JP7638381B2

JP7638381B2 - 被覆工具および切削工具

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Publication number: JP7638381B2
Application number: JP2023538418A
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Inventors: 啓吉見
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Description

本開示は、被覆工具および切削工具に関する。

旋削加工や転削加工等の切削加工に用いられる工具として、超硬合金、サーメット、セラミックス等の基体の表面を被覆層でコーティングすることによって耐摩耗性等を向上させた被覆工具が知られている。

特開２００４－５０３８１号公報特開２０１８－３０２１２号公報

本開示の一態様による被覆工具は、基体と、基体の上に位置する被覆層とを有する。被覆層は、ＡｌとＣｒとＳｉとＮとを含有する第１被覆層を有する。第１被覆層は、厚さ方向に交互に位置する第１層と、第２層とを有する。第１層および第２層は、ＡｌとＣｒとＳｉとＮとを有する。第１層におけるＡｌ含有量を第１Ａｌ含有量、第１層におけるＣｒ含有量を第１Ｃｒ含有量、第１層におけるＳｉ含有量を第１Ｓｉ含有量とし、第２層におけるＡｌ含有量を第２Ａｌ含有量、第２層におけるＣｒ含有量を第２Ｃｒ含有量、第２層におけるＳｉ含有量を第２Ｓｉ含有量とする。この場合、第１Ａｌ含有量は、第２Ａｌ含有量より多く、第１Ｃｒ含有量は、第２Ｃｒ含有量より少なく、第１Ｓｉ含有量は、第２Ｓｉ含有量より多い。

図１は、実施形態に係る被覆工具の一例を示す斜視図である。図２は、実施形態に係る被覆工具の一例を示す側断面図である。図３は、実施形態に係る被覆層の一例を示す断面図である。図４は、図３に示すＨ部の模式拡大図である。図５は、第１層および第２層のＡｌ含有量、Ｃｒ含有量およびＳｉ含有量を説明するための模式図である。図６は、実施形態に係る切削工具の一例を示す正面図である。図７は、試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６について、第１被覆層の製造条件をまとめた表である。図８は、試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６について、第１被覆層の組成および金属含有量の測定結果をまとめた表である。図９は、試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６に対する摩耗試験の結果をまとめた表である。図１０は、実施形態に係る第１被覆層の走査透過電子顕微鏡像である。図１１は、第１層および第２層の積層方向におけるＡｌ含有量、Ｃｒ含有量、Ｓｉ含有量およびＮ含有量の変化を示すグラフである。

以下に、本開示による被覆工具および切削工具を実施するための形態（以下、「実施形態」と記載する）について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施形態により本開示による被覆工具および切削工具が限定されるものではない。また、各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。また、以下の各実施形態において同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略される。

また、以下に示す実施形態では、「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」といった表現が用いられる場合があるが、これらの表現は、厳密に「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」であることを要しない。すなわち、上記した各表現は、例えば製造精度、設置精度などのずれを許容するものとする。

上述した従来技術には、耐欠損性を向上させるという点で更なる改善の余地がある。

＜被覆工具＞
図１は、実施形態に係る被覆工具の一例を示す斜視図である。また、図２は、実施形態に係る被覆工具１の一例を示す側断面図である。図１に示すように、実施形態に係る被覆工具１は、チップ本体２を有する。

（チップ本体２）
チップ本体２は、たとえば、上面および下面（図１に示すＺ軸と交わる面）の形状が平行四辺形である六面体形状を有する。

チップ本体２の１つのコーナー部は、切刃部として機能する。切刃部は、第１面（たとえば上面）と、第１面に連接する第２面（たとえば側面）とを有する。実施形態において、第１面は切削により生じた切屑をすくい取る「すくい面」として機能し、第２面は「逃げ面」として機能する。第１面と第２面とが交わる稜線の少なくとも一部には、切刃が位置しており、被覆工具１は、かかる切刃を被削材に当てることによって被削材を切削する。

チップ本体２の中央部には、チップ本体２を上下に貫通する貫通孔５が位置する。貫通孔５には、後述するホルダ７０に被覆工具１を取り付けるためのネジ７５が挿入される（図６参照）。

