JPH01240274A - ハイブリッド研磨テープ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は磁気ヘッドや磁気ディスクの仕上げ研磨、光フ
アイバ一端面の精密仕上げ研磨、金型の精密仕上げ研磨
等に使用される研磨テープに関するものである。

〔従来の技術〕

精密機械部品や精密電子部品に使用される磁気ヘッドや
磁気ディスク等の表面は、例えばミクロン又はザブミク
ロンオーダー以下の精密な表面に仕上げられることが、
しばしば必要とされており、古くから用いられていた砥
石にかえて、近年、ポリエステルフィルムからなる研磨
テープ用のフィルム状基村上に、硬度の高い無機質微粉
末を樹脂溶液中に分散させた無機質微粉末の分散樹脂溶
液を塗布、乾燥し、研磨層を形成することによって得ら
れる研磨テープ（例えば特公昭５３−４４７１４号公報
）が使用されている。

〔発明が解決しようとする課題］ しかしながら、前記従来の研磨テープでは弾力性に劣る
ため被研磨物の厚みが極く薄いものの場合には、研磨テ
ープを使用する研磨作業工程で、前記被研磨物を支持し
ている支持体の表面状態の影響を受は易く、また前記研
磨テープを支持している支持体の表面状態や、前記研磨
テープの研磨テープ用基材の非研磨層面の表面状態や、
研磨テープにおける研磨層表面の歪み（研磨層を形成す
る際のコーティングむら、稀に発生している突起）更に
は異物の混入等の影響を受けることがあり、均一な研磨
仕上げを実施し難いという欠点を有している。

また更に、前記従来の研磨テープは、該研磨テープを磁
気ディスク等の被研磨物の表面に押し当てる際の圧力調
整が困難なため、圧力不足の状態で研磨が実施される場
合には研磨不十分となり、また、逆に圧力過剰の状態で
研磨が実施される場合には、深い研磨層ができる等の欠
点をも有している。

そのうえ、従来の研磨テープは、強度が充分でなかった
り、わずかの傷により破断したり裂けたりするし、また
、力をかけて伸ばした場合伸び切ってしまって元の状態
に復元しなかったり等、数多くの欠点を未だ保有してい
る。

これに対して本発明は、これらの欠点がなく、特に、被
研磨物の厚みが極く薄いものの場合でも、被研磨物を支
持している支持体の表面状態に影響されるようなことが
なく、また、研磨テープの支持体の表面状態や研磨テー
プの研磨テープ用基材の被研磨層面の表面状態や研磨層
形成時のコーティングむら等に起因する研磨層の歪み等
の影響を受けるようなことがなく、更には、研磨作業時
に異物の混入の影響を受けるようなこともなく、また、
被研磨物の表面に研磨テープを押し当てる際の圧力調整
がやり易く、たとえ、過剰圧力が研摩テープにかけられ
るようなことがあっても、これが研磨テープ中に吸収さ
れる等の作用が奏されるもので、良好な研磨を行ない得
る研磨テープを提供するものである。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、上記した従来既知の研磨テープの欠点を解決
するためになされたものである。そのために、研磨テー
プについて、研磨材料、その粒度、接着剤、硬化剤等各
方面から検討を深く行ったが、目的とするような研磨テ
ープを得るのには全く成功しなかった。

そこで、本発明者等は、フィルム状をなす研磨テープ用
基材に着目するに到り、材料の選択、厚みの検討を鋭意
行ったけれども成功するには到らなかった。そこで発想
を完全に転換して、従来のポリエステルフィルムのみか
らなる単層のテープ用基材にかえて、これにポリウレタ
ンフィルムをラミネートした２層のテープ用基材を使用
したところ、フィルムの厚みは薄くしたにもかかわらず
、強度がすぐれ且つ弾力性にも優れた従来既知の単一フ
ィルムでは得ることのできない従来にない卓越したテー
プ用基材が得られるという新知見を全く予期せざること
に得た。

そしてこの新知見を基礎として更に検討を行い、本発明
の完成に到ったのである。本発明は、物性の異なるフィ
ルム状の基材を２種以上併用することを重要な特徴とす
るものである。

本発明においてフィルムとしては、合成樹脂のほか、紙
、セロファン、金属（アルミ箔、ステンレス箔等）、各
種ラミネートフィルム、加工フィルム（ＦＲＰフィルム
等、ファイバー、ガラス繊維、ワイヤー等で強化したフ
ィルムその他）等、フィルム状の基材であればすべての
材料が適宜単用又は併用される。

本発明においては、これらフィルムの内、物性の異なる
ものを２種以上はり合わせて使用するものであるが、物
性とは、例えば次のものが例示される。機械的強度、寸
法安定性、耐熱性、弾力性、伸長性、耐伸長性、耐薬品
性、耐光性、耐油性、耐湿性、耐衝撃性、その他研磨フ
ィルムに関連する物性をすべて指すものである。

