JPH01223416A - 表示装置用電極板およびその製造方法 - Google Patents
表示装置用電極板およびその製造方法Info
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- JPH01223416A JPH01223416A JP63050355A JP5035588A JPH01223416A JP H01223416 A JPH01223416 A JP H01223416A JP 63050355 A JP63050355 A JP 63050355A JP 5035588 A JP5035588 A JP 5035588A JP H01223416 A JPH01223416 A JP H01223416A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はカラー液晶デイスプレィを用いた表示入力装置
などに用いられる表示装置用電極板の製造方法に関する
。
などに用いられる表示装置用電極板の製造方法に関する
。
〈従来の技術〉
液晶デイスプレィは、高密度表示のため画素や端子部の
ピッチが1100I1付近まで要求されるようになって
きている。同時に大画面化しつつある。
ピッチが1100I1付近まで要求されるようになって
きている。同時に大画面化しつつある。
従って、液晶駆動の観点から透明電極の低抵抗化と、薄
型化という観点から駆動用ICとの表面実装という2つ
の要求が特に強くなってきている。
型化という観点から駆動用ICとの表面実装という2つ
の要求が特に強くなってきている。
これら要求を満足させるため、透明電極の一部に低抵抗
化のための補助導体として、数十μm幅の金属薄膜の細
線パターンを設け、あるいは液晶パネルの端子部に、金
属薄膜を形成し、表面実装用途に対応することは公知の
技術である。
化のための補助導体として、数十μm幅の金属薄膜の細
線パターンを設け、あるいは液晶パネルの端子部に、金
属薄膜を形成し、表面実装用途に対応することは公知の
技術である。
カラー液晶デイスプレィにおいて、カラーフィルターの
上に透明電極を形成したものより液晶駆動の点及び表示
品位の点で格段に優れている。透明電極をエツチングに
よりパタニングするため・カラーフィルターに耐酸性を
付与する目的でカラーフィルターと透明電極の間に有機
樹脂の保護層を設けることは一般に行われている。
上に透明電極を形成したものより液晶駆動の点及び表示
品位の点で格段に優れている。透明電極をエツチングに
よりパタニングするため・カラーフィルターに耐酸性を
付与する目的でカラーフィルターと透明電極の間に有機
樹脂の保護層を設けることは一般に行われている。
〈発明が解決しようとする課題〉
印刷や染色により形成されたカラーフィルターの上に有
機樹脂の保護層を形成して後、さらに該保護層の上に透
明電極を形成した電極板は、後工程の熱処理でシワやフ
クレを発生する欠点があった。
機樹脂の保護層を形成して後、さらに該保護層の上に透
明電極を形成した電極板は、後工程の熱処理でシワやフ
クレを発生する欠点があった。
それに対してポリイミドやシリコン系の樹脂は耐熱性が
あるものの、きわめて高価であり保護層材料として採用
できない、また、これら耐熱性樹脂をカラーフィルター
電極板全面にコーティングしては、電極板端部からの電
気的接続に問題が生じてしまう、それは、透明電極と基
板の間に樹脂層があるため、上からの圧力で透明電極に
傷をつけ易いためである。
あるものの、きわめて高価であり保護層材料として採用
できない、また、これら耐熱性樹脂をカラーフィルター
電極板全面にコーティングしては、電極板端部からの電
気的接続に問題が生じてしまう、それは、透明電極と基
板の間に樹脂層があるため、上からの圧力で透明電極に
傷をつけ易いためである。
本発明者は上記の問題を解決するためグリユー、ゼラチ
ンやカゼインなどポリペプチド感光性樹脂もしくは、フ
ェノールボラック系エポキシ樹脂骨格とする感光性樹脂
を保護層として用いた、新規な電極板を提案した。しか
しながら、この電極板はほぼ実用レベルにあるものの、
一部に透明電極と、保護層やガラスの透明基板との接着
力が弱いものがあった。また、ゼラチンなどペプチド樹
脂の保護層との接着力を高めるため、この保護層表面を
逆スパツタ処理する事で、スパッタリングによる表面ク
リーニング及び重合度の促進させる必要があった。しか
し、逆スパツタの機構は装置コストを高めるとともに、
その処理は電極板の生産能力を低下させる欠点があった
0本発明は、逆スパツタ処理によらない保護層表面を処
理する方法及び物を、提供しようとするものである。
ンやカゼインなどポリペプチド感光性樹脂もしくは、フ
ェノールボラック系エポキシ樹脂骨格とする感光性樹脂
を保護層として用いた、新規な電極板を提案した。しか
しながら、この電極板はほぼ実用レベルにあるものの、
一部に透明電極と、保護層やガラスの透明基板との接着
力が弱いものがあった。また、ゼラチンなどペプチド樹
脂の保護層との接着力を高めるため、この保護層表面を