図２に示すように、チップ本体２は、基体１０と、被覆層２０とを有する。

（基体１０）
基体１０は、たとえば超硬合金で形成される。超硬合金は、Ｗ（タングステン）、具体的には、ＷＣ（炭化タングステン）を含有する。また、超硬合金は、Ｎｉ（ニッケル）やＣｏ（コバルト）を含有していてもよい。具体的には、基体１０は、ＷＣ粒子を硬質相成分とし、Ｃｏを結合相の主成分とするＷＣ基超硬合金からなる。

また、基体１０は、サーメットで形成されてもよい。サーメットは、たとえばＴｉ（チタン）、具体的には、ＴｉＣ（炭化チタン）またはＴｉＮ（窒化チタン）を含有する。また、サーメットは、ＮｉやＣｏを含有していてもよい。

また、基体１０は、立方晶窒化硼素（ｃＢＮ）粒子を含有する立方晶窒化硼素質焼結体で形成されてもよい。基体１０は、立方晶窒化硼素（ｃＢＮ）粒子に限らず、六方晶窒化硼素（ｈＢＮ）、菱面体晶窒化硼素（ｒＢＮ）、ウルツ鉱窒化硼素（ｗＢＮ）等の粒子を含有していてもよい。

（被覆層２０）
被覆層２０は、例えば、基体１０の耐摩耗性、耐熱性等を向上させることを目的として基体１０に被覆される。図２の例では、被覆層２０が基体１０を全体的に被覆している。被覆層２０は、少なくとも基体１０の上に位置していればよい。被覆層２０が基体１０の第１面（ここでは、上面）に位置する場合、第１面の耐摩耗性、耐熱性が高い。被覆層２０が基体１０の第２面（ここでは、側面）に位置する場合、第２面の耐摩耗性、耐熱性が高い。

ここで、被覆層２０の具体的な構成について図３および図４を参照して説明する。図３は、実施形態に係る被覆層２０の一例を示す断面図である。また、図４は、図３に示すＨ部の模式拡大図である。

図３に示すように、被覆層２０は、中間層２２の上に位置する第１被覆層２３と、第１被覆層２３の上に位置する第２被覆層２４とを有する。

（第１被覆層２３）
第１被覆層２３は、Ａｌ、第５族元素、第６族元素およびＴｉを除く第４族元素からなる群より選択される少なくとも１種の元素と、ＣおよびＮからなる群より選択される少なくとも１種の元素と、Ｓｉおよび、Ｃｒとを有する。

具体的には、第１被覆層２３は、ＡｌとＣｒとＳｉとＮとを含有する。すなわち、第１被覆層２３は、Ａｌ、ＣｒおよびＳｉの窒化物であるＡｌＣｒＳｉＮを含有するＡｌＣｒＳｉＮ層であってもよい。なお、「ＡｌＣｒＳｉＮ」との表記は、ＡｌとＣｒとＳｉとＮとが任意の割合で存在することを意味しており、必ずしもＡｌとＣｒとＳｉとＮとが１対１対１対１で存在することを意味するものではない。

このように、中間層２２に含まれる金属（たとえば、Ｓｉ）を含有する第１被覆層２３を中間層２２の上に位置させることで、中間層２２と被覆層２０との密着性が高い。これにより、被覆層２０が中間層２２から剥離し難くなるため、被覆層２０の耐久性が高い。

図４に示すように、第１被覆層２３は、複数の第１層２３ａと複数の第２層２３ｂとを有する。第１被覆層２３は、第１層２３ａと第２層２３ｂとが厚み方向に交互に積層された縞状構成を有している。第１層２３ａは、中間層２２に接する層であり、第２層２３ｂは、第１層２３ａ上に形成される。

第１層２３ａおよび第２層２３ｂの厚みは、それぞれ５０ｎｍ以下としてもよい。薄く形成された第１層２３ａおよび第２層２３ｂは、残留応力が小さく、剥離やクラック等が生じ難いため、被覆層２０の耐久性が高くなる。

第２被覆層２４は、Ｔｉ、ＳｉおよびＮを有していてもよい。すなわち、第２被覆層２４は、ＴｉおよびＳｉを含有する窒化物層（ＴｉＳｉＮ層）であってもよい。なお、「ＴｉＳｉＮ層」との表記は、ＴｉとＳｉとＮとが任意の割合で存在することを意味しており、必ずしもＴｉとＳｉとＮとが１対１対１で存在することを意味するものではない。

