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JPH02205766A - Generator inspection equipment - Google Patents

Generator inspection equipment

Info

Publication number
JPH02205766A
JPH02205766A JP2581289A JP2581289A JPH02205766A JP H02205766 A JPH02205766 A JP H02205766A JP 2581289 A JP2581289 A JP 2581289A JP 2581289 A JP2581289 A JP 2581289A JP H02205766 A JPH02205766 A JP H02205766A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
potential difference
measurement
attached
measuring
measuring head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2581289A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Makoto Hayashi
林 眞琴
Tatsuro Ishizuka
石塚 達郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2581289A priority Critical patent/JPH02205766A/en
Publication of JPH02205766A publication Critical patent/JPH02205766A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To make it possible to judge the position of a part where a crack occurs and the size of the crack by performing scanning with a measuring head in the horizontal direction and the vertical direction, measuring the distribution of the potential differences at the side surface of an F lead, and analyzing the distribution of the measured potential differences. CONSTITUTION:In an inspecting apparatus, a DC is applied on the surface of a member through a pair of current feeding terminals 8 and 8'. A pair of potential-difference measuring terminals 9 and 9' are provided between a pair of the current feeding terminals 8 and 8'. A defect is detected based on the measured potential difference. on a rectangular parallelopiped main body 1, the following parts are provided: legs 15 and 16 whose heights can be adjusted; fixing legs 11 and 11' which fix the main body 1 to the side wall of a slot; and an air cylinder 12 which fixes the main body in the direction of the width. A flexible flange in a spring type and the like and a guide bar are attached to one end of the main body 1. A U-shaped member 2 is attached to another end. A guide bar is provided on the member 2, and a T-shaped measuring head part 4 which can be slidden along said bar is attached. Air cylinders 6 and 6' are attached to the measuring head 4. A measuring head 7 is attached to the tips of the pistons of the cylinders 6 and 6'. The current feeding terminals 8 and 8' and the measuring terminals 9 and 9' are attached to both ends of the head 7.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は金属構造部材に発生したき裂の形状を検出する
き裂検出技術に係り、特に、タービン発電機Fリードの
き裂を精度よく検出するのに好適な装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a crack detection technique for detecting the shape of a crack generated in a metal structural member, and in particular, it relates to a crack detection technique for detecting the shape of a crack generated in a metal structural member. The present invention relates to a device suitable for detection.

〔従来技術〕[Prior art]

従来の装置は、特開昭58−215545号公報(検査
装置(三菱重工業))に記載のように、配管内面を走行
して、いわゆる、接触端子により電位差分布を測定する
ものがあるが、配管用であり、ここで対象としているタ
ービン発電機Fリードのき裂を検出できるような構造と
はなっていない。
Conventional devices, as described in JP-A-58-215545 (Inspection device (Mitsubishi Heavy Industries)), run along the inner surface of a pipe and measure the potential difference distribution using a so-called contact terminal. The structure is not such that it is possible to detect cracks in the F lead of the turbine generator, which is the subject of this study.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

タービン発電機Fリードの検査は種々の形態で行われる
が、発電所での検査では分解できる範囲が限定され、狭
いスロット(幅90mm、奥行き700I程度)の奥に
ある状態で検査しなければならない。その上、R部付近
にき裂が発生するため、浸透探傷法しか適用出来ない。
Turbine generator F-lead inspections are carried out in various forms, but when inspecting at a power plant, the range that can be disassembled is limited, and the inspection must be carried out inside a narrow slot (approximately 90mm wide and 700mm deep). . Furthermore, since cracks occur near the R section, only penetrant testing can be applied.

しかし浸透探傷法ではき裂の有無しか検出できず、き裂
の形状検出が出来ない。また、従来技術は、四端子法の
測定ヘッドをもつ配管内面走行装置で、配管内面の電位
差分布を移動しながら測定できるものであるが、小口径
配管への適用に限定され、他の形状の構造部材への適用
はできないという問題があった。
However, penetrant testing can only detect the presence or absence of cracks, and cannot detect the shape of cracks. In addition, the conventional technology uses a pipe inner surface traveling device with a four-terminal measurement head that can measure the potential difference distribution on the inner surface of the pipe while moving, but it is limited to application to small diameter pipes and can be used for other shapes of pipes. There was a problem that it could not be applied to structural members.

本発明の目的はタービン発電機Fリードに生じたき裂を
検出するためにFリードが納まっているスロットの内部
に出し入れが可能で、且つ、スロット側壁に固定でき、
PDM(直流ポテンシャル法)の測定ヘッドをFリード
の水平方向、及び、垂直方向に走査してFリード側面の
電位差分布を測定し、測定された電位差分布を独自の方
法により解析することによりき裂発生位置とき裂寸法を
判定することができる装置を提供することにある。
The purpose of the present invention is to detect cracks that occur in the F lead of a turbine generator, so that the F lead can be inserted into and removed from the inside of the slot in which the F lead is housed, and can be fixed to the side wall of the slot.
A PDM (direct current potential method) measurement head is scanned in the horizontal and vertical directions of the F lead to measure the potential difference distribution on the side surface of the F lead, and the measured potential difference distribution is analyzed using a unique method to detect cracks. The object of the present invention is to provide a device that can determine the location and size of a crack.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記目的は、Fリードが納まっているスロット内部に挿
入可能で、スロット側壁に空気シリンダにより固定でき
るように配置した筐体に、ウオーム歯車とねじにより水
平方向に移動できる測定へラド部を設け、それにFリー
ド表面に垂直な方向に駆動できる空気シリンダを取付け
、その空気シリンダの軸端に測定ヘッドを取付け、その
測定ヘッドの両端にPDM (直流ポテンシャル法)に
より検出するための給電端子と測定端子を垂直方向に配
置して、筐体の高さ調節用のねじの高さを変える。或い
は、ねじを取替えることにより、筐体の高さを変えると
共に、ステッピングモータにより駆動されるウオーム機
構とねじにより水平方向に測定ヘッドを走査してFリー
ドの側面の水平方向の電位差分布を測定して、全体とし
てFリードの側面の水平方向、及び、垂直方向の電位差
分布が測定できるようにすることにより達成される。
The above purpose is to provide a housing which can be inserted into the slot in which the F lead is housed and which can be fixed to the side wall of the slot with an air cylinder, and a measuring rod part that can be moved horizontally using a worm gear and a screw. An air cylinder that can be driven in a direction perpendicular to the F lead surface is attached to it, a measurement head is attached to the shaft end of the air cylinder, and a power supply terminal and measurement terminal for detection by PDM (direct current potential method) are attached to both ends of the measurement head. by placing it vertically and changing the height of the screw for adjusting the height of the housing. Alternatively, the height of the housing can be changed by replacing the screws, and the horizontal potential difference distribution on the side surface of the F lead can be measured by scanning the measurement head horizontally using a worm mechanism driven by a stepping motor and the screws. This is achieved by making it possible to measure the horizontal and vertical potential difference distributions on the sides of the F lead as a whole.

〔作用〕[Effect]

タービン発電機Fリードのスロット内部に配置した筐体
に、スロットの水平面内の二方向に位置決め用脚と固定
用空気シリンダを配置して筐体を固定できるようにし、
筐体の下部には高さ調節が可能な脚、或いは、高さの異
なる多数の脚を用意して筐体全体の高さ調節が可能とす
る。筐体の後部には自在継手を介して案内棒を取付け、
装置全体のスロット内部への出し入れを可能とする。筐
体の一端にはコの字形の部材を設け、その内側に水平方
向に二本の案内ガイドを設け、その−っはねじとする。
Positioning legs and fixing air cylinders are arranged in two directions within the horizontal plane of the slot in a casing placed inside the slot of the turbine generator F lead, so that the casing can be fixed;
A height-adjustable leg or a large number of legs with different heights are provided at the bottom of the casing, so that the height of the entire casing can be adjusted. A guide rod is attached to the rear of the housing via a universal joint,
The entire device can be taken in and out of the slot. A U-shaped member is provided at one end of the casing, and two guides are provided in the horizontal direction inside the U-shaped member, and the - is a screw.

