JPH0138494Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 第１図のように流体（主として気体）が流れる
パイプ１の流量検出部１ａを流体の温度より高い
温度に加熱し、流れ方向に沿つて一定の距離はな
れた２点Ａ，Ｂの温度を温度センサー３，４で測
定すると、Ａ，Ｂの温度差ΔTとパイプ内を流れ
る流体の質量流量Fmとの間には一定の関係が成
立する。

この原理を用いた流量計は熱式質量流量計と呼
ばれ、各種のものが実用に供せられている。

この種の流量計を構造上大きく分けると、つぎ
の２種に分けることができる。

第１の形式は前記第１図のもののように、主パ
イプ１に直接加熱ヒーター２および温度差検出器
５を設け、主パイプの流量を直接検出する方式で
ある。

第２の形式は第２図のように主パイプ１にある
種の絞り部８を設け、絞りの前後に入口、出口を
もつ流量検出パイプたるバイパス管７を設け、バ
イパス管に上記の加熱ヒーター２および温度差検
出器５を設けて、バイパス管路の流量を検出する
方式である。

第２の方法は管径をきわめて小さくすることが
できるため、パイプから流体への熱伝導が行なわ
れやすく、流量の変化に対する温度差の変化が大
きく、検出感度、測定精度の点で優れている。

しかし、全体の流量とバイパス管を流れる流量
との間に常に比例関係が成立するような絞り部を
設ける必要があり、この比例関係に誤差が生じる
と測定値にも誤差が生じること、また絞り部によ
つて圧力損失が生じること、バイパス管が詰まり
やすいことなどの欠点がある。

これに対し、第１の方式は流量検出部１ａが詰
まるおそれがなく、また絞り部がないため圧力損
失が少ないなど、第２の方式にくらべてすぐれて
いるが、流量検出部１ａの径が大なるため、パイ
プの熱は流体の中心部までは伝達されにくく、流
体との熱交換量が少ない。したがつて、２点間の
温度差が小で、それだけ鈍感な流量計となり、精
度的に一段劣るという欠点がある。

本考案は、前記２方式のものの欠点が除去さ
れ、加熱パイプと中の流体との熱交換量が大で、
パイプにおける２点の温度差が従来のものより大
となり、したがつて鋭敏にして精度の高い熱式質
量計を提供できるようにした。

しかして本考案の特徴とするところは、熱式質
量流量計において、前記流量検出パイプ、すなわ
ち第１図のものではパイプ１ａを、第２図のもの
ではバイパス管７をして、それぞれ内向突出部を
形成せしめたものとしたり、あるいは偏平形状の
ものに形成することにより、パイプ内壁面と流体
との実質的接触面積を大ならしめうるようにした
ことにある。

すなわち、第３図は前記パイプの第１実施例を
示し、パイプ内壁に内向突出部６を設けたのが特
徴である。第４図は前記パイプの第２実施例を示
し、パイプ内に、経緯方向の突出部６にて格子部
を設けてある。第５図は前記パイプ１の第３実施
例を示し、パイプ断面を花弁状に形成してあり、
内向花弁部６が突出部に相当する。第５図は前記
パイプの第４実施例で、パイプ断面を長円形にし
てある。

本考案の熱式質量流量計は上述した構造のもの
で、流量検出パイプの内壁面と流体との接触面積
が大となつているので、検出パイプは流体との熱
交換能力が大となつており、ために、パイプ内を
通る流体はヒーターにて充分に加熱され、加熱前
と加熱後の２点Ａ，Ｂの温度差が大となつてい
る。

したがつて、本考案によれば、２点間の温度差
を大ならしめ得て、それだけ鋭敏にして信頼度の
高い熱式質量流量計を提供できるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、本考案に係る熱式質量流
量計の概略図である。第３図乃至第５図は流量検
出パイプの端面形状の各実施例を示す図である。 図中、１……パイプ、２……ヒーター、３，４
……温度センサー、５……温度差検出部、６……
突出部、７……バイパス管、８……絞り。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ヒーターを備えていて、このヒーターを挟む２
   点に温度センサーが配されている流量検出パイプ
   内を流体が流れ、かつ前記２点の各温度の差を検
   出して流体の質量流量を測定する熱式質量流量計
   において、前記流量検出パイプをして、内向突出
   部を形成せしめたものとしたり偏平形状のものに
   形成することにより、流量検出パイプ内壁面と流
   体との実質的接触面積を大ならしめるようにした
   熱式質量流量計。