これにより、たとえば、第２被覆層２４の摩擦係数が低い場合には、被覆工具１の耐溶着性を向上させることができる。また、たとえば、第２被覆層２４の硬度が高い場合には、被覆工具１の耐摩耗性を向上させることができる。また、たとえば、第２被覆層２４の酸化開始温度が高い場合には、被覆工具１の耐酸化性を向上させることができる。

図５は、第１層２３ａおよび第２層２３ｂのＡｌ含有量、Ｃｒ含有量およびＳｉ含有量を説明するための模式図である。

第１層２３ａおよび第２層２３ｂは、ＡｌとＣｒとＳｉとＮとを含有する。ここで、第１層２３ａにおけるＡｌ含有量を第１Ａｌ含有量とし、第１層２３ａにおけるＣｒ含有量を第１Ｃｒ含有量とし、第１層２３ａにおけるＳｉ含有量を第１Ｓｉ含有量とする。また、第２層２３ｂにおけるＡｌ含有量を第２Ａｌ含有量とし、第２層２３ｂにおけるＣｒ含有量を第２Ｃｒ含有量とし、第２層２３ｂにおけるＳｉ含有量を第２Ｓｉ含有量とする。

この場合、第１Ａｌ含有量は、前記第２Ａｌ含有量より多く、第１Ｃｒ含有量は、第２Ｃｒ含有量より少なく、第１Ｓｉ含有量は、第２Ｓｉ含有量より多くてもよい。

かかる構成の第１被覆層２３を有する被覆工具１は、高硬度で耐欠損性に優れる。

また、第１被覆層２３に含まれる金属元素に占めるＡｌとＣｒとＳｉとの合計は、９８原子％以上であってもよい。

かかる構成の第１被覆層２３を有する被覆工具１は、さらに高硬度で耐欠損性に優れる。

また、第１被覆層２３の金属元素に占めるＡｌの比率は、３８原子％以上５５原子％以下であってもよい。第１被覆層２３の金属元素に占めるＣｒの比率は、３３原子％以上４８原子％以下であってもよい。第１被覆層２３の金属元素に占めるＳｉの比率は、４原子％以上１５原子％以下であってもよい。

かかる構成の第１被覆層２３を有する被覆工具１は、耐酸化性が向上し耐摩耗性に優れる。

また、第１Ａｌ含有量と第２Ａｌ含有量との差は、１原子％以上９原子％以下であってもよい。

かかる構成の第１被覆層２３を有する被覆工具１は、高い耐酸化性かつ高硬度を維持しつつ、被覆層内部の応力を緩和し、耐摩耗性に優れる。

かかる構成の第１被覆層２３を有する被覆工具１は、特に高硬度である。

また、第１Ｃｒ含有量と第２Ｃｒ含有量との差は、１原子％以上１２原子％以下であってもよい。

かかる構成の第１被覆層２３を有する被覆工具１は、耐摩耗性がさらに優れる。

かかる構成の第１被覆層２３を有する被覆工具１は、特に耐欠損性に優れる。

また、第１Ｓｉ含有量と第２Ｓｉ含有量との差は、０．５原子％以上５原子％以下であってもよい。

また、第１層２３ａおよび第２層２３ｂの厚みは、１ｎｍ以上、２０ｎｍ以下であってもよい。

かかる構成の第１被覆層２３を有する被覆工具１は、硬度と耐欠損性に優れる。

（中間層２２）
基体１０と被覆層２０との間には、中間層２２が位置していてもよい。具体的には、中間層２２は、一方の面（ここでは下面）において基体１０の上面に接し、且つ、他方の面（ここでは上面）において被覆層２０（第１被覆層２３）の下面に接する。

中間層２２は、基体１０との密着性が被覆層２０と比べて高い。このような特性を有する金属元素としては、たとえば、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｙ、Ｔｉが挙げられる。中間層２２は、上記金属元素のうち少なくとも１種以上の金属元素を含有する。たとえば、中間層２２は、Ｔｉを含有していても良い。なお、Ｓｉは、半金属元素であるが、本明細書においては、半金属元素も金属元素に含まれるものとする。

中間層２２がＴｉを含有する場合、中間層２２におけるＴｉの含有量は、１．５原子％以上であってもよい。たとえば、中間層２２におけるＴｉの含有量は、２．０原子％以上であってもよい。