逆スパツタ処理する事で、スパッタリングによる表面ク
リーニング及び重合度の促進させる必要があった。しか
し、逆スパツタの機構は装置コストを高めるとともに、
その処理は電極板の生産能力を低下させる欠点があった
0本発明は、逆スパツタ処理によらない保護層表面を処
理する方法及び物を、提供しようとするものである。
〈課題を解決するための手段〉
本発明は、透明な基板にカラーフィルターと、オーバー
コート層と、透明電極とをこの順で積層する表示装置用
電極板の製造方法において、オーバーコート層の表面を
カップリング剤で表面処理して後、透明電極を形成する
ことを特徴とする表示装置用電極板およびその製造方法
である0本発明は、使用される表示装置の種類に応じて
、さらに透明電極の上に一部重畳するように金属薄膜を
形成しても良い、また、必要に応じて不純物が表面に付
着しないように、オーバーコート層と透明電極との間に
無機酸化物層を挿入しても良い。
コート層と、透明電極とをこの順で積層する表示装置用
電極板の製造方法において、オーバーコート層の表面を
カップリング剤で表面処理して後、透明電極を形成する
ことを特徴とする表示装置用電極板およびその製造方法
である0本発明は、使用される表示装置の種類に応じて
、さらに透明電極の上に一部重畳するように金属薄膜を
形成しても良い、また、必要に応じて不純物が表面に付
着しないように、オーバーコート層と透明電極との間に
無機酸化物層を挿入しても良い。
尚、本発明に用いるカラーフィルターは、フォトグラフ
ィの手法で形成したもの、印刷により形成したものなど
方法、材料は限定するものでない。
ィの手法で形成したもの、印刷により形成したものなど
方法、材料は限定するものでない。
オーバーコート層材料は150℃以上の耐熱性があるこ
とが望ましいが、透明な有機材料であれば良い、先述し
たペプチド樹脂、エポキシ樹脂の他、ポリイミド、シリ
コンも使用可能であるオーバーコート層の厚みは数百人
〜数十μの範囲内が実用的である。透明電極は、透明な
良導体であれば良く無機・有機の材料を問わない、また
、本発明に用いるカップリング剤はシランカップリング
剤、カラオニックシラン、ロチオニツクシラン、シリル
イソシアネート化合物、アルミニウム系・チタネート系
・ジルコネート系カップリング剤等下地であるオーバー
コート層の材料や表面状態によって使い分けることが必
要で特に限定するものでない。また、金属薄膜は透明電
極の低抵抗化のための補助導体として、また、電極板端
部で液晶駆動用のICなどの表面実装やコネクターとの
電気的接続を取るために形成するものであり、これら目
的に合う材料であれば良い、また、金属薄膜は電極板の
使用条件によっては形成しなくとも良い。
とが望ましいが、透明な有機材料であれば良い、先述し
たペプチド樹脂、エポキシ樹脂の他、ポリイミド、シリ
コンも使用可能であるオーバーコート層の厚みは数百人
〜数十μの範囲内が実用的である。透明電極は、透明な
良導体であれば良く無機・有機の材料を問わない、また
、本発明に用いるカップリング剤はシランカップリング
剤、カラオニックシラン、ロチオニツクシラン、シリル
イソシアネート化合物、アルミニウム系・チタネート系
・ジルコネート系カップリング剤等下地であるオーバー
コート層の材料や表面状態によって使い分けることが必
要で特に限定するものでない。また、金属薄膜は透明電
極の低抵抗化のための補助導体として、また、電極板端
部で液晶駆動用のICなどの表面実装やコネクターとの
電気的接続を取るために形成するものであり、これら目
的に合う材料であれば良い、また、金属薄膜は電極板の
使用条件によっては形成しなくとも良い。
さらに、本発明はカラーフィルターやオーバーコート材
料からの不純物の液晶中への溶出を避けるためSiO□
、Ti0z、−go、A1.0.などの無機酸化物層を
オーバーコート層の上に積層しても良いる無機酸化物層
は透明な材料であれば良く、特に限定する必要もない、
また、電極板の使用条件によっては形成しなくとも良い
0本発明を実施例に基き詳細に説明する。
料からの不純物の液晶中への溶出を避けるためSiO□
、Ti0z、−go、A1.0.などの無機酸化物層を
オーバーコート層の上に積層しても良いる無機酸化物層
は透明な材料であれば良く、特に限定する必要もない、
また、電極板の使用条件によっては形成しなくとも良い
0本発明を実施例に基き詳細に説明する。
〈実施例〉
第1図は、本発明による液晶表示装置用を掻板の模式断
面図である。厚さlamのフロートガラス(青板)であ
る透明な基板(1)に、公知の技術である印刷力によっ
て緑(G)、赤(R)、青(B) と順次3色のカラー
フィルター(6)を形成した。厚みは約2μmである。
面図である。厚さlamのフロートガラス(青板)であ
る透明な基板(1)に、公知の技術である印刷力によっ
て緑(G)、赤(R)、青(B) と順次3色のカラー
フィルター(6)を形成した。厚みは約2μmである。
このカラーフィルター(6)上に、フェノールノボラッ
ク系エポキシの感光性樹脂を乾燥後の膜厚で約ll1m