測定ヘッド部は案内ガイドに沿って移動可能とし、ねじ
に嵌め込んだウオーム歯車を測定ヘッド部に設けたモー
タの軸に取付けたウオームと嵌合させることにより、水
平方向に移動できるようにする。測定ヘッド部のFリー
ドに面した側には水平方向に駆動できる空気シリンダを
取付け、その空気シリンダの軸端に測定ヘッドを取付け
ることにより、測定ヘッドはF IJ−ドの側面に押し
付けられる。測定ヘッドにはPDM(直流ポテンシャル
法)により検出するための給電端子と測定端子を垂直方
向に配置することによりFリードの側面の垂直方向の電
位差が測定できるので、測定ヘッドを水平方向に走査し
、筐体全体の高さを変えることによりFリード全体の電
位差分布を測定できるので、Fリードに発生したき裂の
位置と形状を精度良く判定することができる。
The measuring head is movable along the guide, and can be moved in the horizontal direction by fitting a worm gear fitted into a screw with a worm attached to the shaft of a motor provided in the measuring head. An air cylinder that can be driven horizontally is attached to the side of the measuring head section facing the F lead, and the measuring head is attached to the axial end of the air cylinder, so that the measuring head is pressed against the side surface of the FIJ-de. By vertically arranging the power supply terminal and measurement terminal for detection using PDM (direct current potential method) on the measurement head, it is possible to measure the vertical potential difference on the side surface of the F lead, so the measurement head can be scanned horizontally. Since the potential difference distribution across the F lead can be measured by changing the height of the entire casing, the position and shape of a crack that has occurred in the F lead can be determined with high accuracy.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、本発明の一実施例を説明する。第1図と第2図は
本発明の発電機検査装置の一実施例を示すもので、第1
図は正面図、第2図は平面図である。第1図と第2図に
おいて、発電機Fリード50の上面には発電機検査装置
本体1が載せられるようになっている。本体1には本体
1をスロット51に固定するために、水平方向位置決め
用脚11.11’ と水平方向固定用空気シリンダ12
を設ける。固定方法の詳細は後述する。
An embodiment of the present invention will be described below. Figures 1 and 2 show an embodiment of the generator inspection device of the present invention.
The figure is a front view, and FIG. 2 is a plan view. In FIGS. 1 and 2, the generator inspection device main body 1 is placed on the upper surface of the generator F lead 50. As shown in FIGS. The main body 1 is provided with horizontal positioning legs 11.11' and horizontal fixing air cylinders 12 in order to fix the main body 1 in the slot 51.
will be established. Details of the fixing method will be described later.

本体1のスロット出口側の一端には保持器に挿入された
ベローズ製、または、ばね製の自在継手13を介して案
内棒14を取付け、本体1のスロット内への出し入れを
行う。
A guide rod 14 is attached to one end of the main body 1 on the slot exit side via a bellows or spring universal joint 13 inserted into a retainer, and the main body 1 is moved in and out of the slot.

本体1と測定ヘッド部4の下部には本体の高さ調節機能
をもつ脚15.16を取付ける。脚15の下部は丁字形
となっており、T字の横棒を水平方向に合わせることに
より本体1の水平を保てるようにしである。脚16は長
さが短く高さ調節が困難なため、逆に長さの異なる脚を
多数用意して、ある水平方向の電位差分布が測定し終わ
る度に、脚16を取替えることにより、本体1の高さを
調節する。具体的には、垂直方向の測定ピッチ毎に脚を
用意するのが良い。
At the bottom of the main body 1 and the measuring head part 4, legs 15 and 16 are attached which have the function of adjusting the height of the main body. The lower part of the leg 15 is T-shaped, and the main body 1 can be kept horizontal by aligning the horizontal bars of the T-shape in the horizontal direction. Since the legs 16 are short and difficult to adjust in height, the main body 1 can be adjusted by preparing a number of legs with different lengths and replacing the legs 16 every time a certain horizontal potential difference distribution is measured. Adjust the height. Specifically, it is preferable to prepare legs for each measurement pitch in the vertical direction.

本体1のFリード側の一端にはコの字形の部材2を水平
に取付け、その内側に水平方向に二本の案内棒3を設け
る。その案内棒に沿って水平方向にスライド可能な丁字
形の測定ヘッド部4を横向きに取付け、ねじ5で固定す
る。測定ヘッド部4には上、下二カ所に空気シリンダ6
.6′を水平方向にFリード50に向かって取付ける。
A U-shaped member 2 is horizontally attached to one end of the F-lead side of the main body 1, and two guide rods 3 are provided inside thereof in the horizontal direction. A T-shaped measuring head 4, which can be slid horizontally along the guide rod, is mounted laterally and fixed with screws 5. There are two air cylinders 6 at the top and bottom of the measuring head 4.
.. 6' is installed horizontally toward the F lead 50.

二個の空気シリンダの軸の先端に不導体製の測定ヘッド
7を取付け、空気シリンダに圧縮空気を送りこむことに
より測定ヘッド7をFリードに押し付けられるようにす
る。
A measurement head 7 made of a nonconductor is attached to the tips of the shafts of two air cylinders, and the measurement head 7 can be pressed against the F lead by feeding compressed air into the air cylinders.

測定ヘッド7の構造を第3図と第4図に示す。The structure of the measuring head 7 is shown in FIGS. 3 and 4.

第3図は断面図で、水平方向に四カ所開けられた孔には
、端子が差し込んである。端子の形状は二段の円柱状で
、先端はコーン形状としである。先端の段付き部の後方
にコイルばねを配置してFリード5oの表面に対して垂
直方向に移動可能とし、且つ、ある一定量押し付けるこ
とによって端子とFリードとの間の接触抵抗が測定値に
影響しないようにしである。端子は測定ヘッドの水平方
向の両端に一対の給電端子と一対の測定端子を給電端子
8.測定端子9.測定端子9′、給電端子8′の順で垂
直方向に取付ける。このような端子列の水平方向の間隔
は測定するFリードの幅の半分、或いは、Fリードの側
面から最初の測定位置までの距離をFリードの幅の半分
から差し引いたものとする。中央の上、下二カ所のねじ
は駆動用の空気シリンダ6.6′の軸への取付は用であ
る。ここで、測定ヘッド7の先端が段付きとしであるの
は、第1図に示したように、Fリード5oの下端部は水
平方向に曲がっており、曲がり部を測定するために曲が
り形状に合わせたような形とするためである。
FIG. 3 is a cross-sectional view, and terminals are inserted into four horizontal holes. The shape of the terminal is a two-stage cylinder with a cone-shaped tip. A coil spring is placed behind the stepped part at the tip to allow it to move in a direction perpendicular to the surface of the F lead 5o, and by pressing it a certain amount, the contact resistance between the terminal and the F lead can be measured. This is to ensure that it does not affect the The terminals include a pair of power supply terminals and a pair of measurement terminals at both ends of the measurement head in the horizontal direction. Measurement terminal 9. Attach the measurement terminal 9' and the power supply terminal 8' vertically in this order. The horizontal spacing between such terminal rows is half the width of the F lead to be measured, or the distance from the side of the F lead to the first measurement position is subtracted from half the width of the F lead. The two screws at the top and bottom of the center are used to attach the driving air cylinder 6, 6' to the shaft. Here, the reason why the measuring head 7 has a stepped tip is because the lower end of the F lead 5o is bent in the horizontal direction, as shown in FIG. This is to create a shape that looks like a match.

