JPH01104506U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂ，ｃは、この考案による半導体レ
ーザ測長器の光源装置の実施例における構成図と
気体セルの構造図およびその波長選択特性の説明
図、第２図は、トワイマン・グリーン型の干渉計
による従来の測長器の構成図である。 １…レーザ光源、２…ビームスプリツタ、３…
参照ミラー、４…測定ミラー、５…受光器、６…
移動体、７…固定部、８…光源光学部、９…ベー
ス盤、１０…半導体レーザ素子、１１…温度安定
器、１１ａ…ヒートシンク、１１ｂ…ペルチエ素
子、１１ｃ…放熱器、１１ｄ…温度センサ、１２
…レンズ、１３…制御用ビームスプリツタ、１４
…光フアイバー、１５…制御部筐体、１６…波長
基準器、１６ａ…気体セル、１６ｂ，１６ｃ…レ
ンズ、１７…電流制御回路、１８…注入電流源、
１９…温度制御回路。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体レーザ素子を用いた干渉計方式の測
   長器において、ビームスプリツタ、参照ミラーお
   よび受光器よりなる干渉計の固定部を固定したベ
   ース盤に、該半導体レーザ素子、該素子に対する
   温度安定器および上記半導体レーザ素子より出射
   されるレーザビームより制御用レーザビームを分
   割する制御ビームスプリツタとよりなる光源光学
   部を上記固定部に対応して固定し、上記ベース盤
   に対して任意の位置に制御部筐体を設け、該筐体
   に収容された波長基準器と上記光学光源部の間を
   光フアイバーで接続して上記分割された制御用レ
   ーザビームを該光フアイバーを通して受光し、上
   記波長基準器の気体セルにおいて変動する該レー
   ザビームの波長を選択吸収して出力される信号電
   圧により、上記半導体レーザ素子の注入電流を制
   御する電流制御回路および注入電流源とを上記制
   御筐体に収納したことを特徴とする、半導体レー
   ザ測長器の光源装置。 (2) 硬化ガラス管の両端を良質の光学ガラスで
   封止して真空とし、内部に例えばルビジウムなど
   の、上記半導体レーザ素子の発振波長の変動範囲
   内の１波長を吸収線とするアルカリ金属をガス状
   として充填した気体セルと、上記光フアイバーに
   より導かれたレーザビームを上記気体セルの一端
   より入力して他端より出力させる投光レンズおよ
   び受光レンズと、該気体セルにより吸収された波
   長以外の透過する波長のレーザビームを受光して
   上記信号電圧を出力する受光器とにより構成され
   た上記波長基準器とする、請求項１記載の半導体
   レーザ測長器の光源装置。