JP7527729B2

JP7527729B2 - 加工装置

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Publication number: JP7527729B2
Application number: JP2020189982A
Authority: JP
Inventors: 宗幸守屋
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Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2020-11-16
Filing date: 2020-11-16
Publication date: 2024-08-05
Anticipated expiration: 2040-11-16
Also published as: US20220152787A1; JP2022079045A

Description

本発明は、チャックテーブルと、スピンドルと、スピンドルの下端部に固定されたマウント部と、を有し、チャックテーブルの保持面で保持された被加工物を、マウント部の下面側に装着された加工工具で加工する加工装置に関する。

被加工物を研削するための研削装置は、被加工物を吸引保持するためのチャックテーブルを備える。チャックテーブルの上方には、円柱状のスピンドルと、当該スピンドルを回転可能に収容したスピンドルハウジングとが、配置されている。

スピンドルの上端部には、モータが連結されており、スピンドルハウジングから突出しているスピンドルの下端部には、円盤状のホイールマウントが固定されている。このホイールマウントの下面側には、円環状の研削ホイールが装着される。

スピンドルハウジング、スピンドル、モータ、ホイールマウント、研削ホイール等は、研削ユニットを構成する。スピンドルハウジングには、研削送り機構が連結されており、研削送り機構により、研削ユニットは上下方向に移動可能である。

研削装置には、チャックテーブルと、研削ホイールと、を覆うための、加工室カバーが設けられる場合がある。加工室カバーの上板には、ホイールマウント及び研削ホイールが出入り可能な開口部が形成されており、被加工物の研削時に、研削ホイールは、加工室カバーで覆われる空間（加工室）内に配置される。

研削時には、研削水を供給しながら被加工物を研削するので研削屑を含んだ研削水がミスト状になり周囲に飛散するが、ミスト状の研削水の飛散範囲は、加工室カバーによりある程度制限される。但し、ミスト状の研削水は、加工室カバーの上板の開口部から上方に漏れ出る。

ところで、研磨装置においては、研磨粉等の飛散を防止するために、上板の開口部の外周部の上方に、上下方向に伸縮可能な筒状の蛇腹部を設けることが知られている（例えば、特許文献１参照）。

仮に、この蛇腹部を研削装置に設ければ、蛇腹部の内側に多数の研削屑が付着することとなる。メンテナンス時には、蛇腹部の下端部が上端部に接触する様に蛇腹部を縮めるが、このとき、蛇腹部の内側に付着した研削屑が落下して、保持面や、加工室内に配置された機器（厚さ測定器、研削水供給ノズル等）に、研削屑が付着する。

保持面に研削屑が付着すると、研削時に、被加工物の割れ、欠け等の不具合が生じる。また、加工室内に配置された各機器に研削屑が付着すると、各機器の動作に不具合が生じる。例えば、厚さ測定器で被加工物の厚さが正確に測定できない、研削水供給ノズルから被加工物の研削領域へ研削水が供給されない等の不具合が生じる。

特開２０１７－８０８２３号公報

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、上下方向に伸縮可能な蛇腹部の内側に付着する研削屑の量を低減することを目的とする。

本発明の一態様によれば、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、スピンドルと、該スピンドルを回転可能に保持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの下方に突出する該スピンドルの下端部に固定されたマウント部とを有し、該保持面で保持された該被加工物を、該マウント部の下面側に装着された加工工具で加工する加工ユニットと、該加工ユニットを下方向に加工送りする加工送り機構と、該マウント部が貫通可能な開口部を有し、該チャックテーブル及び該マウント部を被覆可能な加工室カバーと、該開口部の外周部に着脱自在に連結された環状の下連結部と、該スピンドルハウジングに対して固定された環状の上連結部と、該上連結部及び該下連結部を接続し、該加工ユニットの昇降に追従して伸縮可能な筒状の蛇腹部と、を有する伸縮カバー部と、該蛇腹部の内側において、該上連結部から該下連結部に向かって気体の流れを形成する気体流形成ユニットと、該チャックテーブルを移動させる移動機構と、を備え、該加工室カバーは、該開口部が設けられた上板と、側板と、背板と、該チャックテーブルの出入りを可能にするための切り欠きが設けられた前板と、を有し、該移動機構は、該下連結部が該加工室カバーに連結された状態で該切り欠きを通じて該加工室カバーに対して該チャックテーブルを出入りさせることができる加工装置が提供される。