第5図に第1図に示したのとは多少形状の異なる測定ヘ
ッド部4′の周辺の構造を示す。第1図の測定ヘッドは
Fリード5oの曲がり開始点から多少下がったところよ
りも上方の電位差を測定するためのものである。更に、
下方の電位差を第1図のような測定ヘッド7で測定しよ
うとしても、測定ヘッドの角がFリードにぶつかって測
定できない。そのため、測定ヘッド部4′の形状を第5
図のようにして、測定ヘッド7′を斜め下方に押し出せ
るようにする。この場合、測定ヘッド駆動用の空気シリ
ンダ6は一個とし、測定ヘッド7′の回転防止のために
はガイド10を測定ヘッド7′に取付け、測定ヘッド部
4′に開けた孔に沿って動けるようにする。
FIG. 5 shows the structure around the measuring head portion 4', which has a slightly different shape from that shown in FIG. The measurement head shown in FIG. 1 is for measuring the potential difference above a point slightly lower than the bending starting point of the F lead 5o. Furthermore,
Even if an attempt is made to measure the downward potential difference with the measuring head 7 as shown in FIG. 1, the corner of the measuring head hits the F lead and cannot be measured. Therefore, the shape of the measuring head section 4' is
As shown in the figure, the measuring head 7' can be pushed diagonally downward. In this case, there is one air cylinder 6 for driving the measuring head, and in order to prevent the measuring head 7' from rotating, a guide 10 is attached to the measuring head 7' so that it can move along the hole made in the measuring head part 4'. Make it.

第6図は発電機検査装置1の制御・駆動・測定システム
の系統図を示す。20はコンピュータ、21は測定結果
とデータ処理結果を表示するためのCRT、22はデー
タやプログラムを記憶させるためのハードディスク等の
外部記憶装置、23は測定結果とデータ処理結果を出力
するためのプリンタである。コンピュータ20はインタ
フェース24やGP−IBインタフェース25を介して
電磁弁や計測機器を制御したり、測定値を取り込んで処
理し、結果を出力する。発電機検査装置1のFリードへ
の固定用の幅方向固定用シリンダ12と測定ヘッド駆動
用シリンダ6.6′はそれぞれ電磁弁27.28を通じ
て圧縮空気源26に接続され、電磁弁27.28はイン
タフェース24を介してコンピュータ20に制御される
。直流電源29からの直流電流はコンピュータ20によ
り制御される電流極性変換装置30により一定時間毎に
その極性を切り換えられてマルチプレクサ31に供給さ
れ、更に電流供給先である測定ヘッドの給電端子8,8
“に振り分けられて電流が供給される。水平方向二カ所
の測定端子9,9′の間の電位差はマルチプレクサ33
により測定する測定端子を切り換えられて、微小電位差
計32に接続されて測定される。また、Fリード50と
給電端子9′との間の電位差も測定できるように、Fリ
ード50と裸接触によりつながっている本体1、及び、
給電端子9′から引いたリード線をマルチプレクサ33
に接続する。これは本体1をスロット内に挿入したとき
、その位置が分らないが、本体1と給電端子9′の間の
電位差を測定することにより、電位差が零となったとき
給電端子9′がFリード50に接触したことで、その位
置を確認しようとするものである6測定された電位差は
GP−IBインタフェース25を介してコンピュータ2
0に転送される。コンピュータ20は後述の方法により
Fリードの電位差分布よりき裂の寸法を判定する。ここ
で、マルチプレクサ31゜33および微小電位差計32
はGP−IBインタフェース25、或いは、インタフェ
ース24を介してコンピュータ20により制御される。
FIG. 6 shows a system diagram of the control, drive, and measurement system of the generator inspection device 1. 20 is a computer, 21 is a CRT for displaying measurement results and data processing results, 22 is an external storage device such as a hard disk for storing data and programs, and 23 is a printer for outputting measurement results and data processing results. It is. The computer 20 controls electromagnetic valves and measuring instruments via the interface 24 and the GP-IB interface 25, takes in measured values, processes them, and outputs the results. The width direction fixing cylinder 12 for fixing to the F lead of the generator inspection device 1 and the measuring head drive cylinder 6.6' are each connected to the compressed air source 26 through a solenoid valve 27.28. is controlled by computer 20 via interface 24. The polarity of the DC current from the DC power source 29 is switched at regular intervals by a current polarity converter 30 controlled by the computer 20 and then supplied to the multiplexer 31, and is further supplied to the power supply terminals 8, 8 of the measurement head to which the current is supplied.
The potential difference between the two measurement terminals 9 and 9' in the horizontal direction is determined by the multiplexer 33.
The measurement terminal to be measured is switched by the , and the measurement terminal is connected to the minute potentiometer 32 and measured. In addition, the main body 1 is connected to the F lead 50 by bare contact so that the potential difference between the F lead 50 and the power supply terminal 9' can also be measured, and
Connect the lead wire drawn from the power supply terminal 9' to the multiplexer 33.
Connect to. This means that when the main body 1 is inserted into the slot, the position is not known, but by measuring the potential difference between the main body 1 and the power supply terminal 9', when the potential difference becomes zero, the power supply terminal 9' is connected to the F lead. 50, the measured potential difference is sent to the computer 2 via the GP-IB interface 25.
Transferred to 0. The computer 20 determines the size of the crack from the potential difference distribution of the F lead using a method described later. Here, the multiplexer 31゜33 and the minute potentiometer 32
is controlled by the computer 20 via the GP-IB interface 25 or the interface 24.

次に1発電機Fリードの検査方法について述べる。第7
図に検査のフローチャートを示す。検査を開始すると、
ステップ(1)で検査装置1の初期設定を行う。ステッ
プ(2)で検査装置1を発電機Fリードのスロット内に
挿入させる。ステップ(3)で、前述したように1本体
1と給電端子9′の間の電位差を測定することにより、
給電端子9′がFリード50に接触したことを確認する
Next, a method for inspecting the F lead of one generator will be described. 7th
The figure shows a flowchart of the inspection. When you start the test,
In step (1), initial settings of the inspection device 1 are performed. In step (2), the inspection device 1 is inserted into the slot of the generator F lead. In step (3), as described above, by measuring the potential difference between the main body 1 and the power supply terminal 9',
Confirm that the power supply terminal 9' has contacted the F lead 50.

このとき幅方向固定用シリンダ12は引っ込めた状態に
しておき、給電端子9′がFリード50に接触したこと
を確認してから、幅方向固定用シリンダ12を駆動して
検査装置1をスロット側壁に固定する。ステップ(5)
で測定ヘッド駆動用シリンダ6を駆動して測定ヘッド7
をFリード50表面に押し付け、ステップ(5)で電位
差分布を測定する。その詳細は後述する。ステップ(6
)で測定ヘッド駆動用シリンダ6を引っ込め、ステップ
(8)で幅方向固定用シリンダ12を引っ込める。ステ
ップ(9)では幅方向の測定終了か否かを判定する。8
g定が終了していない場合には、ステップ(11)で検
査装置1をスロットから取り出して、ステップ(12)
で測定ヘッド4の固定用のねじ5を緩めて幅方向に測定
ピッチ分だけ移動し、再度固定する。ステップ(9)で
幅方向の測定が終了した場合には、ステップ(10)で
全部の測定が終了したか否かを判定して、終了していな
い場合にはステップ(13)で検査装置1の高さ調節を
行い、ステップ(14)で測定ヘッド部4を原点に移動
させ、再び、電位差を測定する。
At this time, the width direction fixing cylinder 12 is kept in a retracted state, and after confirming that the power supply terminal 9' has contacted the F lead 50, the width direction fixing cylinder 12 is driven to move the inspection device 1 to the slot side wall. Fixed to. Step (5)
The measuring head driving cylinder 6 is driven by the measuring head 7.
is pressed against the surface of the F lead 50, and the potential difference distribution is measured in step (5). The details will be described later. Step (6
), the measuring head driving cylinder 6 is retracted, and in step (8), the width direction fixing cylinder 12 is retracted. In step (9), it is determined whether or not the measurement in the width direction has been completed. 8
If g determination has not been completed, take out the inspection device 1 from the slot in step (11) and proceed to step (12).
Loosen the screw 5 for fixing the measuring head 4, move it in the width direction by the measurement pitch, and fix it again. If the measurement in the width direction has been completed in step (9), it is determined in step (10) whether all measurements have been completed, and if not, in step (13), the inspection device 1 Then, in step (14), the measuring head section 4 is moved to the origin, and the potential difference is measured again.

