JP2022014533A - 電子部品 - Google Patents
電子部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022014533A JP2022014533A JP2020116886A JP2020116886A JP2022014533A JP 2022014533 A JP2022014533 A JP 2022014533A JP 2020116886 A JP2020116886 A JP 2020116886A JP 2020116886 A JP2020116886 A JP 2020116886A JP 2022014533 A JP2022014533 A JP 2022014533A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- nickel
- electrode layer
- copper
- layer portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 460
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 230
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 114
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 114
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 114
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 claims description 45
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 description 23
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 15
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 14
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 13
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 11
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 9
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 8
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 7
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 7
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 5
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 5
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N dysprosium atom Chemical compound [Dy] KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 3
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- DAIMKIDDOJTMOQ-UHFFFAOYSA-N [Mg].[Ni].[Cu] Chemical compound [Mg].[Ni].[Cu] DAIMKIDDOJTMOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/228—Terminals
- H01G4/232—Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
- H01G4/2325—Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor characterised by the material of the terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/005—Electrodes
- H01G4/008—Selection of materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/005—Electrodes
- H01G4/008—Selection of materials
- H01G4/0085—Fried electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/005—Electrodes
- H01G4/012—Form of non-self-supporting electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/228—Terminals
- H01G4/232—Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/30—Stacked capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
- H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
- H01G4/1218—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
- H01G4/1227—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates based on alkaline earth titanates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
【課題】クラックが生じにくく、且つ小型化が可能な電子部品を提供すること。【解決手段】本発明の電子部品1は、積層体2の端面にそれぞれ配置された外部ニッケル層4と、外部ニッケル層4が配置された端面のそれぞれを覆う外部銅電極層3と、を具備する電子部品1であって、外部ニッケル層4の積層方向の寸法TN、内層部11の積層方向の寸法T1としたときに、T1<TNであり、外部ニッケル層4の幅方向の寸法WN、内層部11の幅方向の寸法W1としたときに、WN<W1であるとともに、外部ニッケル層4自体は、WN<TNであり、内層部11は、幅方向において外部ニッケル層4に覆われていない非被覆領域41を有し、該非被覆領域41において内部ニッケル電極層15と外部銅電極層3とが直接接合され、内部ニッケル電極層15内に外部銅電極層3の銅が拡散された拡散領域が形成されている。【選択図】図5
Description
本発明は、電子部品に関する。
近年、積層セラミックコンデンサ等の電子部品の小型大容量化に伴い、内部電極層の枚数は増加し、サイドギャップ部は極小化している。このような小型の積層セラミックコンデンサでは、外部電極層として用いられる銅が内部電極層であるニッケルの内部に拡散することにより、内部電極層の厚みが増加し、クラックが生じる場合がある。
一方、外部電極層としてニッケルを用いると、外部電極層だけでは十分に耐湿性を担保できず、外部電極層を超えて、内部電極層に水分が侵入する場合がある。
そこで、内部電極層が露出している端面にニッケル層を形成し、そのニッケル層が形成された端面を覆うように、外部電極層としての銅を塗布する方法が用いられている(特許文献1参照)。
一方、外部電極層としてニッケルを用いると、外部電極層だけでは十分に耐湿性を担保できず、外部電極層を超えて、内部電極層に水分が侵入する場合がある。
そこで、内部電極層が露出している端面にニッケル層を形成し、そのニッケル層が形成された端面を覆うように、外部電極層としての銅を塗布する方法が用いられている(特許文献1参照)。
しかし、端面のニッケル層が、内部電極層が露出している端面の全体を覆っていると、ニッケル層の収縮応力によりクラックが生じる可能性がある。一方で端面のニッケル層が小さすぎると、上述のように外部電極層の銅が内部電極層に拡散することによりクラックが生じる場合がある。
本発明は、クラックが生じにくく、且つ小型化が可能な電子部品を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、誘電体層と内部ニッケル電極層とが交互に積層された内層部を有し、積層方向と交差する長さ方向の両側にそれぞれ設けられた端面に、前記内部ニッケル電極層が露出している積層体本体、並びに、前記積層体本体における、前記積層方向及び前記長さ方向と交差する幅方向の両側にそれぞれ設けられたサイドギャップ部を備える積層体と、前記積層体の前記端面にそれぞれ配置された外部ニッケル層と、前記外部ニッケル層が配置された前記端面のそれぞれを覆う外部銅電極層と、を具備する電子部品であって、前記外部ニッケル層の前記積層方向の寸法TN、前記内層部の前記積層方向の寸法T1としたときに、T1<TNであり、前記外部ニッケル層の前記幅方向の寸法WN、前記内層部の幅方向の寸法W1としたときに、WN<W1であるとともに、前記外部ニッケル層自体は、WN<TNであり、前記内層部は、幅方向において前記外部ニッケル層に覆われていない非被覆領域を有し、該非被覆領域において前記内部ニッケル電極層と前記外部銅電極層とが直接接合され、前記内部ニッケル電極層内に前記外部銅電極層の銅が拡散された拡散領域が形成されている電子部品を提供する。