好ましくは、該気体流形成ユニットは、該上連結部に配置された１つのノズルと、該上連結部の周方向に沿って該上連結部に離散的に配置された複数のノズルと、該上連結部に配置された環状ノズルと、のいずれかを有する。また、好ましくは、該気体流形成ユニットは、該上連結部の周方向に沿って該上連結部に離散的に配置された複数のノズルを有し、各ノズルの向きは上下方向から所定角度だけ傾けられており、各ノズルから気体を噴射することにより該蛇腹部の内側では旋回流が形成される。

本発明の一態様に係る加工装置は、上連結部と、下連結部と、上連結部及び下連結部を接続する蛇腹部と、を有する伸縮カバー部を有する。加工装置は、更に、蛇腹部の内側において、上連結部から下連結部に向かって気体の流れを形成する気体流形成ユニットを備える。

気体流形成ユニットにより形成される気体の流れにより、加工室カバーの内側から蛇腹部へ、加工屑を含んだミスト状の研削水が上昇し難くなる。それゆえ、蛇腹部の内側に付着する研削屑の量を低減できる。

研削装置の斜視図である。研削装置の一部断面側面図である。図３（Ａ）は加工室カバーの斜視図であり、図３（Ｂ）は加工室カバーと伸縮カバー部との斜視図である。図４（Ａ）はノズルの配置の一例を示す上リングの上面図であり、図４（Ｂ）はノズルの配置の他の例を示す上リングの上面図である。第２の実施形態に係る研削装置の一部断面側面図である。図６（Ａ）は複数のノズルの配置の一例を示す上リングの上面図であり、図６（Ｂ）は複数のノズルの配置の他の例を示す上リングの上面図である。第３の実施形態に係るノズルの配置の一例を示す上リングの上面図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、第１の実施形態に係る研削装置（加工装置）２の斜視図である。図１に示すＸ軸方向（前後方向）、Ｙ軸方向、及び、Ｚ軸方向（上下方向、加工送り方向）は互いに直交する。

本実施形態の研削装置２は、被加工物１１の研削を行うが、研削装置２への被加工物１１の搬入、搬出等は作業者により行われるマニュアル式である。なお、研削装置２は、被加工物１１の搬入、研削、洗浄及び搬出を自動的に行うフルオート式であってもよい。

研削装置２は、構成要素を支持する基台４を有する。基台４の上面には、Ｘ軸方向に長手部を有する矩形状の開口４ａが形成されている。開口４ａ内には、チャックテーブル６をＸ軸方向に沿って移動させるＸ軸移動機構８が設けられている。

ここで、図２を参照し、チャックテーブル６等について説明する。図２は、研削装置２の一部断面側面図である。チャックテーブル６は、セラミックス等で形成された円盤状の枠体１０を有する。枠体１０の上面側には、円盤状の凹部が形成されている。

この凹部には多孔質セラミックスで形成された円盤状のポーラス板１２が固定されている。ポーラス板１２は、略平坦な底面と、外周から中央に向かうにつれて厚さが増加する上面と、を有する。つまり、ポーラス板１２の上面は、外周部に比べて中央部が僅かに突出する円錐面である。

枠体１０の凹部の底面には、放射状に形成された複数の流路（不図示）が形成されている。また、枠体１０には、当該複数の流路に接続し、枠体１０の底面の中心を貫通する様に、中央流路（不図示）が形成されている。

中央流路には、真空ポンプ等の吸引源（不図示）が接続されており、吸引源を動作させるとポーラス板１２の上面には負圧が伝達される。それゆえ、ポーラス板１２の上面は、被加工物１１を吸引保持する保持面６ａとして機能する。

チャックテーブル６は、円盤状のテーブルベース１４の上にベアリング（不図示）を介して回転可能に連結されている。テーブルベース１４には、貫通孔（不図示）が形成されている。

テーブルベース１４の下方には、モータ等の回転駆動源１６が配置されており、回転駆動源１６の回転軸１６ａは、テーブルベース１４の中央部に形成された貫通孔を介してチャックテーブル６の底部に連結されている。

