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JPH02198852A - 記録ヘッド - Google Patents

記録ヘッド

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JPH02198852A
JPH02198852A JP1018012A JP1801289A JPH02198852A JP H02198852 A JPH02198852 A JP H02198852A JP 1018012 A JP1018012 A JP 1018012A JP 1801289 A JP1801289 A JP 1801289A JP H02198852 A JPH02198852 A JP H02198852A
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insulating layer
recording head
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秀男 田村
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ業上の利用分野） 本発明は、記録用液体を吐出口より吐出して記録を行な
う液体噴射記録装置に用いられる記録ヘッドに関する。
〔従来の技術〕
従来の液体噴射記録ヘッドの例を′！ｓ６図（ａ）。
（ｂ）に示す、Ｎ６図（ａ）は模式的平面図であり、第
６図（ｂ）は第６図（ａ）のＢ−Ｂ’線による模式的断
面図である。
従来の記録ヘッドには、シリコン等の半導体やガラス等
の絶縁体からなる基板１１上にＨｆＢ２電層２とを形成
することにより、液体（インク）の吐出に利用される熱
エネルギーを発生する電極熱変換体が設けられ、電気熱
変換体の発熱部１ａ上には吐出口に連通ずる液路が形成
されている。
そして高解像度記録の為に吐出口は１ｍｍあたり８本以
上の割合で複数段けられ、これに対応する様に電気熱変
換体も高密度で配設されている。
ここで３．４．５は保護層である。
不図示の液体容器より供給された液体は液路の一部とし
ての共通液室に供給され、更には液路の吐出口に夫々対
応する部分を液体で満たしている。
液体噴射による記録は、電極に記録信号を印加すること
で発熱部１ａより発生した熱エネルギーにより発熱部ｌ
ａ上の液体に状態変化を生起させることで気泡を発生さ
せ、この気泡の体積膨張による圧力により液体を吐出さ
せて、飛翔的液滴を形成するものである。
次に従来の記録ヘッドの製造方法について説明する。
まず、電気熱変換体を形成する為発熱低抗層としてのＨ
ｆＢ２Ａ東１及び電極２としてのＡ１をスパッタリング
等により成膜し、バターニングな行なう。
次に、電気熱変換体の耐酸化膜３としての５ｉ０２及び
耐キヤビテーシヨン膜４としてのＴａをスパッタリング
等により成膜し、バターニングを行なう。
そして、耐インクｌｌｌ５として感光性ポリミドを塗布
し、バターニングを行なう。
更に第２層のＡｊｌ、ＮＬ、Ｃｕを成膜バターニングし
、さらに伝導率をかせぐためＣｕを１０μｍはどメツキ
をし、共通電極１０を作る。ここで共通電極１０の下の
層である符号３で示すＳ　ｉ　０２及び符号５で示す感
光性ポリミドは眉間絶縁層としての役目をしている。
その後記録液体の液路として共通液ｍ１２及び個別液路
１３の形成された天板１４をはりつけ駆動回路に接続さ
れる配線を電気的に接続して（不図示）液体噴射記録ヘ
ッドを製造する。
（発明が解決しようとしている問題点）しかしながら、
上記従来例では共通電極１０が天板１４の外部（つまり
記録ヘッドの液路外）にあるため、電極２の共通電極側
の長さが第３図に示す様に１．たけ必要となり、電極に
おいて高密度配線がかなり長く必要とされる。そのため
短路や断線等により歩留りが低くなる等の製造上の短所
以外にも、大電流を流して駆動すると、同様に短路や断
線が生じ記録ヘッドの耐久性が低下することがあった。
〔目的〕
本発明は上述した技術課題に鑑みなされたものである。
本発明の目的は、高解像度が得られ、良好な吐出状態が
長く続く耐久性の向上した記録ヘッドを提供することで
ある。
本発明の他の目的は、製造上の歩留りを向上させ、小型
で廉価な記録ヘッドを提供することである。
本発明の目的は、液体の吐出する吐出口と、前記吐出口
に連通ずる液路と、前記液路内の液体に熱による状態変
化を生起させ前記吐出口より液体を吐出させる為の熱エ
ネルギーを発生させる電気熱変換体と、を有する記録ヘ
ッドにおいて、前記電気熱変換体の電極に電気的に接続
された配線部の一部が有機材料から成る第１の絶縁層と
、前記第１の絶縁層上に設けられた導電層と、前記導電
層上に設けられた有機材料から成る第２の絶縁層と、を
有することを特徴とする記録ヘッドにより達成される。
（作用） 本発明によれば電極に接続する配線部の一部が該配線部
の保護層として導電層の上下に有機材料を用いることに
より、共通電極に接続する配線を（共通）液室内に入れ
ることができ、配線部の共通電極の長さを大幅に短かく
することができる。
そのため電極を短かくでき短絡及び断線の発生を極めて
減少させることが可能となる。
また共通配線を液室に設けることが技術的に容易になり
、記録ヘッドの高密度・小型化が可能となる。
（実施例） 以下図面を参照しながら本発明による実施例について説
