JPH02203278A - 半導体測定用接触装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体素子の電気特性測定に使用する半導体測
定用接触装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の半導体測定用接触装置は、第３図の部分
側面図に示すように、被測定物７に接触するプローブ針
１が支持棒６を介して本体に固定された構造を有し、プ
ローブ針先をクリーニングする機能は設けられていなか
った。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の半導体測定用接触装置は、プローブ針が
本体に固定されており、測定時には被測定物にプローブ
針先を押し当てて接触させる機構となっているので、被
測定物の表面が薄いシリコン酸化膜等の絶縁膜に覆われ
ている場合に、プローブ針先が被測定物に接触できず、
正しい特性を測定することができないという欠点がある
。

又、プローブ針先が被測定物のくず等で汚れた場合、プ
ローブ針を本体から取り外してクリーニングしなければ
ならないという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、プローブ針を被測定物に弾力的に接触させた
状態で回転させる回転機構と、このプローブ針に付着し
た汚れを除去するクリーニング機構とを組み込んだホル
ダーを備えた半導体測定用接触装置である。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例を示す縦断面図である。

プローブ針１は、ホルダー９内の回転モータ３の回転軸
に固定されて回転し、被測定物７との接触が良くできる
ようになっている。

回転モータ３はホルダー９内をスライドできるようにな
っており、その回転軸は導電線の役目を果すことから絶
縁物を介してロータに固定されている。又、回転モータ
３の回転が導線５に伝わらないように、スプリングで押
された軸受け４を設け、回転軸の一端を押圧してプロー
ブ針１を被測定物７に接触させると共に、プローブ針１
と導線５どの電気的導通を図っている。

又、ホルダー９の下部に設けられたクリーニング室２に
は、内壁にブラシを植え込み、プローブ針１をクリーニ
ング室２に押し込んで回転させることにより、プローブ
針１に付着した汚れを除去できるようになっている。

第２図は本発明の第２の実施例を示す縦断面図である。

回転モータ３をホルダー９の外部に取り付け、歯車８に
より回転をプローブ針１に伝えるようにしている。プロ
ーブ針１と歯車８との取り付けはスプライン軸構造とし
、プローブ針１は回転とスライドができるようになって
いる。その他の構造は、全て第１の実施例と同じである
。

この実施例では、回転モータ３が外部にあるため、永久
磁石内蔵のモータを使用しても、磁場の影響を受ずに正
確な値を測定できる利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、被測定物が薄いシリコン
酸化膜等の絶縁膜に覆われていても、プローブ針を回転
させて押し当てることにより針先が絶縁膜に良く食い込
み、プローブ針と被測定物との接触が良くなり、常に正
しい特性を測ることができる。

又、プローブ針先が被測定物のくず等で汚れた場合、装
置本体を移動させずに、又、プローブ針先を取り外さず
にクリーニングできるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す縦断面図、第２図
は本発明の第２の実施例を示す縦断面図、第３図は従来
の半導体測定用接触装置の部分側回国である。 １・・・１０−プ針、２・・・クリーニング室、３・・
・回転モータ、４・・・軸受け、５・・・導線、６・・
・支持棒、７・・・被測定物、８・・・歯車、９・・・
ホルダー５導惧 ／

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. プローブ針を被測定物に弾力的に接触させた状態で回転
   させる回転機構と、このプローブ針に付着した汚れを除
   去するクリーニング機構とを組み込んだホルダーを備え
   たことを特徴とする半導体測定用接触装置。