JPH0212139B2

JPH0212139B2 -

Info

Publication number: JPH0212139B2
Application number: JP59136114A
Authority: JP
Inventors: Nobutoshi Ookami
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1984-06-29
Filing date: 1984-06-29
Publication date: 1990-03-19
Also published as: JPS6115729A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、薬液の供給方法および装置に関し、
特に薬液を収容した気密容器に不活性ガスを圧入
し、この容器に連通した管路に薬液を送り出すよ
うにした薬液供給方法および装置に関するもので
ある。

〔従来技術〕たとえば、フオトレジスト液、現像液、あるい
はエツチング液等を貯蔵容器から回転式基板処理
装置の薬液ノズルに供給する手段としては、特開
昭55−78529号公報や、特開昭57−113226号公報
に開示されているように、加圧された窒素ガスを
密閉された薬液収容容器に導入して、そのガス圧
により薬液を管路に送り出すようにした装置が知
られている。第３図に、その従来技術の概要を示
す。

薬液１を収容した、気密容器であるタンク２に
薬液送出管である薬液供給管３を挿入し、その薬
液供給管３の管路の中間に自動弁４を、末端にノ
ズル５をそれぞれ設置する。そのノズル５の下方
には、回転チヤツク７に被処理基板６を保持し、
所要回転数で回転させる。また、タンク２の上面
には気体送入管である不活性ガス圧入管８を接続
し、レギユレータ９を経て、窒素等のような不活
性ガスを加圧してタンク２に導入する。

窒素ガスはレギユレータ９によつて、所要の圧
力に調整されてタンク２内に圧入され、その圧力
により密閉されたタンク２内の薬液１を、薬液供
給管３および自動開閉弁４を経てノズル５から被
処理基板６の面に供給し、被処理基板６に所要の
表面処理、たとえば、現像処理、またはエツチン
グ処理等を行う。

〔解決しようとする課題〕

上述の加圧ガスにより、薬液を供給する従来装
置においては、一般的に不活性ガスである窒素ガ
スが使用されるが、本来、窒素ガスを空気中より
分離するためには、一旦、空気を液化させた上
で、他のガスとの蒸発温度の差を利用して分離し
ているため、液体窒素を充填したボンベより供給
される窒素ガスの絶対湿度は、ほとんど零に近
い。第３図示装置において、かかる乾燥した不活
性ガスをタンク２に導入すると、薬液１の溶媒ま
たは、蒸気圧の高い成分が気化して不活性ガス中
に吸収され、薬液１の組成が変化するという問題
がある。

これは、純水のように単一成分の液の場合は、
単にタンク２内の液量の変化にすぎないので問題
となることは少ないが、蒸気圧が異なる複数成分
を有する薬液や、溶質の含有パーセンテージを一
定値に維持する必要がある薬液の場合には問題が
生じる。

また、不活性ガスの圧力によつて、薬液を供給
する場合のほかに、薬液の酸化防止のため、タン
ク２内の空気を不活性ガスで置換する場合にも、
同様の問題がある。

特に、近年、半導体基板の加工精度の高度化に
ともない、従来無視されていた薬液の僅少な質的
変化が問題となつてきており、上述の現象による
薬液の組成変化を防止する手段の実現が要望され
ている。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、タンクに導入される不活性ガスをあ
らかじめ、その薬液の蒸気に飽和させておくこと
により、上上述問題点を解決するものである。

すなわち、本発明の要旨は、(1)気体送入管と薬
液送出管とを接続した気密容器に収容した薬液
を、必要に応じて該薬液を用いる処理装置へ送り
出し、かつ、薬液送出量に対応する容積の不活性
ガスを、前記気密容器へ送りこむ薬液供給方法に
おいて、前記気体送入管から送り込む不活性ガス
を、前記薬液と同等の薬液の蒸気によつて、あら
かじめほぼ飽和させておき、前記気密容器内の薬
液の変質を防止することを特徴とする薬液供給方
法にあり、また、(3)薬液を収容する気密容器と、
該気密容器に不活性ガスを圧入する気体送入管
と、前記不活性ガスの圧入にともなつて前記薬液
を前記気密容器から送り出す薬液送出管と、前記
気体送入管に付設され、前記不活性ガスに前記薬
液と同等の薬液の蒸気を添加する変質防止手段と
を備えてなる薬液供給装置にある。

