JPH01215761A - 窒化珪素質焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化珪素質焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPH01215761A JPH01215761A JP63037402A JP3740288A JPH01215761A JP H01215761 A JPH01215761 A JP H01215761A JP 63037402 A JP63037402 A JP 63037402A JP 3740288 A JP3740288 A JP 3740288A JP H01215761 A JPH01215761 A JP H01215761A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintering
- primary
- sintered body
- silicon nitride
- sintered form
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 15
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 41
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 11
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 235000011837 pasties Nutrition 0.000 abstract 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007088 Archimedes method Methods 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- -1 CeO Chemical class 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/4505—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
- C04B41/4521—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application application under increased pressure
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2111/00—Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
- C04B2111/00241—Physical properties of the materials not provided for elsewhere in C04B2111/00
- C04B2111/00301—Non-porous materials, e.g. macro-defect free [MDF] products
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、特に自動車エンジン部材等の構造材料として
利用される。高温高強度セラミックスとしての窒化珪素
(S ia N 4 )質焼結体の製造方法に関する。
利用される。高温高強度セラミックスとしての窒化珪素
(S ia N 4 )質焼結体の製造方法に関する。
[従来技術及び課題]
513N4は高強度・高靭性を存するが、無焼結材料で
あるので、緻密な焼結体を得るために種々の研究、提案
がなされており9例えば二段階焼結法が知られている(
特公昭62−41191)。
あるので、緻密な焼結体を得るために種々の研究、提案
がなされており9例えば二段階焼結法が知られている(
特公昭62−41191)。
しかし、この二段階焼結法においては、二次焼成時の圧
力が通常10気圧以上の高圧下となるため、雰囲気ガス
の対流や焼成用のサヤに用いられる黒鉛型の影響により
、得られる焼結体の表面特性が不均一なものとなり(外
観上は色ムラを呈し)、研摩ムラや外観不良の原因とな
っている。
