JP7603075B2 - 従量式同軸バルブブロック - Google Patents

Description

関連出願の相互参照
本特許出願は、２０２０年３月９日に出願された米国仮出願第６２／９８７，１２８号、及び２０２０年７月２３日に出願された米国仮出願第６３／０５５，８６９号に対する優先権を請求する。

発明の背景
半導体製造産業では、継続的に、純粋な化学物質を半導体ツールの要求に応じて供給することができる、様々な種類の化学物質及びプロセスが要求される。これらの要求は、化学物質輸送装置内の化学コンテナの定期的かつ安全な交換プロセスを必要とする。

大きな配管、及び設計内のデッドレグの存在は、これらの化学コンテナを安全に交換するのに要求されるパージ時間を増加させ、一方でパージ効率を低下させる。デッドレグとは、パージガスが効果的に達することができず、したがって、化学コンテナの交換及び装置補修中のパージ効率及び装置の安全性を低下させる化学物質輸送装置設計の部分を指す。

化学物質輸送装置設計のこれらの短所は、テトラキス（ジメチルアミド）チタン（ＴＤＭＡＴ）などのより低い蒸気圧及び高い純度を有する化学物質の存在によって増幅される。この種の化学物質は、米国特許第５，９６４，２３０号、及び米国特許第６，１３８，６９１号において開示される溶媒化学物質の使用により歴史的にパージされる。

以下に説明するように、低容量ブロックバルブの使用により、溶媒パージの必要がなくなり、代わりに、高圧、高速のパージガス及び内部同軸ラインを用いることが可能となる。真空引き及びパージガス排気の使用もブロックバルブ設計に含まれる。この低容量ブロックバルブは、パージ可能な配管設計内の任意のデッドレグを事実上なくし、化学コンテナ交換中の改善されたパージ効率を可能にする。

発明の概要
１つの側面において、本開示に開示されるのは、ハウジング（１１４）が有する第一の側面（１１６）、及び第一の側面（１１６）と対向する第二の側面（１２６）であって、第一の側面（１１６）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１１８）を含み、円筒状のくぼみ（１１８）は、表面（１２０）と、表面（１２０）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１２２）及び第二の開口部（１２４）とを含み、第一の開口部は、第一の部分（１５０）及び第二の部分（１５２）を有する第二の管路（１４８）と流体連通しているＴ字接続部（１４６）と流体連通しており、第二の開口部（１２４）は、ハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置するベント開口部（１７８）と流体連通している、第一の側面（１１６）、及び第二の側面（１２６）と；第一の側面（１１６）に隣接している第三の側面（１２８）、及び第三の側面（１２８）と対向する第四の側面（１３８）であって、第三の側面（１２８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１３０）を含み、円筒状のくぼみ（１３０）は、表面（１３２）と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１３４）及び第二の開口部（１３６）とを含み、第一の開口部（１３４）は、第二の管路（１４８）の第一の部分（１５０）と流体連通しており、第二の開口部（１３６）は、ハウジング（１１４）の第四の側面（１３８）に位置する開口部（２０４）と流体連通している、第三の側面（１２８）、及び第四の側面（１３８）と；第五の側面（１４０）、及び第五の側面（１４０）と対向する第六の側面（１４２）であって、第二の管路（１４８）の第二の部分（１５２）は、折り曲げ部分（１６２）を介して管路を通してハウジング（１１４）の第五の側面（１４０）に位置する開口部（１６６）と流体連通している、第五の側面（１４０）、及び第六の側面（１４２）と；第一の側面（１１６）及び第四の側面（１３８）に隣接している傾斜した第七の側面（１５８）であって、傾斜した第七の側面（１５８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１５４）を含み、円筒状のくぼみ（１５４）は、表面（１８４）と、表面（１８４）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１７４）及び第二の開口部（１７６）とを含み、第一の開口部（１７４）は、ハウジング（１１４）の第五の側面（１４０）に位置する曲げ部（１９６）を介して管路部分（１９４）を通して開口部（２０８）と流体連通しており、第二の開口部（１７６）は、曲げ部（１９０）及び管路部分（１８８）を介して管路（１８６）を通してハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）と流体連通している、傾斜した第七の側面（１５８）と、を有するハウジング（１１４）を含むバルブブロックである。

別の側面において、本開示に開示されるのは、ハウジング（１１４）が有する第一の側面（１１６）、及び第一の側面（１１６）と対向する第二の側面（１２６）であって、第一の側面（１１６）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１１８）を含み、円筒状のくぼみ（１１８）は、表面（１２０）と、表面（１２０）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１２２）及び第二の開口部（１２４）とを含み、第一の開口部は、第一の部分（１５０）及び第二の部分（１５２）を有する第二の管路（１４８）と流体連通しているＴ字接続部（１４６）と流体連通しており、第二の開口部（１２４）は、ハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置するベント開口部（１７８）と流体連通している、第一の側面（１１６）、及び第二の側面（１２６）と；第一の側面（１１６）の円筒状のくぼみ（１１８）に位置する第一のバルブ制御機構と；第一の側面（１１６）に隣接している第三の側面（１２８）、及び第三の側面（１２８）と対向する第四の側面（１３８）であって、第三の側面（１２８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１３０）を含み、円筒状のくぼみ（１３０）は、表面（１３２）と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１３４）及び第二の開口部（１３６）とを含み、第一の開口部（１３４）は、第二の管路（１４８）の第一の部分（１５０）と流体連通しており、第二の開口部（１３６）は、ハウジング（１１４）の第四の側面（１３８）に位置する開口部（２０４）と流体連通している、第三の側面（１２８）、及び第四の側面（１３８）と；第三の側面（１２８）の円筒状のくぼみ（１３０）に位置する第二のバルブ制御機構と；第五の側面（１４０）、及び第五の側面（１４０）と対向する第六の側面（１４２）であって、第二の管路（１４８）の第一の部分（１５０）は、折り曲げ部分（１６２）を介してハウジング（１１４）の第五の側面（１４０）に位置する開口部（１６６）と流体連通している、第五の側面（１４０）、及び第六の側面（１４２）と；第一の側面（１１６）及び第四の側面（１３８）に隣接している傾斜した第七の側面（１５８）であって、傾斜した第七の側面（１５８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１５４）を含み、円筒状のくぼみ（１５４）は、表面（１８４）と、表面（１８４）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１７４）及び第二の開口部（１７６）とを含み、第一の開口部（１７４）は、ハウジング（１１４）の第五の側面（１４０）に位置する曲げ部（１９６）を介して管路部分（１９４）を通して開口部（２０８）と流体連通しており、第二の開口部（１７６）は、曲げ部（１９０）及び管路部分（１８８）を介して管路（１８６）を通してハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）と流体連通している、傾斜した第七の側面（１５８）と；傾斜した第七の側面（１５８）の円筒状のくぼみ（１５４）に位置する第三のバルブ制御機構と、を有するハウジング（１１４）を含むバルブブロックを含む装置である。