回転駆動源１６を動作させると、チャックテーブル６は、回転軸１６ａの周りに回転する。テーブルベース１４の下部、且つ、回転駆動源１６の周囲には、テーブルベース１４を支持し、Ｚ軸方向に対する回転軸１６ａの傾きを調整する傾き調整機構（不図示）が設けられている。

傾き調整機構は、例えば、１つの固定軸と、２つの可動軸とを、有する。可動軸によりテーブルベース１４を支持する高さ位置を調整することで、Ｚ軸方向に対する回転軸１６ａの傾きが決定される。

回転軸１６ａは、保持面６ａの一部がＸ-Ｙ平面と略平行になる様に、その傾き角度が調整される。傾き調整機構は、矩形状の移動板１８で支持されている。移動板１８は、Ｘ軸方向と略平行に配置された一対のガイドレール２０上にスライド可能に取り付けられている。なお、図２では、１つのガイドレール２０を示す。

移動板１８の下面側には、ナット部２２が設けられている。ナット部２２には、Ｘ軸方向と略平行に配置されたボールねじ２４が、回転可能に連結されている。ボールねじ２４の後方（Ｘ軸方向の一方）の端部には、パルスモータ等の回転駆動源２６が連結されている。

移動板１８、ガイドレール２０、ナット部２２、ボールねじ２４及び回転駆動源２６は、Ｘ軸移動機構８を構成する。Ｘ軸移動機構８により、チャックテーブル６は、開口４ａの前方（Ｘ軸方向の他方）に位置する搬入搬出領域Ａ１と、開口４ａの後方に位置する研削領域Ａ２と、の間を移動する。

搬入搬出領域Ａ１に配置されたチャックテーブル６には、円盤状の被加工物１１の表面１１ａ側が載置される。被加工物１１は、例えば、表面１１ａ側に複数のデバイス（不図示）が形成されたシリコン製の円盤状のウェーハである。

但し、被加工物１１は、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）等の化合物で形成されてもよく、その他の材料で形成されてもよい。被加工物１１の表面１１ａ側には、樹脂製の保護テープ１３が貼り付けられる。

被加工物１１は、保護テープ１３を介してその表面１１ａ側が保持面６ａで保持されると、その裏面１１ｂ側が上方に露出する。チャックテーブル６の周囲には、保持面６ａが露出する態様でチャックテーブルカバー２８が設けられている。

チャックテーブルカバー２８のＸ軸方向の両側には、蛇腹カバー３０が設けられている。蛇腹カバー３０は、チャックテーブル６のＸ軸方向の移動に応じて、Ｘ軸方向に沿って伸縮する。基台４の後方側には、四角柱状のコラム３２が設けられている。

コラム３２の前方側には、研削送り機構（加工送り機構）３４が設けられている。研削送り機構３４は、コラム３２の前面に固定された一対のレール３６を有する。各レール３６には、スライダ３８を介してＺ軸移動板４０がスライド可能に取り付けられている。

Ｚ軸移動板４０の後方側には、ナット部４２が設けられている。ナット部４２には、一対のレール３６の間においてＺ軸方向に沿って設けられたボールねじ４４が、回転可能な態様で連結している。

ボールねじ４４の上端部には、パルスモータ等の回転駆動源４６が連結されている。回転駆動源４６でボールねじ４４を回転させれば、Ｚ軸移動板４０は、レール３６に沿ってＺ軸方向に移動する。

Ｚ軸移動板４０の前面には、研削送り機構３４によってＺ軸方向に移動可能な態様で研削ユニット（加工ユニット）４８が固定されている。研削ユニット４８は、Ｚ軸移動板４０の前面に固定された円筒状の保持部材５０を有する。

保持部材５０の内側には、Ｚ軸方向に略平行に配置された円筒状のスピンドルハウジング５２が配置されている。スピンドルハウジング５２内には、Ｚ軸方向に略平行に配置された円柱状のスピンドル５４の一部が回転可能に保持されている。

スピンドル５４の上端部には、サーボモータ等の回転駆動源５４ａが連結されている。スピンドル５４の下端部は、スピンドルハウジング５２の下端よりも下方に突出しており、スピンドル５４の下端部には、円盤状のマウント部（ホイールマウント）５６が固定されている。