この手順をFリードの検査対象箇所の電位差分布測定が
終了するまで繰り返す。
This procedure is repeated until the measurement of the potential difference distribution at the inspection target portion of the F lead is completed.

電位差分布測定による欠陥形状検出の全体のフローチャ
ートを第8図に示す、ステップ(21)で、第7図のよ
うなフローチャートに従って、電位差分布を測定する。
The overall flowchart of defect shape detection by measuring potential difference distribution is shown in FIG. 8. In step (21), the potential difference distribution is measured according to the flowchart as shown in FIG.

ステップ(22)でFり一ドの垂直方向の電位差分布を
求め、ステップ(23)でその電位差分布において最大
値と最小値を除いた残りの電位差の平均値を求め、それ
を基準電位差Voとして、ステップ(24)で電位差比
V/Voの分布を求める。ステップ(25)では電位差
比分布から最大電位差比となった垂直方向の座標位置を
求め、その水平方向の繋がりから欠陥位置を判定する。
In step (22), the vertical potential difference distribution of F is determined, and in step (23), the average value of the remaining potential differences excluding the maximum and minimum values in the potential difference distribution is determined, and this is set as the reference potential difference Vo. , in step (24), the distribution of the potential difference ratio V/Vo is determined. In step (25), the coordinate position in the vertical direction where the maximum potential difference ratio is obtained is determined from the potential difference ratio distribution, and the defect position is determined from the connection in the horizontal direction.

この場合、幅方向各位置における最大電位差比が1.0
2以上であれば、そこにき裂があると判定されるが、垂
直方向の測定ピッチ内で幅方向につながっていれば、そ
れは一つのき裂とみなすものとする。その場合には、そ
の幅方向につながりのある最大電位差比の分布を、改め
てき裂に沿っての電位差比分布として、ステップ(26
)で後述する簡易表面き裂形状決定法により欠陥形状を
判定する。そして、ステップ(27)で判定された欠陥
の形状を出力する。
In this case, the maximum potential difference ratio at each position in the width direction is 1.0
If it is 2 or more, it is determined that there is a crack, but if it is connected in the width direction within the measurement pitch in the vertical direction, it is considered as one crack. In that case, the distribution of the maximum potential difference ratio connected in the width direction is changed to the potential difference ratio distribution along the crack in step (26).
) Determine the defect shape using the simple surface crack shape determination method described below. Then, the shape of the defect determined in step (27) is output.

次に、電位差測定のフローチャートを第9図に示す、ス
テップ(31)でFリードのある測定位置での測定回数
J=Oとして初期設定する。ステップ(32)で左右二
カ所の測定端子列の中、左側の給電端子に電流が供給さ
れるようにマルチプレクサ31を設定する。ステップ(
33)で電位差測定回数n−0として初期設定する。ス
テップ(34)で十の電流を流した時の電位差V+を測
定する。ステップ(35)で電流極性変換装置3゜によ
り電流の極性を切り換える。ステップ(36)では十の
電流を流した時の電位差V−を測定する。
Next, the flowchart of potential difference measurement is shown in FIG. 9, and in step (31), the number of measurements at the measurement position where the F lead is located is initialized as J=O. In step (32), the multiplexer 31 is set so that current is supplied to the left power supply terminal of the two left and right measurement terminal rows. Step (
33), the number of potential difference measurements is initialized as n-0. In step (34), the potential difference V+ when ten currents are passed is measured. In step (35), the polarity of the current is switched by the current polarity converter 3°. In step (36), the potential difference V- when ten currents are passed is measured.

ステップ(37)で電流の極性を切り換えて十の電流を
流す。ステップ(38)では電位差測定回数nに1を加
算してn=n+1とする0通常槽度良く電位差を測定し
ようとすれば、nを1o回程度測定して、その平均値を
評価するのが良い。そこで、ステップ(39)では測定
回数nが10回に達したか、否かをチエツクし、nが1
0回に達していない場合には、更に測定を繰り返す。n
が10回に達した場合には、ステップ(40)で、後述
する方法に従って、電位差測定値が正常であるか、否か
をチエツクする。測定値が異常であれば、ステップ(4
2)で再測定となる。測定値が正常であれば、ステップ
(41)では左右の端子の電位差を測定したかどうかを
測定回数Jでチエツクする。J=1でなければ、ステッ
プ(43)でJに1を加算してJ=J+1とする。ステ
ップ(44)で右側の給電端子に電流が供給されるよう
にマルチプレクサ31を設定する。次に、ステップ(3
3)からステップ(41)までの手順を行って右側の測
定端子の電位差を測定する。
In step (37), the polarity of the current is switched and ten currents are caused to flow. In step (38), add 1 to the number of potential difference measurements n to make n=n+1.0 Normally, if you want to accurately measure the potential difference, it is best to measure n about 10 times and evaluate the average value. good. Therefore, in step (39), it is checked whether the number of measurements n has reached 10 times or not.
If the count has not reached 0, repeat the measurement further. n
If the number of times has reached 10, it is checked in step (40) whether the potential difference measurement value is normal or not according to the method described later. If the measured value is abnormal, proceed to step (4).
2) will be re-measured. If the measured value is normal, in step (41) it is checked by the number of measurements J whether the potential difference between the left and right terminals has been measured. If J is not 1, 1 is added to J in step (43) to make J=J+1. In step (44), the multiplexer 31 is set so that current is supplied to the right power supply terminal. Next, step (3
Perform steps 3) to 41 to measure the potential difference at the right measurement terminal.

第10図には電位差測定値の正常か、異常かの判定のフ
ローチャートを示す。ステップ(5o)で第9図のステ
ップ(33)からステップ(41)までの手順に従って
電位差を測定する。ステップ(51)で+の電流を流し
たときの電位差V(+)と−の電流を流したときの電位
差V(−)の差を2で割って電位差の振幅を求める。即
ち、Vi=V(+)−■(−)を計算する。ステップ(
52)では最大電位差、最大から二番目の電位差と、最
小電位差、最小から二番目の電位差を測定異常として先
ず削除する。ステップ(53)では残った六回分の電位
差の平均値をVm=ΣVi/6で求める。
FIG. 10 shows a flowchart for determining whether a measured potential difference value is normal or abnormal. In step (5o), the potential difference is measured according to the procedure from step (33) to step (41) in FIG. In step (51), the amplitude of the potential difference is determined by dividing the difference between the potential difference V(+) when a positive current flows and the potential difference V(-) when a negative current flows. That is, Vi=V(+)-■(-) is calculated. Step (
In 52), the maximum potential difference, the second potential difference from the maximum, and the minimum potential difference, the second potential difference from the minimum are first deleted as measurement abnormalities. In step (53), the average value of the remaining six potential differences is determined by Vm=ΣVi/6.

ステップ(54)では標準偏差σを計算し、ステップ(
55)で標準偏差σが0.5μVより小さいかどうかチ
エツクして、σ≦0.5μVであれば、電位差測定値は
正常であると判定される。もし、σ〉0.5μVであれ
ば、電位差測定値は異常であると判定されて、ステップ
(56)で再測定となる。この場合、給電端子、測定端
子の接触不良と考えられるので、ステップ(57)で電
磁弁28により測定ヘッド駆動用シリンダ6を駆動して
測定ヘッド6を後退させて、ステップ(58)で、再び
、測定ヘッドを押し付は直し、ステップ(50)で電位
差を再測定する。以下同じ手順を行う。
Step (54) calculates the standard deviation σ, and step (
55), it is checked whether the standard deviation σ is smaller than 0.5 μV, and if σ≦0.5 μV, the potential difference measurement value is determined to be normal. If σ>0.5 μV, the measured potential difference value is determined to be abnormal, and re-measurement is performed in step (56). In this case, it is considered that there is a poor contact between the power supply terminal and the measurement terminal, so in step (57), the measurement head driving cylinder 6 is driven by the solenoid valve 28 to move the measurement head 6 backward, and in step (58), the measurement head is retracted. , the measuring head is pressed again, and the potential difference is measured again in step (50). Follow the same steps below.