さらに別の側面において、本開示に開示されるのは、バルブブロックが流体フロー工程を経た後に、バルブブロックにおいてパージ工程を実施する方法であって、バルブブロックは、コンテナと流体連通しており、バルブブロックは、ハウジング（１１４）が有する第一の側面（１１６）、及び第一の側面（１１６）と対向する第二の側面（１２６）であって、第一の側面（１１６）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１１８）を含み、円筒状のくぼみ（１１８）は、表面（１２０）と、表面（１２０）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１２２）及び第二の開口部（１２４）とを含み、第一の開口部は、第一の部分（１５０）及び第二の部分（１５２）を有する第二の管路（１４８）と流体連通しているＴ字接続部（１４６）と流体連通しており、第二の開口部（１２４）は、ハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置するベント開口部（１７８）と流体連通している、第一の側面（１１６）、及び第二の側面（１２６）と；第一の側面（１１６）の円筒状のくぼみ（１１８）に位置する第一のバルブ制御機構と；第一の側面（１１６）に隣接している第三の側面（１２８）、及び第三の側面（１２８）と対向する第四の側面（１３８）であって、第三の側面（１２８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１３０）を含み、円筒状のくぼみ（１３０）は、表面（１３２）と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１３４）及び第二の開口部（１３６）とを含み、第一の開口部（１３４）は、第二の管路（１４８）の第一の部分（１５０）と流体連通しており、第二の開口部（１３６）は、ハウジング（１１４）の第四の側面（１３８）に位置する開口部（２０４）と流体連通している、第三の側面（１２８）、及び第四の側面（１３８）と；第三の側面（１２８）の円筒状のくぼみ（１３０）に位置する第二のバルブ制御機構と；第五の側面（１４０）、及び第五の側面（１４０）と対向する第六の側面（１４２）であって、第二の管路（１４８）の第一の部分（１５０）は、折り曲げ部分（１６２）を介してハウジング（１１４）の第五の側面（１４０）に位置する開口部（１６６）と流体連通している、第五の側面（１４０）、及び第六の側面（１４２）と；第一の側面（１１６）及び第四の側面（１３８）に隣接している傾斜した第七の側面（１５８）であって、傾斜した第七の側面（１５８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１５４）を含み、円筒状のくぼみ（１５４）は、表面（１８４）と、表面（１８４）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１７４）及び第二の開口部（１７６）とを含み、第一の開口部（１７４）は、ハウジング（１１４）の第五の側面（１４０）に位置する曲げ部（１９６）を介して管路部分（１９４）を通して開口部（２０８）と流体連通しており、第二の開口部（１７６）は、曲げ部（１９０）及び管路部分（１８８）を介して管路（１８６）を通してハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）と流体連通しており、ハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）は、パージガス源（１５９）と流体連通している、傾斜した第七の側面（１５８）と；傾斜した第七の側面（１５８）の円筒状のくぼみ（１５４）に位置する第三のバルブ制御機構と、を有するハウジング（１１４）を含み；方法は、コンテナを交換する工程と；第二のバルブ制御機構を係合させ、第三の側面（１２８）の円筒状のくぼみ（１３０）の表面（１３２）における第一の開口部（１３４）を閉じ、かつ第三の側面（１２８）の円筒状のくぼみ（１３０）の表面（１３２）における第二の開口部（１３６）を隔離する工程と；第一のバルブ制御機構の係合を解除して、第一の側面（１１６）の円筒状のくぼみ（１１８）の表面（１２０）における第一の開口部（１２２）を開き、かつ第一の側面（１１６）の円筒状のくぼみ（１１８）の表面（１２０）における第二の開口部（１２４）を開く工程と；第三のバルブ制御機構の係合を解除して、傾斜した第七の側面（１５８）の円筒状のくぼみ（１５４）の表面（１８４）における第一の開口部（１７４）を開き、かつ傾斜した第七の側面（１５８）の円筒状のくぼみ（１５４）の表面（１８４）における第二の開口部（１７６）を開く工程と；パージガスが、傾斜した第七の側面（１５８）の円筒状のくぼみ（１５４）の表面（１８４）における第二の開口部（１７６）を通り、次いで、傾斜した第七の側面（１５８）の円筒状のくぼみ（１５４）の表面（１８４）における第一の開口部（１７４）を通って流れ、同軸の管路の内部の同軸の部分（１８３）を出て、同軸の管路の外部の同軸の部分（１８５）へ後退し、第一の側面（１１６）の円筒状のくぼみ（１１８）の表面（１２０）における第一の開口部（１２２）を通って第一の側面（１１６）の円筒状のくぼみ（１１８）の表面（１２０）における第二の開口部（１２４）へ流れ込み、ハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置するベント開口（１７８）に至るように、ハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）を通して高圧のパージガスを流す工程と、を含む、方法である。

本発明の実施態様は、単独で又は互いに組み合わせて用いることができる。

図１は、２つの独立したバルブ及び同軸インジェクター接続部を含むホストコンテナマニホールド装置への溶媒バージマニホールドを含む先行技術の溶媒パージ装置を示す。 図２は、同軸インジェクター接続部及び３つの独立したバルブ制御機構からなる２つの独立したバルブを含むホストコンテナマニホールド装置への先行技術の高圧パージマニホールドを示す。 図３は、デュアルバルブ制御機構を含むバルブブロックを含む別の先行技術の装置をさらに示す。 図４は、本発明のバルブブロックを示す。 図５は、図４のバルブブロックの軸方向図である。 図６は、線Ａ－Ａに沿って切断された図５のバルブブロックの図である。 図７は、線Ｂ－Ｂに沿って切断された図６のバルブブロックの図である。 図８は、図４のバルブブロックの別の図である。 図９は、線Ｃ－Ｃに沿って切断された図８のバルブブロックの図である。 図１０は、線Ｄ－Ｄに沿って切断された図８のバルブブロックの図である。 図１１は、本発明のバルブブロックを、ふちのリング（ｃｈｉｍｅｒｉｎｇ）の下のコンテナの設置ポイントに関連させて示す図である。

発明の詳細な説明
以下の詳細な説明は、単に、好ましい例示的な実施態様を提供し、本発明の範囲、適用可能性、又は構成を制限することは意図されない。むしろ、好ましい例示的な実施態様の以下の詳細な説明は、当業者に、本発明の好ましい例示的な実施態様の実施を可能にする説明を提供する。添付の請求項で記載される本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、様々な変更が要素の機能及び配置において行なわれてもよい。

本明細書及び添付の特許請求の範囲の目的に関して、用語「高速パージ」は、毎分１００リットル又はそれより大きい速度で輸送されるパージガスを用いるパージ工程を意味する。

本明細書及び添付の特許請求の範囲の目的に関して、用語「管路」は、装置の２つ又はそれより多くの構成要素間で流体を輸送できる１つ又はそれより多くの構造を指す。例えば、管路としては、装置の全体にわたって変化する圧力において液体及び／又はガスを輸送するパイプ、ダクト、マニホールド、及びこれらの組み合わせを挙げることができる。

本明細書の及び添付の特許請求の範囲の目的に関して、用語「流体連通」は、液体及び／又はガスを制御された方法で構成要素間を輸送することを可能にする２つ又はそれより多くの構成要素間の接続の性質を指す。２つ又はそれより多くの構成要素を、それらが互いに流体連通しているように連結することは、フランジ付き管路、ガスケット、及び／又はボルトの使用など、当分野において既知の任意の適切な方法を含むことができる。