マウント部５６の下面側には、ねじ等の固定部材（不図示）により、環状の研削ホイール（加工工具）５８が装着されている。研削ホイール５８は、アルミニウム合金等の金属材料で形成された円環状のホイール基台５８ａと、ホイール基台５８ａの下面側に固定された複数の研削砥石５８ｂと、を有する。

複数の研削砥石５８ｂは、ホイール基台５８ａの下面の周方向に沿って、隣り合う研削砥石５８ｂ同士の間に間隙が設けられる態様で環状に配列されている。研削砥石５８ｂは、例えば、金属、セラミックス、樹脂等の結合材に、ダイヤモンド、ｃＢＮ（cubic Boron Nitride）等の砥粒を混合した後、成型、焼成等を経て形成される。

ホイール基台５８ａの研削砥石５８ｂよりも内側には、ホイール基台５８ａの下面の周方向に沿って離散的に、複数の研削水供給口（不図示）が設けられている。また、ホイール基台５８ａ、マウント部５６、スピンドル５４等には、各研削水供給口に、純水等の研削水を供給するための流路（不図示）が設けられている。

当該流路の一端には、研削水供給ユニット（不図示）が接続されている。研削時には、研削砥石５８ｂへ研削水が供給されるので、研削屑を含んだ研削水が周囲に飛散する。この研削屑を含んだ研削水の飛散範囲を低減するために、研削領域Ａ２には加工室カバー６０が設けられている。

図３（Ａ）は、加工室カバー６０の斜視図である。なお、図１では、加工室カバー６０は破線で示されている。加工室カバー６０は、矩形状の上板６２を有する。この上板６２には、マウント部５６及び研削ホイール５８が貫通可能な径を有する開口部６２ａが形成されている。

上板６２の外周部には、上板６２から下方に突出する態様で、前板６４、側板６６ａ，６６ｂ及び背板６８が接続されている。側板６６ａ，６６ｂと、前板６４とは、互いに接続されており、側板６６ａ，６６ｂと、背板６８とも、互いに接続されている。

前板６４には、チャックテーブル６の出入りを可能にするための矩形状の切り欠き６４ａが形成されている。切り欠き６４ａの上端は、保持面６ａで表面１１ａ側が保持された被加工物１１の裏面１１ｂよりも高い位置にある。

加工室カバー６０、チャックテーブルカバー２８等で規定される空間は、加工室６０ａ（図２参照）となる。加工室カバー６０等は、マウント部５６と、研削ホイール５８と、研削領域Ａ２に配置されたチャックテーブル６との、各側方を少なくとも被覆可能である。

研削ホイール５８の交換時や研削装置２のメンテナンス時には、加工室６０ａは開放可能である。例えば、加工室カバー６０は分解可能に構成されており、メンテナンス時には、加工室カバー６０を分解することで、加工室６０ａが開放される。

図３（Ｂ）に示す様に、加工室カバー６０の上板６２には、伸縮カバー部７０が設けられている。図３（Ｂ）は、加工室カバー６０と、伸縮カバー部７０との、斜視図である。なお、図１及び図３（Ａ）では、便宜上、伸縮カバー部７０を省略している。

伸縮カバー部７０は、それぞれ金属で形成された環状の下リング（下連結部）７２と、上リング（上連結部）７４と、を有する。下リング７２は、上板６２の開口部６２ａの外周部に、着脱自在に連結される。

例えば、下リング７２と接触する上板６２の開口部６２ａの外周部には、永久磁石（不図示）が設けられる。下リング７２を上板６２に接触させれば、下リング７２は磁力により上板６２に連結される。

但し、下リング７２と上板６２との連結は、磁力に限定されるものではない。下リング７２と上板６２とは、手動開閉式又は自動開閉式のクランプ機構（不図示）により、着脱自在に連結されてもよい。

これに対して、上リング７４は、ねじ等の固定部材（不図示）を介して、スピンドルハウジング５２に設けられたフランジ５２ａに固定されている。また、上リング７４には、下リング７２を仮止めするための永久磁石（不図示）が設けられている。

下リング７２を上板６２から取り外して上昇させて上リング７４に接触させると、下リング７２は上リング７４に接触した状態で磁力により保持される。下リング７２と、上リング７４とは、Ｚ軸方向に伸縮可能な筒状の蛇腹部７６で接続されている。

蛇腹部７６の内側には、スピンドルハウジング５２及びスピンドル５４が配置されている。例えば、研削ユニット４８がＺ軸方向に沿って昇降する場合、研削ユニット４８の昇降に追従して、蛇腹部７６は変形する。