この電位差測定で、電流の極性を切り換えて+の電流を
流したときと−の電流を流したときの二回測定したもの
の振幅で評価する理由は、被測定試料に多少の温度分布
があると、測定端子と被測定試料の間に熱起電力が生じ
、それが測定された電位差の中に平均的な電位差として
含まれることになる。従って、被測定試料そのものの電
位差を測定するには熱起電力を何らかの方法で取り除か
ねばならない。一つの方法は、電流を流して測定した電
位差から電流を切って測定した電位差を差し引くもので
ある。他の方法は直流電流の極性を間欠的に切り換えて
電位差の振幅を測定するものである。後者の方が測定さ
れる電位差の絶対値が大きいので、それだけ測定精度が
向上する。また。
The reason why this potential difference measurement is evaluated based on the amplitude of two measurements, one when the polarity of the current is switched and a positive current is passed and another when a negative current is passed, is because the sample to be measured has some temperature distribution. , a thermoelectromotive force is generated between the measurement terminal and the sample to be measured, and this is included in the measured potential difference as an average potential difference. Therefore, in order to measure the potential difference of the sample to be measured itself, the thermoelectromotive force must be removed by some method. One method is to subtract the potential difference measured when the current is turned off from the potential difference measured when the current is applied. Another method involves intermittently switching the polarity of a direct current and measuring the amplitude of the potential difference. In the latter case, the absolute value of the measured potential difference is larger, so the measurement accuracy is improved accordingly. Also.

電流を切る方法では電流を流した後に電流が安定するま
でに時間がかかるという欠点があるが、電流の極性を切
り換える方法では瞬時に電流が安定するという利点があ
る。この電流の極性を切り換えるための装置が電流極性
変換装置30である。
The disadvantage of the method of cutting off the current is that it takes time for the current to stabilize after flowing, but the method of switching the polarity of the current has the advantage that the current stabilizes instantly. A device for switching the polarity of this current is a current polarity converting device 30.

得られたFリードの電位差分布からき裂の形状を判定す
る方法を以下に述べる。第8図のステップ(22)で得
られた電流差分布で、ある高さでの幅方向の電位差分布
の模式図を第11図に示す。
A method for determining the shape of a crack from the potential difference distribution of the obtained F lead will be described below. FIG. 11 shows a schematic diagram of the potential difference distribution in the width direction at a certain height using the current difference distribution obtained in step (22) of FIG.

第1図に示したような測定ヘッドでは給電端子間距離が
短いため、リードの端面付近では端部効果が現われて電
流密度が高くなり、電位差Vが大きくなる。リードの中
央部では電位差■は、はぼ、一定である。このような電
位差分布をリードの長手方向にある測定ピッチ毎に測定
しているので、例えば、図に示したようにXが4mmで
のリード軸方向の電位差分布を求めると、第12図のよ
うになる。き裂が無ければ電位差Vは、はぼ、一定値を
保つが、き裂のところでは電位差Vがき裂深さに対応し
て大きくなる。第12図の場合は、破線の丸印で示した
位置の電位差が他の箇所に比して大きい。通常、電位差
の測定変動もあるので、き裂があると思われる部分の最
大電位差を除いた全ての箇所の電位差の平均で基準電位
差vOを設定し、それに対する比、即ち、電位差比V 
/ V oが、例えば、1.02 よりも大きければ、
そこにき裂があるものと判定する。そのようなリードの
各幅方向位置におけるリード長手方向の電位差比分布か
ら求めた最大電位差比の分布の模式図を第13図に示す
。ハツチングの部分が電位差比V / V 。
In the measuring head shown in FIG. 1, since the distance between the power supply terminals is short, an edge effect appears near the end face of the lead, the current density becomes high, and the potential difference V becomes large. At the center of the lead, the potential difference ■ is fairly constant. Since such a potential difference distribution is measured for each measurement pitch in the longitudinal direction of the lead, for example, when determining the potential difference distribution in the lead axial direction when become. If there is no crack, the potential difference V remains at a fairly constant value, but at the crack, the potential difference V increases in accordance with the depth of the crack. In the case of FIG. 12, the potential difference at the position indicated by the broken line circle is larger than at other locations. Normally, there are measurement fluctuations in the potential difference, so the reference potential difference vO is set as the average of the potential differences at all locations except for the maximum potential difference at the part where a crack is thought to exist, and the ratio to that, that is, the potential difference ratio V
/V o is larger than 1.02, for example,
It is determined that there is a crack there. FIG. 13 shows a schematic diagram of the distribution of the maximum potential difference ratio determined from the potential difference ratio distribution in the longitudinal direction of the lead at each position in the width direction of the lead. The hatched part is the potential difference ratio V/V.

が1.02 より大きくて、き裂があると判定された箇
所である。次に、その最大電位差比の分布において、リ
ードの幅方向の繋がりを検討する。リードの幅方向に最
大電位差比である箇所がつながっていれば、それはき裂
に沿って連続して計測されたものと判定されるし、また
、図に示したように、リードの長手方向は一測定ピッチ
以内でつながっていれば、それもき裂に沿って連続して
計測されたものと判定される。そして、そのき裂がある
と判定された箇所とその前方の電位差比とを含めて、例
えば、第13図に実線で示したような箇所の電位差比分
布を求める。その模式図を第14図に示す。横軸はリー
ドの幅方向、縦軸は電位差比である。ここで、き襞部分
の電位差比分布をn次式で近似して、その近似曲線と電
位差比V/Vo=1.0との交点から測定物の表面にお
けるき裂の先端の座標を決定し1表面のき裂長さ2cを
求める。また、近似曲線から改めて最大電位差比V/V
omaxを求める。
is larger than 1.02, and it is determined that there is a crack. Next, the connection in the width direction of the leads will be considered in the distribution of the maximum potential difference ratio. If the points with the maximum potential difference ratio are connected in the width direction of the lead, it is determined that the measurements were taken continuously along the crack, and as shown in the figure, the longitudinal direction of the lead is If they are connected within one measurement pitch, it is determined that the measurements were taken continuously along the crack. Then, for example, the potential difference ratio distribution of the location shown by the solid line in FIG. 13 is determined, including the potential difference ratio of the location where the crack is determined to exist and the potential difference ratio in front of the location. A schematic diagram thereof is shown in FIG. The horizontal axis is the width direction of the lead, and the vertical axis is the potential difference ratio. Here, the potential difference ratio distribution of the crack part is approximated by an n-dimensional equation, and the coordinates of the tip of the crack on the surface of the measurement object are determined from the intersection of the approximated curve and the potential difference ratio V/Vo = 1.0. 1. Find the crack length 2c on the surface. Also, from the approximate curve, the maximum potential difference ratio V/V
Find omax.