クラックが生じにくく、且つ小型化が可能な電子部品を提供することができる。
(第1実施形態)
まず、本発明の第1実施形態にかかる電子部品としての積層セラミックコンデンサ1について説明する。
図1は、第1実施形態の積層セラミックコンデンサ1の概略斜視図である。図2は、第1実施形態の積層セラミックコンデンサ1の図1におけるII-II線に沿った断面図である。図3(a)は、第1実施形態の積層セラミックコンデンサ1の図1におけるIII-III線に沿った断面図であり、(b)は(a)のN部の部分拡大図である。図4(a)は、第1実施形態の積層セラミックコンデンサの図1におけるIV-IV線に沿った断面図であり、(b)は(a)のM部の部分拡大図である。
まず、本発明の第1実施形態にかかる電子部品としての積層セラミックコンデンサ1について説明する。
図1は、第1実施形態の積層セラミックコンデンサ1の概略斜視図である。図2は、第1実施形態の積層セラミックコンデンサ1の図1におけるII-II線に沿った断面図である。図3(a)は、第1実施形態の積層セラミックコンデンサ1の図1におけるIII-III線に沿った断面図であり、(b)は(a)のN部の部分拡大図である。図4(a)は、第1実施形態の積層セラミックコンデンサの図1におけるIV-IV線に沿った断面図であり、(b)は(a)のM部の部分拡大図である。
積層セラミックコンデンサ1は、略直方体形状で、積層体2と、積層体2の両端に設けられた一対の外部ニッケル層4(図2、及び図4に示す)と、積層体2の両端において外部ニッケル層4のさらに外側に設けられた外部銅電極層3とを備える。また、積層体2は、誘電体層14と内部ニッケル電極層15とを複数組含む内層部11を含む。
以下の説明において、積層セラミックコンデンサ1の向きを表わす用語として、積層セラミックコンデンサ1において、一対の外部銅電極層3が設けられている方向を長さ方向Lとする。誘電体層14と内部ニッケル電極層15とが積層されている方向を積層方向Tとする。長さ方向L及び積層方向Tのいずれにも交差する方向を幅方向Wとする。なお、実施形態においては、幅方向Wは長さ方向L及び積層方向Tのいずれにも直交している。
図5は、外部ニッケル層4を含む積層体2の概略斜視図である。積層体2は、積層体本体10と、サイドギャップ部30とを備える。図6は、外部ニッケル層4及びサイドギャップ部30が形成される前の状態の積層体本体10の概略斜視図である。
以下の説明において、図5に示す積層体2の6つの外表面のうち、積層方向Tに相対する一対の外表面を第1主面Aaと第2主面Abとし、幅方向Wに相対する一対の外表面を第1側面Baと第2側面Bbとし、長さ方向Lに相対する一対の外表面を第1端面Caと第2端面Cbとする。
なお、第1主面Aaと第2主面Abとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて主面Aとし、第1側面Baと第2側面Bbとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて側面Bとし、第1端面Caと第2端面Cbとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて端面Cとして説明する。
なお、第1主面Aaと第2主面Abとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて主面Aとし、第1側面Baと第2側面Bbとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて側面Bとし、第1端面Caと第2端面Cbとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて端面Cとして説明する。
(積層体2)
積層体2は、角部R1及び稜線部R2に丸みがつけられている。角部R1は、主面Aと、側面Bと、端面Cとが交わる部分である。稜線部R2は、積層体2の2面、すなわち主面Aと側面B、主面Aと端面C、又は、側面Bと端面Cが交わる部分である。角部R1及び稜線部R2の丸みの量は、R=8μm~150μmであり、R=8μm~20μmが好ましい。
また、積層体2の主面A、側面B、端面Cの一部又は全部に凹凸等が形成されていてもよい。
積層体2は、角部R1及び稜線部R2に丸みがつけられている。角部R1は、主面Aと、側面Bと、端面Cとが交わる部分である。稜線部R2は、積層体2の2面、すなわち主面Aと側面B、主面Aと端面C、又は、側面Bと端面Cが交わる部分である。角部R1及び稜線部R2の丸みの量は、R=8μm~150μmであり、R=8μm~20μmが好ましい。
また、積層体2の主面A、側面B、端面Cの一部又は全部に凹凸等が形成されていてもよい。
実施形態では、図5に示すように積層体2の幅方向Wの寸法W0、積層方向Tの寸法T0としたときに、
W0<T0
すなわち、縦長形状であることが好ましい。ただし、これに限定されずW0≧T0であってもよい。
それぞれの寸法は、特に限定されないが、長さ方向L寸法L0は、
0.2mm≦L0≦10mm(0.2mm以上10mm以下)
幅方向Wの寸法W0は、
0.1mm≦W0≦5mm(0.1mm以上5mm以下)
積層方向Tの寸法T0は、
0.1mm≦T0≦5mm(0.1mm以上5mm以下)
であることが好ましい。
W0<T0
すなわち、縦長形状であることが好ましい。ただし、これに限定されずW0≧T0であってもよい。
それぞれの寸法は、特に限定されないが、長さ方向L寸法L0は、
0.2mm≦L0≦10mm(0.2mm以上10mm以下)
幅方向Wの寸法W0は、
0.1mm≦W0≦5mm(0.1mm以上5mm以下)
積層方向Tの寸法T0は、
0.1mm≦T0≦5mm(0.1mm以上5mm以下)
であることが好ましい。
(積層体本体10)
積層体本体10は、図2、図3及び図6に示すように、内層部11と、内層部11の第1主面Aa側に配置される上部外層部12aと、内層部11の第2主面Ab側に配置される下部外層部12bとを備える。なお、上部外層部12aと下部外層部12bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて外層部12として説明する。
積層体本体10は、図2、図3及び図6に示すように、内層部11と、内層部11の第1主面Aa側に配置される上部外層部12aと、内層部11の第2主面Ab側に配置される下部外層部12bとを備える。なお、上部外層部12aと下部外層部12bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて外層部12として説明する。
(内層部11)
内層部11(有効領域)は、積層方向Tに沿って交互に積層された誘電体層14と内部ニッケル電極層15との組を複数含む。実施形態では、図5に示すように、内層部11の幅方向Wの寸法W1、内層部11の積層方向Tの寸法T1としたときに、
T1<W1
すなわち、横長形状であることが好ましい。横長形状の方が、積層セラミックコンデンサ1の高容量化が容易であるためである。ただし、これに限定されずT1≧W1であってもよい。
内層部11(有効領域)は、積層方向Tに沿って交互に積層された誘電体層14と内部ニッケル電極層15との組を複数含む。実施形態では、図5に示すように、内層部11の幅方向Wの寸法W1、内層部11の積層方向Tの寸法T1としたときに、
T1<W1
すなわち、横長形状であることが好ましい。横長形状の方が、積層セラミックコンデンサ1の高容量化が容易であるためである。ただし、これに限定されずT1≧W1であってもよい。
(誘電体層14)
誘電体層14は、バリウム、チタン及びジスプロシウムを含むセラミック材料で製造されている。
誘電体層14の厚みtuは、
0.40μm≦tu≦0.50μm(0.40μm以上0.50μm以下)
であることが好ましい。
なお、積層体本体10を構成する誘電体層14の枚数は、上部外層部12a及び下部外層部12bも含めて15枚以上700枚以下であることが好ましい。
誘電体層14は、バリウム、チタン及びジスプロシウムを含むセラミック材料で製造されている。
誘電体層14の厚みtuは、
0.40μm≦tu≦0.50μm(0.40μm以上0.50μm以下)
であることが好ましい。
なお、積層体本体10を構成する誘電体層14の枚数は、上部外層部12a及び下部外層部12bも含めて15枚以上700枚以下であることが好ましい。
(内部ニッケル電極層15)
内部ニッケル電極層15は、複数の第1内部ニッケル電極層15aと、複数の第2内部ニッケル電極層15bとを備え、第1内部ニッケル電極層15aと第2内部ニッケル電極層15bとは、交互に配置されている。なお、第1内部ニッケル電極層15aと第2内部ニッケル電極層15bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて内部ニッケル電極層15として説明する。
