JPH02103973A - パルスレーザ発振装置 - Google Patents
パルスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH02103973A JPH02103973A JP25578288A JP25578288A JPH02103973A JP H02103973 A JPH02103973 A JP H02103973A JP 25578288 A JP25578288 A JP 25578288A JP 25578288 A JP25578288 A JP 25578288A JP H02103973 A JPH02103973 A JP H02103973A
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- JP
- Japan
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- platinum
- preparatory
- main electrodes
- discharge
- gold
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- Pending
Links
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 32
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 10
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 13
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 10
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000001404 mediated effect Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、パルスレーザ発振装置に係り、とくに放電部
の予備電離ピンに関する。
の予備電離ピンに関する。
（従来の技術）
ガスを媒介としたレーザにおいて、良好なレーザ発振を
得るためには、レーザガス中で空間的に均一な放電を必
要とするが、ＴＥＭＡ−ＣＯ２し一ザやエキシマレーザ
などの短パルスレーデ光を発生させるパルスレーザ発（
膜装置においては、その動作ガス圧力が放気圧もの高圧
力でおるため、上記の放電が集束し、アーク放電になり
やすい。
得るためには、レーザガス中で空間的に均一な放電を必
要とするが、ＴＥＭＡ−ＣＯ２し一ザやエキシマレーザ
などの短パルスレーデ光を発生させるパルスレーザ発（
膜装置においては、その動作ガス圧力が放気圧もの高圧
力でおるため、上記の放電が集束し、アーク放電になり
やすい。
これを防止するために、主放電に先立って予備電離を行
うのが普通である。
うのが普通である。
従来のパルスレーザ装置は、主電極に対向した位置に主
電極を配置し、その両側に複数個の予備電離ピンが配置
されている。このエルコナイト製の予備電離ピンによっ
て、主電極間に均一なグロー放電を発生させることが可
能となる。
電極を配置し、その両側に複数個の予備電離ピンが配置
されている。このエルコナイト製の予備電離ピンによっ
て、主電極間に均一なグロー放電を発生させることが可
能となる。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記のような構成を有する従来のパルス
レーザ発振装置においては、以下に述べるような解決す
べき課題があった。
レーザ発振装置においては、以下に述べるような解決す
べき課題があった。
即ち、放電によりレーザガス媒質のＣＯ２が分解して生
じる酸素の存在比が増加するとレーク“出力が低下する
という欠点があった。
じる酸素の存在比が増加するとレーク“出力が低下する
という欠点があった。
本発明は以上の欠点を解消するために提案されたもので
、その目的は、放電ピンの材質を改めることにより、放
電によって発生する酸素の存在比の増加を抑え、効率よ
く安定した大出力レーザ光を得ることができるパルスレ
ーザ発振装置を提供することにおる。
、その目的は、放電ピンの材質を改めることにより、放
電によって発生する酸素の存在比の増加を抑え、効率よ
く安定した大出力レーザ光を得ることができるパルスレ
ーザ発振装置を提供することにおる。
（発明の溝成）
（課題を解決するだめの手段）
本発明は、レーザガス中に配設され、レーザ光軸を長手
方向とする一対の主電極を有し、前記主電極の測部に予
備電離ピンを設け、前記主電極間の主放電空間を予備電
離するパルスレーザ発振装置において、前記予備電離ピ
ンの材質を金Ａｕあるいは白金Ｐ↑としたものである。
方向とする一対の主電極を有し、前記主電極の測部に予
備電離ピンを設け、前記主電極間の主放電空間を予備電
離するパルスレーザ発振装置において、前記予備電離ピ
ンの材質を金Ａｕあるいは白金Ｐ↑としたものである。
（作 用）
本発明のパルスレーザ発振装置によれば、主放電部を予
（ｉｉ１ｉ電離するために設（プられている予備電離ピ
ンの材質をＡＩＪまたはＰｔとすることにより、レーザ
ガス中のＣＯを酸化ざＶて酸素を消費することができる
ので、ガスリサイクラーなどのような大きな装置を用い
ることなく、容易に安定したレーザ出力を得ることがで
きる。
（ｉｉ１ｉ電離するために設（プられている予備電離ピ
ンの材質をＡＩＪまたはＰｔとすることにより、レーザ
ガス中のＣＯを酸化ざＶて酸素を消費することができる
ので、ガスリサイクラーなどのような大きな装置を用い
ることなく、容易に安定したレーザ出力を得ることがで
きる。
（実施例）
以下に、本発明の一実施例を図に基づいて具体した主電
極１，２の側部に白金Ｐｔ４４の予備電離ピン３，４が
配設され、ガス流５が主電極の長手方向に対して垂直方
向に流れている。このように、放電部の近くに予備電離
ピンの材質として白金Ｐｔを用いることにより、放電に
よって生じる酸素を効率よく消費することができる。
極１，２の側部に白金Ｐｔ４４の予備電離ピン３，４が
配設され、ガス流５が主電極の長手方向に対して垂直方
向に流れている。このように、放電部の近くに予備電離
ピンの材質として白金Ｐｔを用いることにより、放電に
よって生じる酸素を効率よく消費することができる。
また、対向した主電極１．２の側部に金ＡＵ製の予備電
離ピンを配設し、カス流が主電極の長手方向に対して垂
直方向に流れるようにしてもよい。
離ピンを配設し、カス流が主電極の長手方向に対して垂
直方向に流れるようにしてもよい。
このように、放電部の近くに予備電離ピンの材質として
金Ａｕを用いることにより、白金Ｐｔと比べて低いピン
の温度でＣＯの酸化作用を起こすため、白金Ｐｔよりも
高効率で酸素を消費することができる。
金Ａｕを用いることにより、白金Ｐｔと比べて低いピン
の温度でＣＯの酸化作用を起こすため、白金Ｐｔよりも
高効率で酸素を消費することができる。
更に、対向した主電極の側部に白金Ｐｔ製の予備電離ピ
ンを放電部に対してガス流の上流側に配［直し、金Ａｕ
製の予備電離ピンを放電部に対してカス流の下流側に配
置するようにしている。ガス流は主型４への長手方向に
