[go: up one dir, main page]

JPH0157299B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0157299B2
JPH0157299B2 JP4186983A JP4186983A JPH0157299B2 JP H0157299 B2 JPH0157299 B2 JP H0157299B2 JP 4186983 A JP4186983 A JP 4186983A JP 4186983 A JP4186983 A JP 4186983A JP H0157299 B2 JPH0157299 B2 JP H0157299B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
data
inspection
value
correction
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP4186983A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS59166835A (ja
Inventor
Kyoshi Furuse
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cosmo Instruments Co Ltd
Original Assignee
Cosmo Instruments Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cosmo Instruments Co Ltd filed Critical Cosmo Instruments Co Ltd
Priority to JP4186983A priority Critical patent/JPS59166835A/ja
Publication of JPS59166835A publication Critical patent/JPS59166835A/ja
Publication of JPH0157299B2 publication Critical patent/JPH0157299B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/26Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by measuring rate of loss or gain of fluid, e.g. by pressure-responsive devices, by flow detectors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 <発明の技術分野> この発明は使用状態で流体漏れがあつてはなら
ないか、若しくは一定規格以内であることが必要
な製品もしくは部品をその生産工程中において順
次検査し、良否を判定する漏れ検査装置に関し、
特に測定雰囲気等によつて生じる検測データの誤
差を自動的に修正することができる自動補正機能
付漏れ検査装置を提供しようとするものである。
<従来技術の説明> 第1図は既に実用化されている漏れ検査装置の
構成を示すブロツク図である。空圧源11の出力
側に接続された流管10は調圧弁12及び電磁弁
14を介して電磁弁14の出口側で二分され、分
岐路15−1,15−2にそれぞれ接続されてい
る。調圧弁12の出口と電磁弁14の入口との間
には検査圧を設定する圧力計13が接続されてい
る。
分岐路15−1は電磁弁16を介して導管18
の一端に接続され、この導管18の他端部には漏
れを検査すべき被検査物20を接続する機構が設
けられる。この導管18の他端部の機構により被
検査物20が順次接続されて漏れ検査が可能な構
成となつている。一方、分岐路15−2は電磁弁
17を介して導管19の一端に接続され、この導
管19の他端部には基準タンク21が接続されて
いる。電磁弁16及び17の出口側において導管
18及び19の間に差圧検出器22が取り付けら
れている。
差圧検出器22の出力信号は増幅器31を介し
て比較器32に与えられ、比較器32において基
準信号設定器33の出力基準値と比較可能な構成
とされる。
<第1図の動作説明> 被検査物20を導管18の端部に取り付け、導
管19には漏れのない基準タンク21を取り付け
て電磁弁14を閉状態とし、調圧弁12を開いて
圧力計13によつて空圧源11から与えられる空
気圧が所定の値となるように調整する。次に電磁
弁16及び17を開状態とし、電磁弁14を開状
態にして設定された一定圧の空気を分岐路15−
1,15−2、導管18,19を通じてそれぞれ
被検査物20及び基準タンク21に供給する。こ
の状態を第2図Aに示すように加圧又は排気区間
とし、その時間をT1で表わす。
電磁弁16及び17を開にしてから一定時間
T1が経過して被検査物20及び基準タンク21
内の圧力が安定した後に、電磁弁16及び17を
閉状態にする。更に所定の安定時間T2(この時間
T2を平衡期間と称する)後に差圧検出器22に
接続された自動零補正式を増幅器31に零補正信
号34が与えられ、増幅器31の出力を予め零の
