JPH01187423A - 低温用温度計 - Google Patents
低温用温度計Info
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- JPH01187423A JPH01187423A JP1298888A JP1298888A JPH01187423A JP H01187423 A JPH01187423 A JP H01187423A JP 1298888 A JP1298888 A JP 1298888A JP 1298888 A JP1298888 A JP 1298888A JP H01187423 A JPH01187423 A JP H01187423A
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Landscapes
- Secondary Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、低温或いは極低温を測定するための低温用温
度計に関するものである。
度計に関するものである。
[従来の技術]
従来、−膜内に低温或いは極低温の温度を広範囲に正確
に測定し得る温度計は殆ど知られていない、−100℃
程度の低温用温度計には、SiC結晶、5nSe薄膜か
ら成るサーミスタが用いられているが、この低温度用温
度計は時定数が30〜60秒と長く、正確な温度測定が
難しいという欠点がある。
に測定し得る温度計は殆ど知られていない、−100℃
程度の低温用温度計には、SiC結晶、5nSe薄膜か
ら成るサーミスタが用いられているが、この低温度用温
度計は時定数が30〜60秒と長く、正確な温度測定が
難しいという欠点がある。
また、極低温用の温度計としては、Ge半導体素子を使
用した抵抗式温度計がある。この抵抗式温度計はその電
気抵抗を四端子法で測定することにより、温度を間接的
に検出するものである。しかし、このGe半導体素子は
カプセル内にヘリウムガスを封入しているため、熱伝導
率が小さく正確な温度測定が難しい、更に、カプセル内
の配線には熱の侵入を抑えるために、極めて細いリード
線が使用されているので、過大電流が僅かでも流れると
断線してしまう虞れがある。
用した抵抗式温度計がある。この抵抗式温度計はその電
気抵抗を四端子法で測定することにより、温度を間接的
に検出するものである。しかし、このGe半導体素子は
カプセル内にヘリウムガスを封入しているため、熱伝導
率が小さく正確な温度測定が難しい、更に、カプセル内
の配線には熱の侵入を抑えるために、極めて細いリード
線が使用されているので、過大電流が僅かでも流れると
断線してしまう虞れがある。
常温から高温測定が可能な温度計が従来までに種々製造
されているのに対して、このように低温から極低温まで
の広範囲の温度測定を正確になし得る温度計は、現在の
ところ皆無と云ってよい。
されているのに対して、このように低温から極低温まで
の広範囲の温度測定を正確になし得る温度計は、現在の
ところ皆無と云ってよい。
[発明の目的]
本発明の目的は、上述の欠点を解消し、低温度の温度検
知部分に超伝導材を用いて、低温から極低温までの広範
囲の温度が測定できる低温用温度計を提供することにあ
る。
知部分に超伝導材を用いて、低温から極低温までの広範
囲の温度が測定できる低温用温度計を提供することにあ
る。
[発明の概要]
上述の目的を達成するための本発明の要旨は、低温にお
ける超伝導臨界温度が互いに異なる複数個の超伝導材を
離隔的に配設し、これらの各超伝導材の両側にそれぞれ
電極を設け、これらの電極にリード線を接続し、これら
の各リード線を流れる電流値を基に低温測定を行うこと
を特徴とする低温用温度計である。
ける超伝導臨界温度が互いに異なる複数個の超伝導材を
離隔的に配設し、これらの各超伝導材の両側にそれぞれ
電極を設け、これらの電極にリード線を接続し、これら
の各リード線を流れる電流値を基に低温測定を行うこと
を特徴とする低温用温度計である。
[発明の実施例]
本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
第1図は低温用温度計1の平面図、第2図は断面図であ
る。図面において、例えば金属製の基板2上に薄膜状の
超伝導材3〜6がコーティングされ、これらの超伝導材
3〜6は互いに超伝導臨界温度が異なり、間隔をおいて
同じ向きに配列されている。超伝導材3〜6には、例え
ば23にで臨界温度に達するNb3Geから成る超伝導
材3.30にで臨界温度に達するLa−Ba−Cu−0
系のセラミック、或いはY:0.4、Ba:0.6、C
