変形すると、 Z(θ、  t) =a sin nθ cos (1
) t −−−−−・■π +asinn(θ)sin (15t −■−n となる。即ち、■式で表されるCOS波と0式で表され
るsin波の2つの定在波を合成すれば進行波が得られ
る。このsin波は0式で示されるようにいることを示
している。
従って、第4図の原理図に示すように、前記第位置をず
らすとともに、・第1の圧電体7にはcos波、第2の
圧電体8にはsin波(位相がLだけcOI1波に対し
ずれている。)の電圧を印加するので、第1の圧電体7
には 0式・・・a sin nθ cosωtの定在波が発
生し、第2の圧電体には の定在波が発生する。
前記第1・第2の圧電体7.8は振動体6の下面に2枚
重ねられて固着しであるので、前記振動体6には、前記
0式と■式で表された定在波が合成され、■式の進行波
が生じる。すると、第5図に示すように、前記振動体6
の突起6aの上面は楕円運動を繰り返し、この突起6a
に所定の圧力で押圧された移動体9には摩擦により水平
方向の分力Fが作用して回転運動する。そしてこの移動
体9が嵌合した回転軸4が回転する。
この際、前記共通電極用切欠部I8と形状および位置が
中心Oに関し点対称に前記第2の圧電体8の駆動用電極
パターン!7を切欠いた駆動用電極切欠部I7λを設け
たので、この駆動用電極切欠部17aには、前記共通電
極用切欠部18と同様に逆ピエゾ効果による伸縮がおこ
らないため、第2の圧電体8の中心0に対する対称性が
失われず、定在波の歪みを防止できる。
従って、共通電極用切欠部18を設けることによる定在
波の歪みを防止し、回転むら・感度の低下等、モータの
特性の低下を防止できるという効果がある。
また、前記駆動用電極切欠部17aには前記駆動用電極
パターン17と分極してセンサー電極パターン19を印
刷し、図示を省略したセンサーにより振動変位を検出す
ることができるので容易にモータを制御できるという効
果もある。
なお、前記実施例において、第2の圧電体8の駆動電極
切欠部17aにセンサー電極パターン19を設けない構
成としてもよいことはもちろんである。また、第1、第
2の圧電体7・8の振動体6側の駆動電極パターン+4
・16を設けなくともよい。
また、前記実施例は、円形の移動板、振動板および第1
1第2の圧電体を用いたが、円環状のものでもよい。さ
らに短円筒状の移動板の内側に順次中心軸を共通にして
振動板および第11第2の圧電体が嵌合した構造のもの
でもよい。この場合は、前記共通電極用切欠と、駆動用
電極切欠部とは前記中心軸に関し線対称となっている。
[発明の効果] 以上の説明から明らかなように本発明によれば、移動体
が圧接された振動体の他面に、それぞれ駆動用電極が設
けられた第1・第2の圧電体を2枚重ねて固着し、この
第2の圧電体に共通電極用切欠部を設け、これらの圧電
体に電圧を印加し、前記振動体に発生ずる進行波にて移
動体を回転させる超音波モータにおいて、前記第2の圧
電体の駆動用電極をその中心に関し、前記共通電極用切
欠部と対称に切欠いたので、前記・共通電極用切欠部を
設けたことによる第2圧電体の定在波の歪みをな(シ、
モータの特性の低下を防止するという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図〜第3図は本発明の一実施例を示すもので、第1
図は超音波モータの分解斜視図、第2図は第1図の断面
図、第3図は要部を示す斜視図、第4図および第5図は
本発明および従来例の原理説明図、第6図は従来例を示
すもので、要部の斜視図である。 1・・・超音波モータ、6・・・振動体、7・・・第1
の圧電体、8・・・第2の圧電体、9・・・移動体、1
4,15.16.17・・・駆動用電極(パターン)、
17λ・・・駆動用電極切欠部、18・・・共通電極用
切欠部。 外lる 第1 図の11“面 因 (史)政そ4ダリ)第2図 1ヒ音pθ)41斗8 D4 (史旋イタリ)第3図 第5図 4g子HシのくF″+ 半艶 ria   <従’+イ
タリ )第6図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)振動体と、この振動体の一面に圧接された移動体
    と、前記振動体の他面に2枚重ねられて固着され、かつ
    、それぞれ枢動用電極が設けられた第1・第2の圧電体
    とを備え、前記第2の圧電体に共通電極用切欠部を設け
    、この切欠部から露出した駆動用電極を共通電極とし、
    これら第1・第2の圧電体に電圧を印加して、前記振動
    体に発生した進行波に前記移動体を回転させる超音波モ
    ータにおいて、 前記第2の圧電体の駆動用電極をその中心に関し共通電
    極用切欠部と対称に切欠いたことを特徴とする超音波モ
    ータ。
JP1048767A 1989-02-28 1989-02-28 超音波モータ Pending JPH02269481A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1048767A JPH02269481A (ja) 1989-02-28 1989-02-28 超音波モータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1048767A JPH02269481A (ja) 1989-02-28 1989-02-28 超音波モータ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02269481A true JPH02269481A (ja) 1990-11-02

Family

ID=12812430

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1048767A Pending JPH02269481A (ja) 1989-02-28 1989-02-28 超音波モータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02269481A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006333658A (ja) * 2005-05-27 2006-12-07 Nikon Corp 振動アクチュエータ
JP2011167067A (ja) * 2011-05-30 2011-08-25 Nikon Corp 振動アクチュエータ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006333658A (ja) * 2005-05-27 2006-12-07 Nikon Corp 振動アクチュエータ
JP2011167067A (ja) * 2011-05-30 2011-08-25 Nikon Corp 振動アクチュエータ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5600196A (en) Vibration driven motor
JPS60210172A (ja) 振動波モ−タ
JPH02269481A (ja) 超音波モータ
JPS59110388A (ja) 振動波モ−タ
EP1381092B1 (en) Vibration type drive unit
JP3047025B2 (ja) 超音波モータ
JPH0724416A (ja) 超音波振動子
JP2994023B2 (ja) 超音波モータ
JP3001956B2 (ja) 円板型超音波モータ
JP3120427B2 (ja) 超音波モータ
JP2684418B2 (ja) 超音波アクチュエータ
JP2507083B2 (ja) 超音波モ―タ
JPS6248276A (ja) 圧電モ−タ
JP2601659B2 (ja) 超音波駆動装置
JP3164857B2 (ja) 振動波駆動装置および振動波駆動装置を備えた機器
JPS6185078A (ja) 回転駆動体
EP0539969B1 (en) Ultrasonic motor
JP3089324B2 (ja) 超音波モータ
JP2669013B2 (ja) 超音波モータの電極構造
JP2632156B2 (ja) 超音波モータ
JP2574675B2 (ja) 回転駆動体
JPH07178370A (ja) 振動子及び振動アクチュエータ
JPH0628952Y2 (ja) 超音波モ−タ
JP3104423B2 (ja) 超音波モータ
JPH02303364A (ja) 超音波モータ