状態に設定すると共に、この零設定時点から一定
時間T3後に増幅器31の出力信号の読取りが行
われる。零設定時点から読取りを行うまでの時間
T3を検測時間と称する。増幅器31を零点設定
したとき、増幅器31の感度は高感度の状態に切
替えられる。よつて増幅器31の出力を読取る状
態では差圧検出器22の検出信号を大きく拡大し
て読取るようにしている。
こゝで電磁弁16,17を開に制御し、圧力を
与える期間T1と、電磁弁16,17を閉じて圧
力を安定させる期間T2と、増幅器31を零設定
してから読取りを行うまでの検測時間T3を通し
て一検測サイクルと称する。この期間T1,T2
T3の切替はシーケンスコントローラ54によつ
て行われる。
被検査物20の気密が完全で漏れが存在しない
状態では、増幅器31からの出力信号は一定検測
時間において理想的には零となる。被検査物20
に漏れが存在すると、その内部の圧力が正圧の場
合はその正圧が漸次減少し、負圧の場合は圧力が
漸次増加する出力信号が得られ、一定検測時間内
の出力信号は負又は正の漏れ量にほゞ比例した値
となる。
基準信号設定器33から与えられる基準信号と
増幅器31の出力信号が比較器32で比較され、
出力信号が基準信号を越えないかどうかにより、
良品もしくは不良品を示す良否判定出力35が得
られる。
<圧力変化検出式又は差圧検出式漏れ検出装置の
問題点> この従来の圧力変化検出式漏れ検査装置におい
ては、基準タンク21を被検査物20と全く同一
形状で漏れのないものを使用しても、被検査物2
0と基準タンク21との温度差、内容量、形状の
僅かな変形歪み、付着水分の差などの因子によつ
て影響を受け、出力信号は理想的に零の状態にな
り得ない。即ち、これらの因子によつて被検査物
20に全く漏れがなくても、一定検出時間内の出
力信号は理想的な零状態とならず、第2図Bに示
すように正又は負の或る漏れ量に匹敵する値△P
を示すのが通常である。
これらの因子による誤差が各検測サイクルごと
に常に一定であれば、使用に際して予め補正をす
ることができるが、実際には長時間、長期間にお
ける雰囲気条件、即ち周囲温度、湿度、供給空気
温度、被検査物20及び基準タンク21の温度、
付着水分などの因子が徐々に変化する。
又、被検査物20の開口部をシールするゴムの
変形の発生などもあり、これらの因子に基づいて
生産工程ラインを流れる多数の被検査物20を次
次と漏れ検査する場合には必ず1日の間又は各日
毎に或は季節的経年的にこれらの因子に基づく誤
差が変化する。
<従来の漏れ検査装置の欠点> 従来の圧力変化検出式又は差圧検出式漏れ検査
装置においては、時間と共に変化する因子に基づ
く誤差が存在し、良否判定のための基準信号設定
器33の出力基準値をひんぱんに変更する必要が
あつた。しかしこれは省力化、自動化を目的とす
る漏れ検査装置にとつては望ましいことでなく、
且つこの操作によつては高精度の漏れ検査の実施
は困難であつた。
<発明の目的> この発明は上述の従来の漏れ検査装置における
諸難点を解決し、被検査物自体のばらつきを除い
ては、所定の期間内の因子の変化を自動的に補正
し、常に一定の検査精度を維持することが可能な
誤差自動補正機能を持つ漏れ検査装置を提供する
ものである。
<発明の概要> この発明によると、被検査物に一定流体圧を印
加し、この被検査物の圧力変化を時間的にとらえ
るか、もしくは一定流体圧が印加された漏れのな
い基準タンクとの間の差圧変化を時間的にとらえ
て予め設定した基準判定値との比較により、被検
査物の良否の判定を行う漏れ検査装置において、
良品と判定された被検査物の検測データを所定数
記憶する記憶手段と、この記憶手段で記憶された
検測データの平均値を演算する演算手段と、この
演算手段で得られた平均値を被検査物の検測デー
タに対する補正値とし、この補正値に基づいて検
測データを補正するデータ補正手段と、運転開始
の最初の検測サイクルにおいてだけ予め設定した
補正値により補正する初期補正手段とを設けたも
のである。
<発明の実施例> 以下この発明の誤差自動補正漏れ検査装置を、
その実施例に基づき図面を使用して詳細に説明す
る。
第3図はこの発明の実施例の要部の構成を示す
図で、差圧検出器22の出力端は増幅器31の入
力端に接続され、増幅器31の出力端にはA−D
変換器41の入力端が接続される。これら差圧検
出器22と増幅器31とA−D変換器41により
検測手段が構成される。このA−D変換器41の
出力端はデータ補正部47を介して出力表示器4
8及び比較部49の入力端に接続される。
一方、A−D変換器41の出力は記憶手段42
に供給される。記憶手段42は誤差上限値設定器
42aと、A−D変換器41の出力値がこの設定
器42aに設定された誤差上限値△PMより小さ
いときその出力データを通過させA−D変換器4
1の出力データが誤差上限値△PMより大きいと
き、その通過を阻止するゲート手段42bと、ゲ
ート手段42bを通過したデータだけを記憶する
誤差記憶器42cとによつて構成される。よつて
誤差記憶器42cには設定器42aに設定した誤
差上限値△PMより小さい誤差データだけが記憶
される。
誤差データ記憶器42cに記憶した誤差データ
はサンプル数設定器42に設定した個数のデータ