〔第１実施例〕第１図は、本装置発明の第１実施例装置の概略
構成を示す。

管路の途中に、リギユレータ９および気密容器
である薬液容器１０を介在した不活性ガス圧入管
８から成る変質防止手段を、前記第３図示の従来
装置に準ずる構成のタンク２に、薬液供給管３と
ともに接続し、この不活性ガス圧入管８はタンク
２の上部、薬液供給管３はタンク２の底部に接続
してある。薬液容器１０の不活性ガス入口側管
８′は、第２図示のように薬液容器１０の薬液中
に没入し、圧入される不活性ガスが薬液に充分接
触するようにしてある。出口側の不活性ガス圧入
管８は薬液容器１０の上部に接続してある。

本実施例装置の作用は、次の通りである。不活
性ガスは、レギユレータ９により所要の圧力に調
整され、薬液容器１０に圧入され、薬液に接触し
て完全乾燥状態の不活性ガス中に薬液の蒸気圧の
高い成分が気化してとりこまれ、ほぼ飽和した状
態の不活性ガスとなつて不活性ガス圧入管８を介
して、タンク２に圧入される。タンク２内の薬液
１には、常時、レギユレータ９で調整した圧力が
加わるが、薬液容器１０では不活性ガスはほぼ飽
和されて、薬液の蒸気、特に蒸気圧の高い成分を
含んでいるため、タンク２内での薬液１の蒸発量
はきわめて小さくなり従来装置に比してほとんど
無視できる程度になる。

所要のシーケンスにより自動弁４を開閉すれば
被処理基板６に薬液１を不活性ガスの圧力により
供給することができる。薬液１の供給した容積分
だけタンク２に不活性ガスが圧入されてくるが、
いずれも事前に、変質防止手段を構成する薬液容
器１０で飽和されるため、タンク２内の薬液１の
質的変化は、無視できる程度に小さくなる。

〔第２実施例〕第２図は、本装置発明の他の実施例装置の概略
構成を示し、第１図示装置と共通の構成要素に
は、同一符号を付してある。

本実施例装置が、第１図示装置と異なる主な点
は、薬液供給管３に自動弁４がなく、その代わり
に送液ポンプ１１を設けたことである。すなわ
ち、本実施例では、ポンプ１１により、薬液１を
ノズル５から高圧で噴射し、より高速で処理を行
いうるようにしたものである。しかし、単に薬液
供給管３にポンプ１１を設けると、ポンプ１１が
作動している間は、所要の薬液噴射が得られる
が、ポンプ１１が停止したときも、薬液が流れつ
づけることが生じる。これは、特にダイヤフラム
式ポンプや遠心ポンプなどを使用した場合、レギ
ユレータ９の調整圧力によつて押出される薬液
は、これらのポンプを自由に通過しうるためであ
る。

そこで、第２図示装置では、ポンプ１１の吐出
側に背圧弁１２を、また、タンク２に逆止弁１３
を付設して、この不都合を防ぐようにしてある。

背圧弁１２は、ポンプ１１により吐出される薬
液は通過させるが、レギユレータ９の調整圧力に
対しては、管路を閉止するように作動圧が設定さ
れている。また、逆止弁１３は、タンク２の内圧
が過大となることを防ぐために、ガスを放出する
ためのもので、その作動圧は、背圧弁１２よりも
低く、レギユレータ９による調整圧力とほぼ同程
度に設定する。