き裂に沿った電位差分布からのき裂形状決定方法を以下
に示す0表面き裂形状決定法のフローチャートを第15
図に示す。予め、汎用大型計算機により各種アスペクト
比、例えば、a / c =1.0゜0.5,0,25
,0.1 のき裂について電場を解析し、き製函に垂直
な方向の表面の電位差分布をコンピュータ20の記憶装
置、または、外部記憶装置22に記憶させておく。記憶
させる電位差分布は1部材表面のき裂に垂直な方向の電
位差であり、これらの電位差分布はn次近似して形でデ
ータベースとしてコンピュータ20に記憶させておく、
き裂形状決定に当たっては、最初に測定されたき裂周辺
の電位差分布から前述したような方法により表面き裂長
さ2c傘と最大電位差比V/Vomaxを求める0次に
、電位差分布の近似曲線と基準電位差V / V oと
の交点から表面におけるき裂長さ2cを求める0次に、
データベースとしてコンピュータ20に記憶されている
電位差分布から各種アスペクト比a / cのき裂に対
する電位差比V / V oとき裂深さa / tの関
係を作成するために電位差比V / V oと7スペク
ト比a / cの関係を作成する。この場合、FEMに
よる電場解析では板厚tが20mの平板について解析し
ているので、測定端子間距離dに対応した測定位置d・
における電位差比V / V oとアスペクト比a /
 cの関係を作成しなければならない、従って、被測定
部材の板厚を傘で補正された(1傘=dX20/を拳の
位置の各き裂深さに対する電位差を求めて電位差比V 
/ V oとアスペクト比a / cの関係を作成する
。電位差比V / V oとアスペクト比a/Cの関係
は各き裂深さa/を毎にn次近似してコンピュータ2o
の記憶装置22に記憶させる。次に、電位差比V/Vo
とアスペクト比a / cの関係を用いてアスペクト比
a / c = 0 、5  に対する電位差比V /
 V oとき裂深さa / tの関係のマスターカーブ
を作成する。この場合にも電位差比V/Voとき裂深さ
a / tの関係はn次近似、例えば、五次近似する。
The method for determining the crack shape from the potential difference distribution along the crack is shown below.
As shown in the figure. Various aspect ratios, for example, a/c = 1.0°0.5, 0, 25, are determined in advance by a general-purpose large-scale computer.
, 0.1, and the potential difference distribution on the surface in the direction perpendicular to the box is stored in the storage device of the computer 20 or the external storage device 22. The potential difference distribution to be stored is the potential difference in the direction perpendicular to the crack on the surface of one member, and these potential difference distributions are stored in the computer 20 as a database in the form of an n-th approximation.
To determine the crack shape, first calculate the surface crack length 2c and the maximum potential difference ratio V/Vomax from the measured potential difference distribution around the crack using the method described above. Find the crack length 2c at the surface from the intersection with the potential difference V/Vo.
In order to create a relationship between the potential difference ratio V/Vo and the crack depth a/t for cracks with various aspect ratios a/c from the potential difference distribution stored in the computer 20 as a database, the potential difference ratio V/Vo and 7 are calculated. Create the relationship of spectral ratio a/c. In this case, in the electric field analysis using FEM, a flat plate with a thickness t of 20 m is analyzed, so the measurement position d corresponding to the distance d between the measurement terminals is
Potential difference ratio V/V o and aspect ratio a/
Therefore, the plate thickness of the member to be measured is corrected by the umbrella (1 umbrella = d
/Create the relationship between Vo and aspect ratio a/c. The relationship between the potential difference ratio V/Vo and the aspect ratio a/C is determined by computer 2o by approximating each crack depth a/to the nth order.
is stored in the storage device 22 of. Next, the potential difference ratio V/Vo
Using the relationship between the aspect ratio a/c and the aspect ratio a/c = 0, 5, the potential difference ratio V/
Create a master curve for the relationship between Vo and crack depth a/t. In this case as well, the relationship between the potential difference ratio V/Vo and the crack depth a/t is approximated to the nth order, for example, to the fifth order.

このマスターカーブに電位差分布をn次近似して得られ
た最大電位差比V/Vomaxを代入してき裂深さa・
を求める。ついで、板厚補正した表面き裂長さ2c*(
=2cX20/l)によりき裂のアスペクト比a・/C
$を求め、マスターカーブのアスペクト比a/cと比較
する。
By substituting the maximum potential difference ratio V/Vomax obtained by n-th approximation of the potential difference distribution into this master curve, the crack depth a・
seek. Next, the surface crack length 2c*(
=2cX20/l), the aspect ratio of the crack is a・/C
Find $ and compare it with the aspect ratio a/c of the master curve.

両者が一致していなければ、改めて、電位差比V/Vo
とアスペクト比a / cの関係を用いてアスペクト比
a/c:=a拳/cmに対する電位差比V/Voとき裂
深さa / tの関係のマスターカーブを作成し、最大
電位差比V/Vomaxを代入してき裂深さa虐を求め
る。この作業を両者が一致するまで、例えば、a / 
cとa傘/C−の差が0.01以下となるまで繰り返す
、一致したときのアスペクト比に対する電位差比V /
 V oとき裂深さa/lの関係のマスターカーブに各
測定位置における電位差比を代入することによりき裂全
体の形状を決定する。この場合、電位差比は各測定位置
における電位差比を代入しても良いし、n次近似した電
位差比分布を代入しても良い、このようにして求めた表
面き裂形状と実際のき裂形状とは非常に良く一致するこ
とが確認されている。
If the two do not match, the potential difference ratio V/Vo
Using the relationship between the aspect ratio a/c and the aspect ratio a/c, create a master curve of the relationship between the potential difference ratio V/Vo and the crack depth a/t for the aspect ratio a/c:=a fist/cm, and calculate the maximum potential difference ratio V/Vomax. Find the crack depth by substituting . Continue this process until both parties agree, for example, a/
Repeat until the difference between c and a umbrella/C- becomes 0.01 or less, and when they match, the potential difference ratio V/
The shape of the entire crack is determined by substituting the potential difference ratio at each measurement position into the master curve of the relationship between V o and the crack depth a/l. In this case, the potential difference ratio may be substituted with the potential difference ratio at each measurement position, or an n-th approximation of the potential difference ratio distribution may be substituted, and the surface crack shape obtained in this way and the actual crack shape It has been confirmed that they match very well.

第16図と第17図には別の実施例を示す、第1図では
測定ヘッド部4のリードの幅方向の駆動機構は無く、検
査装置本体を電位差測定毎にスロットから外に取り出し
て、ねじ5を緩めて手で測定ヘッド部を幅方向に移動さ
せる。第16図ではそれを自動化するために、第18図
、第19図に示したように、測定ヘッド支持部2に設け
た案内棒3′をねじとし、それに嵌合するように、ウオ
ーム歯車43を取付ける。測定ヘッド部4の上部には小
型ステッピングモータ41を配置して、その軸にウオー
ム42を取付け、そのウオーム42とウオーム歯車43
が嵌合するようにする。このようにすれば、測定ヘッド
7の左右両端に設けた二組の測定端子間の電位差を測定
し終えた度に、コンピュータ2oの制御によりステッピ
ングモータ41を駆動させて、自動的にリード幅方向の
電位差分布を測定することが可能となる。第20図は第
16図、第17図のような検査装置の系統図である0幅
方向駆動用モータ41はモータ駆動装W45、インター
フェース24を介してコンピュータ20により接続され
、制御される。
FIGS. 16 and 17 show another embodiment. In FIG. 1, there is no mechanism for driving the leads of the measurement head 4 in the width direction, and the inspection device body is taken out of the slot every time the potential difference is measured. Loosen the screw 5 and move the measuring head part in the width direction by hand. In FIG. 16, in order to automate this process, as shown in FIGS. 18 and 19, the guide rod 3' provided on the measuring head support 2 is a screw, and a worm gear 43 is fitted to the guide rod 3'. Install. A small stepping motor 41 is arranged on the upper part of the measuring head section 4, and a worm 42 is attached to the shaft thereof, and the worm 42 and a worm gear 43
so that they fit together. In this way, every time the potential difference between the two sets of measurement terminals provided at both the left and right ends of the measurement head 7 is measured, the stepping motor 41 is driven under the control of the computer 2o to automatically measure the potential difference in the lead width direction. It becomes possible to measure the potential difference distribution. FIG. 20 is a system diagram of the inspection apparatus as shown in FIGS. 16 and 17. The width direction drive motor 41 is connected to and controlled by the computer 20 via the motor drive unit W45 and the interface 24.