内部ニッケル電極層15は、複数の第1内部ニッケル電極層15aと、複数の第2内部ニッケル電極層15bとを備え、第1内部ニッケル電極層15aと第2内部ニッケル電極層15bとは、交互に配置されている。なお、第1内部ニッケル電極層15aと第2内部ニッケル電極層15bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて内部ニッケル電極層15として説明する。
内部ニッケル電極層15の厚みtnは、
0.25μm≦tn≦0.33μm(0.25μm以上0.33μm以下)
であることが好ましい。
内部ニッケル電極層15の枚数は、第1内部ニッケル電極層15a及び第2内部ニッケル電極層15bを合わせて15枚以上700枚以下であることが好ましい。
0.25μm≦tn≦0.33μm(0.25μm以上0.33μm以下)
であることが好ましい。
内部ニッケル電極層15の枚数は、第1内部ニッケル電極層15a及び第2内部ニッケル電極層15bを合わせて15枚以上700枚以下であることが好ましい。
第1内部ニッケル電極層15aは、第2内部ニッケル電極層15bと対向する第1対向部152aと、第1対向部152aから第1端面Ca側に引き出された第1引き出し部151aとを備える。第1引き出し部151aの端部は、第1端面Caに露出し、後述の第1外部銅電極層3aに電気的に接続されている。
第2内部ニッケル電極層15bは、第1内部ニッケル電極層15aと対向する第2対向部152bと、第2対向部152bから第2端面Cbに引き出された第2引き出し部151bとを備える。第2引き出し部151bの端部は、後述の第2外部銅電極層3bに電気的に接続されている。
第1内部ニッケル電極層15aの第1対向部152aと、第2内部ニッケル電極層15bの第2対向部152bとに電荷が蓄積され、コンデンサの特性が発現する。
第2内部ニッケル電極層15bは、第1内部ニッケル電極層15aと対向する第2対向部152bと、第2対向部152bから第2端面Cbに引き出された第2引き出し部151bとを備える。第2引き出し部151bの端部は、後述の第2外部銅電極層3bに電気的に接続されている。
第1内部ニッケル電極層15aの第1対向部152aと、第2内部ニッケル電極層15bの第2対向部152bとに電荷が蓄積され、コンデンサの特性が発現する。
図3に示すように、積層体2の長さ方向Lの中央を通る、幅方向W及び積層方向Tに沿ったWT断面において、積層方向Tにおいて上下に隣り合う2つの第1内部ニッケル電極層15aと第2内部ニッケル電極層15bとの幅方向Wの端部の積層方向Tにおける位置のずれ量dは0.5μm以内である。
すなわち、積層方向Tにおいて上下に隣り合う第1内部ニッケル電極層15aと第2内部ニッケル電極層15bとの幅方向Wの端部は、幅方向W上において略同位置にあり、端部の位置が積層方向Tで揃っている。
すなわち、積層方向Tにおいて上下に隣り合う第1内部ニッケル電極層15aと第2内部ニッケル電極層15bとの幅方向Wの端部は、幅方向W上において略同位置にあり、端部の位置が積層方向Tで揃っている。
位置のずれ量dは、図3に示すように長さ方向Lの中央のTW断面において、内層部11(有効領域)を積層方向Tに4等分したときの、3本の分割線D1に最も近い、互いに隣り合う内部ニッケル電極層15間の端部の幅方向Wのずれ量dを平均した値である。
なお、図3(b)に示すように、内部ニッケル電極層15には、微視的に見ると、内部ニッケル電極層15を厚み方向(積層方向T)に貫通する孔が複数開いている。その孔には、誘電体層14の材料が柱状に柱部材153として入り込んでいる。
(外層部12)
外層部12は、内層部11の誘電体層14と同じ材料の、バリウム、チタン及びジスプロシウムを含むセラミック材料で製造されている。
外層部12は、内層部11の誘電体層14と同じ材料の、バリウム、チタン及びジスプロシウムを含むセラミック材料で製造されている。
外層部12は、内層部11の積層方向Tの上側に配置された上部外層部12aと、下側に配置された下部外層部12bとを有する。下側は、基板に実装される側である。実施形態で下部外層部12bの積層方向Tの厚みtg2は、上部外層部12aの積層方向Tの厚みtg1より厚い。すなわち、内部ニッケル電極層15が配置された内層部11が積層方向Tにおいて第1主面Aa側に偏っている。
積層セラミックコンデンサ1においては、内部ニッケル電極層15に電力が供給されて誘電体層14に電界が加わり、誘電体層14に応力や機械的歪みが生じて振動が生じる可能性がある。しかし、このように、下部外層部12bの積層方向Tの厚みを上部外層部12aの積層方向Tの厚みより厚くすると、積層セラミックコンデンサ1が実装された基板に振動が伝達しにくく、いわゆる「鳴き」の発生が抑制される。「鳴き」の発生抑制の観点から、下部外層部12bの厚みtg2は上部外層部12aの厚みtg1の3倍以上が好ましく、4倍以上がさらに好ましい。ただし、これに限定されず、上部外層部12aの積層方向Tの厚みtg1と下部外層部12bの積層方向Tの厚みtg2とを等しくしてもよい。
上部外層部12aの厚みtg1の厚み、又は、上部外層部12aの積層方向Tの厚みtg1と下部外層部12bの積層方向Tの厚みtg2とが等しい場合、両方の厚みは、
10μm≦tg1≦20μm(10μm以上20μm以下)
であることが好ましい。
10μm≦tg1≦20μm(10μm以上20μm以下)
であることが好ましい。
外層部12の厚みは、図3に示すように、長さ方向Lの中央のTW断面において、積層体2を幅方向Wに4等分したときの、3本の分割線D2上の外層部12の厚みを平均した平均値である。
また、上部外層部12aの積層方向Tの厚みtg1及び下部外層部12bの積層方向Tの厚みtg2とは、サイドギャップ部30の厚みtsより厚い。このように外層部12を厚くした場合、クラックが入ったとしても、内部ニッケル電極層まで伸展せず、信頼性が担保できる。
(サイドギャップ部30)
サイドギャップ部30は、積層体本体10の両側面に露出している内部ニッケル電極層15の幅方向W側の端部を、その端部に沿って覆っている。
サイドギャップ部30は、積層体本体10の第1側面Ba側に設けられた第1サイドギャップ部30aと、積層体本体10の第2側面Bb側に設けられた第2サイドギャップ部30bと、を備える。なお、第1サイドギャップ部30aと第2サイドギャップ部30bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめてサイドギャップ部30として説明する。
サイドギャップ部30は、積層体本体10の両側面に露出している内部ニッケル電極層15の幅方向W側の端部を、その端部に沿って覆っている。
サイドギャップ部30は、積層体本体10の第1側面Ba側に設けられた第1サイドギャップ部30aと、積層体本体10の第2側面Bb側に設けられた第2サイドギャップ部30bと、を備える。なお、第1サイドギャップ部30aと第2サイドギャップ部30bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめてサイドギャップ部30として説明する。
(サイドギャップ部30の厚み)
サイドギャップ部30の厚みtsは、
5μm≦ts≦12μm(5μm以上12μm以下)
であることが好ましい。
サイドギャップ部30の厚みは、図3に示すように長さ方向Lの中央部のTW断面において、積層体2を積層方向Tに4等分したときの、3本の分割線D3上のサイドギャップ部30の厚みを平均した平均値である。
サイドギャップ部30の厚みtsは、
5μm≦ts≦12μm(5μm以上12μm以下)
であることが好ましい。
サイドギャップ部30の厚みは、図3に示すように長さ方向Lの中央部のTW断面において、積層体2を積層方向Tに4等分したときの、3本の分割線D3上のサイドギャップ部30の厚みを平均した平均値である。
(サイドギャップ部30の材料)
サイドギャップ部30は、内層部11の誘電体層14及び外層部12と同じ材料の、バリウム、チタン及びジスプロシウムを含むセラミック材料で製造されている。
また、サイドギャップ部30は、焼結助剤としてマグネシウムを含む。
さらに、サイドギャップ部30は、シリコン系酸化物(SiO)及びリン(P)系酸化物を含有する。図3に示すような長さ方向Lの中央部のTW断面において、サイドギャップ部30が観察された場合、SiOが存在する領域は、扁平形状(ニードル形状)になっている。Pが存在する領域も同様に、扁平形状(ニードル形状)になっている。また、SiO及びPが混在する領域も同様に、扁平形状(ニードル形状)になっている。なお、本明細書において扁平形状とは、長さ方向Lの中央部のTW断面おいて観察される領域の、長手方向の短手方向に対するアスペクト比が4以上の細長い形状であることをいう。
サイドギャップ部30は、内層部11の誘電体層14及び外層部12と同じ材料の、バリウム、チタン及びジスプロシウムを含むセラミック材料で製造されている。
また、サイドギャップ部30は、焼結助剤としてマグネシウムを含む。
さらに、サイドギャップ部30は、シリコン系酸化物(SiO)及びリン(P)系酸化物を含有する。図3に示すような長さ方向Lの中央部のTW断面において、サイドギャップ部30が観察された場合、SiOが存在する領域は、扁平形状(ニードル形状)になっている。Pが存在する領域も同様に、扁平形状(ニードル形状)になっている。また、SiO及びPが混在する領域も同様に、扁平形状(ニードル形状)になっている。なお、本明細書において扁平形状とは、長さ方向Lの中央部のTW断面おいて観察される領域の、長手方向の短手方向に対するアスペクト比が4以上の細長い形状であることをいう。