力が通常10気圧以上の高圧下となるため、雰囲気ガス
の対流や焼成用のサヤに用いられる黒鉛型の影響により
、得られる焼結体の表面特性が不均一なものとなり(外
観上は色ムラを呈し)、研摩ムラや外観不良の原因とな
っている。
そのため、5t3N4ケースで保護して焼結を行なうこ
ともあるが、この場合にはケースの存在分だけ炉の処理
能力が低下し、生産性の低下をきたす。
ともあるが、この場合にはケースの存在分だけ炉の処理
能力が低下し、生産性の低下をきたす。
又、−次焼結体を炭素含有物粉末中に埋込んで二次焼結
を行なうことも提案されている(特開昭62−1289
87)が、カーボンが表層部の2〜3鰭程度まで侵入す
るため、5t3N4自体の特性を活かしきれない。
を行なうことも提案されている(特開昭62−1289
87)が、カーボンが表層部の2〜3鰭程度まで侵入す
るため、5t3N4自体の特性を活かしきれない。
本発明は、かかる課題を解決すること、即ちSi3N4
本来の特性を劣化させることなく、焼結性の向上した緻
密な焼結体、特に均一な表面特性及び色調を有する焼結
体を容易に製造でき、量産性に優れた製法を開発するこ
とを目的とする。
本来の特性を劣化させることなく、焼結性の向上した緻
密な焼結体、特に均一な表面特性及び色調を有する焼結
体を容易に製造でき、量産性に優れた製法を開発するこ
とを目的とする。
[課題の解決手段]
本発明者は、こうした見地に鑑み鋭意研究を重ねた結果
、−次焼結体に特定のペースト状被膜を形成して二次焼
結に供したところ極めて優れた結果を得ることを見出し
2本発明を完成するに至ったものであり1本発明は上述
の課題を下記手段によって解決する。
、−次焼結体に特定のペースト状被膜を形成して二次焼
結に供したところ極めて優れた結果を得ることを見出し
2本発明を完成するに至ったものであり1本発明は上述
の課題を下記手段によって解決する。
一次焼結よりも高圧下で二次焼結を行なう窒化珪素質焼
結体の製造方法において。
結体の製造方法において。
−次焼結体に、C,BN、AIAN及びS t aN4
のうちから選択される成分一種以上(Cを少なくとも5
重量96含有する)からなるペースト状被膜を形成し。
のうちから選択される成分一種以上(Cを少なくとも5
重量96含有する)からなるペースト状被膜を形成し。
その後二次焼結する。窒化珪素質焼結体の製造方法。
[好適な実施態様及び作用]
焼結すべき原料としての5i3N4粉末は高強度焼結体
を得るためにはα率が70%以上、特に・90%以上の
ものが好ましい。その平均粒径は5μm以下好ましくは
1μm以下にするとよい。5μ鴫を越えると焼結性が低
下するだけでなく焼結体中に異常粒成長したSi3N4
粒子が発現し易くなり1強度・靭性を低下させるためで
ある。
を得るためにはα率が70%以上、特に・90%以上の
ものが好ましい。その平均粒径は5μm以下好ましくは
1μm以下にするとよい。5μ鴫を越えると焼結性が低
下するだけでなく焼結体中に異常粒成長したSi3N4
粒子が発現し易くなり1強度・靭性を低下させるためで
ある。
焼結助剤として、MgO,Ai! O、Y20 、
CeO、Bed、ZrO2等の金属酸化物少なくとも一
種を配合するとよい。又、製造過程において酸化物に変
化し得るもの、即ち塩(炭酸塩など)、水酸化物などで
あってもよい。焼結助剤の量は酸化物換算で合計1〜1
5%(重−%。
CeO、Bed、ZrO2等の金属酸化物少なくとも一
種を配合するとよい。又、製造過程において酸化物に変
化し得るもの、即ち塩(炭酸塩など)、水酸化物などで
あってもよい。焼結助剤の量は酸化物換算で合計1〜1
5%(重−%。
以下同じ)、好ましくは2〜6%にするとよい。
配合粉末の成形は加圧成形、押出成形等1種々の方法で
行なわれ、任意の形状を得ることができる。
行なわれ、任意の形状を得ることができる。
成形体の焼結は、既述の通り一次焼結(予備焼結)及び
二次焼結(最終焼結)の二段階焼結によって行なわなけ
ればならない。両焼結は連続スケジュールでなく、不連
続スケジュールで行なうことが好ましい。連続スケジュ
ールでは塗布工程を一次焼結前(成形後)に行なうこと
となり、焼結体に塗布した場合とは異なり、ペーストに
含まれる炭素成分と成形体とが反応し満足な焼成体が得
られないからである。ペースト状被膜を形成するにあた
り、−次焼結体は一旦焼成炉がら取出しペーストを塗布
した後、二次焼結を行なう炉にセットすることとなる。