本明細書及び添付の特許請求の範囲の目的に関して、用語「同軸」又は「同軸の」は、外部チューブの内側に内部チューブが同心状に位置するチューブの配置を指す。

本発明を記載する文脈において（特に以下の特許請求の範囲の文脈において）、「１つの（ａ）」及び「１つの（ａｎ）」及び「その（ｔｈｅ）」という用語並びに同様の指示語の使用は、本開示で別段の指摘がないか又は文脈によって明確に否定されない限り、単数及び複数の両方を包含すると解されるべきである。「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」、「有する（ｈａｖｉｎｇ）」、「含む（ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ）」及び「含有する（ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇ）」という用語は、特に断りのない限り、オープンエンドの用語（すなわち、「含むが、制限されない」ことを意味する）として解されるべきである。本開示における値の範囲の記載は、本開示で別段の示唆がない限り、範囲内に含まれる各々の別個の値を個々に言及することの省略方法として機能することが意図されるに過ぎず、各々の別個の値は、それが本開示で個々に列挙されたかのように本明細書中に組み込まれる。本開示に記載の全ての方法は、本開示で別段の示唆がないか又は文脈によって明確に否定されない限り、任意の適切な順序で実施することができる。本開示で提供される任意の及び全ての例又は例示的な語（例えば「等（ｓｕｃｈ ａｓ）」）の使用は、本発明をより明らかにすることを意図したものに過ぎず、特許請求の範囲に別段の記載がない限り、本発明の範囲に関する限定を与えるものではない。本明細書中の如何なる言語も、本発明の実施に必須であるように、特許請求の範囲に記載されていない任意の要素を示すものとして解釈されるべきではない。明細書及び特許請求の範囲における「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」という用語の使用は、「本質的にこれからなる（ｃｏｎｓｉｓｔｉｎｇ ｅｓｓｅｎｔｉａｌｌｙ ｏｆ）」、及び「これからなる（ｃｏｎｓｉｓｔｉｎｇ ｏｆ）」のより狭い語を包含する。

本開示に記載の実施態様は、本発明の実施について本発明者が知っている最も良好な方法を含む。これらの好ましい実施態様の変形は、前述の記載を読んだ当業者に明らかになるであろう。本発明者らは、当業者がそのような変形を適切に採用することを期待し、本発明者らは本開示に具体的に記載された以外の方法で本発明を実施することを意図する。したがって、本発明は、適用法によって許容されるように、本開示に添付の特許請求の範囲に記載の主題のすべての修正形態および均等物を含む。さらに、そのすべての可能な変形形態における上記の要素の任意の組み合わせは、本開示中に別段の示唆がないか、文脈によって明確に否定されない限り、本発明に包含される。

本明細書で使用される場合、「約」は、述べられた値の±５％に相当することが意図される。

本開示に開示されるのは、化学コンテナ及びマニホールドの間、又は１組のマニホールドの間で接続されたすべての湿った表面を乾燥させるためのパージ効率を改善するために用いることができる改善されたバルブブロック設計及びそのための装置である。改善されたバルブブロック設計は、装置内のすべての湿った表面をパージするのに必要な時間を十分に低減するために用いることができる複数の特徴を含む。バルブブロック設計は、デッドレグをなくし、または最小限のデッドレグのみを導入し、かつ任意の最小限のデッドレグに十分に衝撃を与える。さらに、それは、ベント経路の長さの著しい減少、ひいては、液体化学物質で湿らされた管路の表面積の全量の著しい減少を可能にする。

本開示に開示されるバルブブロックは、ハウジング（１１４）が有する第一の側面（１１６）、及び第一の側面（１１６）と対向する第二の側面（１２６）であって、第一の側面（１１６）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１１８）を含み、円筒状のくぼみ（１１８）は、表面（１２０）と、表面（１２０）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１２２）及び第二の開口部（１２４）とを含み、第一の開口部は、第一の部分（１５０）及び第二の部分（１５２）を有する第二の管路（１４８）と流体連通しているＴ字接続部（１４６）と流体連通しており、第二の開口部（１２４）は、ハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置するベント開口部（１７８）と流体連通している、第一の側面（１１６）、及び第二の側面（１２６）と；第一の側面（１１６）に隣接している第三の側面（１２８）、及び第三の側面（１２８）と対向する第四の側面（１３８）であって、第三の側面（１２８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１３０）を含み、円筒状のくぼみ（１３０）は、表面（１３２）と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１３４）及び第二の開口部（１３６）とを含み、第一の開口部（１３４）は、第二の管路（１４８）の第一の部分（１５０）と流体連通しており、第二の開口部（１３６）は、ハウジング（１１４）の第四の側面（１３８）に位置する開口部（２０４）と流体連通している、第三の側面（１２８）、及び第四の側面（１３８）と；第五の側面（１４０）、及び第五の側面（１４０）と対向する第六の側面（１４２）であって、第二の管路（１４８）の第二の部分（１５２）は、折り曲げ部分（１６２）を介して管路を通してハウジング（１１４）の第五の側面（１４０）に位置する開口部（１６６）と流体連通している、第五の側面（１４０）、及び第六の側面（１４２）と；第一の側面（１１６）及び第四の側面（１３８）に隣接している傾斜した第七の側面（１５８）であって、傾斜した第七の側面（１５８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１５４）を含み、円筒状のくぼみ（１５４）は、表面（１８４）と、表面（１８４）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１７４）及び第二の開口部（１７６）を含み、第一の開口部（１７４）は、ハウジング（１１４）の第五の側面（１４０）に位置する曲げ部（１９６）を介して管路部分（１９４）を通して開口部（２０８）と流体連通しており、第二の開口部（１７６）は、曲げ部（１９０）及び管路部分（１８８）を介して管路（１８６）を通してハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）と流体連通している、傾斜した第七の側面（１５８）と、を有するハウジング（１１４）を含む。

本開示に開示される実施態様に係るバルブブロックは、単一のバルブブロック又はハウジングの中に位置する三つ組のバルブを有する（バルブシートのうちの２つは、（例えば直方体の形状であるハウジングの隣接表面上で）互いに対して９０度の差で配向され、一方で３つ目は、別の側面に独立して位置する）ことにより、これらの改善を達成する。ホストコンテナにバルブブロックが接続された装置において用いられる場合、三つ組のバルブの存在により、パージ工程中にすべてのデッドレグが十分に衝突されることが保証され、それによって、より効率的なパージプロセスが可能となる。具体的には、パージガスが装置に入る管路は、コンテナと流体連通しているポート開口部と同軸で並ぶ。このポート開口部はパージプロセス中に閉じているため、前記ポート開口部が閉じている場合、このポート開口部に対して同軸で位置する最小限のデッドレグは、パージガスによって十分に衝突される。したがって、より少ないパージガスを用いることができ、パージプロセスをより迅速に行うことができ、省エネルギーを実現することができる。これは、バルブシートがコンテナ開口部からさらに遠い既知の先行技術の装置（図１及び２を参照）とは対照的である。加えて、単一のバルブブロックにおいてバルブを配置することにより、液体（ベント）経路を非常に短く保つことができ、それによって、湿らされ、したがって乾燥されなければならない管路表面積の量が大幅に低減される。これは、比較できる程にはるかに長い乾燥されなければならない液体（ベント）経路を有する既知の先行技術の装置（図２を参照）とは対照的である。

図１は、バルブ３８と流体連通している管路４０と流体連通している溶媒源６６を含む、先行技術の装置１０の視覚表示である。バルブ３８は、接続部１６を介して管路１７と流体連通しており、それは、曲げ部２６を介して管路１５と流体連通している。管路１５は、同軸インジェクター３６の内部の同軸の部分と流体連通しており、管路２９を介してコンテナ３０と流体連通している。