第２図示装置は、上述構成であるため、ポンプ
１１が作動した場合、タンク２の薬液１は、背圧
弁１２を通つてノズル５から噴射され、一方、タ
ンク２内の薬液が減少した量だけ不活性ガス圧入
管８から不活性ガスが圧入される。この圧入され
る不活性ガスは、薬液容器１０において、薬液蒸
気によつてほぼ飽和されているので、タンク２内
の薬液組成に影響を及ぼすことがないことは、前
述第１実施例と同様である。

また、第２図示装置において、逆止弁１３を設
けない比較的小径の管をタンク２に接続し、背圧
弁１２を介在させずにノズル５へ供給してもよ
い。

〔発明の効果〕

本発明によれば、 (1) 加圧された不活性ガスにより、容器内の薬液
を送り出す場合や、不活性ガスにより薬液の酸
化防止のため空気を置換する場合に、その不活
性ガスをあらかじめその薬液と気液平衡状態に
しておくことにより、つまり、薬液の蒸気によ
つて、あらかじめほぼ飽和させておくことによ
り、気密容器に収容された薬液の成分の蒸発を
防ぎ、容器内の薬液の質的変化を防止すること
ができる。

(2) 気密容器へ送り込む不活性ガスを、あらかじ
め薬液の蒸気によつてほぼ飽和させておくよう
にしたので、かかる飽和操作中に送り込まれる
不活性ガスに対し、その温度、流動、ゴミの除
去などの整正化ができることから、気密容器か
ら送り出す薬液の質的変化を更に防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の第１の実施例の概念図、
第２図は別の実施例の概念図、第３図は従来例の
概念図である。１…薬液、２…タンク、３…薬液供給管、８…
不活性ガス圧入管、１０…薬液容器。

Claims

【特許請求の範囲】１気体送入管と薬液送出管とを接続した気密容
器に収容した薬液を、必要に応じて該薬液を用い
る処理装置へ送り出し、かつ、薬液送出量に対応
する容積の不活性ガスを、前記気密容器へ送りこ
む薬液供給方法において、前記気体送入管から送
り込む不活性ガスを、前記薬液と同等の薬液の蒸
気によつて、あらかじめほぼ飽和させておき、前
記気密容器内の薬液の変質を防止することを特徴
とする薬液供給方法。２気密容器に加圧不活性ガスを送り込むことに
より、薬液を送り出すようにした特許請求の範囲
第１項に記載の薬液供給方法。３薬液を収容する気密容器と、該気密容器に不
活性ガスを圧入する気体送入管と、前記不活性ガ
スの圧入にともなつて前記薬液を前記気密容器か
ら送り出す薬液送出管と、前記気体送入管に付設
され、前記不活性ガスに前記薬液と同等の薬液の
蒸気を添加する変質防止手段とを備えてなる薬液
供給装置。４変質防止手段が、薬液を収容し、その液面下
に開口する気体流入管と液面より上部に開口する
気体流出管とが接続された気密容器である特許請
求の範囲第３項に記載の薬液供給装置。５薬液を収容する容器と、該容器から薬液を薬
液送出管に送出すポンプ手段と、前記容器に不活
性ガスを圧入する気体送入管と、該気体送入管に
付設され、前記加圧気体に前記薬液と同等の薬液
の蒸気を添加する変質防止手段と、前記容器から
過剰の不活性ガスを排出する排気手段とを備えて
なる薬液供給装置。６排気手段が、容器外へ排気する方向のみ気体
を通過させる逆止弁である特許請求の範囲第５項
に記載の薬液供給装置。７ポンプ手段の吐出側に背圧弁を付設し、逆止
弁の作動圧が送りこまれる気体の圧力とほぼ同等
で、背圧弁の作動圧がそれより高く設定されてい
る特許請求の範囲第５項に記載の薬液供給装置。８変質防止手段が、薬液を収容し、その液面下
に開口する気体流入管と液面より上部に開口する
気体流出管とが接続された気密容器である特許請
求の範囲第５項に記載の薬液供給装置。