二次焼結(最終焼結)の二段階焼結によって行なわなけ
ればならない。両焼結は連続スケジュールでなく、不連
続スケジュールで行なうことが好ましい。連続スケジュ
ールでは塗布工程を一次焼結前(成形後)に行なうこと
となり、焼結体に塗布した場合とは異なり、ペーストに
含まれる炭素成分と成形体とが反応し満足な焼成体が得
られないからである。ペースト状被膜を形成するにあた
り、−次焼結体は一旦焼成炉がら取出しペーストを塗布
した後、二次焼結を行なう炉にセットすることとなる。
一次焼結は、rA気気孔連通孔)をなくすことにより二
次焼結時における雰囲気ガスの焼結体中への侵入を妨げ
、緻密化を可能にするために行なわれる。このため−次
焼結後の密度は90%以上必要であり、93%以上が好
ましい。この時の雰囲気ガス圧力は均一な一次焼結体を
得るために20atm以下、好ましくはfeat■以下
とするのが良い。
次焼結時における雰囲気ガスの焼結体中への侵入を妨げ
、緻密化を可能にするために行なわれる。このため−次
焼結後の密度は90%以上必要であり、93%以上が好
ましい。この時の雰囲気ガス圧力は均一な一次焼結体を
得るために20atm以下、好ましくはfeat■以下
とするのが良い。
得られた一次焼結体について、所定のペースト状物によ
って表面処理を施すことによってペースト状被膜を形成
する。最終焼結体における表面特性を均一なものとし、
外観特性を向上させるためである,一次焼結後に実施す
るのは、前述したように、ペーストに含まれる炭素成分
と成形体との反応を生じさせないためである。ペースト
状物は表面均質化剤及び溶剤を配合してなる。表面均質
化剤としては、Si3N4自体の特性を劣化させること
なく雰囲気ガスの対流及び黒鉛型による表面特性のバラ
ツキを極力防止するため、既述の通り炭素(C)、窒化
ホウ素(BN)、窒化珪素(Si2N3)及び窒化アル
ミニウム(A I N)のうちから選択される成分一種
以上にするとよい。但し、炭素の含有率が5%以上必要
であり。
って表面処理を施すことによってペースト状被膜を形成
する。最終焼結体における表面特性を均一なものとし、
外観特性を向上させるためである,一次焼結後に実施す
るのは、前述したように、ペーストに含まれる炭素成分
と成形体との反応を生じさせないためである。ペースト
状物は表面均質化剤及び溶剤を配合してなる。表面均質
化剤としては、Si3N4自体の特性を劣化させること
なく雰囲気ガスの対流及び黒鉛型による表面特性のバラ
ツキを極力防止するため、既述の通り炭素(C)、窒化
ホウ素(BN)、窒化珪素(Si2N3)及び窒化アル
ミニウム(A I N)のうちから選択される成分一種
以上にするとよい。但し、炭素の含有率が5%以上必要
であり。
5%未満では、その効果が認められない。特に。
炭素(C)単体あるいは炭素(C)と窒化ホウ素(BN
)との混合物が適する。炭素としては、黒鉛が挙げられ
るが、無定形状物のカーボンブラックであってもよい。
)との混合物が適する。炭素としては、黒鉛が挙げられ
るが、無定形状物のカーボンブラックであってもよい。
表面均質化剤の比表面積は5rd/g以上好ましくは5
0rd/lr以上にするとよい,一次焼結体に塗布した
際にその効果を均一に発現させるためである。溶剤とし
ては、アルコール類、ケトン類又はハロゲン化炭化水素
等のいずれであってもよい。特に炭素原子数2〜3のエ
チルアルコール、プロピルアルコール、アセトン。
0rd/lr以上にするとよい,一次焼結体に塗布した
際にその効果を均一に発現させるためである。溶剤とし
ては、アルコール類、ケトン類又はハロゲン化炭化水素
等のいずれであってもよい。特に炭素原子数2〜3のエ
チルアルコール、プロピルアルコール、アセトン。
トリクロロエタンが用いられる。表面均質化剤と溶剤と
の配合割合は表面均質化剤100部に対して溶剤50〜
300部にするとよい。結合剤等を適宜配合するとよい
。これらの成分は、ボットミル等で湿式混合して配合す
るとよい,一次焼結体表面へのペースト状被膜の形成方
法としては、塗布、噴霧又は浸漬など種々の手段を採用
できる。
の配合割合は表面均質化剤100部に対して溶剤50〜
300部にするとよい。結合剤等を適宜配合するとよい
。これらの成分は、ボットミル等で湿式混合して配合す
るとよい,一次焼結体表面へのペースト状被膜の形成方
法としては、塗布、噴霧又は浸漬など種々の手段を採用