中間層２２は、上記金属元素（Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｙ、Ｔｉ）以外の金属元素成分を含有していてもよい。ただし、基体１０との密着性の観点から、中間層２２は、上記金属元素を合量で少なくとも９５原子％以上含有していてもよい。より好ましくは、中間層２２は、上記金属元素を合量で９８原子％以上含有してもよい。なお、中間層２２における金属成分の割合は、たとえば、ＳＴＥＭ（走査透過電子顕微鏡）に付属しているＥＤＳ（エネルギー分散型Ｘ線分光器）を用いた分析により特定可能である。

このように、実施形態に係る被覆工具１では、基体１０との濡れ性が被覆層２０と比べて高い中間層２２を基体１０と被覆層２０との間に設けることにより、基体１０と被覆層２０との密着性を向上させることができる。なお、中間層２２は、被覆層２０との密着性も高いため、被覆層２０が中間層２２から剥離するといったことも生じにくい。

なお、中間層２２の厚みは、たとえば０．１ｎｍ以上、２０．０ｎｍ未満であってもよい。

＜切削工具＞
次に、上述した被覆工具１を備えた切削工具の構成について図６を参照して説明する。図６は、実施形態に係る切削工具の一例を示す正面図である。

図６に示すように、実施形態に係る切削工具１００は、被覆工具１と、被覆工具１を固定するためのホルダ７０とを有する。

ホルダ７０は、第１端（図６における上端）から第２端（図６における下端）に向かって伸びる棒状の部材である。ホルダ７０は、たとえば、鋼、鋳鉄製である。特に、これらの部材の中で靱性の高い鋼が用いられることが好ましい。

ホルダ７０は、第１端側の端部にポケット７３を有する。ポケット７３は、被覆工具１が装着される部分であり、被削材の回転方向と交わる着座面と、着座面に対して傾斜する拘束側面とを有する。着座面には、後述するネジ７５を螺合させるネジ孔が設けられている。

被覆工具１は、ホルダ７０のポケット７３に位置し、ネジ７５によってホルダ７０に装着される。すなわち、被覆工具１の貫通孔５にネジ７５を挿入し、このネジ７５の先端をポケット７３の着座面に形成されたネジ孔に挿入してネジ部同士を螺合させる。これにより、被覆工具１は、切刃部分がホルダ７０から外方に突出するようにホルダ７０に装着される。

実施形態においては、いわゆる旋削加工に用いられる切削工具を例示している。旋削加工としては、例えば、内径加工、外径加工及び溝入れ加工が挙げられる。なお、切削工具としては旋削加工に用いられるものに限定されない。例えば、転削加工に用いられる切削工具に被覆工具１を用いてもよい。転削加工に用いられる切削工具としては、たとえば、平フライス、正面フライス、側フライス、溝切りフライスなどフライス、１枚刃エンドミル、複数刃エンドミル、テーパ刃エンドミル、ボールエンドミルなどのエンドミルなどが挙げられる。

（製造方法）
次に、本実施形態に係る被覆工具１の製造方法の一例について説明する。なお、本開示による被覆工具の製造方法は、下記の製造方法に限定されるものではない。

被覆層は、たとえば物理蒸着法により形成されてもよい。物理蒸着法としては、例えば、イオンプレーティング法及びスパッタリング法などが挙げられる。一例として、イオンプレーティング法で被覆層を作製する場合には、下記の方法によって被覆層を作製することができる。

まず、第１被覆層２３をイオンプレーティング法で作製する方法の一例を示す。まず、一例としてＣｒ、ＳｉおよびＡｌの各金属ターゲット、または複合化した合金ターゲット、または焼結体ターゲットを準備する。

次に、金属源である上記のターゲットをアーク放電またはグロー放電などによって蒸発させてイオン化する。イオン化した金属を、窒素源の窒素（Ｎ_２）ガス、などと反応させるとともに、基体の表面に蒸着させる。以上の手順によってＡｌＣｒＳｉＮ層を形成することが可能である。

上記の手順において、基体の温度を５００～６００℃とし、窒素ガス圧力を１．０～６．０Ｐａとし、基体に－５０～－２００Ｖの直流バイアス電圧を印可して、アーク放電電流を１００～２００Ａとしてもよい。