対して垂直方向に流れている。金へＵは一般に酸素が活
性な状態におるとぎに酸化反応を起こさせやすいので、
高効率で酸素を消費することができる。
ンを放電部に対してガス流の上流側に配［直し、金Ａｕ
製の予備電離ピンを放電部に対してカス流の下流側に配
置するようにしている。ガス流は主型４への長手方向に
対して垂直方向に流れている。金へＵは一般に酸素が活
性な状態におるとぎに酸化反応を起こさせやすいので、
高効率で酸素を消費することができる。
［発明の効果〕
以上述べたように、本発明によれば、主放電部の両側に
設置する予備電離用のピンの材質を金Ａｕまたは白金Ｐ
ｔにすることにより、レーザの出力低下の原因となる酸
素の量を低減し、安定したレーザ出力を得られるパルス
レーザ発振装置を提供することができる。
設置する予備電離用のピンの材質を金Ａｕまたは白金Ｐ
ｔにすることにより、レーザの出力低下の原因となる酸
素の量を低減し、安定したレーザ出力を得られるパルス
レーザ発振装置を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す要部拡大図である。
１・・・主電極
２・・・主電極
３・・・予備電離ピン（上流側）
４・・・予備電離ピン（下流側）
５・・・ガス流
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 対向配置した一対の主電極間に高電圧を印加し、両電
極間に生じるグロー放電により放電部のレーザ媒質ガス
を励起し、レーザ出力するパルスレーザ装置において、 予備電離ピンの材質として白金Ｐｔ又は金Ａｕを用いた
ことを特徴とするパルスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25578288A JPH02103973A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | パルスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25578288A JPH02103973A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | パルスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02103973A true JPH02103973A (ja) | 1990-04-17 |
Family
ID=17283556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25578288A Pending JPH02103973A (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 | パルスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02103973A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4233634A1 (de) * | 1992-10-06 | 1994-04-14 | Lambda Physik Gmbh | Laser mit zumindest einer Anode und einer Kathode zur Vorionisierung und/oder Entladung |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58103186A (ja) * | 1981-12-16 | 1983-06-20 | Nec Corp | Ｒｆ放電炭酸ガス導波型レ−ザ管 |
| JPS58216481A (ja) * | 1982-06-09 | 1983-12-16 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | 高周波放電封じ切り型ガスレ−ザ |
| JPS6189687A (ja) * | 1984-10-08 | 1986-05-07 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレ−ザ発振方式 |
| JPS639177A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-14 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振器 |
| JPS63146478A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-18 | Tohoku Ricoh Co Ltd | 炭酸ガスレ−ザ用電極 |
| JPS63228682A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-22 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振装置 |
-
1988
- 1988-10-13 JP JP25578288A patent/JPH02103973A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58103186A (ja) * | 1981-12-16 | 1983-06-20 | Nec Corp | Ｒｆ放電炭酸ガス導波型レ−ザ管 |
| JPS58216481A (ja) * | 1982-06-09 | 1983-12-16 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | 高周波放電封じ切り型ガスレ−ザ |
| JPS6189687A (ja) * | 1984-10-08 | 1986-05-07 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレ−ザ発振方式 |
| JPS639177A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-14 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振器 |
| JPS63146478A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-18 | Tohoku Ricoh Co Ltd | 炭酸ガスレ−ザ用電極 |
| JPS63228682A (ja) * | 1987-03-18 | 1988-09-22 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4233634A1 (de) * | 1992-10-06 | 1994-04-14 | Lambda Physik Gmbh | Laser mit zumindest einer Anode und einer Kathode zur Vorionisierung und/oder Entladung |
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