JPH01217916A - ウエハ周辺露光機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体製造フォトプロセスにおいて、ウェハ
外周縁部のフォトレジストを露光、現像してウェハ周辺
のフォトレジストを除去するためのウェハ周辺露光機構
に関する。

［従来の技術］ 従来のウェハ河辺のフォトレジスト除去を行なう露光装
置は紫外光をウェハ外周部に直径数ｍ／ｍに集光して照
射しながらウェハを回転させウェハ外周部を３〜６Ｉｌ
ｌ／ｆｆｉの幅で露光し、現像工程において、ウェハ外
周露光部のフォトレジスト除去を行なっていた。この露
光工程においてウェハのオリエンテーションフラット部
も同様にウェハ外周より一定の幅で露光する必要がある
。このため従来は、−旦りエへの回転を止めてオリエン
テーションフラットに沿って露光機構を平行移動させる
ことにより該オリエンテーションフラットを露光し、そ
の後再びウェハを回転させてウェハの円形外周に沿って
露光を行なっていた。

［発明が解決しようとする問題点］ 前記従来の露光装置においては、ウェハのオリエンテー
ションフラットを露光機構の平行移動方向に整合させな
ければならず、このための位置合せ機構を必要とし、ま
た露光機構の平行移動手段を必要とするため機構が複雑
となりコストも増大するという欠点があフた。

［発明の目的］ 本発明は前記従来技術の欠点に鑑みなされたものであっ
て、オリエンテーションフラット部の位−置合せ機構を
用いることなく簡単な構造でオリエンテーションフラッ
ト部を含むウニ八周辺部の露光を可能とし、コストの低
減を図ったウニ八周辺露光機構の提供を目的とする。

［実施例］ 第１図は本発明の実施例でオリエンテーションフラット
（図示しない）を有するウェハ１はウェハ台２に搭載さ
れ真空吸着により固定される。ウェハ台２は回転装置３
により回転する。紫外光は光ファイバ４により光源（図
示しない）より導かれレンズ５を介してウェハ１の外周
部を照射する。このとき照射光量を光量センサ６で検知
し、検知光量に応じて駆動アンプ７を通して直線運動源
８を駆動する。この光量センサ６はレンズ５を介してウ
ニ八周辺部を露光する光のうちウェハ１から外れた部分
の光量を検知する。直線運動源８に直線運動軸受９が連
結される。この直線運動軸受９上に支柱１０が設けられ
、この支柱１０に前記レンズ５が備わる。直線運動軸受
９はレンズ５をウェハ台の回転半径方向（法線方向）に
沿って直線移動させる。

ウェハ台２に吸着固定されたウェハ１は回転装置３によ
り回転しレンズ５よりの紫外光で露光される。このとき
照射光を光量センサ６で受ける。

検知光量があらかじめ設定された光量より多い場合はレ
ンズ５をウェハ中心方向へ移動させ、逆に少ない場合は
レンズ５をウェハ外周方向へ移動させるように駆動アン
プ７および直線運動源８を設定しておく。

第２図に本発明の別の実施例を示す、この実施例は露光
手段であるレンズの移動を電気的手段を用いずに機械的
手段を用いて行なったものである。すなわち、第１図中
の光量センサ６、駆動アンプ７、直線運動源８に代えて
第２図に示すようにガイドローラ１１および引きバネ１
２を備えている。

ガイドローラ１１は直線運動軸受９上に設けた支柱１０
に固定され、レンズ５に対し所定の位置を保ったままレ
ンズ５とともにウェハ台２上のウェハ１の半径方向に沿
って移動可能である。直線運動軸受９は引きバネ１２に
より常にウェハ台２の回転中心方向に付勢される。

ウェハ１の回転時にガイドローラ１１が引きバネ１２に
よりウェハ１の外周側面に当接し、ウェハ１の回転に伴
ない常にウェハ１の外周より一定寸法部を照射するため
、ウェハを回転したままオリエンテーションフラット部
の露光が可能となる。またウェハ１をウェハ台２に吸着
させる場合にウェハ１とウェハ台２の中心合せに高精度
を必要としない。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明に係るウニ八周辺露光機構
においては、ウェハ端部の露光量または端部自体を検出
し、その検出結果に応じて照射レンズをウェハの法線方
向に移動させることにより、特にオリエンテーションフ
ラット位置合せ機構等を設けることなくウェハのオリエ
ンテーションフラット部を一定寸法幅で露光することが
可能となり、機構が簡素化し装置の平面寸法が減少して
装置小型化が図られるとともに露光制御も容易に行なう
ことができ、コストの低減が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の構成図、第２図は本発明の別
の実施例の構成図である。 １：ウェハ、 ２：ウェハ台、 ３：回転装置、 ４：光ファイバ、 ５：レンズ、 ６：光量センナ、 ８：直線運動源、 ９：直線運動軸受、 １１ニガイドローラ、 １２：引きバネ。 特許出願人　　キャノン株式会社

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）オリエンテーションフラットを有するウェハを搭
   載してこれを固定保持するウェハ台と、該ウェハ台を回
   転させるための回転装置と、該ウェハの外周部に光を照
   射するための露光手段と、該露光手段を前記ウェハ台の
   回転半径方向に沿って直線移動させるための直線運動手
   段と、前記露光手段によるウェハ上への照射光量に応じ
   て該直線運動手段を駆動するための露光制御手段とを具
   備したことを特徴とするウェハ周辺露光機構。
2. （２）前記露光手段は、光ファイバを介して光源に接続
   されたレンズと、該レンズをウェハ外周縁部上方に支持
   する支柱からなり、該支柱は前記直線運動手段に固定さ
   れたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウェ
   ハ周辺露光機構。
3. （３）前記露光制御手段は、前記レンズを介してウェハ
   外周部を露光する光のうちウェハから外れた部分の光量
   を検知するための光量センサおよび該光量センサの出力
   に応じて前記直線運動手段を駆動する電気回路からなる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載のウェハ周
   辺露光機構。
4. （４）前記露光制御手段は、前記ウェハ台上に搭載され
   たウェハの外周側面に当接するガイドローラと、前記直
   線運動手段を常にウェハ台の回転中心方向に向けて付勢
   するスプリング手段からなり、前記ガイドローラは前記
   直線運動手段に対し固定されたことを特徴とする特許請
   求の範囲第２項記載のウェハ周辺露光機構。