被加工物１１の研削時には、まず、保持面６ａで表面１１ａ側を吸引保持したチャックテーブル６を研削領域Ａ２に移動する（図２参照）。そして、チャックテーブル６を回転軸１６ａの周りに回転させる。

更に、研削水供給口から研削水を供給しながら、スピンドル５４を回転させ、加えて、研削ユニット４８を研削送り機構３４で下方向に加工送りする。研削砥石５８ｂが被加工物１１の裏面１１ｂに接すると、裏面１１ｂ側が研削される。

研削時には、研削屑を含んだ研削水がミスト状になり周囲に飛散するが、ミスト状の研削水の飛散範囲は、加工室カバー６０によりある程度低減される。なお、加工室６０ａ内に充満するミスト状の研削水は、所定のダクト（不図示）を介して加工室６０ａに連結された吸引装置（不図示）で吸引される。

しかし、吸引装置で加工室６０ａを吸引しても、完全にはミスト状の研削水を吸引できない。それゆえ、ミスト状の研削水の一部は、上板６２の開口部６２ａから上方に漏れ出て、蛇腹部７６の内側には、多数の研削屑が付着する。

従って、研削装置２のメンテナンス時に、下リング７２が上リング７４に接する様に蛇腹部７６を縮めると、研削屑が落下して、保持面６ａや、加工室６０ａ内に配置された機器に、研削屑が付着する。

機器の一例としては、開口４ａの近傍において加工室６０ａ内に配置されており、研削時に被加工物１１の厚さを測定するための接触式の厚さ測定器７８（図１参照）がある。また、機器の他の例としては、研削ホイール５８とは別途独立に、被加工物１１の被研削領域へ研削水を供給するための研削水供給ノズル（不図示）がある。

図２に示す様に、本実施形態では、この様な機器や保持面６ａへの研削屑の落下を防止するために、被加工物１１の研削中に、蛇腹部７６の内側において上リング７４から下リング７２に向かって気体の流れを形成するための気体流形成ユニット８０を設ける。

本実施形態の気体流形成ユニット８０は、エア供給ユニット８２を有する。エア供給ユニット８２は、エア（気体）を圧縮するためのコンプレッサ（不図示）、圧縮エアを貯めるエアタンク（不図示）、圧縮エアをエアタンクから供給する際にエアからダストを取り除くフィルタ等を含む。

但し、気体流形成ユニット８０から供給される気体は、エアに限定されない。例えば、エア供給ユニット８２に代えて、不活性ガス供給源（不図示）を設けることにより、気体流形成ユニット８０は、蛇腹部７６の内側において不活性ガスの流れを形成してもよい。

本実施形態のエア供給ユニット８２には、１つのエア供給路８４の一端が接続されており、エア供給路８４の他端には、１つのノズル８６が接続されている。また、エア供給路８４には、エアの噴射と、エアの噴射停止とを制御するための電磁弁（不図示）が設けられている。

ノズル８６は、上リング７４の一部に形成され蛇腹部７６の内側に連通する貫通開口（不図示）に固定されている（図４（Ａ）参照）。図４（Ａ）は、ノズル８６の配置の一例を示す上リング７４の上面図である。

ノズル８６は、上リング７４に固定されたフランジ５２ａの外周端部よりも外側に位置する。ノズル８６からは、蛇腹部７６内に乱流が起きない程度の所定の流量で、エアが噴射される。例えば、１００（Ｌ／ｍｉｎ）の流量でエアが噴射される。

ノズル８６から噴射されるエアにより、蛇腹部７６内には下向きのエアの流れが形成される。この下向きのエアの流れにより、加工室６０ａから蛇腹部７６へ、加工屑を含んだミスト状の研削水が飛散し難くなるので、蛇腹部７６の内側に付着する研削屑の量を低減できる。

ノズル８６からエアを噴射するタイミング及び時間並びに流量は、研削装置２の制御部（不図示）により制御される。制御部は、エア供給路８４に設けられた電磁弁の開閉を制御することで、例えば、スピンドル５４の回転開始時から回転終了時まで、ノズル８６からエアを噴射させる。