できる。
次に、こうして表面処理された一次焼結体について、−
次焼結よりも高圧下で二次焼結を行なう。二次焼結は、
−次焼結のみでは緻密な焼結体を得がたいために行なわ
れる。加圧方法としては、雰囲気加圧焼結、高温静水圧
プレス焼結(HI P)が用いられる。加圧条件として
は、IO気圧以上にするとよい。513N4の熱分解を
抑制し、焼結温度を高くできることにより常圧下では緻
密化しない助剤量の少ない組成についても緻密化できる
ためである。特に50気圧以上が好ましい。雰囲気ガス
としては、−次焼結におけると同様に非酸化性ガス、即
ち窒素、不活性ガスが挙げられる。表面均質化剤による
作用を効果的に発揮させるためである。
次焼結よりも高圧下で二次焼結を行なう。二次焼結は、
−次焼結のみでは緻密な焼結体を得がたいために行なわ
れる。加圧方法としては、雰囲気加圧焼結、高温静水圧
プレス焼結(HI P)が用いられる。加圧条件として
は、IO気圧以上にするとよい。513N4の熱分解を
抑制し、焼結温度を高くできることにより常圧下では緻
密化しない助剤量の少ない組成についても緻密化できる
ためである。特に50気圧以上が好ましい。雰囲気ガス
としては、−次焼結におけると同様に非酸化性ガス、即
ち窒素、不活性ガスが挙げられる。表面均質化剤による
作用を効果的に発揮させるためである。
こうして得られた二次焼結体は相対密度が97%以上、
好ましくは99%以上であるとよい。
好ましくは99%以上であるとよい。
かくて、高強度95〜lookg/l1m−2テアリ、
シカち表面全体が黒色を呈し、均一な特性を有する51
3N4質焼結体が製造される。
シカち表面全体が黒色を呈し、均一な特性を有する51
3N4質焼結体が製造される。
本発明の513N4質焼結体は、自動車エンジン部材例
えばピストン、バルブ;摺動部材例えばベアリングボー
ル、熱機関部材例えばガスタービンロータなどに好適で
ある。
えばピストン、バルブ;摺動部材例えばベアリングボー
ル、熱機関部材例えばガスタービンロータなどに好適で
ある。
[実施例]
以下2本発明の詳細な説明する。併せて比較例について
も述べる。
も述べる。
平均粒径0.8uta、 a率93%の5i3N4粉末
93重量%に、比表面猜10m2/z、純度、99.9
%のY2O3粉末3重量%及び比表面@ 8 m2/
gtDA(203粉末4重量%の混合粉末を配合する。
93重量%に、比表面猜10m2/z、純度、99.9
%のY2O3粉末3重量%及び比表面@ 8 m2/
gtDA(203粉末4重量%の混合粉末を配合する。
次に、乾燥した配合粉末を2t/c−の圧力でl0X5
X30tatxの角柱形状に静水圧プレス成形する。次
に、この成形体を513N4ケース中に入れ、黒鉛型内
において1700”C、2ata+にて窒素雰囲気中で
2時間予備焼結し、密度94%の一次焼結体を得た。次
に、この予備焼結体表面に、下記表に示す割合の表面均
質化剤100部を溶剤としてのエタノール200部と配
合してなるペースト状物を各々塗布する。尚2表面均一
化剤としてのBN粉末及びカーボンブラック(C)はい
ずれも純度98%のものを使用した。次に、塗布処理さ
れた予備焼結体を黒鉛型内において1800’C、90
at■にて窒素雰囲気中で1時間再焼結して5L8N4
質焼結体を得た。
X30tatxの角柱形状に静水圧プレス成形する。次
に、この成形体を513N4ケース中に入れ、黒鉛型内
において1700”C、2ata+にて窒素雰囲気中で
2時間予備焼結し、密度94%の一次焼結体を得た。次
に、この予備焼結体表面に、下記表に示す割合の表面均
質化剤100部を溶剤としてのエタノール200部と配
合してなるペースト状物を各々塗布する。尚2表面均一
化剤としてのBN粉末及びカーボンブラック(C)はい
ずれも純度98%のものを使用した。次に、塗布処理さ
れた予備焼結体を黒鉛型内において1800’C、90
at■にて窒素雰囲気中で1時間再焼結して5L8N4
質焼結体を得た。
次に、得られた焼結体を3時間バレル研摩した後、その
各特性を以下の方法によって評価し、その結果も下記表
に示す。
各特性を以下の方法によって評価し、その結果も下記表
に示す。
(a)相対密度:アルキメデス法
(b)外観;目視による色ムラの有無
(c)強度: JIS−R1601(三点曲げ強度)尚
、試料N11L2. 4及び6については、更1:0.