分だけ読出されて平均値演算部44に与えられ
る。平均値演算部44では誤差データ記憶器42
cから与えられたデータの平均値を算出し、切換
スイツチ52を通じて補正量変換部45に供給さ
れる。この補正量変換部45は例えば検測時間
T3と平均値演算部44から与えられる平均誤差
値△Pとによつて補正量δ=T/T3×△Pを演算す る。こゝでTは経過時間を示し、T=0からT=
T3まで変化するものとする。この演算により補
正量変換部45から時間Tの経過に伴つて補正量
δはδ=0からδ=△Pまで漸次増加するデイジ
タル符号として得られる。この補正値δをデータ
補正部47に与え、D−A変換器41から出力さ
れる検測データ△Piを補正する。
この発明においては補正量変換部45の入力側
に平均値演算部44の他に初回補正量設定器53
を設け、運転開始の1回目の検測時だけこの初回
補正量設定器53に設定した補正値により検測デ
ータを補正し、2回目以後は検測データの平均値
を補正値として利用するものである。平均値はサ
ンプル数設定器43に設定したサンプル数の平均
値とする。つまりサンプル数をNに設定した場合
は、今回の検測データとN個前のサンプル数の平
均値を求めるものである。次の検測サイクルでは
先のN個前の最も古い検測データを除去し、その
回の検測データを加えて平均値を算出する。これ
は一般に移動平均と呼ばれている。誤差記憶器4
2cに記憶される誤差データの数がN個に達する
までの間はその記憶されたデータの平均値を算出
する。尚54は各部の動作をシーケンス制御する
コントローラを示す。
<発明の動作> 運転開始時には切替スイツチ52を初回補正量
設定器53側に切替える。初回補正量設定器53
には前日の最終補正値或はその季節における予め
経験的に得られた補正値を設定する。第4図を用
いて補正動作について説明する。第4図Aに示す
D1,D2,D3,……Dnは各検測サイクルの検測デ
ータである。この検測データD1〜Dnの中で誤差
上限値△PMを越える例えばDiはゲート手段42
bによりその通過を阻止され記憶器42cに記憶
しない。第4図Bに示すδ1〜δnは各検測データ
D1〜Dnを補正する補正値を示す。
こゝで初回の補正値δ1は初回補正量設定器53
から与えられ、この補正値δ1によつて検測データ
D1を補正することにより、第4図Cに示す補正
済データ△P1を得る。この補正済データ△P1
良否判定比較部49に与えられ、良否判定比較部
49において良否判定限界設定器50から与えら
れる限界値△Psと比較する。補正済データ△P1
が限界値範囲内であれば良信号51が出力され
る。補正済データ△P1は良否判定比較部49の
他に表示器48にも与えられ、補正済のデータ値
(差圧に対応した値)を表示する。
2回目の検測サイクルにおいては、切替スイツ
チ52が平均値演算部44側に切替られる。記憶
器42cには1回目の検測データ値D1が2回目
の検測データD2の補正値δ2となり、3回路の検
測データにおいては1回目の検測データD1と2
回目の検測データ値D2が記憶されるから平均値
演算部44は検測データD1とD2の平均値δ3を算
出し、この平均値δ3を補正量変換部45に供給
し、3回目の検測データD3を補正する。補正済
データ△P2が良否限界値△Psより小さければ良
否判定比較部49から良信号51が出力される。
同様にして検測データD4は検測データD1,D2
D3の平均値δを使用して補正される。この補正
の結果、補正済データ△P4が得られるが△P4
例えば良否判定限界値△Psを越えたとすれば良
否判定比較部49から不良信号51′が出力され
る。この場合は検測データD4は記憶器42cに
取込まない。
このようにして記憶器42cに記憶されたサン
プル数がサンプル数設定器43に設定した数Nに
達するまでは順次補正用データ数が増加する。
サンプリング数がNに達するとその後は平均値
の算出に当ててその回の検測データを加える代わ
りに設定サンプル数Nだけ前のデータを除いて平
均値を算出する。
また或る検測サイクルにおける検測データDi
が補正量限界設定器42aに設定された補正量限
界値△PMを越えたときは被検査物以外の異常な
漏れがあると判定してこれを記憶器42cに取込
まないものとする。
<発明の効果> 上記したようにこの発明のよれば初回の検測サ
イクルだけ初回補正量設定手段53によつて設定
した補正値により検測データを補正し、2回目以
後は各検測サイクル毎に得られる誤差値を平気し
た値を補正値として利用するようにしたから、運
転の初期から精度の高い試験を行うことができ
る。また運転中に誤差が僅かずつ変化しても、そ
の誤差は平均化されて補正値として得ることがで
きるため、運転開始から高い精度で漏れ検査を行
うことができる。
また補正量変換部45においてT/T3×△Pを演 算し、時間の経過と共に補正値δを漸次増加させ
るように補正したので補正値δとA−D変換器4
1から出力される検測データがほゞ等しい状態で
増加するから、補正済データはどの時点を採つて
も小さい値にすることができる。よつて良否判定
限界設定器50に設定する限界値を小さくしても
検測期間T3において良品の場合は良否限界値△
Psを越えることがない。よつて良否限界値△Ps
を小さく設定することができ、精度が高い漏れ検