流体フロー出口６０は、バルブ６８と流体連通している管路５９と流体連通している。バルブ６８は、接続部４６を介して管路４７と流体連通している。管路４７は、同軸インジェクター３６の外部の同軸の部分と流体連通しており、管路２９を介してコンテナ３０と流体連通している。

図２は、曲げ部９２を介してバルブ８４と流体連通している管路９７と流体連通しているパージ源１０１を含む、先行技術の装置７０の視覚表示である。バルブ８４は、管路７９と流体連通しており、同軸インジェクター８８の内部の同軸の部分と流体連通しており、管路８９を介してコンテナ９０と流体連通している。

流体フロー出口９８は、接続部８３を介してバルブ７２と流体連通している管路７４と流体連通している。バルブ７２は、アクチュエーター９９、１００を介して、個々のポート接続部８２、８３を制御するために二重作動される。この作動中に、アクチュエーター９９が開いており、１００が閉じられていることにより、接続部７５への流体連通が可能となり、管路９３と流体連通している。管路９３は、同軸インジェクター８８の外部の同軸の部分と流体連通しており、管路８９を介してコンテナ９０と流体連通している。

ベント９６は、接続部８２を介してバルブ７２と流体連通している管路９５と流体連通している。バルブ７２は、アクチュエーター９９、１００を介して、個々のポート接続部８２、８３を制御するために二重作動される。この作動中に、アクチュエーター１００が開いており、９９が閉じられていることにより、接続部７５への流体連通が可能となり、管路９３と流体連通している。管路９３は、同軸インジェクター８８の外部の同軸の部分と流体連通しており、管路８９を介してコンテナ９０と流体連通している。

先行技術の図３に示されるバルブブロックは、米国特許第１０，６６３，０７２号に開示され、それは参照によって本開示に組み込まれる。先行技術の図３に示されるバルブブロックは、この発明に係る改善されたバルブブロック１１２を含むホストコンテナマニホールド装置１１０に対する補給マニホールドであり、ここで詳細に記載される。

この発明に係るバルブブロック１１２は、形状がほぼ直方体であるハウジング１１４を含むが、他のハウジング形状が本発明の範囲内で可能であり、例として、略立方体、球形、若しくは卵形、又は不規則形状が挙げられる。この実施態様において、ハウジング１１４は、円筒状のくぼみ１１８を含むバルブシート１１７を含む第一の側面１１６を含む。円筒状のくぼみ１１８は、開口部１２２、１２４が終端する表面１２０と、第一の側面１１６と対向する第二の側面１２６とを含む。円筒状のくぼみ１１８は、バルブ制御機構（図示せず）の配置をそこに収容する。バルブ制御機構は、開口部１２２と完全に係合可能なダイアフラムを介して開口部１２２の選択的な開閉を可能にする。

開口部１２２は、Ｔ字接続部１４６に流体連通して接続される管路部分１４４に流体連通して接続される。Ｔ字接続部１４６は、第一の部分１５０及び第二の部分１５２を含む管路部分１４８にも流体連通して接続される。バルブブロック１１２は、円筒状のくぼみ１３０を含むバルブシート１２９を含む第三の側面１２８をさらに含む。円筒状のくぼみ１３０は、開口部１３４、１３６が終端する表面１３２と、第三の側面１２８と対向する第四の側面１３８と、第五の側面１４０と、第五の側面１４０と対向する第六の側面１４２とを含む。円筒状のくぼみ１３０は、第二のバルブ制御機構（図示せず）の配置をそこに収容する。第二のバルブ制御機構は、開口部１３４と完全に係合可能なダイアフラムを介して開口部１３４を選択的に開閉するために用いられる。開口部１３４は、管路部分１４８の第一の部分１５０と流体連通しており、開口部１３６は、管路部分１６０と流体連通している。この実施態様において、バルブ制御機構のアタッチメントを収容するバルブシート１１７、１２９の円筒状のくぼみ１１８、１３０は、ハウジング１１４の隣接する側面（すなわち、第一の側面１１６及び第三の側面１２８）に位置し、開口部１３４、１５４は軸方向に並んでいる、すなわち、開口部１３４、１５４の中心点は、（管路部分１４８の体積の中心を通って引くことができる線を介して）同じ軸線に沿って並んでいる。

管路部分１４８の第二の部分１５２は、バルブブロック１１２の第四の側面１３８に位置する開口部１５４と流体連通しており、開口部１５４は、接続部１５６を介して補給マニホールド１５８及びパージガス源１５９の両方と流体連通している。管路部分１６０は、曲げ部１６２を介して管路部分１６４と流体連通しており、管路部分１６４は、ハウジング１１４の第二の側面１２６に位置する開口部１６６と流体連通している。開口部１６６は、接続部１６８を介してコンテナ１７０と流体連通している。円筒状のくぼみ１１８の表面１２０に位置する開口部１２４は、曲げ部１７４を介して管路部分１７６と流体連通している管路部分１７２と流体連通している。管路部分１７６は、ハウジング１１４の第五の側面１４０に位置する開口部１７８と流体連通しており、開口部１７８は、接続部１８０を介してベント１８２と流体連通している。この実施態様において、Ｔ字接続部１４６及び曲げ部１６２、１７４は、それぞれの接続された管路部分を９０度の角度で配向させる。代替の実施態様において、Ｔ字接続部１４６及び／又は曲げ部１６２、１７４は、それぞれの接続された管路部分を９０度の角度で配向させる必要はないが、代わりに、それぞれの接続された管路部分を３０～１３５度の任意の角度で配向させることができることを理解されたい。

しかし、米国特許第１０，６６３，０７２号に開示されるバルブブロックは、２つのアクチュエーターによって制御される３つのポートを通して液体又はガスを移動させるだけであるという欠点を依然として抱えている。一方で、本発明は、３つの個々のアクチュエーターによって制御された４つのポートを通して液体又はガスを移動させることができる。先進的なポート制御に加えて、本発明は、バルブブロック内の同軸管の使用によって、パージガスをコンテナ接続部、流体フロー経路、及びベントに直接供給することができる。バルブの同軸部分の内側のより小さいチューブは、パージガスの圧力をより高い圧力へと集中させ、バルブブロックのより迅速なパージを可能にする。本開示は米国特許第１０，６６３，０７２号に開示されたものを基礎とする。

ここで、図４～１０を参照して、本発明に係る改善されたバルブブロック１１２を含むホストコンテナマニホールド装置１１０に対するパージマニホールドが、ここで詳細に記載される。

本発明に係るバルブブロック１１２は、多面物体であるハウジング１１４を含むが、本発明の範囲内で他のハウジング形状が可能であり、例として、略立方体、球形、矩形、卵形又は他の不規則形状が挙げられる。この実施態様において、ハウジング１１４は、円筒状のくぼみ１１８を含むバルブシート１１７を含む第一の側面１１６を含む。円筒状のくぼみ１１８は、開口部１２２、１２４が終端する表面１２０と、第一の側面１１６と対向する第二の側面１２６とを含む。円筒状のくぼみ１１８は、バルブ制御機構（図示せず）の配置をそこに収容する。バルブ制御機構は、開口部１２２と完全に係合可能なダイアフラムを介して開口部１２２の選択的な開閉を可能にする。