制御部は、エア供給路８４及びノズル８６に加えて、チャックテーブル６、Ｘ軸移動機構８、研削送り機構３４等の動作を制御する。制御部は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。

記憶装置に記憶されるプログラム等のソフトウェアに従い処理装置を動作させることによって、制御部は、ソフトウェアと処理装置（ハードウェア資源）とが協働した具体的手段として機能する。

なお、ノズル８６の配置は、図４（Ａ）に限定されない。ノズル８６は、図４（Ｂ）に示す様に、上リング７４の内周縁７４ａに接し、且つ、スピンドルハウジング５２の外側に位置する様に配置されてもよい。図４（Ｂ）は、ノズル８６の配置の他の例を示す上リング７４の上面図である。

また、ノズル８６の配置は、上リング７４の内周縁７４ａの前方側に限定されず、内周縁７４ａの後方側等の任意の位置に配置してもよい。いずれにしても、下向きのエアの流れにより、蛇腹部７６の内側に付着する研削屑の量を低減できる。

次に、第２の実施形態について説明する。図５は、第２の実施形態に係る研削装置９２の一部断面側面図である。研削装置９２は、エア供給路８４の他端側に複数のノズル８６が連結されている。係る点が、第１の実施形態と異なる。

図６（Ａ）は、複数のノズル８６の配置の一例を示す上リング７４の上面図である。上リング７４には、上リング７４の周方向に沿って離散的に形成された複数の貫通開口（不図示）が形成されており、各貫通開口には１つのノズル８６が固定されている。

なお、複数のノズル８６の配置は、図６（Ａ）に限定されない。複数のノズル８６は、図６（Ｂ）に示す様に、上リング７４の内周縁７４ａに接し、且つ、スピンドルハウジング５２の外側に位置する様に配置されてもよい。図６（Ｂ）は、複数のノズル８６の配置の他の例を示す上リング７４の上面図である。

複数のノズル８６の数は、４つに限定されるものではない。３つ、又は、５つ以上のノズル８６が、上リング７４の周方向に沿って離散的に配置されてもよい。複数のノズル８６は、上リング７４の周方向に沿って略等間隔で配置されてよい。

複数のノズル８６を設けることにより、１つのノズル８６を設ける場合と比較して、蛇腹部７６の内側において下向きのエアの流れが形成されない領域を低減できる。それゆえ、第１の実施形態に比べて、蛇腹部７６の内側に付着する研削屑の量を更に低減できる。

一例において、上リング７４の周方向に沿って略等間隔で２４個のノズル８６を設けて、各ノズル８６から１００（Ｌ／ｍｉｎ）の流量でエアを噴射する。なお、各ノズル８６の向きをＺ軸方向から所定角度だけ傾けることにより、蛇腹部７６の内側に旋回流を形成してもよい。

次に、第３の実施形態について説明する。図７は、第３の実施形態に係る１つのノズル８６の配置の一例を示す上リング７４の上面図である。第３の実施形態では、エア供給路８４の他端側に１つの環状ノズル８６ａが連結されている。係る点が、第１の実施形態と異なる。

環状ノズル８６ａは、上リング７４の内周縁７４ａに接する様に配置されている。環状ノズル８６ａは、スピンドルハウジング５２の径よりも大きく、且つ、内周縁７４ａの径よりも小さい所定幅の径を有する環状の開口（不図示）を備える。

環状ノズル８６ａにより、蛇腹部７６内には下向きのエアの流れが形成される。特に、環状ノズル８６ａは、スピンドルハウジング５２の側面の周方向に渡って満遍なく下向きのエアの流れを形成できるので、第１及び第２の実施形態に比べて、蛇腹部７６の内側に付着する研削屑の量を更に低減できる。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。例えば、気体流形成ユニット８０は、エア供給ユニット８２と、エア供給路８４と、１以上のノズル８６又は環状ノズル８６ａとに加えて、吸引ユニット（不図示）を含むことができる。

吸引ユニットは、エジェクタ等の負圧発生源を有する。負圧発生源には、流路の一端が接続され、当該流路の他端は、下リング７２に配置される。吸引ユニットにより、蛇腹部７６の内側からエア等を吸引することで、より強力な下向きのエアの流れを蛇腹部７６の内側に形成できる。

