JP7444048B2 - 積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents
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Description
そして、その内層部の上部と下部とに外層部としての誘電体層が配置されて直方体状の積層体が形成され、積層体の長手方向の両端面に外部電極が設けられてコンデンサ本体が形成される。
さらに、いわゆる「鳴き」の発生を抑制するために、コンデンサ本体における基板に実装される側に配置されるインターポーザを備える積層セラミックコンデンサが知られている(特許文献1参照)。
まず、本発明の第1実施形態にかかる積層セラミックコンデンサ1について説明する。図1は、第1実施形態の積層セラミックコンデンサ1の概略斜視図である。図2は、第1実施形態の積層セラミックコンデンサ1の図1におけるII-II線に沿った断面図である。図3は、第1実施形態の積層セラミックコンデンサ1の図1におけるIII-III線に沿った断面図である。
また、積層体2の6つの外表面のうち、積層方向Tに相対する一対の外表面を積層体第1主面AS1と積層体第2主面AS2とし、幅方向Wに相対する一対の外表面を積層体第1側面BS1と積層体第2側面BS2とし、長さ方向Lに相対する一対の外表面を積層体第1端面CS1と積層体第2端面CS2とする。
なお、積層体第1主面AS1と積層体第2主面AS2とを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて積層体主面ASとし、積層体第1側面BS1と積層体第2側面BS2とを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて積層体側面BSとし、積層体第1端面CS1と積層体第2端面CS2とを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて積層体端面CSとして説明する。
また、コンデンサ本体1Aの6つの外表面のうち、積層方向Tに相対する一対の外表面をコンデンサ第1主面AC1とコンデンサ第2主面AC2とし、幅方向Wに相対する一対の外表面をコンデンサ第1側面BC1とコンデンサ第2側面BC2とし、長さ方向Lに相対する一対の外表面をコンデンサ第1端面CC1とコンデンサ第2端面CC2とする。なお、コンデンサ第2主面AC2は、コンデンサ本体1Aの基板実装側面AC2でもある。
コンデンサ第1主面AC1とコンデンサ第2主面AC2とを特に区別して説明する必要のない場合、まとめてコンデンサ主面ACとし、コンデンサ第1側面BC1とコンデンサ第2側面BC2とを特に区別して説明する必要のない場合、まとめてコンデンサ側面BCとし、コンデンサ第1端面CC1とコンデンサ第2端面CC2とを特に区別して説明する必要のない場合、まとめてコンデンサ端面CCとして説明する。
また、インターポーザ4は、第1インターポーザ4Aと第2インターポーザ4Bとの2つ設けられているがそれぞれのインターポーザ4の6つの外表面のうち、積層方向Tに相対する一対の外表面のうちのコンデンサ本体1A側の外表面を、コンデンサ対向面AIとし、長さ方向Lに設けられた第1インターポーザ4Aと第2インターポーザ4Bとの互いに対向する側の面をインターポーザ対向面CIとする。
インターポーザ4のコンデンサ対向面AIとコンデンサ本体1Aの基板実装側面AC2とは対向し、第1インターポーザ4Aのインターポーザ対向面CIと、第2インターポーザ4Bのインターポーザ対向面CIとは対向している。
積層体2の寸法は、特に限定されないが、長さ方向L寸法が0.2mm以上10mm以下、幅方向W寸法が0.1mm以上10mm以下、積層方向T寸法が0.1mm以上5mm以下であることが好ましい。
積層体2は、内層部11と、内層部11の積層方向T両側にそれぞれ配置される外層部12とを備える積層体本体10と、積層体本体10の幅方向Wの両側に設けられたサイドギャップ部30とを備える。
内層部11は、積層方向Tに沿って交互に積層された誘電体層14と内部電極層15とを複数組含む。
誘電体層14は、厚みが0.5μm以下である。誘電体層14は、セラミック材料で製造されている。セラミック材料としては、例えば、BaTiO3を主成分とする誘電体セラミックが用いられる。また、セラミック材料として、これらの主成分にMn化合物、Fe化合物、Cr化合物、Co化合物、Ni化合物等の副成分のうちの少なくとも一つを添加したものを用いてもよい。なお、誘電体層14の枚数は、外層部12も含めて15枚以上700枚以下であることが好ましい。