開口部１２２は、Ｔ字接続部１４６に流体連通して接続された管路部分１４４に流体連通して接続される。Ｔ字接続部１４６は、第一の部分１５０及び第二の部分１５２を含む管路部分１４８にも流体連通して接続される。バルブブロック１１２は、円筒状のくぼみ１３０を含むバルブシート１２９を含む第三の側面１２８をさらに含む。円筒状のくぼみ１３０は、開口部１３４、１３６が終端する表面１３２と、第三の側面１２８と対向する第四の側面１３８と、第五の側面１４０と、第五の側面１４０と対向する第六の側面１４２とを含む。円筒状のくぼみ１３０は、第二のバルブ制御機構（図示せず）の配置をそこに収容する。第二のバルブ制御機構は、例えばダイアフラムを用いて、開口部１３４を選択的に開閉するために用いられる。開口部１３４は、管路部分１４８の第一の部分１５０と流体連通しており、開口部１３６は、管路部分１９８と流体連通している。管路部分１９８は、ハウジング１１４の第四の側面１３８に位置する開口部２０４と流体連通しており、開口部２０４は、接続部２００を介して流体フロー出口２０２と流体連通している。この実施態様において、バルブ制御機構のアタッチメントを収容するバルブシート１１７、１２９の円筒状のくぼみ１１８、１３０は、図２の先行技術の実施態様において示されるようなバルブブロックのハウジングの対向する側面の代わりに、隣接して（すなわち、第一の側面１１６及び第三の側面１２８）位置する。

管路部分１４８は、曲げ部１６２を介して管路部分１６４と流体連通しており、管路部分１６４は、ハウジング１１４の第五の側面１４０に位置する開口部１６６と流体連通している。開口部１６６は、縮小管路１８９を介して面シールフィッティング１８７と流体連通しており、かつ、開口部２０８と流体連通している同軸の管路部分１８５と流体連通している。開口部２０８は、接続部１６８を介してコンテナ１７０と流体連通している。円筒状のくぼみ１１８の表面１２０に位置する開口部１２４は、管路部分１７２と流体連通している。管路部分１７２は、ハウジング１１４の第二の側面１２６に位置する開口部１７８と流体連通しており、開口部１７８は、接続部１８０を介してベント１８２と流体連通している。

加えて、バルブブロック１１２は、円筒状のくぼみ１５４を含むバルブシート１３１を含む、傾斜した第七の側面１５８を含む。円筒状のくぼみ１５４は、開口部１７４、１７６が終端する表面１８４、第一の側面１１６と対向する第二の側面１２６を含む。円筒状のくぼみ１５４は、第三のバルブ制御機構（図示せず）の配置をそこに収容する。第三のバルブ制御機構は、開口部１７４を選択的に開閉するために用いられる。開口部１７４は、管路部分１９２と流体連通している。管路部分１９２は、曲げ部１９６を介して管路部分１９４と流体連通している。管路部分１９４は、外部の同軸の管路部分１８５（外部部分）及び管路部分１６８と流体連通しており、面シールフィッティング１８７の内側に位置する内部の同軸の部分１８３（内部部分）を介してコンテナ１７０に至る。開口部１７６は、管路部分１８６と流体連通している。管路部分１８６は、曲げ部１９０を介して管路部分１８８と流体連通しており、管路部分１８８は、ハウジング１１４の第二の側面１２６に位置する開口部２０６と流体連通しており、かつ、接続部１５６を介してパージガス源１５９と流体連通している。

図４～１０の装置１１０において、通常の流体流れ操作中、円筒状のくぼみ１３０におけるバルブ制御機構（図示せず）は開いている。これは、流体が、コンテナ１７０から管路１６８を通り、開口部２０８通って管路１８５へ流れ込むことを可能にする。管路１８５は、面シール１８７の外部の同軸の部分であり、それは、開口部１６６を通り、管路１６４及び１４８へ流体が流れ込むことを可能にする。バルブ制御機構（図示せず）が開いていると、流体は、開口部１３４を通り、開口部１３６へ流れ込むことができ、したがって、それは、管路１９８及び２００を介して、開口部２０４から出て、流体フロー出口２０２に向かうことができる。

コンテナ１７０が空である場合、交換が必要である。円筒状のくぼみ１３０（第三の側面）におけるバルブ制御機構（図示せず）は閉じられる。これにより、開口部１３４が閉じられ、湿った装置が、パージされることが意図される領域から隔離される。円筒状のくぼみ１５４及び１１８のバルブ制御機構（図示せず）の両方が開くと、パージサイクルが開始する。パージガス源１５９は、管路１５６を介して開口部２０６を通し、管路１８８及び１８６を通してパージガスを供給する。バルブ制御機構（図示せず）が開いていると、流体は、開口部１７４を通り、開口部１７６へ流れ込み、したがって、それは、管路１９２及び１９６を通って内部の同軸の部分１８３を出る。コンテナのバルブ制御機構（図示せず）は閉じられ、このパージ工程により、高圧パージガスは、開口部２０８の接続部から流体分子を強制的に吹き飛ばし、強制的に外部の同軸の管路１８５へ後退させる。管路１８５は、面シール１８７の外部の同軸の部分であり、それは、パージガス及び流体粒子が、開口部１６６を通り、管路１６４及び１４８へ流れ込むことを可能にする。円筒状のくぼみ１１８のバルブ制御機構（図示せず）が開いていると、パージガス及び流体粒子は、開口部１２２を通り、開口部１２４へ流れ込むことができ、したがって、それは、管路１７２及び１８０を介して、開口部１７８を出て、ベント１８２に向かうことができる。

したがって、本開示に開示されるのは、ハウジング（１１４）が有する第一の側面（１１６）、及び第一の側面（１１６）と対向する第二の側面（１２６）であって、第一の側面（１１６）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１１８）を含み、円筒状のくぼみ（１１８）は、表面（１２０）と、表面（１２０）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１２２）及び第二の開口部（１２４）とを含み、第一の開口部は、第一の部分（１５０）及び第二の部分（１５２）を有する第二の管路（１４８）と流体連通しているＴ字接続部（１４６）と流体連通しており、第二の開口部（１２４）は、ハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置するベント開口部（１７８）と流体連通している、第一の側面（１１６）、及び第二の側面（１２６）と；第一の側面（１１６）の円筒状のくぼみ（１１８）に位置する第一のバルブ制御機構と；第一の側面（１１６）に隣接している第三の側面（１２８）、及び第三の側面（１２８）と対向する第四の側面（１３８）であって、第三の側面（１２８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１３０）を含み、円筒状のくぼみ（１３０）は、表面（１３２）と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１３４）及び第二の開口部（１３６）とを含み、第一の開口部（１３４）は、第二の管路（１４８）の第一の部分（１５０）と流体連通しており、第二の開口部（１３６）は、ハウジング（１１４）の第四の側面（１３８）に位置する開口部（２０４）と流体連通している、第三の側面（１２８）、及び第四の側面（１３８）と；第三の側面（１２８）の円筒状のくぼみ（１３０）に位置する第二のバルブ制御機構と；第五の側面（１４０）、及び第五の側面（１４０）と対向する第六の側面（１４２）であって、第二の管路（１４８）の第一の部分（１５０）は、折り曲げ部分（１６２）を介してハウジング（１１４）の第五の側面（１４０）に位置する開口部（１６６）と流体連通している、第五の側面（１４０）、及び第六の側面（１４２）と；第一の側面（１１６）及び第四の側面（１３８）に隣接している傾斜した第七の側面（１５８）であって、傾斜した第七の側面（１５８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１５４）を含み、円筒状のくぼみ（１５４）は、表面（１８４）と、表面（１８４）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１７４）及び第二の開口部（１７６）とを含み、第一の開口部（１７４）は、ハウジング（１１４）の第五の側面（１４０）に位置する曲げ部（１９６）を介して管路部分（１９４）を通して開口部（２０８）と流体連通しており、第二の開口部（１７６）は、曲げ部（１９０）及び管路部分（１８８）を介して管路（１８６）を通してハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）と流体連通している、傾斜した第七の側面（１５８）と；傾斜した第七の側面（１５８）の円筒状のくぼみ（１５４）に位置する第三のバルブ制御機構と、を有するハウジング（１１４）を含むバルブブロックを含む装置である。