第１被覆層の組成は、アルミニウム金属ターゲット、クロム金属ターゲット、アルミニウム－シリコン複合化合金ターゲット、および、クロム－シリコン複合化合金ターゲットにかかるアーク放電・グロー放電時の電圧・電流値をそれぞれのターゲット毎に独立に制御することによって調整することができる。また、被覆層の組成は、被覆時間や雰囲気ガス圧の制御によっても調整することができる。実施形態の一例においてはアーク放電・グロー放電時の電圧・電流値を変化させることにより、ターゲット金属のイオン化量を変化させることができる。また、ターゲット毎にアーク放電・グロー放電時の電流値を周期的に変えることにより、ターゲット金属のイオン化量を周期的に変化させることができる。ターゲットのアーク放電・グロー放電時の電流値は、０．０１～０．５ｍｉｎの間隔で周期的に変えることにより、ターゲット金属のイオン化量を周期的に変化させることができる。これにより被覆層の厚み方向において、各金属元素の含有割合がそれぞれの周期で変化する構成とすることができる。

上記の手順を行う際に、Ａｌ、Ｓｉの量が少なくなるように、また、Ｃｒの量が多くなるよう、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃｒの組成を変化させ、その後、Ａｌ、Ｓｉの量が多くなるように、また、Ｃｒの量が少なくなるよう、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃｒの組成を変化させることによって、第１層および第２層を有する第１被覆層を作製することが可能である。

次に、ＴｉＳｉＮ層である第２被覆層の製造方法の一例について説明する。

第１被覆層と同様に、第２被覆層も物理蒸着法により形成されてもよい。一例として、まず、Ｔｉ金属ターゲット及びＴｉ－Ｓｉ複合化合金ターゲットを準備する。そして、用意した各ターゲットにかかるアーク放電・グロー放電時の電圧・電流値をターゲット毎に独立に制御することによって縞状構造を有する第２被覆層を作製することができる。

上記の手順において、基体の温度を５００～６００℃とし、窒素ガス圧力を１．０～６．０Ｐａとし、基体に－５０～－２００Ｖの直流バイアス電圧を印可して、アーク放電電流を１００～２００Ａ、アーク電流の変化周期を０．０１～０．５ｍｉｎとしてもよい。

以下、本開示の実施例を具体的に説明する。なお、本開示は以下に示す実施例に限定されるものではない。

ＷＣからなる基体の上に第１被覆層を形成した被覆工具を作製し、試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６とした。図７は、試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６について、第１被覆層の製造条件をまとめた表である。なお、試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６のうち試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１１、Ｎｏ．１４～Ｎｏ．１６は、本開示の実施例に相当する。また、試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６のうち試料Ｎｏ．１２、Ｎｏ．１３は、比較例に相当する。

まず、各種の金属ターゲット、または、複合化した合金ターゲット、または焼結体ターゲットを準備した。具体的には、３種類のターゲット（第１ターゲット～第３ターゲット）を用意した。次に、金属源である上記のターゲットをアーク放電又はグロー放電などによって蒸発させてイオン化した。次に、イオン化した金属を、窒素源の窒素（Ｎ_２）ガス、などと反応させるとともに、基体の表面に蒸着させた。以上の手順によって基体の上に第１被覆層を形成した。また、ターゲット毎にアーク放電・グロー放電時の電流値を周期的に変えた。これにより、ターゲット金属のイオン化量を周期的に変化させることができ、第１被覆層の厚み方向において、各金属元素の含有割合がそれぞれの周期で変化する構成とすることができる。

各試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６についての第１被覆層の製造条件は、図７に示す通りである。試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６のうち、試料Ｎｏ．１０以外の試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．９、Ｎｏ．１１～Ｎｏ．１５は、第１ターゲットとしてＡｌ金属ターゲット、第２ターゲットとしてＣｒ金属ターゲット、第３ターゲットとしてＡｌ－Ｓｉ複合化合金ターゲットを用いた。試料Ｎ０．１～Ｎｏ．９、Ｎｏ．１１～Ｎｏ．１５は、アーク電流の周期、第１ターゲットに対する第１層成膜時のアーク電流および第２層成膜時のアーク電流の大きさ、第２ターゲットに対する第１層成膜時のアーク電流および第２層成膜時のアーク電流の大きさ、ならびに、第３ターゲットに対する第１層成膜時のアーク電流および第２層成膜時のアーク電流の大きさの組み合わせが異なっている。試料Ｎｏ．１０は、第１ターゲットとしてＡｌ金属ターゲット、第２ターゲットとしてＣｒ金属ターゲット、第３ターゲットとしてＡｌ－Ｓｉ－Ｔｉ複合化合金ターゲットを用いた。