第2内部電極層15bは、第1内部電極層15aと対向する第2対向部152bと、第2対向部152bから積層体第2端面CS2に引き出された第2引き出し部151bとを備える。第2引き出し部151bの端部は、後述の第2外部電極3bに電気的に接続されている。
第1内部電極層15aの第1対向部152aと、第2内部電極層15bの第2対向部152bとに電荷が蓄積され、コンデンサの特性が発現する。
外層部12は、内層部11の誘電体層14と同じ材料で製造されている。そして、外層部12の厚みは例えば20μm以下であり、10μm以下であることがより好ましい。
なお、第1サイドギャップ部30aと第2サイドギャップ部30bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめてサイドギャップ部30として説明する。
サイドギャップ部30は、誘電体層14と同様の材料で製造されている。サイドギャップ部30の厚みは、例えば20μmであり、10μm以下であることが好ましい。
外部電極3は、積層体第1端面CS1に設けられた第1外部電極3aと、積層体第2端面CS2に設けられた第2外部電極3bとを備える。なお、第1外部電極3aと第2外部電極3bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて外部電極3として説明する。外部電極3は、積層体端面CSだけでなく、積層体主面AS及び積層体側面BSの積層体端面CS側の一部も覆っている。
下地電極層は、例えば、導電性金属とガラスとを含む導電性ペーストを塗布、焼き付けることにより形成される。下地電極層の導電性金属としては、例えば、Cu、Ni、Ag、Pd、Ag-Pd合金、Au等を用いることができる。
めっき層は、例えば、Cu、Ni、Su、Ag、Pd、Ag-Pd合金、Au等からなる群から選ばれる1種の金属又は当該金属を含む合金のめっきからなることが好ましい。
インターポーザ4は、一対の第1インターポーザ4Aと、第2インターポーザ4Bとを備える。以下、第1インターポーザ4Aと、第2インターポーザ4Bとを区別して説明する必要のない場合、まとめてインターポーザ4として説明する。
絶縁樹脂膜50は、第1インターポーザ4A側の隙間DAに配置されている部分と、第2インターポーザ4B側の隙間DBに配置されている部分と、隙間DAと隙間DBとを接続する部分とを有する。すなわち、絶縁樹脂膜50は、隙間DA及び隙間DBを埋めて、隙間DA及び隙間DBを接続するように、コンデンサ本体1Aの基板実装側面AC2に沿って延びている。第1実施形態で絶縁樹脂膜50は積層方向Tの厚みが略均一である。また、絶縁樹脂膜50は、例えばポリスチレンで製造されている。
図4は、積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明するフローチャートである。積層セラミックコンデンサ1の製造方法はコンデンサ本体製造工程S1と、インターポーザ配置工程S2と、絶縁樹脂膜形成工程S3とを備える。
図5は、コンデンサ本体製造工程S1を説明する図である。図6はインターポーザ配置工程S2と絶縁樹脂膜形成工程S3とを説明する図である。
コンデンサ本体製造工程S1は、積層体製造工程S11と外部電極形成工程S12とを備える。
セラミックス粉末、バインダ及び溶剤を含むセラミックスラリーをキャリアフィルム上においてダイコータ、グラビアコータ、マイクログラビアコータ等を用いてシート状に成形して誘電体層14となる積層用セラミックグリーンシート101を製作する。
次いで、積層用セラミックグリーンシート101に導電体ペーストをスクリーン印刷、インクジェット印刷、グラビア印刷等によって帯状に印刷し、積層用セラミックグリーンシート101の表面に内部電極層15となる導電パターン102を印刷するが印刷された素材シート103を製作する。
さらに、複数枚積層された素材シート103の両側にそれぞれ、外層部12となる上部外層部用セラミックグリーンシート112を積み重ねる。
積み重ねた複数の素材シート103と外層部用セラミックグリーンシート113とを熱圧着し、図5(b)に示すマザーブロック110を作成する。
次いで、マザーブロック110を、図5(b)に示す切断線X及び切断線Xと交差する切断線Yに沿って切断し、図5(c)に示す積層体本体10を複数製造する。
続いて、図5(d)に示すように積層体2の積層体端面CSに、導電性金属とガラスとを含む導電性ペーストを塗布、焼き付けることにより外部電極3を形成する。外部電極3は、積層体2両側の積層体端面CSのみならず、積層体主面AS及び積層体側面側まで延びて、積層体主面ASの積層体端面CS側の一部も覆うように形成する。以上の工程により、コンデンサ本体1Aを製造する。