第21図には第16図、第17図、第20図に示した検
査装置における測定のフローチャートを示す。検査を開
始すると、ステップ(61)で検査装置1.の初期設定
を行う、ステップ(62)で検査装置1を発電機Fリー
ドのスロット内に挿入させる。ステップ(63)で前述
したように、本体1と給電端子9′の間の電位差を測定
することにより、給電端子9′がFリード50に接触し
たことを確認する。このとき、幅方向固定用シリンダ1
2は引っ込めた状態にしておき、給電端子9′がF I
J−ド50に接触したことを確認してから、幅方向固定
用シリンダ12を駆動して検査装置1をスロット側壁に
固定する。ステップ(65)で測定ヘッド駆動用シリン
ダ6を駆動して測定ヘッド7をFリード50表面に押し
付け、ステップ(66)で電位差分布を測定する。電位
差分布の測定方法は前述した通りである。ステップ(6
7)で測定ヘッド駆動用シリンダ6を引っ込める。ステ
ップ(68)で幅方向測定が終了したか否かを確認して
、もし、測定が終了していなければ、ステップ(70)
で、測定ヘッド駆動用モータ41を駆動して、幅方向に
測定ピッチ分だけ移動させる0次に、ステップ(65)
に戻り、再び、測定ヘッド駆動用シリンダ6を駆動して
測定ヘッド7をFリード5oの表面に押し付け、ステッ
プ(66)で電位差分布を測定する。これを繰返してス
テップ(68)で幅方向の測定が終了すると、ステップ
(69)で全部の測定が終了したか否かを判定して、終
了していない場合には、ステップ(71)で、測定ヘッ
ド駆動用モータ41を駆動して、測定ヘッド部を原点に
移動させる。そして、ステップ(72)で幅方向固定用
シリンダ12を引っ込めて、ステップ(73)で検査装
置1を発電機スロットから取り出す。ステップ(74)
で検査装置1の高さ調節を行い、再び、検査装置をステ
ップ(62)で発電機スロットに挿入して、電位差を測
定する。この手順をFリードの検査対象箇所の電位差分
布測定が終了するまで繰り返す、このようにすれば、検
査装置の出し入れ、幅方向の位置調整に要する時間が大
幅に短縮されるので、検査時間全体の時間短縮につなが
る。
FIG. 21 shows a flowchart of measurement in the inspection apparatus shown in FIGS. 16, 17, and 20. When the inspection starts, in step (61), the inspection device 1. In step (62), the inspection device 1 is inserted into the slot of the generator F lead. As described above in step (63), it is confirmed that the power supply terminal 9' has contacted the F lead 50 by measuring the potential difference between the main body 1 and the power supply terminal 9'. At this time, the width direction fixing cylinder 1
2 is in the retracted state, and the power supply terminal 9' is connected to FI
After confirming that it has come into contact with the J-dore 50, the width direction fixing cylinder 12 is driven to fix the inspection device 1 to the slot side wall. In step (65), the measuring head driving cylinder 6 is driven to press the measuring head 7 against the surface of the F lead 50, and in step (66), the potential difference distribution is measured. The method for measuring the potential difference distribution is as described above. Step (6
At step 7), the measuring head driving cylinder 6 is retracted. Check whether the width direction measurement has been completed in step (68), and if the measurement has not been completed, proceed to step (70).
Then, in step (65), the measurement head drive motor 41 is driven to move the measurement head in the width direction by the measurement pitch.
Returning to step (66), the measuring head driving cylinder 6 is driven again to press the measuring head 7 against the surface of the F lead 5o, and the potential difference distribution is measured in step (66). After repeating this and completing the measurement in the width direction in step (68), it is determined in step (69) whether all measurements have been completed, and if not, in step (71), The measurement head drive motor 41 is driven to move the measurement head portion to the origin. Then, in step (72), the width direction fixing cylinder 12 is retracted, and in step (73), the inspection device 1 is taken out from the generator slot. Step (74)
The height of the inspection device 1 is adjusted in step (62), and the inspection device is inserted into the generator slot again in step (62) to measure the potential difference. This procedure is repeated until the measurement of the potential difference distribution at the part to be inspected on the F lead is completed.In this way, the time required for loading and unloading the inspection device and adjusting the position in the width direction is greatly reduced, reducing the overall inspection time. This leads to time savings.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、簡易表面き裂形状決定法によりき裂の
位置および形状の検出ができるので、発電機リードを精
度良く検査することができる。
According to the present invention, since the position and shape of a crack can be detected using a simple surface crack shape determination method, a generator lead can be inspected with high accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図および第2図は本発明の一実施例の発電機検査装
置の正面図および平面図、第3図および第4図は測定ヘ
ッドの断面図および正面図、第5図は測定ヘッド部の側
面図、第6図は発電機検査装置のブロック図、第7図か
ら第10図は電位差分布の測定方法のフローチャート、
第11図から第15図は測定された電位差分布からき裂
形状を判定する方法を示す図、第16図から第21図は
本発明の他の実施例の発電機検査装置の構造図と系統図
である。 1・・・発電機検査装置、2・・・測定ヘッド支持部、
3・・・案内棒、4・・・測定ヘッド部、5・・・固定
用ねじ、6・・・測定ヘッド駆動用空気シリンダ、7・
・・測定ヘッド、8・・・給電端子、9・・・測定端子
、12・・・幅方向固定用空気シリンダ、2o・・・コ
ンピュータ、21・・・CRT、22・・・外部記憶装
置、24・・・インタフェース、25・・・GP−IB
インタフェース、29・・・直流電源、3o・・・電流
極性変換装置、31第4図 第 図 Iθ 第7図 測定のフローチャート 第9図 電位差測定のフローチャート 第8図 電位差分布測定による欠陥形状検出のフローチャート第
10図 電位差測定値の判定サブルーチンフローチャート第11
図 電位差のリード幅方向の分布 第12図 弔 国 筒易表面き裂形状決定法のフローチャート第 図 市 図 箒 B 困 第 19図 第 図 測定のフローチャート
1 and 2 are a front view and a plan view of a generator inspection device according to an embodiment of the present invention, FIGS. 3 and 4 are a sectional view and a front view of a measuring head, and FIG. 5 is a measuring head section. Figure 6 is a block diagram of the generator inspection device, Figures 7 to 10 are flowcharts of the method for measuring potential difference distribution,
Figures 11 to 15 are diagrams showing a method for determining the crack shape from the measured potential difference distribution, and Figures 16 to 21 are structural diagrams and system diagrams of generator inspection equipment according to other embodiments of the present invention. It is. 1... Generator inspection device, 2... Measurement head support part,
3... Guide rod, 4... Measuring head section, 5... Fixing screw, 6... Air cylinder for driving measuring head, 7...
... Measuring head, 8... Power supply terminal, 9... Measuring terminal, 12... Air cylinder for fixing in the width direction, 2o... Computer, 21... CRT, 22... External storage device, 24...Interface, 25...GP-IB
Interface, 29... DC power supply, 3o... Current polarity converter, 31 Fig. 4 Fig. Iθ Fig. 7 Flowchart of measurement Fig. 9 Flowchart of potential difference measurement Fig. 8 Flowchart of defect shape detection by potential difference distribution measurement Figure 10: Potential difference measurement value determination subroutine flowchart No. 11
Figure 12 Distribution of potential difference in lead width direction Figure 12 Flowchart of surface crack shape determination method Figure 19 Figure Flowchart of measurement