本発明においては、このような物性を有するフィルムを
目的に応じて適宜選択し、それらを張り合わせて使用す
るものであり、例えば機械的強度の高いフィルムと弾力
性に冨むフィルムを張り合わせる等、全く別個のフィル
ムを張り合わせて使用する。

しかしながら、同一材料であってもそのフィルムの厚み
が変われば物性も変化してくる。例えば弾力性に富むフ
ィルム上にそれよりも厚い同一フィルムを積層すること
によって機械的強度を付加してやるというように、同一
材料においても物性が相違するものがあり、このような
場合も本発明に包含される。また、延伸フィルムのよう
に、ポリアミドやポリプロピレン等のフィルムを再加工
して片軸延伸したものと２軸延伸したものとは性質が相
違してくるので、このような場合も本発明に包含される
。

このようにして材料を変えて、また同一材料でもその厚
さ、再加工処理、製法等を変えて、物性の相違するフィ
ルムを各種用意しておき、目的に応してこれらフィルム
を２種以上併用することにより、各種ニーズにきめ細か
く応じることができる。ずくれた物性を数種類併有する
単一フィルＪ、を２種以上併用すれば更にすくれた研磨
テープを得ることができる。

本発明においては、これらの基材をはり合わせて用いる
ものである。すなわち本発明において、本発明に係る研
磨テープは、該研磨テープにおけるフィルム状をなす研
磨テープ用基利が２種類以上の、異なる物性を有するフ
ィルムが張り合わされているものである。ここでいう張
り合わされるとは、これらのフィルムを２層以上積層、
ラミネートすることをいい、これらを接着、熱溶着、圧
着等適宜の手段で張り合わすことを指すほか、必要ある
場合には、適当な個所をスポット状に又は縁部のみを又
はこれらを組合わせる等一部分を接着してもよいし、あ
るいは、接着することなく両者の端部を挟持してフィル
ムを単に重ね合わせるようにしてもよい。

このようにして各種の用途に特に適した研磨テープを自
由に製造することができるが、例えば被研磨物に密着し
て研磨効果を高めるための緩衝性を有する研磨テープに
おける研磨テープ用基材としては、例えばポリエチレン
テレツクレート、ポリアクリレート、ポリカーボネー１
−、ポリイミド等からなる厚さ１０〜１５０μｍ程度の
機械的強度、寸法安定性、耐熱性等に優れた性質を有す
るフィルムとポリプロピレン、ポリエチレン、ポリウレ
タン等からなる厚さ１〜１５０μｍ程度の弾力性に優れ
た性質を有するフィルムとを、２種類以上張り合わせた
、機械的強度、寸法安定性、耐熱性等、基材として要求
される性質と弾力性等緩衝性に寄与する性質とを合わせ
有するフィルムが好適に利用される。研磨層は前記研磨
テープ用基材の表裏いずれの面に形成されても良く、前
記研磨層と前記研磨テープ用基材との間の密着性の向上
のため、前記研磨層と前記研磨テープ用基材との間に下
塗層を設けても良い。また前記研磨層は研磨テープ用基
材を張り合わせる前後いずれの工程で形成さされても良
い。

前記研磨層は、常法によって形成せしめるが、通常、１
次粒子の平均粒径が０．１〜６０μｍ程度の例えば酸化
アルミニウム、炭化ケイ素、酸化クロム、酸化鉄、ダイ
ヤモンド、酸化ジルコニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素
、エメリー、酸化セリウム等の研磨材粒子と例えば、ポ
リエステル樹脂、塩・酢ビ樹脂、ポリウレタン樹脂、ブ
チラール樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリ
ル樹脂、硝化綿、塩化ゴム等の樹脂の１種または２種以
上からなるバインダー用樹脂とで構成される厚さ３〜１
００μｍ程度のものであるが、研磨層における耐摩耗性
、耐溶剤性、耐熱性及び基材との密着性等の性質を向上
させるために、イソシアナート系硬化剤を添加し、硬化
樹脂層とすることかできる。

一般的にはバインダー成分１００重量部に対して研磨材
粒子１００〜１４００重量部程度を含有する研磨層とさ
れるものである。

前記研磨フィルム用基材に研磨層形成用塗布液を塗布す
る方法には、２本ロール、３本ロール。

４本ロール等によるロールコート、グラビアコート、キ
スコート、ナイフコート、パ゛−コート、ロットコート
、コンマコート、スプレーコート、ハークコート等があ
り、ロールコート法とグラビアコート法とにおいては、
ダイレクト法とリバース法との両方法が利用し得るし、
特に、２本、３本。