査を行うことができる。よつてその効果は実用に
供して頗る大である。
<発明の他の実施例> 第5図は第3図に示した各部の構成をマイクロ
コンピユータによつて構成した場合を示す。
第5図において55はマイクロコンピユータを
示す。このマイクロコンピユータ55は周知のよ
うに中央処理装置56と、ROM57と、RAM
58と、入力ポート59及び出力ポート61とに
より構成することができる。入力ポート59には
差圧検出器22のアナログ検測データを増幅器3
1によつて増幅し、その増幅出力をA−D変換器
41においてA−D変換したデイジタル検測デー
タが与えられる。中央処理装置56は一定の時間
間隔、例えば10ミリ秒程度の時間間隔でA−D変
換器41から出力される検測データを取込む。
入力ポート59にはA−D変換器41の他に設
定器62が接続される。設定器62には第3図で
説明したように誤差上限値設定器42aと、平均
値を算出するためのサンプル数設定器43と、良
否判定限界設定器50と、初回補正量設定器53
が接続され、これら各設定器42a,43,5
0,53に設定した設定値が中央処理装置56に
取込まれ、RAM58の指定されたアドレスに記
憶される。
第6図に第5図に示す実施例の動作順序を説明
するフローチヤートを示す。
ステツプでは上記したように設定器42a,
43,50,53の各設定値をRAM58に取込
む動作を行う。ステツプではA−D変換値を取
込む。
ステツプでA−D変換値が誤差上限値△PM
より小さいか否かを判定する。この判定ステツプ
は第3図に示したゲート手段42bに対応し、
A−D変換値が誤差上限値△PMより大きい場合
はステツプにジヤンプし不良信号51′を出力
する。
ステツプでA−D変換値をRAM48に取込
む。
ステツプで初回の検測サイクルか否かを判定
する。この判定の結果初回の検測サイクルであれ
ばステツプで初回補正値を読出す。
ステツプにおいて初回の検測サイクルでない
ものと判定するとステツプにジヤンプし、検測
サイクルの数がサンプル数設定器43に設定した
数Nより大か小かを判定する。この判定の結果検
測サイクルの数がサンプル数設定器43に設定し
た数Nより小さい場合はステツプでRAM48
に取込んだ検測データの平均値を演算する。
ステツプにおける判定において、検測サイク
ル数がサンプリング設定器43の設定数Nより大
きいときはステツプにおいて設定数Nに対応す
る前のデータを除去し、新しいA−D変換値を加
えて平均値を算出する。
これらの平均値又は初回補正値△Pを用いてス
テツプにおいてT/T3×△Pを演算し、時間と共 に漸次大となるような補正値δに変換する。従つ
てこのステツプは第3図に示した補正量変換部
45に対応する。
ステツプで得られた補正値によりステツプ
においてA−D変換値を補正する。従つてこのス
テツプが第3図に示したデータ補正部47に対
応する。
ステツプにおいて補正済データが良否判定限
界内か否かを判定し、良否判定限界内であればス
テツプで良信号51を出力する。補正済データ
が良否判定限界を越える場合はステツプにジヤ
ンプし、不良信号51′を出力する。
以上のシーケンス動作はマイクロコンピユータ
55を構成するROM57に収納したプログラム
によつて実行される。
<発明の更に他の実施例> ところで上述では被検査物20に対して基準タ
ンク21を設け、被検査物20と基準タンク21
の圧力差を差圧検出器22によつて検出するよう
にした場合を説明したが、第7図に示すように被
検査物20に対してだけ加圧又は排気を行い、被
検査物20の圧力変化を基準タンクとの圧力差と
して検出せずに直接圧力検出器63によつて検出
し、その圧力変化により被検査物20の漏れを検
出する漏れ検査装置も考えられる。
第7図はこのような漏れ検査装置にこの発明を
適用した場合を示す。第7図において第5図と対
応する部分には同一符号を付し、その重複説明は
省略する。
以上説明したようにこの発明によれば、運転開
始に際し初回補正値を用意したから、運転開始時
点から精度の高い漏れ検査を行うことができる。
また検測サイクルが進んで誤差値が漸次変化して
も、その変動に追従して補正値が変化するから、
時間の経過に対しても常に精度の高い漏れ検査を
行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の漏れ検査装置を説明するための
ブロツク図、第2図は第1図の動作を説明するた
めの波形図、第3図はこの発明の一実施例を示す
ブロツク図、第4図は第3図の実施例における補
正動作を説明するためのブロツク図、第5図はこ
の発明の他の実施例を示すブロツク図、第6図は
第5図の動作を説明するためのフローチヤート、
第7図はこの発明の他の実施例を示すブロツク図
である。 11:圧力源、20:被検査物、21:基準タ
ンク、22:差圧検出器、31:零点補正式増幅
器、41:A−D変換器、42:記憶手段、4
4:平均値演算部、45:補正量変換部、47:
データ補正部、49:良否判定比較部、50:良
否判定限界設定器、53:初回補正量設定器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 A 被検査物に一定流体圧を印加し、この被
    検査物の内部又は外部の圧力の変化を計測して