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、部材表面に相互に離隔した一組の給電端子対により
直流電流を印加し、前記給電端子対の間で一組の電位差
測定端子対を設けて電位差を測定し、前記電位差から欠
陥を検出するタービン発電機のFリードの欠陥検査装置
において、直方体形状の本体に高さ調節が可能な脚と、
スロット側壁に本体を固定するための固定脚と、幅方向
固定用空気シリンダとを設け、前記本体の一端には保持
器を介してばね型、または、ベローズ型の可とう性のあ
る継手と案内棒を取付け、前記本体の別の一端にはコの
字形の部材を取付け、前記部材の二ヵ所に案内棒を設け
、前記案内棒に沿つて横方向にスライド可能なT字形の
測定ヘッド部を取付け、前記測定ヘッド部には上、下二
ヵ所に空気シリンダを取付け、前記空気シリンダのピス
トンの先端に測定ヘッドを取付け、前記測定ヘッドの両
端には一対の給電端子と一対の測定端子とを取付けたこ
とを特徴とする発電機検査装置。 2、特許請求項第1項において、 前記測定ヘッド部の前記給電端子に電流を供給するため
の直流電源二台と、その電流の極性を切り換えるための
電流極性変換装置と、装置固定用の空気シリンダと測定
ヘッド駆動用の空気シリンダを駆動するための圧縮空気
源と、電磁弁と、前記電流極性変換装置と前記電磁弁と
を制御するためのコンピュータ及びインタフェースと、
電位差を測定するための微小電位差計と、測定する測定
端子を切り換えるためのマルチプレクサと、前記微小電
位差計と前記マルチプレクサの制御と測定された電位差
をコンピュータに転送するためのGP−IBインタフェ
ースと、電位差測定状況を監視し、測定された電位差分
布からき裂の形状を判定した結果を表示するためのCR
Tとプリンタ、並びに測定された電位差分布を記憶する
ための記憶装置とを設けたことを特徴とする発電機検査
装置。 3、特許請求項第1項または第2項において、前記本体
の一端に設けた前記コの字形部材に取付けた前記案内棒
の一つをねじとし、前記ねじにウォーム歯車を通して、
前記測定ヘッド部に取付けたモータの軸に前記ウォーム
歯車と嵌合するようにウォームを取付けて、前記測定ヘ
ッド部を横方向に駆動可能としたことを特徴とする発電
機検査装置。 4、特許請求項第1項または第2項において、前記本体
の一端に設けた前記コの字形部材に取付けた前記案内棒
の一つをラックとし、前記測定ヘッド部に取付けたモー
タの軸に前記ラックと嵌合するようにピニオンを取付け
て、前記測定ヘッド部を横方向に駆動可能としたことを
特徴とする発電機検査装置。 5、特許請求項第1項、第2項、第3項または第4項に
おいて、 前記本体と端子との間の電位差を測定できるようにした
ことを特徴とする発電機検査装置。 6、特許請求項第1項、第2項、第3項、第4項または
第5項において、 前記測定ヘッド部の下部に設ける高さ調節用の脚の長さ
を測定ピッチ間隔毎に多数設けたことを特徴とする発電
機検査装置。 7、前記請求項第2項において、 直流電源を一台設け、電流の供給先を切り換えるための
前記マルチプレクサにより左右二組の給電端子に切り換
えて電流を供給することを特徴とする発電機検査装置。 8、特許請求項第1項、第2項、第3項、第4項、第5
項、第6項または第7項において、 前記測定ヘッド部に斜め下方に向かうように測定ヘッド
駆動用空気シリンダを設け、前記空気シリンダの軸端に
測定ヘッドを取付けたことを特徴とする発電機検査装置
。 9、特許請求項第1項ないし第8項において、電流の極
性を切り換えて電位差を数回測定し、その切り換えたと
きの振幅を計算し、計算値の上限値と下限値を除いて電
位差振幅の平均値を求め、標準偏差を計算し、この標準
偏差が0.5μVよりも大きければ、測定異常と判定し
、前記ヘッドを、一旦、後退させてから、再度、押し付
けて電位差を再測定し、電位差測定値の標準偏差が0.
5μVよりも小さければ正常な測定値として採用するこ
とを特徴とする発電機検査装置。 10、特許請求項第1項ないし第9項において、前記測
定ヘッドをリード部の横方向に移動して電位差分布を測
定し、脚を順次取替えて前記リード部全体の電位差分布
を測定し、前記電位差分布からリード部の縦方向の電位
差分布を求め、上限値と下限値を除いて平均値を計算し
、この平均値を基準電位差として縦方向の電位差比分布
を求め、次に、その最大電位差比を求め、前記最大電位
差比の分布で、横方向に繋がりのあるものを求め、前記
最大電位差比分布よりき裂形状を判定することを特徴と
する発電機検査装置。
[Claims] 1. Applying a direct current to the surface of the member through a pair of power supply terminals spaced apart from each other, and measuring the potential difference by providing a pair of potential difference measuring terminals between the pair of power supply terminals; In the turbine generator F lead defect inspection device that detects defects from the potential difference, the rectangular parallelepiped-shaped main body has legs whose height can be adjusted;
A fixing leg for fixing the main body to the slot side wall and an air cylinder for fixing in the width direction are provided, and a spring type or bellows type flexible joint and a guide are provided at one end of the main body via a retainer. A rod is attached, a U-shaped member is attached to another end of the main body, guide rods are provided at two places on the member, and a T-shaped measuring head portion that is slidable laterally along the guide rod is provided. Installation: Air cylinders are attached to the measuring head at two locations, upper and lower, the measuring head is attached to the tip of the piston of the air cylinder, and a pair of power supply terminals and a pair of measuring terminals are attached to both ends of the measuring head. A generator inspection device characterized by being installed. 2. In claim 1, there are provided two DC power supplies for supplying current to the power supply terminal of the measurement head, a current polarity converter for switching the polarity of the current, and air for fixing the device. a compressed air source for driving a cylinder and an air cylinder for driving the measuring head; a solenoid valve; a computer and an interface for controlling the current polarity conversion device and the solenoid valve;
a minute potentiometer for measuring a potential difference; a multiplexer for switching a measurement terminal to be measured; a GP-IB interface for controlling the minute potentiometer and the multiplexer and transmitting the measured potential difference to a computer; CR for monitoring the measurement status and displaying the results of determining the shape of the crack from the measured potential difference distribution
1. A generator inspection device comprising: a T, a printer, and a storage device for storing a measured potential difference distribution. 3. In claim 1 or 2, one of the guide rods attached to the U-shaped member provided at one end of the main body is a screw, and a worm gear is passed through the screw,
A generator inspection device characterized in that a worm is attached to the shaft of a motor attached to the measuring head so as to fit with the worm gear, so that the measuring head can be driven laterally. 4. In claim 1 or 2, one of the guide rods attached to the U-shaped member provided at one end of the main body is a rack, and the shaft of the motor attached to the measuring head section is A generator inspection device characterized in that a pinion is attached so as to fit with the rack so that the measurement head can be driven laterally. 5. A generator inspection device according to claim 1, 2, 3, or 4, characterized in that it is capable of measuring a potential difference between the main body and the terminal. 6. In claim 1, 2, 3, 4 or 5, the length of the leg for height adjustment provided at the lower part of the measuring head section is set to a plurality of lengths for each measurement pitch interval. A generator inspection device characterized by: 7. The generator inspection device according to claim 2, characterized in that one DC power supply is provided, and the multiplexer for switching the current supply destination switches and supplies current to two sets of left and right power supply terminals. . 8. Patent claims 1, 2, 3, 4, and 5
The generator according to item 1, 6 or 7, wherein an air cylinder for driving the measurement head is provided in the measurement head part so as to face diagonally downward, and the measurement head is attached to the shaft end of the air cylinder. Inspection equipment. 9. In patent claims 1 to 8, the potential difference is measured several times by switching the polarity of the current, the amplitude at the time of switching is calculated, and the potential difference amplitude is obtained by excluding the upper and lower limits of the calculated value. If the standard deviation is larger than 0.5 μV, it is determined that the measurement is abnormal, and the head is moved back once and then pressed again to measure the potential difference again. , the standard deviation of the potential difference measurements is 0.
A generator inspection device characterized in that a measurement value smaller than 5μV is adopted as a normal measurement value. 10. According to claims 1 to 9, the measurement head is moved in the lateral direction of the lead part to measure the potential difference distribution, the legs are sequentially replaced to measure the potential difference distribution across the lead part, and the Find the vertical potential difference distribution of the lead part from the potential difference distribution, calculate the average value by excluding the upper and lower limits, use this average value as the reference potential difference to find the vertical potential difference ratio distribution, and then calculate the maximum potential difference. A generator inspection device characterized by determining a ratio, determining a horizontally connected distribution of the maximum potential difference ratio, and determining a crack shape from the maximum potential difference ratio distribution.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010145375A (en) * 2008-12-22 2010-07-01 Chubu Electric Power Co Inc Method and apparatus for measuring crack in corner section
JP2014126375A (en) * 2012-12-25 2014-07-07 Ntn Corp Hardening quality inspection device

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