図８は、試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６について、第１被覆層の組成および金属含有量の測定結果をまとめた表である。

図８に示すように、試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．９、Ｎｏ．１１、Ｎｏ．１４～Ｎｏ．１６が有する第１被覆層の平均組成は、（Ａｌ_５０Ｃｒ_３９Ｓｉ_１１）Ｎであり、試料Ｎｏ．１０が有する第１被覆層の平均組成は、（Ａｌ_５０Ｃｒ_３９Ｓｉ_１１Ｔｉ_３）Ｎである。また、試料Ｎｏ．１２が有する第１被覆層の平均組成は、（Ａｌ_６９Ｃｒ_１１Ｓｉ_２０）Ｎであり、試料Ｎｏ．１３が有する第１被覆層の平均組成は、（Ａｌ_７０Ｃｒ_１０Ｓｉ_２０）Ｎである。試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６のうち、試料Ｎｏ．１０以外の試料について、第１被覆層に含まれる金属元素に占めるＡｌとＣｒとＳｉとの合計は、１００原子％である。試料Ｎｏ．１０の第１被覆層に含まれる金属元素に占めるＡｌとＣｒとＳｉとの合計は、９７原子％である。

試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１３における第１層および第２層の層厚（平均層厚）は、約５ｎｍである。また、試料Ｎｏ．１４における第１層および第２層の層厚（平均層厚）は、約１０ｎｍであり、試料Ｎｏ．１５における第１層および第２層の層厚（平均層厚）は、約２０ｎｍであり、試料Ｎｏ．１６における第１層および第２層の層厚（平均層厚）は、約３０ｎｍである。

これら試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６について、第１Ａｌ含有量と第２Ａｌ含有量との差（第１Ａｌ含有量－第２Ａｌ含有量）は、それぞれ、６原子％、２原子％、４原子％、６原子％、８原子％、９原子％、１０原子％、９原子％、６原子％、６原子％、６原子％、８原子％、６原子％、６原子％、６原子％、６原子％であった。

また、試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６について、第１Ｃｒ含有量と第２Ｃｒ含有量との差（第２Ｃｒ含有量－第１Ｃｒ含有量）は、それぞれ、８原子％、３原子％、６原子％、９原子％、１２原子％、１１原子％、１１原子％、１３原子％、１２原子％、８原子％、４原子％、４原子％、８原子％、８原子％、８原子％、８原子％であった。

また、試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６について、第１Ｓｉ含有量と第２Ｓｉ含有量との差（試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１０、Ｎｏ．１３～Ｎｏ．１６は、第１Ｓｉ含有量－第２Ｓｉ含有量、試料Ｎｏ．１１、Ｎｏ．１２は、第２Ｓｉ含有量－第１Ｓｉ含有量）は、それぞれ、２原子％、１原子％、２原子％、３原子％、４原子％、２原子％、１原子％、４原子％、６原子％、２原子％、２原子％、４原子％、２原子％、２原子％、２原子％、２原子％であった。

図９は、試料Ｎｏ．１～Ｎｏ．１６に対する摩耗試験の結果をまとめた表である。摩耗試験の各試験条件は、以下の通りである。

＜摩耗試験＞
摩耗試験は、２枚刃超硬ボールエンドミル（型番：２ＫＭＢＬ０２００－０８００－Ｓ４）を用いて、以下の条件にて行った。
（１）切削方法：ポケット加工
（２）被削材：ＳＫＤ１１Ｈ
（３）送りｆｚ：１３２０ｍｍ／ｍｉｎ
（４）切り込み：ａｐ０．０８ｍｍ×ａｅ０．２０ｍｍ
（５）評価方法：２０ｍ切削後の横逃げ面の摩耗幅を顕微鏡にて測定した。