(サイドギャップ部30のマグネシウム偏析)
図4(b)に示すように、図中黒丸で示す焼結助剤として含まれるマグネシウムは、サイドギャップ部30の焼結時に内部ニッケル電極層15側に移動し、内部ニッケル電極層15に偏析層15Aが形成される。偏析層15Aの長さは0.4μm以上5μm以下が好ましい。
また、図3(b)に示すように、積層方向Tの最も主面側に配置された内部ニッケル電極層15の主面側にもマグネシウムが偏析して層状になっている。
また、内部ニッケル電極層15の幅方向の端部から、10μm以内の領域において上述の柱部材153が貫通している部分には、柱部材153側の面に、マグネシウムが偏析している。
図4(b)に示すように、図中黒丸で示す焼結助剤として含まれるマグネシウムは、サイドギャップ部30の焼結時に内部ニッケル電極層15側に移動し、内部ニッケル電極層15に偏析層15Aが形成される。偏析層15Aの長さは0.4μm以上5μm以下が好ましい。
また、図3(b)に示すように、積層方向Tの最も主面側に配置された内部ニッケル電極層15の主面側にもマグネシウムが偏析して層状になっている。
また、内部ニッケル電極層15の幅方向の端部から、10μm以内の領域において上述の柱部材153が貫通している部分には、柱部材153側の面に、マグネシウムが偏析している。
(サイドギャップ部30の2層構造)
サイドギャップ部30は複数層であり、内側の層をインナー層30in、外側の層をアウター層30ouとすると、インナー層30inの厚み<アウター層30ouの厚みである。ただし、これに限らず、サイドギャップ部30は1層であってもよい。
2層構造とすることで、インナー層30inからアウター層30ouとの間に界面が形成されるので、この界面により積層セラミックコンデンサ1にかかる応力を緩和することができる。
サイドギャップ部30は複数層であり、内側の層をインナー層30in、外側の層をアウター層30ouとすると、インナー層30inの厚み<アウター層30ouの厚みである。ただし、これに限らず、サイドギャップ部30は1層であってもよい。
2層構造とすることで、インナー層30inからアウター層30ouとの間に界面が形成されるので、この界面により積層セラミックコンデンサ1にかかる応力を緩和することができる。
インナー層30inからアウター層30ouに向かってサイドギャップ部30を構成する誘電体粒子の粒径が小さくなっている。粒子の粒径は、最も外側で400nm以上450nm以下であり、最も内側で600nm以上であることが好ましく、最も外側の粒子の粒径より、最も内側の粒子の粒径は1.5倍以上であることが好ましい。
なお、粒子の粒径とは、図3に示す長さ方向Lの中央のTW断面において、側面側から幅方向に20nmずつ複数の領域に分け、各領域内でのそれぞれの誘電体粒子の面積を測定し、同じ面積を有する円の径に変換したものを、領域ごとに平均した値である。なお、最も内側の幅方向が20nm未満となる領域は、その領域内において平均したものを粒径とする。
なお、粒子の粒径とは、図3に示す長さ方向Lの中央のTW断面において、側面側から幅方向に20nmずつ複数の領域に分け、各領域内でのそれぞれの誘電体粒子の面積を測定し、同じ面積を有する円の径に変換したものを、領域ごとに平均した値である。なお、最も内側の幅方向が20nm未満となる領域は、その領域内において平均したものを粒径とする。
また、インナー層30inよりアウター層30ouのシリコン酸化物の含有量を多くすることが好ましい。これにより、サイドギャップ部30の強度の向上を図ることができるため、積層セラミックコンデンサ1の抗折強度が向上する。さらに、サイドギャップ部30に亀裂や欠けが生じ難くなり、水分の浸入を防止することができるため、積層セラミックコンデンサ1の絶縁性を確保することができる。その結果、信頼性の向上した積層セラミックコンデンサ1を提供することができる。なお、シリコンがアウター層内30ouに偏析していてもよい。
(外部ニッケル層4)
図5及び図2に示すように、外部ニッケル層4は、積層体2の第1端面Ca側に設けられた第1外部ニッケル層4aと、積層体2の第2端面Cbに設けられた第2外部ニッケル層4bとを備える。なお、第1外部ニッケル層4aと第2外部ニッケル層4bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて外部ニッケル層4として説明する。
図5及び図2に示すように、外部ニッケル層4は、積層体2の第1端面Ca側に設けられた第1外部ニッケル層4aと、積層体2の第2端面Cbに設けられた第2外部ニッケル層4bとを備える。なお、第1外部ニッケル層4aと第2外部ニッケル層4bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて外部ニッケル層4として説明する。
(外部ニッケル層4の材料)
また、外部ニッケル層4は、ニッケルに共材として、ガラスである誘電体が含まれる。図2に示す幅方向Wの中央部のLT断面の外部ニッケル層4において、誘電体は、面積比で30%~40%に含まれる。このように共材が含まれることで、外部ニッケル層4と誘電体層14とを同時に焼結(コファイア)したときに、互いの接合強度を高めることができる。
また、外部ニッケル層4は、ニッケルに共材として、ガラスである誘電体が含まれる。図2に示す幅方向Wの中央部のLT断面の外部ニッケル層4において、誘電体は、面積比で30%~40%に含まれる。このように共材が含まれることで、外部ニッケル層4と誘電体層14とを同時に焼結(コファイア)したときに、互いの接合強度を高めることができる。
(外部ニッケル層4のサイズ)
外部ニッケル層4は、図5に示すように、積層体2の端面Cより一回り小さく、積層体2の端面において、上述の角部R1や稜線部R2の丸み設けられている領域以外の領域に形成されている。
外部ニッケル層4は、図5に示すように、積層体2の端面Cより一回り小さく、積層体2の端面において、上述の角部R1や稜線部R2の丸み設けられている領域以外の領域に形成されている。
(外部ニッケル層4自体の縦横比)
図5に示すように、外部ニッケル層4の積層方向Tの寸法TN、外部ニッケル層4の幅方向Wの寸法WNとしたときに、
WN<TN
すなわち、外部ニッケル層4は縦長形状であることが好ましい。ただし、これに限定されず、外部ニッケル層4は横長形状であってもよい。
図5に示すように、外部ニッケル層4の積層方向Tの寸法TN、外部ニッケル層4の幅方向Wの寸法WNとしたときに、
WN<TN
すなわち、外部ニッケル層4は縦長形状であることが好ましい。ただし、これに限定されず、外部ニッケル層4は横長形状であってもよい。
(外部ニッケル層4と内層部11との関係)
図5に示すように、外部ニッケル層4の積層方向Tの寸法TN、内層部11(有効層)の積層方向Tの寸法T1としたときに、
T1<TN
である。
外部銅電極層3の銅が内部ニッケル電極層15の内部に拡散すると、内部ニッケル電極層15の厚みが増加し、クラックが生じる場合がある。特に最も主面A側の内部ニッケル電極層15に銅が拡散するとクラックが生じやすい。
しかし、実施形態ではT1<TNであるので、最も主面A側の内部ニッケル電極層15における両側部以外の領域が確実に外部ニッケル層4で覆われている。ゆえに、主面A側の内部ニッケル電極層15の中央部への銅の拡散が防止され、クラックの発生の可能性が低減される。
図5に示すように、外部ニッケル層4の積層方向Tの寸法TN、内層部11(有効層)の積層方向Tの寸法T1としたときに、
T1<TN
である。
外部銅電極層3の銅が内部ニッケル電極層15の内部に拡散すると、内部ニッケル電極層15の厚みが増加し、クラックが生じる場合がある。特に最も主面A側の内部ニッケル電極層15に銅が拡散するとクラックが生じやすい。
しかし、実施形態ではT1<TNであるので、最も主面A側の内部ニッケル電極層15における両側部以外の領域が確実に外部ニッケル層4で覆われている。ゆえに、主面A側の内部ニッケル電極層15の中央部への銅の拡散が防止され、クラックの発生の可能性が低減される。
また、外部ニッケル層4の幅方向Wの寸法WN、内層部11の幅方向Wの寸法、すなわち内部ニッケル電極層15の幅方向Wの寸法W1としたときに、
WN<W1
である。
これにより、内部ニッケル電極層15には、幅方向Wにおいて外部ニッケル層4に覆われていない非被覆領域41が存在する。この非被覆領域41は外部ニッケル層4の幅方向Wの両側に設けられており、一方の長さは1μm以上50μ以下であり、5μ以下がより好ましい。
WN<W1
である。
これにより、内部ニッケル電極層15には、幅方向Wにおいて外部ニッケル層4に覆われていない非被覆領域41が存在する。この非被覆領域41は外部ニッケル層4の幅方向Wの両側に設けられており、一方の長さは1μm以上50μ以下であり、5μ以下がより好ましい。
非被覆領域41においては、図4(b)に示すように、内部ニッケル電極層15は外部銅電極層3と直接接合され、外部銅電極層3の図中黒三角で示す銅が内部ニッケル電極層15内に拡散し、ニッケルと反応した相互拡散領域が形成される。この相互拡散領域により外部銅電極層3と内部ニッケル電極層15との強固な結合が確保される。
このような内部ニッケル電極層15内での拡散状態の分析は、図4に示すLW断面を、波長分散型X線(WDX)分析することで観察可能である。