になるようコーティングした0次に、紫外線で露光後、
未露光部を炭酸ナトリウム1%水溶液で現像除去し、カ
ラーフィルターをほぼ全面覆うよう矩形状にパタニング
形成し保護層(2)とした。この後、日本チバガイギー
製のアミノシランカップリング剤(商品名QZ3289
/3290)をスピナーにて回転塗布した0次にスパッ
タリングの手法で800人、ITOとよばれる透明電極
(4)を、蒸着によりクロムを800人、アルミニウム
を1400人、ニッケルを800人として金属薄膜(5
)を積層した公知の湿式のエツチングにより、ニッケル
、アルミニウム、クロム、ITOをこの順でパタニング
を行ない、カラー液晶用の表示装置用電極とした。
ク系エポキシの感光性樹脂を乾燥後の膜厚で約ll1m
になるようコーティングした0次に、紫外線で露光後、
未露光部を炭酸ナトリウム1%水溶液で現像除去し、カ
ラーフィルターをほぼ全面覆うよう矩形状にパタニング
形成し保護層(2)とした。この後、日本チバガイギー
製のアミノシランカップリング剤(商品名QZ3289
/3290)をスピナーにて回転塗布した0次にスパッ
タリングの手法で800人、ITOとよばれる透明電極
(4)を、蒸着によりクロムを800人、アルミニウム
を1400人、ニッケルを800人として金属薄膜(5
)を積層した公知の湿式のエツチングにより、ニッケル
、アルミニウム、クロム、ITOをこの順でパタニング
を行ない、カラー液晶用の表示装置用電極とした。
以上の実施例に於いて、カラーフィルターの形成を印刷
にて行った例を示したが、フォトリソグラフィの手法で
顔料カラーフィルターや染色カラーフィルターを形成し
たものでも良い、また、オーバーコート材料はカゼイン
やゼラチンでも可能である。また、ペプチド樹脂でオー
バーコート層を形成する場合は、該オーバーコート層の
上に無機酸化物層を形成した方が、平坦化の点では有利
である。また、金属薄膜は上記の材料の他、銅、銀、金
なのどの良導体が好ましく、また合金の薄膜でも良い、
ra部にめっきにて形成することも可能である。加えて
、小型の液晶デイスプレィの場合、金属薄膜の形成を省
略しても良い。
にて行った例を示したが、フォトリソグラフィの手法で
顔料カラーフィルターや染色カラーフィルターを形成し
たものでも良い、また、オーバーコート材料はカゼイン
やゼラチンでも可能である。また、ペプチド樹脂でオー
バーコート層を形成する場合は、該オーバーコート層の
上に無機酸化物層を形成した方が、平坦化の点では有利
である。また、金属薄膜は上記の材料の他、銅、銀、金
なのどの良導体が好ましく、また合金の薄膜でも良い、
ra部にめっきにて形成することも可能である。加えて
、小型の液晶デイスプレィの場合、金属薄膜の形成を省
略しても良い。
〈発明の効果〉
本発明は、透明電極や無機酸化物層の積層前にカップリ
ング剤にてオーバーコート層や透明な基板の表面を表面
処理するため、透明電極のや無機酸化物層との接着力が
格段に向上する。従来、液晶パネルシール後のセル折り
プロセスで生じていた透明電極や、無機酸化物層の膜ハ
ガレを本発明により解消し得た。また、従来必要であっ
た逆スパツタ処理も必要でなくなり、生産性を向上でき
た。加えて、カップリング剤をコーティングすることに
より、基板表面の平滑化も若干向上し、透明電極の抵抗
値が10%〜30%程度改善するという副次効果が得ら
れた。
ング剤にてオーバーコート層や透明な基板の表面を表面
処理するため、透明電極のや無機酸化物層との接着力が
格段に向上する。従来、液晶パネルシール後のセル折り
プロセスで生じていた透明電極や、無機酸化物層の膜ハ
ガレを本発明により解消し得た。また、従来必要であっ
た逆スパツタ処理も必要でなくなり、生産性を向上でき
た。加えて、カップリング剤をコーティングすることに
より、基板表面の平滑化も若干向上し、透明電極の抵抗
値が10%〜30%程度改善するという副次効果が得ら
れた。
第1図は本発明による表示装置用電極板の模式断面図で
ある。 ■・・・透明基板 2・・・保護層 4・・・透明電極 5・・・金属薄膜°層 特 許 出 願 人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴木和夫
ある。 ■・・・透明基板 2・・・保護層 4・・・透明電極 5・・・金属薄膜°層 特 許 出 願 人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴木和夫
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)透明基板と、カラーフィルターと、表面にカップリ
ング剤が設けられているオーバーコート層と、透明電極
とがこの順で積層されている表示装置用電極板。 2)順に、透明基板にカラーフィルターを積層する工程
と、オーバーコート層を積層する工程と、オーバーコー
ト層の表面をカップリング剤で表面処理する工程と、透
明電極を積層する工程と、によりなる表示装置用電極板
の製造方法。 3)透明基板と、カラーフィルターと、表面にカップリ