明するが、本発明は以下の実施例と限定されることはな
く、本発明の目的が達成され得るものであれば良い。
第１図は、本発明による記録ヘッドの基板の模式的平面
図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ’線による模式的断
面図である。
まず基板１１上には電気熱変換体を形成する発熱抵抗層
１としてのＨｆＢ２及び電極２としてのＡ１．が設けら
れて第１層が形成されている。電気熱変換体の耐酸化膜
２としてのｓｉｏ、及び耐キヤビテーシヨン膜４として
のＴａが形成されている。耐インク膜５として感光性ポ
リミド５が塗布されている３４２層として配線部の一部
が材料の異なる多層構成であり、その最上層６及び最下
層８が同一材料からなっている。ここで６はＴ１１７は
Ｃｕ、８はＴｉである。
上記′ｓ２層（６，７，８）の有機材料からなる保護層
９として感光性ポリミドが塗布されている第２層のＴｉ
をエツチングしメツキ電極としてのＣｕを露出させ共通
電極１０として高伝導率のＣｕがメツキで形成されてい
る。この基板上に共通液室１２及び個別液路１３用の溝
の形成された天板１４をはりつけ、配線を電気的に接続
し液体噴射記録ヘッド１５が構成されている（第３図）
。
１６は吐出口、１７は液路壁であり、１８は記録液体の
供給口である。
ここで第２層を形成するＴｉ、Ｃｕ、Ｔｉは、それぞれ
以下の様な機能を持っている。
最下層６であるＴｉは耐インク膜５としての感光性ポリ
ミドとの密着性が良好である。ここではＴｉの他にＣｒ
等が好適に使用可能である。
中間層７であるＣｕは第２層の伝導率を高め、共通電極
１０の作成時のメツキ下引き層としての役目をもち、こ
こでは、Ｃｕの他ＮＬ、Ａｕ。
Ｓｒ等が好適に用いられる。
最上層８であるＴｉは第２層の保護ｌ！Ｉ９としての感
光性ポリミドとの密着性が良好であり、又それと同時に
感光性ポリミドの作製工程においての熱硬化時の第２層
のＣｕの酸化を防ぐための耐酸化膜として働く、ここで
もＴｉの他、Ｃｒ等が好適に使用可能である。
以上の様な液体噴射記録ヘッド１５は第４図の様にキャ
リッジ１９に搭載され液体噴射記録装置に用いられる。
記録ヘッドは駆動力を伝達するためのワイヤ２０により
シャフト２１に沿って走査され記録を行う、記録媒体と
しての記録紙２２はプラテン２３に接触させて紙送りロ
ーラー２４で搬送される。２５は吐出回復系である。
（他の実施例） 電気熱変換体の発熱部表面に対して、はぼ水平方向に吐
出する記・緑ヘッド以外にも第５図に示すように発熱部
表面に対して交差する方向に吐出する様なタイプにも使
用可能である。
これは、ヒータ基板１１に、吐出口１６と液路壁１７を
合わせ持ったオリフィスプレート２６をはりつけたもの
であり、１８は、記録液体の供給口を示す。
以上本発明による記録ヘッドは小型化、高密度化が達成
される為に液体容器を一体的に具え、キャリッジに対し
て着脱可能とされた型式に好適に用いられる。
〔発明の効果〕 以上説明したように、配線部の一部が保護層として導電
層の上下に有機材料の層を用いた構造にすることで共通
電極配線を（共通）液室内に入れることが可能で、高密
度配線された電極の長さを短かくすることができ、短絡
及び断線の発生率を極めて低減させることができ歩留り
がより一層向上するものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明による記録ヘッドを示す模式第２図は
、第１図のＡ−Ａ’線による模式的断面図。 第３図は、本発明による記録ヘッドの模式的斜視図。 第４図は、本発明による液体噴射記録装置の模式図。 第５図は、本発明の他の実施例の記録ヘッドの模式的斜
視図。 ′ｓ６図（ａ）は、従来例の記録ヘッドを示す模式的平
面図。 第６図（ｂ）は、第６図（ａ）のＢ−Ｂ’断面図。 １：発熱抵抗層、ＨｆＢ２ ２：電極、ＡＪ２ ３：耐酸化膜、５ｉｎ２ ４：耐キャビテーション膜、Ｔａ ５：耐インク膜、感光性ポリミド ６：第２層の最下層、Ｔｉ ７；第２層の中間層、Ｃｕ ８；第２層の最上層、Ｔｉ ９；第２層の保護層、感光性ポリミド １０：共通電極 １１：基板 １２：共通液室 １３：液路 １４：天板 １５：記録ヘッド １６二吐出口 １７：液路壁 １８：記録液体供給口 １９：キャリッジ ２０：駆動伝達ワイヤ ２１：シャフト ２２：記録紙 ２３ニブラテン ２４；紙送りローラ ２５：回復系 ２６；オリフィスプレート

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）液体の吐出する吐出口と、前記吐出口に連通する
    液路と、前記液路内の液体に熱による状態変化を生起さ
    せ前記吐出口より液体を吐出させる為の熱エネルギーを
    発生させる電気熱変換体と、を有する記録ヘッドにおい
    て、前記電気熱変換体の電極に電気的に接続された配線
    部の一部が有機材料から成る第１の絶縁層と、前記第１
    の絶縁層上に設けられた導電層と、前記導電層上に設け
    られた有機材料から成る第２の絶縁層と、を有すること
    を特徴とする記録ヘッド。
  2. （２）前記導電層は、前記第１の絶縁層及び前記第２の
    絶縁層と夫々接する同一材料の２つの層を有することを
    特徴とする請求項（１）に記載の記録ヘッド。
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