したがって、さらに、本開示に開示されるのは、バルブブロックが流体フロー工程を経た後に、バルブブロックにおいてパージ工程を実施する方法であって、バルブブロックは、コンテナと流体連通しており、バルブブロックは、ハウジング（１１４）が有する第一の側面（１１６）、及び第一の側面（１１６）と対向する第二の側面（１２６）であって、第一の側面（１１６）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１１８）を含み、円筒状のくぼみ（１１８）は、表面（１２０）と、表面（１２０）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１２２）及び第二の開口部（１２４）とを含み、第一の開口部は、第一の部分（１５０）及び第二の部分（１５２）を有する第二の管路（１４８）と流体連通しているＴ字接続部（１４６）と流体連通しており、第二の開口部（１２４）は、ハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置するベント開口部（１７８）と流体連通している、第一の側面（１１６）、及び第二の側面（１２６）と；第一の側面（１１６）の円筒状のくぼみ（１１８）に位置する第一のバルブ制御機構と；第一の側面（１１６）に隣接している第三の側面（１２８）、及び第三の側面（１２８）と対向する第四の側面（１３８）であって、第三の側面（１２８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１３０）を含み、円筒状のくぼみ（１３０）は、表面（１３２）と、表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１３４）及び第二の開口部（１３６）とを含み、第一の開口部（１３４）は、第二の管路（１４８）の第一の部分（１５０）と流体連通しており、第二の開口部（１３６）は、ハウジング（１１４）の第四の側面（１３８）に位置する開口部（２０４）と流体連通している、第三の側面（１２８）、及び第四の側面（１３８）と；第三の側面（１２８）の円筒状のくぼみ（１３０）に位置する第二のバルブ制御機構と；第五の側面（１４０）、及び第五の側面（１４０）と対向する第六の側面（１４２）であって、第二の管路（１４８）の第一の部分（１５０）は、折り曲げ部分（１６２）を介してハウジング（１１４）の第五の側面（１４０）に位置する開口部（１６６）と流体連通している、第五の側面（１４０）、及び第六の側面（１４２）と；第一の側面（１１６）及び第四の側面（１３８）に隣接している傾斜した第七の側面（１５８）であって、傾斜した第七の側面（１５８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１５４）を含み、円筒状のくぼみ（１５４）は、表面（１８４）と、表面（１８４）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１７４）及び第二の開口部（１７６）とを含み、第一の開口部（１７４）は、ハウジング（１１４）の第五の側面（１４０）に位置する曲げ部（１９６）を介して管路部分（１９４）を通して開口部（２０８）と流体連通しており、第二の開口部（１７６）は、曲げ部（１９０）及び管路部分（１８８）を介して管路（１８６）を通してハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）と流体連通しており、ハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）は、パージガス源（１５９）と流体連通している、傾斜した第七の側面（１５８）と；傾斜した第七の側面（１５８）の円筒状のくぼみ（１５４）に位置する第三のバルブ制御機構と、を有するハウジング（１１４）を含み；方法は、コンテナを交換する工程と；第二のバルブ制御機構を係合させ、第三の側面（１２８）の円筒状のくぼみ（１３０）の表面（１３２）における第一の開口部（１３４）を閉じ、かつ第三の側面（１２８）の円筒状のくぼみ（１３０）の表面（１３２）における第二の開口部（１３６）を隔離する工程と；第一のバルブ制御機構の係合を解除して、第一の側面（１１６）の円筒状のくぼみ（１１８）の表面（１２０）における第一の開口部（１２２）を開き、かつ第一の側面（１１６）の円筒状のくぼみ（１１８）の表面（１２０）における第二の開口部（１２４）を開く工程と；第三のバルブ制御機構の係合を解除して、傾斜した第七の側面（１５８）の円筒状のくぼみ（１５４）の表面（１８４）における第一の開口部（１７４）を開き、かつ傾斜した第七の側面（１５８）の円筒状のくぼみ（１５４）の表面（１８４）における第二の開口部（１７６）を開く工程と；パージガスが、傾斜した第七の側面（１５８）の円筒状のくぼみ（１５４）の表面（１８４）における第二の開口部（１７６）を通り、次いで、傾斜した第七の側面（１５８）の円筒状のくぼみ（１５４）の表面（１８４）における第一の開口部（１７４）を通って流れ、同軸の管路の内部の同軸の部分（１８３）を出て、同軸の管路の外部の同軸の部分（１８５）へ後退し、第一の側面（１１６）の円筒状のくぼみ（１１８）の表面（１２０）における第一の開口部（１２２）を通って第一の側面（１１６）の円筒状のくぼみ（１１８）の表面（１２０）における第二の開口部（１２４）へ流れ込み、ハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置するベント開口（１７８）に至るように、ハウジング（１１４）の第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）を通して高圧のパージガスを流す工程と、を含む、方法である。

図１において示される先行技術の装置１０とは異なり、図４の装置１１０がコンテナを交換する必要がある場合に、それは危険な溶媒源を用いる必要はない。高圧パージガスの使用は、同じタスクを達成することであり、装置中で危険な化学暴露の変化を低減し、危険薬品を処分する廃液流を低減する。

さらに、図２に示される先行技術の装置７０とは異なり、図４～１０の装置１１０は、追加の管路、バルブ及び別の同軸のインジェクターを要求しない。図４～１０の装置１１０は、これらの個別の構成要素をすべてとり、それらを１つの小さいバルブブロックへ結合する。この利点は、バルブブロックの内部の湿った表面の量が大幅に低減されることである。これにより、著しくパージ時間が減少し、コンテナを交換することができる速度が増加する。

加えて、図３において示される先行技術の装置１１０とは異なり、図４～１０の装置１１０がコンテナ交換を実施する際に、同軸のインジェクター部分１８７は、高圧パージガスを用いて、バルブブロック１１２及びコンテナ１７０の間の接続部を吹き飛ばすことができる。これは、同じバルブが、同じ工程においてガスを排出することを可能にし、缶交換が完了してから、別の工程において流体を運ぶことも可能にする。これは、同軸の高圧パージデバイスをさらに利用しつつ、単一のバルブブロックに３つの別個のバルブ制御機構（図示せず）を組み入れることにより達成される。

Claims (21)