uO:2.22のような組成比の超伝導材4、更に98
にで臨界温度に達するY−Ba−Cu−0系の四元合金
から成る超伝導材5.123にで臨界温度に達するY−
Ba−Cu−0系の同様に四元合金から成る超伝導材6
が用いられている。これらの各超伝導材3.4.5.6
の幅方向の両側にはそれぞれ電極3a、3b、4a、4
b、5a、5b、6a、6bが接続され、更に各電極3
a〜6bにはそれぞれリード線7.8が接続され、超伝
導材3〜6と電極3a〜6bを保護する目的でエポキシ
樹脂等に代表される合成樹脂被覆部材9がオーバーコー
テイングされている。この合成樹脂被覆部材9は電極3
a〜6bとリード線7.8を固着する目的を併せ持つ材
料が選択されている。また、基板2には熱伝導性の良い
Au、Ag、Cu、或いはステンレス等の熱伝導性の良
好な合金を用いることが好適である。
る。図面において、例えば金属製の基板2上に薄膜状の
超伝導材3〜6がコーティングされ、これらの超伝導材
3〜6は互いに超伝導臨界温度が異なり、間隔をおいて
同じ向きに配列されている。超伝導材3〜6には、例え
ば23にで臨界温度に達するNb3Geから成る超伝導
材3.30にで臨界温度に達するLa−Ba−Cu−0
系のセラミック、或いはY:0.4、Ba:0.6、C
uO:2.22のような組成比の超伝導材4、更に98
にで臨界温度に達するY−Ba−Cu−0系の四元合金
から成る超伝導材5.123にで臨界温度に達するY−
Ba−Cu−0系の同様に四元合金から成る超伝導材6
が用いられている。これらの各超伝導材3.4.5.6
の幅方向の両側にはそれぞれ電極3a、3b、4a、4
b、5a、5b、6a、6bが接続され、更に各電極3
a〜6bにはそれぞれリード線7.8が接続され、超伝
導材3〜6と電極3a〜6bを保護する目的でエポキシ
樹脂等に代表される合成樹脂被覆部材9がオーバーコー
テイングされている。この合成樹脂被覆部材9は電極3
a〜6bとリード線7.8を固着する目的を併せ持つ材
料が選択されている。また、基板2には熱伝導性の良い
Au、Ag、Cu、或いはステンレス等の熱伝導性の良
好な合金を用いることが好適である。
また、98に〜123にの間の任意の臨界温度を得る場
合には、Y−Ba−Cu−0系の組成比を種々選択する
ことによって、目的とする温度の検出を可能とする超伝
導材を得ることができる。
合には、Y−Ba−Cu−0系の組成比を種々選択する
ことによって、目的とする温度の検出を可能とする超伝
導材を得ることができる。
更に、前記以外の超伝導材においても、合金の組成比を
変更することによって所望の臨界温度とすることが可能
である。従って、低温領域での温度を測定するためには
、種々の組成と組成比を持ったセラミック又は結晶から
成る超伝導材を用いればよいことになる。
変更することによって所望の臨界温度とすることが可能
である。従って、低温領域での温度を測定するためには
、種々の組成と組成比を持ったセラミック又は結晶から
成る超伝導材を用いればよいことになる。
第3図は低温用温度計1を被測定物Sの表面に接着して
温度測定を行う場合を示し、各超伝導材3〜6がそれぞ
れ定められた臨界温度に達すると、該当する超伝導材3
〜6の抵抗が零になる。
温度測定を行う場合を示し、各超伝導材3〜6がそれぞ
れ定められた臨界温度に達すると、該当する超伝導材3
〜6の抵抗が零になる。
従って、リード線7.8に流れる電流値を測定すること
によって温度計測が可能となり、この場合の印加電圧は
各種電池等による微小電流で充分である。更に、リード
線7.8も超伝導材とすると電流損失が無くなるので、
使用する電池の寿命は著しく延長され、温度計としても
延命され経済的なメリットが大きい。
によって温度計測が可能となり、この場合の印加電圧は
各種電池等による微小電流で充分である。更に、リード
線7.8も超伝導材とすると電流損失が無くなるので、
使用する電池の寿命は著しく延長され、温度計としても
延命され経済的なメリットが大きい。
本実施例によって得られる低温用温度計1の温度測定範
囲は、第1表の通りである。
囲は、第1表の通りである。
第1表
超伝導材 温度K
Nb3Ge 23L a :
0.4、B a :0.8、Cu O:2.22 30
Y、Ba2 、Cu207 98Y :0.
4、B a :0.8、Cu O:2.22 123即
ち、第1表に示すように、この低温用温度計1は23に
という液体水素温度(20K)近くまでの低温から、1
23K(−150℃)までの低温に至るまでの温度を測
定することができる。
0.4、B a :0.8、Cu O:2.22 30
Y、Ba2 、Cu207 98Y :0.