４本リバースロールコート法を利用する場合には、表面
平滑性に優れた塗布層が得られる。

〔実施例］ 以下、本発明の研磨テープの具体的な構成を製造実施例
に基づいて説明する。

実施例１ 下記組成の研磨材分散樹脂液［Ａ］に対して、キシリレ
ンジイソシアナート［諸星インキ■製。

χＥ　Ｌ硬化剤Ｏ）］を、前記研磨材分散樹脂［Ａ］中
のポリエステル樹脂における一〇Ｈ基と添加されるキシ
リレンジイソシアナ−１・のイソシアナート基（−ＮＧ
Ｏ）との関係が、（−ＮＧＯ／−〇〇）　−５（当量比
）に相当する量で添加し、引き続いて、トルエンとメチ
ルエチルケトンとの当量混合溶剤で希釈して得られた粘
度２５０ｃｐの塗布液を、厚さ２５μｍのポリエチレン
テレフタレートフィルム〔奇人製。

テトロンフィルム〕と厚さ２０μｍのポリウレタンフィ
ルム〔大日本プラスチンク製、ダイプラウレタンフィル
ム〕をラミネートした厚さ５０μ「の研磨テープ用基材
のポリウレタンフィルム側基材表面に３本リバース法に
て塗布、乾燥後、４５°Ｃにて１０日間のエージング処
理に付し、厚さ２０μｍの研磨層を形成することにより
本発明の１実施例品たる緩衝性を有する研磨テープ〔１
〕を得た。

研磨材分散樹脂液［Ａ］ （１）ポリエステル樹脂−＝−−−一一＝４０重量部［
東洋紡績■：ハイロン＃１ｏ３］ （２）酸化アルミニュウム−−−−−−−−−−−２０
０重量部［不二見研磨剤■ニーへ１１１００００　］（
３）トルエン　−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−６０重量部（４）メチルエチルケト
ン−−−−−−−−６０重量部実施例２ 前記実施例１における研磨テープ〔１〕の製造工程での
研磨テープ用基材として厚さ１６μｍのポリエチレンテ
レフタレートフィルム〔東し製、ルミラー］と厚さ１６
μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム〔東し製、
ルミラー〕の各片面に下塗層としてポリエチレンイミン
を塗布した後、ポリエチレンをサンドラミネーションし
た厚さ５０μｍの基材を使用する以外は、全て前記実施
例１と同様に処方し、本発明の実施例布たる緩衝性を有
するテープ（ｉｉ）を得た。

比較例１ 前記実施例１にける研磨テープ〔１〕の製造工程での研
磨テープ基材として厚さ５０μｍのポリエチレンテレフ
タレートフィルム〔奇人製、テトロン］を使用する以外
は全て前記実施例１と同様に処方し比較のための研磨テ
ープ（ｉｉｉ　）を得た。

記比較のための研磨テープとを使用して、それぞれの研
磨テープを、５ｍｍ／ｓｅｃの速度で送りながら中心線
平均粗さ０．０４５μｍの３．５インチフロッピーディ
スク〔日本メモレックス■製〕を４００Ｏｒｐｍで回転
させることからなる前記フロッピーディスクの表面研磨
仕上げを実施し、得られたフロッピーディスクの研磨仕
上げ面の中心線平均粗さ（μｍ）と、フロッピーディス
クの研磨仕上げ面に筋状の傷が発生して不良品となった
製品の数とを表にて示す。

上記結果からも明らかなように、本発明によれば、不良
製品がほとんど発生せず、本発明の効果が卓越している
ことがわかる。

〔発明の作用効果〕

本発明の研磨テープは、研磨層が形成されているフィル
ム状をなす研磨テープ用基材が２種類以上の、異なる物
性を有するフィルムから構成されているものであって、
該研磨テープの使用時において、前記研磨テープにおけ
る研磨テープ用基材が緩衝性その他目的とする各種性能
を発現するものである。

したがって、本発明に係るテープは、研磨しようとする
被研磨物の形状、構造、材質その他の性質にきめ細かく
対応できるのみでなく、テープ自体にも耐久性、耐摩耗
性、機械的強度、耐引張性等希望する性質を付与するこ
とができ、きわめですくれている。

例えば、特に緩衝性を付与した本発明に係る研磨テープ
は、被研磨物の厚みが極く薄いものの場合であっても、
被研磨物を支持している支持体の表面状態に影響される
ようなことがなく、また、研磨テープの支持体の表面状
態や研磨テープの研磨テープ用基材の非研磨層面の表面
状態や研磨層形成時のコーティングむら等に起因する研
磨層の歪み等の影響を受けるようなことがなく、更には
、研磨作業時に異物の混入の影響を受けるようなことも
なく、また、被研磨物の表面に研磨テープを押し当てる
際の圧力調整がやり易く、たとえ、過電圧力が研磨テー
プにかけられるようなことがあっても、これが研磨テー
プ中に吸収される等の作用が奏され極めて良好な研磨仕
上げを実施し得るものである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. フィルム状をなす研磨テープ用基材上に研磨層を具備す
   る研磨テープにおいて、前記フィルム状をなす研磨テー
   プ用基材が２種類以上の、異なる物性を有するフィルム
   からなることを特徴とする研磨テープ。