1. ハウジング（１１４）が有する第一の側面（１１６）、及び前記第一の側面（１１６）と対向する第二の側面（１２６）であって、前記第一の側面（１１６）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１１８）を含み、前記円筒状のくぼみ（１１８）は、表面（１２０）と、前記表面（１２０）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１２２）及び第二の開口部（１２４）とを含み、前記第一の開口部は、第一の部分（１５０）及び第二の部分（１５２）を有する第二の管路（１４８）と流体連通しているＴ字接続部（１４６）と流体連通しており、前記第二の開口部（１２４）は、前記ハウジング（１１４）の前記第二の側面（１２６）に位置するベント開口部（１７８）と流体連通している、第一の側面（１１６）、及び第二の側面（１２６）と；
   前記第一の側面（１１６）に隣接している第三の側面（１２８）、及び前記第三の側面（１２８）と対向する第四の側面（１３８）であって、前記第三の側面（１２８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１３０）を含み、前記円筒状のくぼみ（１３０）は、表面（１３２）と、前記表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１３４）及び第二の開口部（１３６）とを含み、前記第一の開口部（１３４）は、前記第二の管路（１４８）の前記第一の部分（１５０）と流体連通しており、前記第二の開口部（１３６）は、前記ハウジング（１１４）の前記第四の側面（１３８）に位置する開口部（２０４）と流体連通している、第三の側面（１２８）、及び第四の側面（１３８）と；
   第五の側面（１４０）、及び前記第五の側面（１４０）と対向する第六の側面（１４２）であって、前記第二の管路（１４８）の前記第二の部分（１５２）は、折り曲げ部分（１６２）を介して管路を通して前記ハウジング（１１４）の前記第五の側面（１４０）に位置する開口部（１６６）と流体連通している、第五の側面（１４０）、及び第六の側面（１４２）と；
   前記第一の側面（１１６）及び前記第四の側面（１３８）に隣接している傾斜した第七の側面（１５８）であって、前記傾斜した第七の側面（１５８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１５４）を含み、前記円筒状のくぼみ（１５４）は、表面（１８４）と、前記表面（１８４）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１７４）及び第二の開口部（１７６）とを含み、前記第一の開口部（１７４）は、前記ハウジング（１１４）の前記第五の側面（１４０）に位置する曲げ部（１９６）を介して管路部分（１９４）を通して開口部（２０８）と流体連通しており、前記第二の開口部（１７６）は、曲げ部（１９０）及び管路部分（１８８）を介して管路（１８６）を通して前記ハウジング（１１４）の前記第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）と流体連通している、傾斜した第七の側面（１５８）と、
   を有する前記ハウジング（１１４）を含む、バルブブロック。
2. 前記ハウジング（１１４）の前記第四の側面（１３８）における前記開口部（２０４）が、接続部（２００）を介して流体フロー出口（２０２）と流体連通している、請求項１に記載のバルブブロック。
3. 前記第五の側面（１４０）上の前記開口部（１６６）が、縮小管路（１８９）を介して面シールフィッティング（１８７）と流体連通しており、かつ、前記ハウジング（１１４）の前記第五の側面（１４０）に位置する前記開口部（２０８）と流体連通している同軸の管路（１８５）と流体連通している、請求項２に記載のバルブブロック。
4. 前記第五の側面（１４０）に位置する前記開口部（２０８）が、接続部（１６８）を介してコンテナ（１７０）と流体連通している、請求項３に記載のバルブブロック。
5. 前記ハウジング（１１４）の前記第二の側面（１２６）に位置する前記開口部（２０６）が、パージガス源（１５９）と流体連通している、請求項４に記載のバルブブロック。
6. 前記Ｔ字接続部が、９０°の角度を含む、請求項１に記載のバルブブロック。
7. 前記Ｔ字接続部が、３０°～１３５°の角度を含む、請求項１に記載のバルブブロック。
8. ハウジング（１１４）が有する第一の側面（１１６）、及び前記第一の側面（１１６）と対向する第二の側面（１２６）であって、前記第一の側面（１１６）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１１８）を含み、前記円筒状のくぼみ（１１８）は、表面（１２０）と、前記表面（１２０）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１２２）及び第二の開口部（１２４）とを含み、前記第一の開口部は、第一の部分（１５０）及び第二の部分（１５２）を有する第二の管路（１４８）と流体連通しているＴ字接続部（１４６）と流体連通しており、前記第二の開口部（１２４）は、前記ハウジング（１１４）の前記第二の側面（１２６）に位置するベント開口部（１７８）と流体連通している、第一の側面（１１６）、及び第二の側面（１２６）と；
   前記第一の側面（１１６）の前記円筒状のくぼみ（１１８）に位置する第一のバルブ制御機構と；
   前記第一の側面（１１６）に隣接している第三の側面（１２８）、及び前記第三の側面（１２８）と対向する第四の側面（１３８）であって、前記第三の側面（１２８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１３０）を含み、前記円筒状のくぼみ（１３０）は、表面（１３２）と、前記表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１３４）及び第二の開口部（１３６）とを含み、前記第一の開口部（１３４）は、前記第二の管路（１４８）の前記第一の部分（１５０）と流体連通しており、前記第二の開口部（１３６）は、前記ハウジング（１１４）の前記第四の側面（１３８）に位置する開口部（２０４）と流体連通している、第三の側面（１２８）、及び第四の側面（１３８）と；
   前記第三の側面（１２８）の前記円筒状のくぼみ（１３０）に位置する第二のバルブ制御機構と；
   第五の側面（１４０）、及び前記第五の側面（１４０）と対向する第六の側面（１４２）であって、前記第二の管路（１４８）の前記第一の部分（１５０）は、折り曲げ部分（１６２）を介して前記ハウジング（１１４）の前記第五の側面（１４０）に位置する開口部（１６６）と流体連通している、第五の側面（１４０）、及び第六の側面（１４２）と；
   前記第一の側面（１１６）及び前記第四の側面（１３８）に隣接している傾斜した第七の側面（１５８）であって、前記傾斜した第七の側面（１５８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１５４）を含み、前記円筒状のくぼみ（１５４）は、表面（１８４）と、前記表面（１８４）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１７４）及び第二の開口部（１７６）とを含み、前記第一の開口部（１７４）は、前記ハウジング（１１４）の前記第五の側面（１４０）に位置する曲げ部（１９６）を介して管路部分（１９４）を通して開口部（２０８）と流体連通しており、前記第二の開口部（１７６）は、曲げ部（１９０）及び管路部分（１８８）を介して管路（１８６）を通して前記ハウジング（１１４）の前記第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）と流体連通している、傾斜した第七の側面（１５８）と；
   前記傾斜した第七の側面（１５８）の前記円筒状のくぼみ（１５４）に位置する第三のバルブ制御機構と、
   を有する前記ハウジング（１１４）を含むバルブブロックを含む、装置。