2〜0.3朋研摩した後、室温、 800”C及びI
000 ’Cの各温度における強度についても調べた
。
、試料N11L2. 4及び6については、更1:0.
2〜0.3朋研摩した後、室温、 800”C及びI
000 ’Cの各温度における強度についても調べた
。
表
上記表から1vlらかな通り、実施例の焼結体(試料N
a 4〜9)は色ムラが生じておらず、従って均一な機
械的特性を維持している。一方、比較例(試料N(11
〜3)では表面の一部(黒鉛型の影響を受は品い部分)
が黒色部となり、他部(黒鉛型の影響を受けにくい部分
)が灰色となって色ムラを呈する。この場合黒色部の硬
度(Hv )が灰色部よりもlO%程度高く、研摩ムラ
の原因となる。
a 4〜9)は色ムラが生じておらず、従って均一な機
械的特性を維持している。一方、比較例(試料N(11
〜3)では表面の一部(黒鉛型の影響を受は品い部分)
が黒色部となり、他部(黒鉛型の影響を受けにくい部分
)が灰色となって色ムラを呈する。この場合黒色部の硬
度(Hv )が灰色部よりもlO%程度高く、研摩ムラ
の原因となる。
特に、研摩面強度は1000℃において著しく低下して
いる。
いる。
[効果コ
以上の如く本発明によれば、焼結性を低下させることな
く緻密化(高密度化)でき、特に表面特性及び外観特性
に優れた高強度の513N4質焼結体を提倶することに
成功したものである。特に、ペースト状被膜の形成とい
う簡単な処理工程を付加することによって大型の複雑形
状のものであっても容易に高品質のS ia N 4質
焼結体を得ることができるので、量産性に適した製法で
ある。又、より高圧下で実施される二次焼結時において
S i3N4ケースが不要となるので、炉の処理能力を
高レベルに維持できることからも、工業的価値が極めて
高い。
く緻密化(高密度化)でき、特に表面特性及び外観特性
に優れた高強度の513N4質焼結体を提倶することに
成功したものである。特に、ペースト状被膜の形成とい
う簡単な処理工程を付加することによって大型の複雑形
状のものであっても容易に高品質のS ia N 4質
焼結体を得ることができるので、量産性に適した製法で
ある。又、より高圧下で実施される二次焼結時において
S i3N4ケースが不要となるので、炉の処理能力を
高レベルに維持できることからも、工業的価値が極めて
高い。
本発明によって製造された513N4質焼結体は、自動
車エンジン部材、耐摩耗部材、切削工具等、各種の高温
高強度構造材料として広く利用でき、極めて有用なもの
である。
車エンジン部材、耐摩耗部材、切削工具等、各種の高温
高強度構造材料として広く利用でき、極めて有用なもの
である。
出願人 口本特殊陶業株式会社
代理人 弁理士 加 藤 朝 道(外1名)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 一次焼結よりも高圧下で二次焼結を行なう窒化珪素質焼
結体の製造方法において, 一次焼結体に,C,BN,AlN及びSi_3N_4の
うちから選択される成分一種以上(Cを少なくとも5重
量%含有する)からなるペースト状被膜を形成し, その後二次焼結する,窒化珪素質焼結体の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63037402A JPH07108815B2 (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
US07/309,852 US5122486A (en) | 1988-02-22 | 1989-02-14 | Method of producing silicon-nitride-based sintered body |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63037402A JPH07108815B2 (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01215761A true JPH01215761A (ja) | 1989-08-29 |
JPH07108815B2 JPH07108815B2 (ja) | 1995-11-22 |
Family
ID=12496534
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63037402A Expired - Lifetime JPH07108815B2 (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5122486A (ja) |
JP (1) | JPH07108815B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04215292A (ja) * | 1990-09-01 | 1992-08-06 | Fuji Electric Co Ltd | エレクトロルミネッセンス表示パネルおよびその製造方法 |
SE507209C2 (sv) * | 1996-03-25 | 1998-04-27 | Sandvik Ab | Metod för sintring av ett kiselnitridbaserat material |
US6627144B1 (en) * | 1997-06-25 | 2003-09-30 | Mitsubishi Pencil Co., Ltd. | Carbonaceous heating element and process for producing the same |
CN112811912B (zh) * | 2021-01-20 | 2021-11-02 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种高性能氮化硅陶瓷基片的批量化烧结方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3436259A (en) * | 1966-05-12 | 1969-04-01 | Ibm | Method for plating and polishing a silicon planar surface |
JPS5427812B2 (ja) * | 1973-03-20 | 1979-09-12 | ||
US4112143A (en) * | 1977-01-18 | 1978-09-05 | Asea Aktiebolag | Method of manufacturing an object of silicon nitride |