4、B a :0.8、Cu O:2.22 123即
ち、第1表に示すように、この低温用温度計1は23に
という液体水素温度(20K)近くまでの低温から、1
23K(−150℃)までの低温に至るまでの温度を測
定することができる。
先の実施例では、超伝導材を4種類選定して、測定温度
を4点とした場合の実施例を示したが、例えばLa−B
a−Cu−0系、Y−Ba−Cu−〇系の超伝導材の組
成比を変化させることにより、超伝導材の臨界温度が著
しく変化することを利用して、測定温度範囲内における
測定点を増加し、測定精度を向上させることができる。
を4点とした場合の実施例を示したが、例えばLa−B
a−Cu−0系、Y−Ba−Cu−〇系の超伝導材の組
成比を変化させることにより、超伝導材の臨界温度が著
しく変化することを利用して、測定温度範囲内における
測定点を増加し、測定精度を向上させることができる。
例えば、Y−Ba−Cu−0系の超伝導材の場合には、
98に〜123にとの広範囲の温度測定を可能にしてい
るので、組成比を変化させることによって例えば5に毎
の臨界温度を有する超伝導材を造れば、先の実施例の4
種類の超伝導材を更に4種類増やし、8ステツプの温度
測定が可能となる。
98に〜123にとの広範囲の温度測定を可能にしてい
るので、組成比を変化させることによって例えば5に毎
の臨界温度を有する超伝導材を造れば、先の実施例の4
種類の超伝導材を更に4種類増やし、8ステツプの温度
測定が可能となる。
上述の実施例のように、特定の臨界温度温度を有する多
数点の超伝導材を任意に配設することにより、多点温度
計測が可能になる。また、各超伝導材の幅は数gm程度
のものが使用でき、小型の低温用温度計を造ることがで
きる。
数点の超伝導材を任意に配設することにより、多点温度
計測が可能になる。また、各超伝導材の幅は数gm程度
のものが使用でき、小型の低温用温度計を造ることがで
きる。
[発明の効果]
以上説明したように本発明に係る低温用温度計は、超伝
導材の種類、組成比を任意に選択することによって、−
100℃以下の極低温度までを測定することが可能にな
る。また、測定温度ステップは超伝導材の種類と組成比
を変えることにより任意に多数ステップの温度測定を可
能とし、殆ど連続して低温度から極低温までの温度を測
定することができる。
導材の種類、組成比を任意に選択することによって、−
100℃以下の極低温度までを測定することが可能にな
る。また、測定温度ステップは超伝導材の種類と組成比
を変えることにより任意に多数ステップの温度測定を可
能とし、殆ど連続して低温度から極低温までの温度を測
定することができる。
図面は本発明に係る低温用温度計の実施例を示し、第1
図は平面図、第2図は第1図のm−n線に沿った断面図
、第3図は測温状態の斜視図である。 符号lは温度計、2は基板、3〜6は超伝導材、3a、
3b、4a、4b、5a、5b、6a、6bは電極、7
.8はリード線、9は合成樹脂被覆部材である。 特許出願人 キャノン株式会社
図は平面図、第2図は第1図のm−n線に沿った断面図
、第3図は測温状態の斜視図である。 符号lは温度計、2は基板、3〜6は超伝導材、3a、
3b、4a、4b、5a、5b、6a、6bは電極、7
.8はリード線、9は合成樹脂被覆部材である。 特許出願人 キャノン株式会社
Claims (1)
- 1、低温における超伝導臨界温度が互いに異なる複数個
の超伝導材を離隔的に配設し、これらの各超伝導材の両
側にそれぞれ電極を設け、これらの電極にリード線を接
続し、これらの各リード線を流れる電流値を基に低温測
定を行うことを特徴とする低温用温度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1298888A JPH01187423A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 低温用温度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1298888A JPH01187423A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 低温用温度計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01187423A true JPH01187423A (ja) | 1989-07-26 |
Family
ID=11820586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1298888A Pending JPH01187423A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | 低温用温度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01187423A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008016554A (ja) * | 2006-07-04 | 2008-01-24 | Toshiba Corp | 高温超電導コイル装置 |
DE102012112574A1 (de) * | 2012-12-18 | 2014-06-18 | Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co. Kg | Sensorelement, Thermometer sowie Verfahren zur Bestimmung einer Temperatur |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP1298888A patent/JPH01187423A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008016554A (ja) * | 2006-07-04 | 2008-01-24 | Toshiba Corp | 高温超電導コイル装置 |
DE102012112574A1 (de) * | 2012-12-18 | 2014-06-18 | Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co. Kg | Sensorelement, Thermometer sowie Verfahren zur Bestimmung einer Temperatur |
US9995639B2 (en) | 2012-12-18 | 2018-06-12 | Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co. Kg | Sensor element, thermometer as well as method for determining a temperature |
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