なお、外部銅電極層3の銅は、内部ニッケル電極層15における外部ニッケル層4に覆われている部分にも拡散している。また、非被覆領域41では、内部ニッケル電極層15の幅方向Wの端部近傍にマグネシウムが偏析しているため、マグネシウム-銅-ニッケル(ニッケルは図中黒四角で示す)の反応層も形成されている。
このような内部ニッケル電極層15内での拡散状態の分析は、図4に示すLW断面を、波長分散型X線(WDX)分析することで観察可能である。
なお、外部銅電極層3の銅は、内部ニッケル電極層15における外部ニッケル層4に覆われている部分にも拡散している。また、非被覆領域41では、内部ニッケル電極層15の幅方向Wの端部近傍にマグネシウムが偏析しているため、マグネシウム-銅-ニッケル(ニッケルは図中黒四角で示す)の反応層も形成されている。
このように、外部ニッケル層4と内層部11との関係において、T1<TN且つWN<W1とすることにより、クラックを防止しつつ、外部銅電極層3の銅と内部ニッケル電極層15のニッケルとの強固な接合が確保されている。
(外部ニッケル層4と積層体2との関係)
図5に示すように、外部ニッケル層4の積層方向Tの寸法TN、積層体2の積層方向Tの寸法T0としたときに、
TN<T0
である。
外部ニッケル層4の幅方向Wの寸法WN、積層体2の幅方向Wの寸法W0としたときに、
WN<W0
である。
図5に示すように、外部ニッケル層4の積層方向Tの寸法TN、積層体2の積層方向Tの寸法T0としたときに、
TN<T0
である。
外部ニッケル層4の幅方向Wの寸法WN、積層体2の幅方向Wの寸法W0としたときに、
WN<W0
である。
すなわち、図5に示すように、
T1<TN<T0、WN<W1<W0
である。
この関係が満たされることによって、クラックが生じにくくなる。また、この関係が満たされることによって、外部銅電極層3と内部ニッケル電極層15とのより強固な接合が実現容易となる。
T1<TN<T0、WN<W1<W0
である。
この関係が満たされることによって、クラックが生じにくくなる。また、この関係が満たされることによって、外部銅電極層3と内部ニッケル電極層15とのより強固な接合が実現容易となる。
(外部ニッケル層4の厚み)
次に、外部ニッケル層4の厚みについて説明する。
図2に示すような、積層セラミックコンデンサ1の幅方向Wの中央を通り、且つ長さ方向Lと積層方向Tとに延びる断面LTにおいて、外部ニッケル層4を、長さ方向Lに延びる3本の直線D41,D42,D43で積層方向Tに4等分する。
3本の直線D41,D42,D43のうちの中央の直線D42上の第1外部ニッケル層4a及び第2外部ニッケル層4bの厚みの平均値をTemとする。
3本の直線D41,D42,D43全ての直線上の第1外部ニッケル層4a及び第2外部ニッケル層4bの厚みの平均値をTeaとする。
次に、外部ニッケル層4の厚みについて説明する。
図2に示すような、積層セラミックコンデンサ1の幅方向Wの中央を通り、且つ長さ方向Lと積層方向Tとに延びる断面LTにおいて、外部ニッケル層4を、長さ方向Lに延びる3本の直線D41,D42,D43で積層方向Tに4等分する。
3本の直線D41,D42,D43のうちの中央の直線D42上の第1外部ニッケル層4a及び第2外部ニッケル層4bの厚みの平均値をTemとする。
3本の直線D41,D42,D43全ての直線上の第1外部ニッケル層4a及び第2外部ニッケル層4bの厚みの平均値をTeaとする。
このとき、0.8μm≦Tea≦15μmであり、2μm≦Tem≦15μmである。
また、0.8μm≦Tea≦7μmであり、2μm≦Tem≦7μmであることが好ましい。
また、実施形態でTea/Temの範囲は以下である。
0.2≦Tea/Tem≦1.1
より好ましくは以下である。
0.33≦Tea/Tem≦1.1
さらに好ましくは以下である。
Tea/Tem=1
すなわち、Tea/Tem=1、すなわち外部ニッケル層4の厚みは均一であることが最も好ましいが、0.2≦Tea/Tem≦1.1であれば、外部ニッケル層4の圧縮応力を平均化でき、クラックを防止することができる。なお、Tem、Teaともに5μm~7μmがさらに好ましく、薄いほど内部電極を大きくすることが可能となり静電容量を大きくすることができる。
また、0.8μm≦Tea≦7μmであり、2μm≦Tem≦7μmであることが好ましい。
また、実施形態でTea/Temの範囲は以下である。
0.2≦Tea/Tem≦1.1
より好ましくは以下である。
0.33≦Tea/Tem≦1.1
さらに好ましくは以下である。
Tea/Tem=1
すなわち、Tea/Tem=1、すなわち外部ニッケル層4の厚みは均一であることが最も好ましいが、0.2≦Tea/Tem≦1.1であれば、外部ニッケル層4の圧縮応力を平均化でき、クラックを防止することができる。なお、Tem、Teaともに5μm~7μmがさらに好ましく、薄いほど内部電極を大きくすることが可能となり静電容量を大きくすることができる。
なお、外部ニッケル層4の平均厚みであるTeaは、幅方向Wの中央部まで積層体2を研磨してLT断面を露出させる。そして、光学顕微鏡にてLT断面における外部ニッケル層4を特定し、もしくはWDX(波長分散型X線分析法)等でニッケル成分が含まれる外部ニッケル層4を特定する。そして、上述のようにTemとTesを求めて(Tem+2Tes)/3=Teaを計算することで測定可能である。
このように、外部ニッケル層4が設けられているので、外部銅電極層3として用いられる銅が、内部ニッケル電極層15の内部に過剰に拡散することが防止される。仮に、外部ニッケル層4が設けられていない場合、外部銅電極層3と内部ニッケル電極層15とが直接接触している面積が大きいので、外部銅電極層3の銅が内部ニッケル電極層15の内部に過剰に拡散する。そうすると拡散によって内部ニッケル電極層15の厚みが増大することによるクラックが発生する可能性がある。しかし実施形態によると、このようなクラックの発生が防止される。
(フッ素層40)
また、図5に示す外部ニッケル層4が形成された積層体2の表面には、フッ素層40が形成されている。
また、図5に示す外部ニッケル層4が形成された積層体2の表面には、フッ素層40が形成されている。
(外部銅電極層3)
外部電極層である外部銅電極層3は、積層体2の第1端面Ca側において第1外部ニッケル層4aのさらに外側に設けられた第1外部銅電極層3aと、積層体2の第2端面Cbにおいて第2外部ニッケル層4bのさらに外側に設けられた第2外部銅電極層3bとを備える。なお、第1外部銅電極層3aと第2外部銅電極層3bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて外部銅電極層3として説明する。外部銅電極層3は、端面Cだけでなく、主面A及び側面Bの端面C側の一部も覆っている。
外部電極層である外部銅電極層3は、積層体2の第1端面Ca側において第1外部ニッケル層4aのさらに外側に設けられた第1外部銅電極層3aと、積層体2の第2端面Cbにおいて第2外部ニッケル層4bのさらに外側に設けられた第2外部銅電極層3bとを備える。なお、第1外部銅電極層3aと第2外部銅電極層3bとを特に区別して説明する必要のない場合、まとめて外部銅電極層3として説明する。外部銅電極層3は、端面Cだけでなく、主面A及び側面Bの端面C側の一部も覆っている。
(外部銅電極層3の材料)
外部銅電極層3は、銅とガラスとを含む導電性ペーストを塗布して、焼き付けることにより形成される。外部銅電極層3は積層体2が焼結されたのちに別途焼結されるポストファイアの電極である。
外部銅電極層3がガラスを含むことにより、外部銅電極層3と外部ニッケル層4との間にニッケル系酸化物及び/又はシリコン系酸化物、すなわちニッケル系酸化物及び/又はシリコン系酸化物の少なくとも一方がコンポジットとして形成される。ニッケル系酸化物及び/又はシリコン系酸化物は、TEM(透過型電子顕微鏡)により観察される。このように外部ニッケル層4と外部銅電極層3との間に、NiO等のニッケル系酸化物及び/又はSiO等のシリコン系酸化物が配置されているので固着力が高められるとともに耐湿性が向上される。ニッケル系酸化物とは、ニッケルが含まれていればよく、ニッケルが含まれているか否かは、WDX/TEMなどの組成分析によって判断できる。シリコン系酸化物についてもニッケル系酸化物同様に、シリコンが含まれていればよく、シリコンが含まれているか否かは、WDX/TEMなどの組成分析によって判断できる。
外部銅電極層3は、銅とガラスとを含む導電性ペーストを塗布して、焼き付けることにより形成される。外部銅電極層3は積層体2が焼結されたのちに別途焼結されるポストファイアの電極である。
外部銅電極層3がガラスを含むことにより、外部銅電極層3と外部ニッケル層4との間にニッケル系酸化物及び/又はシリコン系酸化物、すなわちニッケル系酸化物及び/又はシリコン系酸化物の少なくとも一方がコンポジットとして形成される。ニッケル系酸化物及び/又はシリコン系酸化物は、TEM(透過型電子顕微鏡)により観察される。このように外部ニッケル層4と外部銅電極層3との間に、NiO等のニッケル系酸化物及び/又はSiO等のシリコン系酸化物が配置されているので固着力が高められるとともに耐湿性が向上される。ニッケル系酸化物とは、ニッケルが含まれていればよく、ニッケルが含まれているか否かは、WDX/TEMなどの組成分析によって判断できる。シリコン系酸化物についてもニッケル系酸化物同様に、シリコンが含まれていればよく、シリコンが含まれているか否かは、WDX/TEMなどの組成分析によって判断できる。