第１Ａｌ含有量が第２Ａｌ含有量より多く、第１Ｃｒ含有量が第２Ｃｒ含有量より少なく、第１Ｓｉ含有量が第２Ｓｉ含有量より多い試料Ｎｏ.１～１０、Ｎｏ．１３～Ｎｏ．１６は、被覆層の密着力に優れ、高い耐摩耗性を示した。特に、第１被覆層の金属元素に占めるＡｌの比率が、３８原子％以上５５原子％以下であり、Ｃｒの比率が、３３原子％以上４８原子％以下であり、Ｓｉの比率が、４原子％以上１５原子％以下であり、かつ、第１Ａｌ含有量と第２Ａｌ含有量との差が、１原子％以上９原子％以下であり、第１Ｃｒ含有量と第２Ｃｒ含有量との差が、１原子％以上１２原子％以下であり、第１Ｓｉ含有量と第２Ｓｉ含有量との差が、０．５原子％以上５原子％以下である、試料Ｎｏ.１～Ｎｏ．６は、耐摩耗性に優れる結果となった。

＜ＥＤＸ分析＞
試料Ｎｏ．１についてＥＤＸ分析を行った。具体的には、ＥＤＸ分析データから複数の第１層および第２層に跨がる範囲を抽出し、抽出した範囲について、第１層および第２層の積層方向に沿った方向（スキャン方向）におけるＡｌ含有量、Ｃｒ含有量、Ｓｉ含有量およびＮ含有量の変化を測定した。分析条件は、以下の通りである。
（１）試料前処理：ＦＩＢ法(μ-サンプリング法)による薄片化
（２）元素分析(面分析)
（３）走査透過電子顕微鏡：日本電子製ＪＥＭ－ＡＲＭ２００F
（４）加速電圧：２００ｋＶ
（５）ビーム径：約０．２ｎｍφ
（６）元素分析装置：日本電子製ＪＥＤ－２３００Ｔ
（７）Ｘ線検出器：Ｓｉドリフト検出器
（８）エネルギー分解能：約１４０ｅＶ
（９）Ｘ線取出角：２１．９°
（１０）立体角：０．９８ｓｒ
（１１）取込画素数：２５６×２５６

図１０は、実施形態に係る第１被覆層の走査透過電子顕微鏡像（ＨＡＡＤＦ－ＳＴＥＭ像）である。図１０に示すように、実施例に係る第１被覆層は、第１層と第２層とが交互に位置する縞状構造を有していることがわかる。

図１１は、第１層および第２層の積層方向におけるＡｌ含有量、Ｃｒ含有量、Ｓｉ含有量およびＮ含有量の変化を示すグラフである。図１１に示すグラフの横軸は、図１０に示すスキャン方向に対応している。すなわち、図１０に示すスキャン方向の起点（図１０に示す「０ｎｍ」）が図１１に示すグラフの横軸の「０ｎｍ」に対応し、図１０に示すスキャン方向の終点（図７に示す「５０ｎｍ」）が図１１に示すグラフの横軸の「５０ｎｍ」に対応する。

図１１に示すように、Ａｌ含有量およびＣｒ含有量は、スキャン方向（すなわち、第１層および第２層の積層方向）に沿って周期的に変動していることがわかる。具体的には、Ａｌ含有量は、第１層において増加し、第２層において減少する。また、Ｃｒ含有量は、第２層において減少し、第２層において増加する。

また、Ｓｉ含有量も、スキャン方向に沿って周期的に変動している。具体的には、Ｓｉ含有量は、Ａｌ含有量と同様に、第１層において増加し、第２層において減少する。

このように、実施例に係る第１被覆層において、第１層におけるＡｌ含有量（第１Ａｌ含有量）は、第２層におけるＡｌ含有量（第２Ａｌ含有量）より多く、第１層における第１Ｃｒ含有量は、第２層における第２Ｃｒ含有量より少なく、第１層における第１Ｓｉ含有量は、第２層における第２Ｓｉ含有量より多い。