DE2945513C2 (de) * | 1979-11-10 | 1987-12-23 | MTU Motoren- und Turbinen-Union München GmbH, 8000 München | Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus Siliziumkeramik durch Heißisostatpressen |
DE3009240A1 (de) * | 1980-03-11 | 1981-10-15 | Elektroschmelzwerk Kempten GmbH, 8000 München | Verfahren zur herstellung von praktisch porenfreien polykristallinen formkoerpern durch isostatisches heisspressen |
US4462818A (en) * | 1983-06-08 | 1984-07-31 | Gte Products Corporation | Process for sintering silicon nitride articles |
US4462817A (en) * | 1983-06-08 | 1984-07-31 | Gte Products Corporation | Method of preparing silicon nitride articles for sintering |
US4462816A (en) * | 1983-06-08 | 1984-07-31 | Gte Products Corporation | Method for making sintered silicon nitride articles |
DE3403917C1 (de) * | 1984-02-04 | 1985-11-28 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln | Verfahren zum Verdichten poroeser keramischer Bauteile fuer das heissisostatische Pressen |
JPS6241191A (ja) * | 1985-08-13 | 1987-02-23 | 株式会社 姫野組 | 鉄塔組立用簡易クレ−ン |
JPS62113769A (ja) * | 1985-11-14 | 1987-05-25 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
JPS62128987A (ja) * | 1985-11-27 | 1987-06-11 | 株式会社神戸製鋼所 | 窒化ケイ素耐摩耗材の製造方法 |
JPS63159258A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | 工業技術院長 | 耐酸化性窒化ケイ素材料の製造方法 |
-
1988
- 1988-02-22 JP JP63037402A patent/JPH07108815B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-02-14 US US07/309,852 patent/US5122486A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5122486A (en) | 1992-06-16 |
JPH07108815B2 (ja) | 1995-11-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4354990A (en) | Process for sintering silicon nitride compacts | |
JPH0260633B2 (ja) | ||
JPWO2005030674A1 (ja) | 窒化けい素製耐摩耗性部材およびその製造方法 | |
JP3559382B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
JP2507480B2 (ja) | SiC−Al▲下2▼O▲下3▼複合焼結体及びその製造法 | |
JP2518630B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製法 | |
JPH01215761A (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
EP0648717A2 (en) | Reaction sintered ceramics and method of producing the same | |
JP3116242B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
JPH0224789B2 (ja) | ||
JP3036207B2 (ja) | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 | |
JPH07115927B2 (ja) | SiC基セラミツクスとその製造方法 | |
JPH0524922A (ja) | ダイヤモンド含有高硬度高密度複合焼結体及びその製造法 | |
JP3144178B2 (ja) | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 | |
JPH03290370A (ja) | 高靭性窒化けい素焼結体の製造法 | |
JP3124866B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
JPH0559073B2 (ja) | ||
JPH0547510B2 (ja) | ||
JPH035369A (ja) | 複合焼結体およびその製造方法 | |
JP2890849B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
JPH06166569A (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
JP2000095568A (ja) | バルク状Si−C−N系セラミックス材料とその製造 方法 | |
JPH06116072A (ja) | 窒化ケイ素−炭化ケイ素複合焼結体の熱処理方法 | |
JP2003040676A (ja) | 窒化けい素焼結体およびその製造方法 | |
JPH0826831A (ja) | 窒化けい素焼結体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081122 Year of fee payment: 13 |