第1内部ニッケル電極層15aの第1引き出し部151aの端部は第1端面Caに露出し、第1外部ニッケル層4aを介して第1外部銅電極層3aに電気的に接続され、また第1外部ニッケル層4aよりも幅方向Wの両側の領域では、直接、第1外部銅電極層3aに電気的に接続されている。
第2内部ニッケル電極層15bの第2引き出し部151bの端部は第2端面Cbに露出し、第2外部ニッケル層4bを介して第2外部銅電極層3bに電気的に接続され、また第2外部ニッケル層4bよりも幅方向Wの両側の領域では、直接、第2外部銅電極層3bに電気的に接続されている。
これにより、第1外部銅電極層3aと第2外部銅電極層3bとの間は、複数のコンデンサ要素が電気的に並列に接続された構造となっている。
第2内部ニッケル電極層15bの第2引き出し部151bの端部は第2端面Cbに露出し、第2外部ニッケル層4bを介して第2外部銅電極層3bに電気的に接続され、また第2外部ニッケル層4bよりも幅方向Wの両側の領域では、直接、第2外部銅電極層3bに電気的に接続されている。
これにより、第1外部銅電極層3aと第2外部銅電極層3bとの間は、複数のコンデンサ要素が電気的に並列に接続された構造となっている。
上述したように、積層体2の外部に露出している内部ニッケル電極層15の全てが外部ニッケル層4で覆われているわけではない。内部ニッケル電極層15の幅方向Wの両端部は外部ニッケル層4で覆われていない。
この両端部において、内部ニッケル電極層15と直接接触し、外部銅電極層3と内部ニッケル電極層15の前記両端部との間で、銅とニッケルとの相互拡散領域が存在する。
したがって、この相互拡散領域において外部銅電極層3と内部ニッケル電極層15とが直接接合するので強固な接合が確保される。
この両端部において、内部ニッケル電極層15と直接接触し、外部銅電極層3と内部ニッケル電極層15の前記両端部との間で、銅とニッケルとの相互拡散領域が存在する。
したがって、この相互拡散領域において外部銅電極層3と内部ニッケル電極層15とが直接接合するので強固な接合が確保される。
(めっき層)
また、図2、図に示すように外部銅電極層3の外側には、さらにニッケルめっき層31と錫めっき層32とが形成されている。
また、図2、図に示すように外部銅電極層3の外側には、さらにニッケルめっき層31と錫めっき層32とが形成されている。
(積層セラミックコンデンサ1の製造方法)
図7は、積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明するフローチャートである。積層セラミックコンデンサ1の製造方法は、積層体2を準備する積層体準備工程S1を含む。積層体準備工程S1は、素材シート準備工程S11と、素材シート積層工程S12と、マザーブロック形成工程S13と、マザーブロック切断工程S14と、サイドギャップ部形成工程S15とを含む。図8は積層体準備工程S1を説明する図である。
図7は、積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明するフローチャートである。積層セラミックコンデンサ1の製造方法は、積層体2を準備する積層体準備工程S1を含む。積層体準備工程S1は、素材シート準備工程S11と、素材シート積層工程S12と、マザーブロック形成工程S13と、マザーブロック切断工程S14と、サイドギャップ部形成工程S15とを含む。図8は積層体準備工程S1を説明する図である。
(素材シート準備工程S11)
素材シート準備工程S11において、まず、バリウム、チタン及びジスプロシウムを含むセラミックス粉末、バインダ及び溶剤を含むセラミックスラリーが準備される。このセラミックスラリーがキャリアフィルム上においてダイコータ、グラビアコータ、マイクログラビアコータ等を用いてシート状に成形されることで、積層用セラミックグリーンシート101が製作される。
また、上部外層部12aとなる上部外層部用セラミックグリーンシート112及び下部外層部12bとなる下部外層部用セラミックグリーンシート113も同様に作製される。
素材シート準備工程S11において、まず、バリウム、チタン及びジスプロシウムを含むセラミックス粉末、バインダ及び溶剤を含むセラミックスラリーが準備される。このセラミックスラリーがキャリアフィルム上においてダイコータ、グラビアコータ、マイクログラビアコータ等を用いてシート状に成形されることで、積層用セラミックグリーンシート101が製作される。
また、上部外層部12aとなる上部外層部用セラミックグリーンシート112及び下部外層部12bとなる下部外層部用セラミックグリーンシート113も同様に作製される。
続いて、この積層用セラミックグリーンシート101に、ニッケルを主成分としてガラス(シリコン酸化物)成分も含む導電体ペースト102が帯状のパターンを有するようにスクリーン印刷、インクジェット印刷、グラビア印刷等によって印刷される。
これにより、図8(a)に示すように、誘電体層14となる積層用セラミックグリーンシート101の表面に内部ニッケル電極層15となる導電体ペースト102が印刷された素材シート103が準備される。
(素材シート積層工程S12)
次いで、素材シート積層工程S12において、図8(b)に示すように、素材シート103が複数枚積層される。具体的には、帯状の導電体ペースト102が同一の方向を向き且つその帯状の導電体ペースト102が隣り合う素材シート103間において幅方向において半ピッチずつずれた状態になるように、複数の素材シート103が積み重ねられる。さらに、複数枚積層された素材シート103の一方の側に、上部外層部12aとなる上部外層部用セラミックグリーンシート112が積み重ねられ、他方の側に下部外層部12bとなる下部外層部用セラミックグリーンシート113が積み重ねられる。
次いで、素材シート積層工程S12において、図8(b)に示すように、素材シート103が複数枚積層される。具体的には、帯状の導電体ペースト102が同一の方向を向き且つその帯状の導電体ペースト102が隣り合う素材シート103間において幅方向において半ピッチずつずれた状態になるように、複数の素材シート103が積み重ねられる。さらに、複数枚積層された素材シート103の一方の側に、上部外層部12aとなる上部外層部用セラミックグリーンシート112が積み重ねられ、他方の側に下部外層部12bとなる下部外層部用セラミックグリーンシート113が積み重ねられる。
(マザーブロック形成工程S13)
続いて、マザーブロック形成工程S13において、上部外層部用セラミックグリーンシート112と、積み重ねられた複数の素材シート103と、下部外層部用セラミックグリーンシート113とを熱圧着する。これにより、図8(c)に示すマザーブロック110が形成される。
続いて、マザーブロック形成工程S13において、上部外層部用セラミックグリーンシート112と、積み重ねられた複数の素材シート103と、下部外層部用セラミックグリーンシート113とを熱圧着する。これにより、図8(c)に示すマザーブロック110が形成される。
(マザーブロック切断工程S14)
次いで、マザーブロック切断工程S14において、マザーブロック110を、図8(c)に示す、積層体本体10の寸法に対応した切断線X及び切断線Xと交差する切断線Yに沿って切断する。これにより、図8(d)に示す積層体本体10が製造される。なお、実施形態で切断線Yは切断線Xと直交している。このとき、積層体本体10の側部には、内部ニッケル電極層15が露出している。
次いで、マザーブロック切断工程S14において、マザーブロック110を、図8(c)に示す、積層体本体10の寸法に対応した切断線X及び切断線Xと交差する切断線Yに沿って切断する。これにより、図8(d)に示す積層体本体10が製造される。なお、実施形態で切断線Yは切断線Xと直交している。このとき、積層体本体10の側部には、内部ニッケル電極層15が露出している。
(サイドギャップ部形成工程S15)
次に、サイドギャップ部形成工程S15において、積層用セラミックグリーンシート101と同様のバリウム、チタン及びジスプロシウムを含み、且つシリコン酸化物及びリンを含む誘電体粉末に、マグネシウムが焼結助剤として加えられたセラミックスラリーが作製される。
そして、樹脂フィルム上に、セラミックスラリーを塗布し、乾燥して、サイドギャップ部用セラミックグリーンシート114が作製される。
サイドギャップ部用セラミックグリーンシート114は、インナー層30in用と、アウター層30ou用とが作製される。
次に、サイドギャップ部形成工程S15において、積層用セラミックグリーンシート101と同様のバリウム、チタン及びジスプロシウムを含み、且つシリコン酸化物及びリンを含む誘電体粉末に、マグネシウムが焼結助剤として加えられたセラミックスラリーが作製される。
そして、樹脂フィルム上に、セラミックスラリーを塗布し、乾燥して、サイドギャップ部用セラミックグリーンシート114が作製される。
サイドギャップ部用セラミックグリーンシート114は、インナー層30in用と、アウター層30ou用とが作製される。
そして、図8(e)に示すように積層体本体10の内部ニッケル電極層15が露出しているLT側面を、まず、インナー層30in用のサイドギャップ部用セラミックグリーンシート114に押し付ける。これにより、サイドギャップ部用セラミックグリーンシート114が、積層体本体10のLT側面に圧着されるとともに、積層体本体10のLT側面の端部において剪断力が作用して、サイドギャップ部用セラミックグリーンシート114が打ち抜かれる。このようにして積層体本体10のLT側面の一面を、サイドギャップ部用セラミックグリーンシート114によって覆う。次いで、積層体本体10のLT側面の他面も同様に、インナー層30in用のサイドギャップ部用セラミックグリーンシート114によって覆う。