ング剤が設けられているオーバーコート層と、透明電極
と、透明電極と一部重畳する金属薄膜と、がこの順で積
層されている表示装置用電極板。 4)順に、透明基板にカラーフィルターを積層する工程
と、オーバーコート層を積層する工程と、オーバーコー
ト層の表面をカップリング剤で表面処理する工程と、透
明電極を積層する工程と、透明電極と一部重畳する金属
薄膜を積層する工程と、によりなる表示装置用電極板の
製造方法。 5)透明基板と、カラーフィルターと、表面にカップリ
ング剤が設けられているオーバーコート層と、無機酸化
物層と、透明電極とがこの順で積層されている表示装置
用電極板。6)順に、透明基板にカラーフィルターを積
層する工程と、オーバーコート層を積層する工程と、オ
ーバーコート層の表面をカップリング剤で表面処理する
工程と、無機酸化物層を積層する工程と、透明電極を積
層する工程と、によりなる表示装置用電極板の製造方法
。 7)透明基板と、カラーフィルターと、表面にカップリ
ング剤が設けられているオーバーコート層と、無機酸化
物層と、透明電極とがこの順で積層されている表示装置
用電極板。8)順に、透明基板にカラーフィルターを積
層する工程と、オーバーコート層を積層する工程と、オ
ーバーコート層の表面をカップリング剤で表面処理する
工程と、無機酸化物層を積層する工程と、透明電極を積
層する工程と、によりなる表示装置用電極板の製造方法
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63050355A JPH01223416A (ja) | 1988-03-03 | 1988-03-03 | 表示装置用電極板およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63050355A JPH01223416A (ja) | 1988-03-03 | 1988-03-03 | 表示装置用電極板およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01223416A true JPH01223416A (ja) | 1989-09-06 |
Family
ID=12856592
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63050355A Pending JPH01223416A (ja) | 1988-03-03 | 1988-03-03 | 表示装置用電極板およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01223416A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04326328A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Nec Corp | 液晶表示装置及びカラーフィルター基板 |
JP2003066215A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-03-05 | Sumitomo Chem Co Ltd | 保護膜付カラーフィルター |
US6559066B2 (en) | 1996-08-02 | 2003-05-06 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrate for use in display element, method of manufacturing the same, and apparatus for manufacturing the same |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5579413A (en) * | 1978-12-11 | 1980-06-14 | Seiko Epson Corp | Liquid crystal display body |
JPS613121A (ja) * | 1984-06-15 | 1986-01-09 | Nec Corp | 液晶セル |
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JPS6344628A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-25 | Citizen Watch Co Ltd | カラ−液晶パネルの製造方法 |
JPS6344627A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-25 | Citizen Watch Co Ltd | カラ−液晶パネル |
-
1988
- 1988-03-03 JP JP63050355A patent/JPH01223416A/ja active Pending
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