    検測データを得る検測手段と、 B この検測手段から得られる検測データの適正
    範囲内の検測データを所定個数分記憶する記憶
    手段と、 C この記憶手段に記憶された1個以上所定数ま
    での検測データの平均値を逐次算出して誤差補
    正値を得る平均値演算手段と、 D この演算手段で得られた誤差補正値により上
    記検測手段から得られる検測データを補正する
    データ補正手段と、 E このデータ補正手段で補正した補正済検測デ
    ータと良否判定限界値とを比較し、被検査物の
    良否を判定する良否判定手段と、 F 運転の最初の検測サイクルにおいてだけ予め
    設定した誤差補正値を上記データ補正手段に与
    え、初回の検測サイクルの検測データを補正す
    る初回補正値設定手段と、 から成る圧力変化検出式漏れ検査装置。
JP4186983A 1983-03-14 1983-03-14 圧力変化検出式漏れ検査装置 Granted JPS59166835A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4186983A JPS59166835A (ja) 1983-03-14 1983-03-14 圧力変化検出式漏れ検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4186983A JPS59166835A (ja) 1983-03-14 1983-03-14 圧力変化検出式漏れ検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59166835A JPS59166835A (ja) 1984-09-20
JPH0157299B2 true JPH0157299B2 (ja) 1989-12-05

Family

ID=12620262

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4186983A Granted JPS59166835A (ja) 1983-03-14 1983-03-14 圧力変化検出式漏れ検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59166835A (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4107970B2 (ja) * 2003-01-15 2008-06-25 三菱レイヨン株式会社 浄水カートリッジのリーク検査方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS59166835A (ja) 1984-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0139752B1 (en) Pressure variation detecting type leakage inspection equipment
JPH0157728B2 (ja)
US4686638A (en) Leakage inspection method with object type compensation
US7818133B2 (en) Leak inspection method and leak inspector
US10816434B2 (en) Apparatus and method for leak testing
JPH11118657A (ja) ドリフト補正値算出装置及びこの算出装置を具備した洩れ検査装置
JP3367811B2 (ja) ガス配管系の検定システム
KR20090003195A (ko) 배관로의 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치
JP2000039347A (ja) 流量検査装置
JP2019144062A (ja) 判定装置
JPH0157299B2 (ja)
CN102072802A (zh) 智能恒压高精度检漏仪
JPH0240515Y2 (ja)
JPH11304632A (ja) 洩れ検査用ドリフト補正値算出装置及びこれを用いた洩れ検査装置
JP2000162084A (ja) 洩れ検査方法及び洩れ検査装置
JPS5920093B2 (ja) 漏洩測定装置
KR870003633Y1 (ko) 압력변화 검출식 누출 검사장치
JPH0134333B2 (ja)
CN114858349A (zh) 电阻真空变送器检测装置及方法
JP3143299B2 (ja) 容器のガス漏れの計測方法
JP3186644B2 (ja) 気体漏洩検査方法
JPH0222666Y2 (ja)
JPH09166515A (ja) リークテスト装置
JPH09145524A (ja) 誤差自動補正機能付漏れ検査装置
US20090314053A1 (en) Device for calibration of a humidity sensor and a sensor arrangement with a humidity sensor which may be calibrated