インターポーザの材料となるCu及びNiから選ばれる少なくとも1種の高融点金属と低融点金属としてのSnとを含む金属材料ペーストを用意する。また、例えばアルミナ板のように、金属材料ペーストがリフロー条件下で接合しない保持板40を用意する。
図6(a)に示すように保持板40の上に、金属材料ペーストをスクリーン印刷法またはディスペンス法等により付与することにより、金属材料ペースト厚膜41を形成する。
その後、コンデンサ本体1Aがインターポーザ4とともに、保持板40から分離され、図6(c)の状態となる。
以上の工程によりコンデンサ本体1Aにインターポーザ4が取り付けられているが、まだ絶縁樹脂膜50が設けられていない状態の積層セラミックコンデンサ1Bが製造される。
絶縁樹脂膜形成工程S3は、絶縁樹脂配置工程S31と、絶縁樹脂拡張工程S32と、絶縁樹脂硬化工程S33とを備える。
次いで、図6(d)に示すように、積層セラミックコンデンサ1Bの基板実装側面AC2の外部電極3が設けられていない積層体第2主面AS2部分に、絶縁樹脂膜の材料として、硬化前の、例えばフィラーレスの熱硬化樹脂である樹脂材料51を配置する。この時点で、樹脂材料51はまだ、隙間Dに入り込んでいない。
樹脂材料51が塗布された状態の積層セラミックコンデンサ1Bを真空デシケータに15分間入れる。ここで樹脂材料51が拡張して図6(e)に示すように隙間Dに侵入する。また、積層セラミックコンデンサ1Bを真空デシケータに15分間に入れることにより、樹脂材料51が脱泡される。
樹脂材料51が広がって隙間Dに侵入された状態の積層セラミックコンデンサ1Bを、例えば230°での環境に60分間置くことにより、樹脂材料51が熱硬化する。なお、実施形態では樹脂材料51として熱硬化樹脂を用いたが、これに限定されず光硬化樹脂を用いてもよい。
これにより、図6(f)に示すように樹脂材料51が硬化した絶縁樹脂膜50となり、隙間Dを埋め、且つ隙間DA及び隙間DBを接続するように、コンデンサ本体1Aの基板実装側面AC2に沿って延びている積層セラミックコンデンサ1が製造される。なお、この後、積層セラミックコンデンサ1は、基板に実装される。
なお、第1実施形態では、インターポーザ4を配置した後に樹脂材料51を配置したが、これに限定されず、樹脂材料51を配置した後にインターポーザ4を配置してもよい。
積層セラミックコンデンサ1が実装されている基板に曲げ等によるストレスが加わる場合がある。このとき、絶縁樹脂膜50が存在しないと、インターポーザ4における、インターポーザ対向面CIとコンデンサ対向面AIとの間の図2に示す角部Kが、コンデンサ本体1Aの基板実装側面AC2における、外部電極3が設けられていない積層体第2主面AS2部分と当接する可能性がある。
このとき角部Kが当接するコンデンサ本体1Aの部分は、外部電極3が設けられておらず、積層体2のセラミック部分である。ゆえに、この当接部に応力が集中するとセラミック部分にクラックが発生する可能性がある。
ゆえにコンデンサ本体1Aへのインターポーザ4との接触による応力集中の低減が可能となり、コンデンサ本体1Aのクラック発生の可能性が低減する。
次に、本発明の第2実施形態の積層セラミックコンデンサ200について説明する。図7は、第1実施形態の図2に相当する、第2実施形態の積層セラミックコンデンサ200の断面図である。
第2実施形態の積層セラミックコンデンサ200が第1実施形態と異なる点は、絶縁樹脂膜50であり、それ以外については第1実施形態と同様であるので説明を省略する。
したがって、両方の角部Kは積層体第2主面AS2に直接当接しない。ゆえにコンデンサ本体1Aへのインターポーザ4との接触による応力集中の低減が可能となり、コンデンサ本体1Aのクラック発生の可能性が低減する。
次に、本発明の第3実施形態の積層セラミックコンデンサ300について説明する。図8は、第1実施形態の図2に相当する、第3実施形態の積層セラミックコンデンサ300の断面図である。
第3実施形態の積層セラミックコンデンサ300が第1実施形態と異なる点は、絶縁樹脂膜50であり、それ以外については第1実施形態と同様であるので説明を省略する。
絶縁樹脂膜50は、第3実施形態の絶縁樹脂膜50は、第1実施形態と同様に第1インターポーザ4A側の隙間DAに配置されている部分と、第2インターポーザ4B側の隙間DBに配置されている部分と、隙間DAと隙間DBとを接続する部分とを有する点で第1実施形態と同様である。