また、図１１に示すように、第１Ａｌ含有量と第２Ａｌ含有量との差は、１原子％以上９原子％以下であることがわかる。

また、図１１に示すように、第１Ｃｒ含有量と第２Ｃｒ含有量との差は、１原子％以上１２原子％以下であることがわかる。

また、図１１に示すように、第１Ｓｉ含有量と第２Ｓｉ含有量との差は、０．５原子％以上５原子％以下であることがわかる。

上述してきたように、実施形態に係る被覆工具（一例として、被覆工具１）は、基体（一例として、基体１０）と、基体の上に位置する被覆層（一例として、被覆層２０）とを有する。被覆層は、ＡｌとＣｒとＳｉとＮとを含有する第１被覆層（一例として、第１被覆層２３）を有する。第１被覆層は、厚さ方向に交互に位置する第１層（一例として、第１層２３ａ）と、第２層（一例として、第２層２３ｂ）とを有する。第１層および第２層は、ＡｌとＣｒとＳｉとＮとを有する。第１層におけるＡｌ含有量を第１Ａｌ含有量、第１層におけるＣｒ含有量を第１Ｃｒ含有量、第１層におけるＳｉ含有量を第１Ｓｉ含有量とし、第２層におけるＡｌ含有量を第２Ａｌ含有量、第２層におけるＣｒ含有量を第２Ｃｒ含有量、第２層におけるＳｉ含有量を第２Ｓｉ含有量とする。この場合、第１Ａｌ含有量は、第２Ａｌ含有量より多く、第１Ｃｒ含有量は、第２Ｃｒ含有量より少なく、第１Ｓｉ含有量は、第２Ｓｉ含有量より多い。

したがって、実施形態に係る被覆工具によれば、耐酸化性、耐摩耗性を向上させることができる。

なお、図１に示した被覆工具１の形状はあくまで一例であって、本開示による被覆工具の形状を限定するものではない。本開示による被覆工具は、たとえば、回転軸を有し、第１端から第２端にかけて延びる棒形状の本体と、本体の第１端に位置する切刃と、切刃から本体の第２端の側に向かって螺旋状に延びた溝とを有していてもよい。

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

１被覆工具
２チップ本体
５貫通孔
１０基体
２０被覆層
２２中間層
２３第１被覆層
２３ａ第１層
２３ｂ第２層
２４第２被覆層
７０ホルダ
７３ポケット
７５ネジ
１００切削工具

Claims

基体と、該基体の上に位置する被覆層とを有し、
前記被覆層は、ＡｌとＣｒとＳｉとＮとを含有する第１被覆層を有し、
前記第１被覆層に含まれる金属元素に占めるＡｌとＣｒとＳｉとの合計は、９８原子％以上であり、
前記第１被覆層は、厚さ方向に交互に位置する第１層と、第２層とを有し、
前記第１層および前記第２層は、ＡｌとＣｒとＳｉとＮとを有し、
前記第１層におけるＡｌ含有量を第１Ａｌ含有量、前記第１層におけるＣｒ含有量を第１Ｃｒ含有量、前記第１層におけるＳｉ含有量を第１Ｓｉ含有量とし、
前記第２層におけるＡｌ含有量を第２Ａｌ含有量、前記第２層におけるＣｒ含有量を第２Ｃｒ含有量、前記第２層におけるＳｉ含有量を第２Ｓｉ含有量とした場合、
前記第１Ａｌ含有量は、前記第２Ａｌ含有量より多く、
前記第１Ｃｒ含有量は、前記第２Ｃｒ含有量より少なく、
前記第１Ｓｉ含有量は、前記第２Ｓｉ含有量より多く、
前記第１Ｓｉ含有量と前記第２Ｓｉ含有量との差は、０．５原子％以上５原子％以下である、被覆工具。
前記第２Ｓｉ含有量は、１０原子％以下である、請求項１に記載の被覆工具。
前記第１被覆層の金属元素に占めるＡｌの比率は、３８原子％以上５５原子％以下であり、
前記第１被覆層の金属元素に占めるＣｒの比率は、３３原子％以上４８原子％以下であり、
前記第１被覆層の金属元素に占めるＳｉの比率は、４原子％以上１５原子％以下である、請求項１に記載の被覆工具。
前記第１Ａｌ含有量と前記第２Ａｌ含有量との差は、１原子％以上９原子％以下である、請求項１に記載の被覆工具。
前記第１Ｃｒ含有量と前記第２Ｃｒ含有量との差は、１原子％以上１２原子％以下である、請求項１に記載の被覆工具。
前記第１層および前記第２層の厚みは、１ｎｍ以上、２０ｎｍ以下である、請求項１に記載の被覆工具。
端部にポケットを有する棒状のホルダと、
前記ポケット内に位置する、請求項１～６のいずれか一つに記載の被覆工具と
を有する、切削工具。