さらに、アウター層30ou用のサイドギャップ部用セラミックグリーンシート114も同様にして、積層体本体10のLT側面におけるインナー層30in用のサイドギャップ部用セラミックグリーンシート114の外側の両面を覆う。
これにより、図8(f)に示すように積層体本体10のLT側面にインナー層30inとアウター層30ouとの2層のサイドギャップ部30が張り付けられた、焼結前の状態の積層体2が形成される。
これにより、図8(f)に示すように積層体本体10のLT側面にインナー層30inとアウター層30ouとの2層のサイドギャップ部30が張り付けられた、焼結前の状態の積層体2が形成される。
(ニッケルシート貼付工程S2)
図9は積層セラミックコンデンサ1の製造方法における、ニッケルシート貼付工程S2以降の工程を説明する図である。ニッケルシート貼付工程S2において、図9(a)に示すように焼結前の状態の積層体2の端面Cに、サイドギャップ部用セラミックグリーンシート114の貼り付けと同様に、外部ニッケル層4となるニッケルシート115を押し付ける。なお、ニッケルシート115の材料としては、ニッケルに共材の誘電体としてガラスが含まれている。
これにより、ニッケルシート115が、積層体2の端面Cに圧着されるとともに、積層体2の端面Cの端部において剪断力が作用して、ニッケルシート115が打ち抜かれる。
このようにして、積層体2の端面Cの一面を、ニッケルシート115によって覆う。
次いで、積層体2の端面Cの他面も同様に、ニッケルシート115によって覆う。
なお、この際、図9(b)に示すように積層体2の端面Cのみならずの主面A及び側面Bの一部も、ニッケルシート115によって覆われている。
図9は積層セラミックコンデンサ1の製造方法における、ニッケルシート貼付工程S2以降の工程を説明する図である。ニッケルシート貼付工程S2において、図9(a)に示すように焼結前の状態の積層体2の端面Cに、サイドギャップ部用セラミックグリーンシート114の貼り付けと同様に、外部ニッケル層4となるニッケルシート115を押し付ける。なお、ニッケルシート115の材料としては、ニッケルに共材の誘電体としてガラスが含まれている。
これにより、ニッケルシート115が、積層体2の端面Cに圧着されるとともに、積層体2の端面Cの端部において剪断力が作用して、ニッケルシート115が打ち抜かれる。
このようにして、積層体2の端面Cの一面を、ニッケルシート115によって覆う。
次いで、積層体2の端面Cの他面も同様に、ニッケルシート115によって覆う。
なお、この際、図9(b)に示すように積層体2の端面Cのみならずの主面A及び側面Bの一部も、ニッケルシート115によって覆われている。
なお、ニッケルにガラスが添加されたペーストが充填されたニッケルペースト槽に浸漬させ、積層体2にニッケルペーストを塗布してもよい。この場合、外部ニッケル層4の端面の厚みを均一にするため、ニッケルペースト塗布後、定盤等に押し付け、余分なペーストを欠き取る。
(バレル工程S3)
次に、バレル工程S3において、図9(a)に示すニッケルシート115に端面Cが覆われた積層体2に対してバレル研磨を施す。これにより、図9(c)及び図5に示すように、積層体2の角部R1及び稜線部R2に丸みがつけられる。
また、積層体2の主面A及び側面Bを覆っていたニッケルシート115も削られ、ニッケルシート115は端面Cの外周よりも一回り小さい領域にのみ残る。
次に、バレル工程S3において、図9(a)に示すニッケルシート115に端面Cが覆われた積層体2に対してバレル研磨を施す。これにより、図9(c)及び図5に示すように、積層体2の角部R1及び稜線部R2に丸みがつけられる。
また、積層体2の主面A及び側面Bを覆っていたニッケルシート115も削られ、ニッケルシート115は端面Cの外周よりも一回り小さい領域にのみ残る。
(フッ素層形成工程S4)
次いで、フッ素層形成工程S4において、外部ニッケル層4を有する積層体2の表面に図9(e)に符号で示すようにフッ素層40を形成する。
次いで、フッ素層形成工程S4において、外部ニッケル層4を有する積層体2の表面に図9(e)に符号で示すようにフッ素層40を形成する。
(外部ニッケル層形成工程S5)
外部ニッケル層形成工程S5において、ニッケルシート115が貼り付けられた焼結前の積層体2は、所定の条件で脱脂処理された後、窒素-水素-水蒸気の混合雰囲気中、所定の温度で焼成される。これにより、図9(e)に示すようにニッケルシート115が焼成されて外部ニッケル層4が形成される。
この際、バレル工程S3において、積層体2の主面A及び側面Bを覆っていたニッケルシート115が削られ、ニッケルシート115は端面Cの外周よりも一回り小さい領域にのみ残っているので、焼成時に生じる圧縮応力が軽減される。
外部ニッケル層形成工程S5において、ニッケルシート115が貼り付けられた焼結前の積層体2は、所定の条件で脱脂処理された後、窒素-水素-水蒸気の混合雰囲気中、所定の温度で焼成される。これにより、図9(e)に示すようにニッケルシート115が焼成されて外部ニッケル層4が形成される。
この際、バレル工程S3において、積層体2の主面A及び側面Bを覆っていたニッケルシート115が削られ、ニッケルシート115は端面Cの外周よりも一回り小さい領域にのみ残っているので、焼成時に生じる圧縮応力が軽減される。
ここで、焼結時にサイドギャップ部30のマグネシウムは、内部ニッケル電極層15側に移動する。これにより焼結後、サイドギャップ部30のマグネシウムは内部ニッケル電極層15側に偏析する。
なお、誘電体層14とサイドギャップ部30とは、略同じ材料で製造されているが、サイドギャップ部30は、誘電体層14を含む積層体本体10に張り付けたものであるので、焼結後においても、サイドギャップ部30と積層体本体10との間には界面が存在している。
なお、誘電体層14とサイドギャップ部30とは、略同じ材料で製造されているが、サイドギャップ部30は、誘電体層14を含む積層体本体10に張り付けたものであるので、焼結後においても、サイドギャップ部30と積層体本体10との間には界面が存在している。
(銅膜形成工程S6)
銅膜形成工程S6は、第1銅膜形成工程S61と、第1欠き取り工程S62と、第2銅膜形成工程S63と、第2欠き取り工程S64とを含む。
銅膜形成工程S6は、第1銅膜形成工程S61と、第1欠き取り工程S62と、第2銅膜形成工程S63と、第2欠き取り工程S64とを含む。
(第1銅膜形成工程S61)
第1銅膜形成工程S61は、図9(f)に示すように、外部ニッケル層4形成されている端面Cを、ガラス入りの銅ペースト116に浸漬させる。
第1銅膜形成工程S61は、図9(f)に示すように、外部ニッケル層4形成されている端面Cを、ガラス入りの銅ペースト116に浸漬させる。
この際、積層体2の表面にフッ素層40が形成されて撥水性が向上しているため、銅ペースト116が積層体2の表面を過剰に濡れ上り、曲面状の三日月形状になることが防止される。
ゆえに、図9(g)に示すように、積層体2の主面A及び側面B側において銅ペーストの境界116aが平らになるので、主面A及び側面B側への銅ペースト116の回り込み量を制御することができ、外部銅電極層3の大きさを制御することができる。
ゆえに、図9(g)に示すように、積層体2の主面A及び側面B側において銅ペーストの境界116aが平らになるので、主面A及び側面B側への銅ペースト116の回り込み量を制御することができ、外部銅電極層3の大きさを制御することができる。
(第1欠き取り工程S62)
第1欠き取り工程S62は、図9(g)に示すように、銅ペースト116の端面の厚みを均一にするため、銅ペースト116塗布後、定盤118等に押し付け、余分な銅ペースト116を欠き取る。一方の端面C側の銅ペースト116が乾燥した後、他方の端面Cも同様に銅ペースト116を塗布する。
第1欠き取り工程S62は、図9(g)に示すように、銅ペースト116の端面の厚みを均一にするため、銅ペースト116塗布後、定盤118等に押し付け、余分な銅ペースト116を欠き取る。一方の端面C側の銅ペースト116が乾燥した後、他方の端面Cも同様に銅ペースト116を塗布する。
(第2銅膜形成工程S63)
第2銅膜形成工程S63は、図9(h)に示すように、図9(f)に示すように、外部ニッケル層4形成されている端面Cを、ガラス入りの銅ペースト117に浸漬させる。銅ペースト117は、第1銅膜形成工程S61における銅ペースト116よりもガラスの含有量が多い。
第2銅膜形成工程S63は、図9(h)に示すように、図9(f)に示すように、外部ニッケル層4形成されている端面Cを、ガラス入りの銅ペースト117に浸漬させる。銅ペースト117は、第1銅膜形成工程S61における銅ペースト116よりもガラスの含有量が多い。
(第2欠き取り工程S64)
第2欠き取り工程S64は、図9(i)に示すように第1欠き取り工程S62と同様に、外部銅電極層3の端面の厚みを均一にするため、銅ペースト117塗布後、定盤118等に押し付け、余分な銅ペースト117を欠き取る。一方の端面C側の銅ペースト117が乾燥した後、他方の端面Cも同様に銅ペースト117を塗布する。