しかし、第3実施形態の絶縁樹脂膜50は、隙間DAと隙間DBとを接続する部分の厚みが、隙間DAに配置されている部分及び隙間DBに配置されている部分より厚い。
したがって、両方の角部Kは積層体第2主面AS2に直接当接しない。ゆえにコンデンサ本体1Aへのインターポーザ4との接触による応力集中の低減が可能となり、コンデンサ本体1Aのクラック発生の可能性が低減する。
さらに、絶縁樹脂膜50の製造時に、樹脂材料51の量を、絶縁樹脂膜50の厚みが均一にするように厳密に調整する必要がないので積層セラミックコンデンサ1の製造が容易である。
次に、本発明の第4実施形態の積層セラミックコンデンサ400について説明する。図9は、第4実施形態の積層セラミックコンデンサ400の断面図であり、積層セラミックコンデンサ400が実装される基板100も図示する。
第4実施形態は、コンデンサ本体1Aについては第1実施形態と同様であるのでコンデンサ本体1Aについての説明は省略する。
インターポーザ404を基板100に実装する際、インターポーザ404の第1実装用電極433Aと、基板100の第1実装用ランド101Aとをはんだ等で接続し、第2実装用電極433Bと、第2実装ランド101Bとをはんだ等で接続する。
BS 積層体側面
CS 積層体端面
AC コンデンサ主面
AC1 コンデンサ第1主面
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BC コンデンサ側面
CC コンデンサ端面
AI コンデンサ対向面
AI1 電極接続領域
AI2 電極非接続領域
CI インターポーザ対向面
D 隙間
DA 隙間
DB 隙間
K 角部
1 積層セラミックコンデンサ
1A コンデンサ本体
2 積層体
3 外部電極
4 インターポーザ
4A 第1インターポーザ
4B 第2インターポーザ
10 積層体本体
11 内層部
12 外層部
14 誘電体層
15 内部電極層
50 絶縁樹脂膜
50A 絶縁樹脂膜
50B 絶縁樹脂膜
51 樹脂材料
200 積層セラミックコンデンサ
300 積層セラミックコンデンサ
Claims (7)
- 誘電体層と内部電極層とが交互に積層された積層体、及び、前記積層体の2つの端面のそれぞれに配置され、前記内部電極層と接続された外部電極を有するコンデンサ本体と、
前記コンデンサ本体の基板実装側面に配置されたインターポーザと、
前記インターポーザにおける前記基板実装側面と対向するコンデンサ対向面と前記基板実装側面との間の隙間に配置された絶縁樹脂膜と、を備え、
前記インターポーザは、互いに離間して2つ配置され、
前記絶縁樹脂膜は、2つのインターポーザのそれぞれにおける前記基板実装側面と対向するコンデンサ対向面と前記基板実装側面との間の隙間に配置されている、
積層セラミックコンデンサ。 - 前記隙間は、
前記基板実装側面における前記外部電極が配置されていない部分と前記コンデンサ対向面との間に形成されている、
請求項1に記載の積層セラミックコンデンサ。 - 前記絶縁樹脂膜は、
一方の前記インターポーザ側の前記隙間に配置された第1部分と、
他方の前記インターポーザ側の前記隙間に配置された第2部分と、
前記基板実装側面に沿って延び、前記第1部分と前記第2部分とを接続する接続部分と、を有する、
請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。 - 前記接続部分は、
前記第1部分及び前記第2部分よりも厚い、
請求項3に記載の積層セラミックコンデンサ。 - 誘電体層と内部電極層とを交互に積層して積層体を製造し、前記積層体の2つの端面のそれぞれに、前記内部電極層と接続された外部電極を形成してコンデンサ本体を製造するコンデンサ本体製造工程と、
前記コンデンサ本体の基板実装側面に、互いに離間した2つのインターポーザを配置するインターポーザ配置工程と、
前記基板実装側面に、絶縁樹脂材料を配置する絶縁樹脂配置工程と、
配置された前記絶縁樹脂材料を、前記基板実装側面と前記インターポーザのコンデンサ対向面との間の隙間に侵入させる絶縁樹脂拡張工程と、
前記絶縁樹脂材料を硬化させる絶縁樹脂硬化工程と、
を含む積層セラミックコンデンサの製造方法。 - 前記絶縁樹脂拡張工程は、脱泡工程を含む、
を含む請求項5に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。 - 前記絶縁樹脂硬化工程は、熱硬化又は光硬化工程である、
請求項5または請求項6に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
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