ところで、上述の実施形態では、研削装置２，９２について説明したが、伸縮カバー部７０及び気体流形成ユニット８０は、研磨装置（加工装置）にも適用できる。研磨装置において、円盤状のマウント部５６の底面側には、各々円盤状のベース部材と研磨パッドとを有する加工工具が装着される。

湿式の研磨では、下向きのエアの流れにより、研磨屑を含んだミスト状の研磨液等が、加工室６０ａから蛇腹部７６へ飛散し難くなる。また、乾式の研磨では、下向きのエアの流れにより、研磨粉が、加工室６０ａから蛇腹部７６へ飛散し難くなる。

それゆえ、蛇腹部７６の内側に付着する研磨屑の量を低減できる。なお、研磨装置においても、気体流形成ユニット８０に加えて、吸引ユニットを設けることにより、より強力な下向きのエアの流れを蛇腹部７６の内側に形成できる。

２，９２：研削装置（加工装置）
４：基台、４ａ：開口、６：チャックテーブル、６ａ：保持面、８：Ｘ軸移動機構
１０：枠体、１２：ポーラス板
１１：被加工物、１１ａ：表面、１１ｂ：裏面、１３：保護テープ
１４：テーブルベース、１６：回転駆動源、１６ａ：回転軸
１８：移動板、２０：ガイドレール
２２：ナット部、２４：ボールねじ、２６：回転駆動源
２８：チャックテーブルカバー、３０：蛇腹カバー
３２：コラム、３４：研削送り機構（加工送り機構）
３６：レール、３８：スライダ、４０：Ｚ軸移動板
４２：ナット部、４４：ボールねじ、４６：回転駆動源
４８：研削ユニット（加工ユニット）、５０：保持部材
５２：スピンドルハウジング、５２ａ：フランジ
５４：スピンドル、５４ａ：回転駆動源、５６：マウント部
５８：研削ホイール（加工工具）、５８ａ：ホイール基台、５８ｂ：研削砥石
６０：加工室カバー、６０ａ：加工室
６２：上板、６２ａ：開口部
６４：前板、６４ａ：切り欠き、６６ａ，６６ｂ：側板、６８：背板
７０：伸縮カバー部、７２：下リング（下連結部）、７４：上リング（上連結部）
７４ａ：内周縁、７６：蛇腹部、７８：厚さ測定器
８０：気体流形成ユニット、８２：エア供給ユニット、８４：エア供給路
８６：ノズル、８６ａ：環状ノズル
Ａ１：搬入搬出領域、Ａ２：研削領域

Claims

被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、
スピンドルと、該スピンドルを回転可能に保持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングの下方に突出する該スピンドルの下端部に固定されたマウント部とを有し、該保持面で保持された該被加工物を、該マウント部の下面側に装着された加工工具で加工する加工ユニットと、
該加工ユニットを下方向に加工送りする加工送り機構と、
該マウント部が貫通可能な開口部を有し、該チャックテーブル及び該マウント部を被覆可能な加工室カバーと、
該開口部の外周部に着脱自在に連結された環状の下連結部と、該スピンドルハウジングに対して固定された環状の上連結部と、該上連結部及び該下連結部を接続し、該加工ユニットの昇降に追従して伸縮可能な筒状の蛇腹部と、を有する伸縮カバー部と、
該蛇腹部の内側において、該上連結部から該下連結部に向かって気体の流れを形成する気体流形成ユニットと、
該チャックテーブルを移動させる移動機構と、
を備え、
該加工室カバーは、該開口部が設けられた上板と、側板と、背板と、該チャックテーブルの出入りを可能にするための切り欠きが設けられた前板と、を有し、
該移動機構は、該下連結部が該加工室カバーに連結された状態で該切り欠きを通じて該加工室カバーに対して該チャックテーブルを出入りさせることができることを特徴とする加工装置。
該気体流形成ユニットは、
該上連結部に配置された１つのノズルと、
該上連結部の周方向に沿って該上連結部に離散的に配置された複数のノズルと、
該上連結部に配置された環状ノズルと、
のいずれかを有することを特徴とする請求項１記載の加工装置。
該気体流形成ユニットは、該上連結部の周方向に沿って該上連結部に離散的に配置された複数のノズルを有し、
各ノズルの向きは上下方向から所定角度だけ傾けられており、各ノズルから気体を噴射することにより該蛇腹部の内側では旋回流が形成されることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。