9. 前記ハウジング（１１４）の前記第四の側面（１３８）における前記開口部（２０４）が、接続部（２００）を介して流体フロー出口（２０２）と流体連通している、請求項８に記載の装置。
10. 前記第五の側面（１４０）上の前記開口部（１６６）が、縮小管路（１８９）を介して面シールフィッティング（１８７）と流体連通しており、かつ、前記ハウジング（１１４）の前記第五の側面（１４０）に位置する前記開口部（２０８）と流体連通している同軸の管路（１８５）と流体連通している、請求項９に記載の装置。
11. 前記ハウジング（１１４）の前記第五の側面（１４０）に位置する前記開口部（２０８）が、接続部（１６８）を介してコンテナ（１７０）と流体連通している、請求項１０に記載の装置。
12. 前記ハウジング（１１４）の前記第二の側面（１２６）に位置する前記開口部（２０６）が、パージガス源（１５９）と流体連通している、請求項８に記載の装置。
13. 前記Ｔ字接続部が、９０°の角度を含む、請求項８に記載の装置。
14. 前記Ｔ字接続部が、３０°～１３５°の角度を含む、請求項８に記載の装置。
15. バルブブロックが流体フロー工程を経た後に、前記バルブブロックにおいてパージ工程を実施する方法であって、前記バルブブロックは、コンテナと流体連通しており、前記バルブブロックは、
    ハウジング（１１４）が有する第一の側面（１１６）、及び前記第一の側面（１１６）と対向する第二の側面（１２６）であって、前記第一の側面（１１６）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１１８）を含み、前記円筒状のくぼみ（１１８）は、表面（１２０）と、前記表面（１２０）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１２２）及び第二の開口部（１２４）とを含み、前記第一の開口部は、第一の部分（１５０）及び第二の部分（１５２）を有する第二の管路（１４８）と流体連通しているＴ字接続部（１４６）と流体連通しており、前記第二の開口部（１２４）は、前記ハウジング（１１４）の前記第二の側面（１２６）に位置するベント開口部（１７８）と流体連通している、第一の側面（１１６）、及び第二の側面（１２６）と；
    前記第一の側面（１１６）の前記円筒状のくぼみ（１１８）に位置する第一のバルブ制御機構と；
    前記第一の側面（１１６）に隣接している第三の側面（１２８）、及び前記第三の側面（１２８）と対向する第四の側面（１３８）であって、前記第三の側面（１２８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１３０）を含み、前記円筒状のくぼみ（１３０）は、表面（１３２）と、前記表面に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１３４）及び第二の開口部（１３６）とを含み、前記第一の開口部（１３４）は、前記第二の管路（１４８）の前記第一の部分（１５０）と流体連通しており、前記第二の開口部（１３６）は、前記ハウジング（１１４）の前記第四の側面（１３８）に位置する開口部（２０４）と流体連通している、第三の側面（１２８）、及び第四の側面（１３８）と；
    前記第三の側面（１２８）の前記円筒状のくぼみ（１３０）に位置する第二のバルブ制御機構と；
    第五の側面（１４０）、及び前記第五の側面（１４０）と対向する第六の側面（１４２）であって、前記第二の管路（１４８）の前記第一の部分（１５０）は、折り曲げ部分（１６２）を介して前記ハウジング（１１４）の前記第五の側面（１４０）に位置する開口部（１６６）と流体連通している、第五の側面（１４０）、及び第六の側面（１４２）と；
    前記第一の側面（１１６）及び前記第四の側面（１３８）に隣接している傾斜した第七の側面（１５８）であって、前記傾斜した第七の側面（１５８）は、バルブ制御機構を受け入れるための円筒状のくぼみ（１５４）を含み、前記円筒状のくぼみ（１５４）は、表面（１８４）と、前記表面（１８４）に、各々が管路の終端部である第一の開口部（１７４）及び第二の開口部（１７６）とを含み、前記第一の開口部（１７４）は、前記ハウジング（１１４）の前記第五の側面（１４０）に位置する曲げ部（１９６）を介して管路部分（１９４）を通して開口部（２０８）と流体連通しており、前記第二の開口部（１７６）は、曲げ部（１９０）及び管路部分（１８８）を介して管路（１８６）を通して前記ハウジング（１１４）の前記第二の側面（１２６）に位置する開口部（２０６）と流体連通しており、前記ハウジング（１１４）の前記第二の側面（１２６）に位置する前記開口部（２０６）は、パージガス源（１５９）と流体連通している、傾斜した第七の側面（１５８）と；
    前記傾斜した第七の側面（１５８）の前記円筒状のくぼみ（１５４）に位置する第三のバルブ制御機構と、
    を有する前記ハウジング（１１４）を含み；
    前記方法は、
    コンテナを交換する工程と；
    前記第二のバルブ制御機構を係合させ、前記第三の側面（１２８）の前記円筒状のくぼみ（１３０）の前記表面（１３２）における前記第一の開口部（１３４）を閉じ、かつ前記第三の側面（１２８）の前記円筒状のくぼみ（１３０）の前記表面（１３２）における前記第二の開口部（１３６）を隔離する工程と；
    前記第一のバルブ制御機構の係合を解除して、前記第一の側面（１１６）の前記円筒状のくぼみ（１１８）の前記表面（１２０）における前記第一の開口部（１２２）を開き、かつ前記第一の側面（１１６）の前記円筒状のくぼみ（１１８）の前記表面（１２０）における前記第二の開口部（１２４）を開く工程と；
    前記第三のバルブ制御機構の係合を解除して、前記傾斜した第七の側面（１５８）の前記円筒状のくぼみ（１５４）の前記表面（１８４）における前記第一の開口部（１７４）を開き、かつ前記傾斜した第七の側面（１５８）の前記円筒状のくぼみ（１５４）の前記表面（１８４）における前記第二の開口部（１７６）を開く工程と；
    パージガスが、前記傾斜した第七の側面（１５８）の前記円筒状のくぼみ（１５４）の前記表面（１８４）における前記第二の開口部（１７６）を通り、次いで、前記傾斜した第七の側面（１５８）の前記円筒状のくぼみ（１５４）の前記表面（１８４）における前記第一の開口部（１７４）を通って流れ、同軸の管路の内部の同軸の部分（１８３）を出て、同軸の管路の外部の同軸の部分（１８５）へ後退し、前記第一の側面（１１６）の前記円筒状のくぼみ（１１８）の前記表面（１２０）における前記第一の開口部（１２２）を通って前記第一の側面（１１６）の前記円筒状のくぼみ（１１８）の前記表面（１２０）における前記第二の開口部（１２４）へ流れ込み、前記ハウジング（１１４）の前記第二の側面（１２６）に位置するベント開口（１７８）に至るように、前記ハウジング（１１４）の前記第二の側面（１２６）に位置する前記開口部（２０６）を通して高圧のパージガスを流す工程と、
    を含む、方法。
16. 前記ハウジング（１１４）の前記第四の側面（１３８）における前記開口部（２０４）が、接続部（２００）を介して流体フロー出口（２０２）と流体連通している、請求項１５に記載の方法。
17. 前記第五の側面（１４０）上の前記開口部（１６６）が、縮小管路（１８９）を介して面シールフィッティング（１８７）と流体連通しており、かつ、前記ハウジング（１１４）の前記第五の側面（１４０）に位置する前記開口部（２０８）と流体連通している前記同軸の管路（１８５）と流体連通している、請求項１６に記載の方法。
18. 前記ハウジング（１１４）の前記第五の側面（１４０）に位置する前記開口部（２０８）が、接続部（１６８）を介してコンテナ（１７０）と流体連通している、請求項１７に記載の方法。
19. 前記ハウジング（１１４）の前記第二の側面（１２６）に位置する前記開口部（２０６）が、パージガス源（１５９）と流体連通している、請求項１５に記載の方法。
20. 前記Ｔ字接続部が、９０°の角度を含む、請求項１５に記載の方法。
21. 前記Ｔ字接続部が、３０°～１３５°の角度を含む、請求項１５に記載の方法。