第2欠き取り工程S64は、図9(i)に示すように第1欠き取り工程S62と同様に、外部銅電極層3の端面の厚みを均一にするため、銅ペースト117塗布後、定盤118等に押し付け、余分な銅ペースト117を欠き取る。一方の端面C側の銅ペースト117が乾燥した後、他方の端面Cも同様に銅ペースト117を塗布する。
(外部銅電極層形成工程S7)
外部銅電極層形成工程S7は、銅ペースト116が乾燥した後、図9(j)に示すように窒素雰囲気且つ酸素分圧PO2が、
10-9≦PO2≦10-13Pa 且つ
焼付温度TYが、
700℃≦TY≦950℃
の条件下で、所定時間、焼成を行うことで外部銅電極層3を形成する。
外部銅電極層形成工程S7は、銅ペースト116が乾燥した後、図9(j)に示すように窒素雰囲気且つ酸素分圧PO2が、
10-9≦PO2≦10-13Pa 且つ
焼付温度TYが、
700℃≦TY≦950℃
の条件下で、所定時間、焼成を行うことで外部銅電極層3を形成する。
外部銅電極層形成工程S7において、外部銅電極層3と外部ニッケル層4との間に反応層ができる。この反応層は、外部銅電極層3に含まれるガラス成分を含むコンポジットとしてニッケル系酸化物及び/又はシリコン系酸化物を含む、すなわちニッケル系酸化物又はシリコン系酸化物の少なくとも一方を含む反応層である。
外部ニッケル層4を設けることで、内部ニッケル電極層15が外部銅電極層3の銅が内部ニッケル電極層15に過剰に侵入することが防止され、これにより内部ニッケル電極層15に生じるクラックの発生が防止される。
また、内部ニッケル電極層15と、外部銅電極層3とが直接接する部分があり、内部ニッケル電極層15と、外部銅電極層3との強固な接合は確保される。
外部銅電極層3にガラスが含まれているので、ガラスにより耐湿性が確保され、次に続くめっき工程において、めっきの付着性及び固着力が付与される。
(ニッケルめっき工程S8)
ニッケルめっき工程S8は、図9(k)に示すように、外部銅電極層3の外周にニッケルめっき層31が形成される。この際、外部銅電極層3が設けられているので、めっき液に浸す際においても積層体2の内部への水の侵入が防止される。
ニッケルめっき工程S8は、図9(k)に示すように、外部銅電極層3の外周にニッケルめっき層31が形成される。この際、外部銅電極層3が設けられているので、めっき液に浸す際においても積層体2の内部への水の侵入が防止される。
(錫めっき工程S9)
次いで、図9(l)に示すように、外部銅電極層3の外周に錫めっき層32が形成される。
次いで、図9(l)に示すように、外部銅電極層3の外周に錫めっき層32が形成される。
上記工程により、実施形態の積層セラミックコンデンサ1が製造される。以上、本発明の実施形態について説明したが、この実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変形される。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図10は本発明の第2実施形態の積層セラミックコンデンサ1のLT断面の部分拡大図である。図11は、第2実施形態の積層セラミックコンデンサ1のLW断面の部分拡大図である。以下の説明において第1実施形態と同様の部分には同一の符号を付して説明を省略する。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。図10は本発明の第2実施形態の積層セラミックコンデンサ1のLT断面の部分拡大図である。図11は、第2実施形態の積層セラミックコンデンサ1のLW断面の部分拡大図である。以下の説明において第1実施形態と同様の部分には同一の符号を付して説明を省略する。
第2実施形態が第1実施形態と異なる点は、外部ニッケル層4と外部銅電極層3との間に導電性の熱硬化性樹脂層33が設けられている点である。熱硬化性樹脂層33の材料としては、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられ、熱硬化性樹脂層33内に金属フィラー33aが含まれている。金属フィラー33aは例えば銅であり、銅の場合、マイグレーションの防止になる。
銅の金属フィラー33aは錫でコートされていてもよく、錫が外部ニッケル層4と拡散接合することで、金属抵抗を抑えることができ、結果としてRDC(直流抵抗)を低下できる。金属フィラー33aは銀であってもよい。銀にすることによりRDCをさらに抑えることができる。
図11に示すように、金属フィラー33aと内部ニッケル電極層15のニッケルとが反応することで、金属フィラー33aが内部ニッケル電極層15のニッケル近辺に集まり、突起物33bが形成される。
銅の金属フィラー33aは錫でコートされていてもよく、錫が外部ニッケル層4と拡散接合することで、金属抵抗を抑えることができ、結果としてRDC(直流抵抗)を低下できる。金属フィラー33aは銀であってもよい。銀にすることによりRDCをさらに抑えることができる。
図11に示すように、金属フィラー33aと内部ニッケル電極層15のニッケルとが反応することで、金属フィラー33aが内部ニッケル電極層15のニッケル近辺に集まり、突起物33bが形成される。
(第3実施形態)
図12は、第3実施形態の積層セラミックコンデンサのLT断面の部分拡大図であり、図13は、第3実施形態の積層セラミックコンデンサのLW断面の部分拡大図である。第2実施形態と異なる点は、外部銅電極層3の外側に導電性の熱硬化性樹脂層33が設けられている点である。
第3実施形態では、熱硬化性樹脂層33は外部銅電極層3の全面を覆うことなく、外部銅電極層3の角部は覆っていない。すなわち、熱硬化性樹脂層33の積層方向Tの寸法をT3、前記積層体の積層方向Tの寸法T0としたときに、
T3<T0
である。
また、熱硬化性樹脂層33の幅方向の寸法をW3、積層体2の前記幅方向の寸法をW0としたときに、
W3<W0
である。
図12は、第3実施形態の積層セラミックコンデンサのLT断面の部分拡大図であり、図13は、第3実施形態の積層セラミックコンデンサのLW断面の部分拡大図である。第2実施形態と異なる点は、外部銅電極層3の外側に導電性の熱硬化性樹脂層33が設けられている点である。
第3実施形態では、熱硬化性樹脂層33は外部銅電極層3の全面を覆うことなく、外部銅電極層3の角部は覆っていない。すなわち、熱硬化性樹脂層33の積層方向Tの寸法をT3、前記積層体の積層方向Tの寸法T0としたときに、
T3<T0
である。
また、熱硬化性樹脂層33の幅方向の寸法をW3、積層体2の前記幅方向の寸法をW0としたときに、
W3<W0
である。
以上、第2実施形態及び第3実施形態によると、熱硬化性樹脂層33が設けられている。熱硬化性樹脂層33は、熱硬化性樹脂を含むため、例えば、めっき層や外部銅電極層3や外部ニッケル層4よりも柔軟性に富んでいる。このため、積層セラミックコンデンサ1に物理的な衝撃や熱サイクルに起因する衝撃が加わった場合であっても、熱硬化性樹脂層33が緩衝層として機能し、積層セラミックコンデンサ1にクラックが発生することを抑制する。
また、熱硬化性樹脂層33が水分を吸収するので、積層セラミックコンデンサ1の耐湿信頼性を向上することもできる。
また、熱硬化性樹脂層33が水分を吸収するので、積層セラミックコンデンサ1の耐湿信頼性を向上することもできる。
1 積層セラミックコンデンサ
2 積層体
3 外部銅電極層
4 外部ニッケル層
10 積層体本体
11 内層部
12 外層部
12a 上部外層部
12b 下部外層部
14 誘電体層
15 内部ニッケル電極層
15A 偏析層
30 サイドギャップ部
30in インナー層
30ou アウター層
31 ニッケルめっき層
32 錫めっき層
33 熱硬化性樹脂層
33a 金属フィラー
33b 突起物
40 フッ素層
41 非被覆領域
118 定盤
153 柱部材
2 積層体
3 外部銅電極層
4 外部ニッケル層
10 積層体本体
11 内層部
12 外層部
12a 上部外層部
12b 下部外層部
14 誘電体層
15 内部ニッケル電極層
15A 偏析層
30 サイドギャップ部
30in インナー層
30ou アウター層
31 ニッケルめっき層
32 錫めっき層
33 熱硬化性樹脂層
33a 金属フィラー
33b 突起物
40 フッ素層
41 非被覆領域
118 定盤
153 柱部材
Claims (7)
- 誘電体層と内部ニッケル電極層とが交互に積層された内層部を有し、積層方向と交差する長さ方向の両側にそれぞれ設けられた端面に、前記内部ニッケル電極層が露出している積層体本体、並びに、
前記積層体本体における、前記積層方向及び前記長さ方向と交差する幅方向の両側にそれぞれ設けられたサイドギャップ部を備える積層体と、
前記積層体の前記端面にそれぞれ配置された外部ニッケル層と、
前記外部ニッケル層が配置された前記端面のそれぞれを覆う外部銅電極層と、
を具備する電子部品であって、
前記外部ニッケル層の前記積層方向の寸法TN、前記内層部の前記積層方向の寸法T1としたときに、
T1<TN であり、
前記外部ニッケル層の前記幅方向の寸法WN、前記内層部の幅方向の寸法W1としたときに、
WN<W1 であるとともに、
前記外部ニッケル層自体は、
WN<TNであり、
前記内層部は、幅方向において前記外部ニッケル層に覆われていない非被覆領域を有し、該非被覆領域において前記内部ニッケル電極層と前記外部銅電極層とが直接接合され、前記内部ニッケル電極層内に前記外部銅電極層の銅が拡散された拡散領域が形成されている、
電子部品。 - 前記内層部の前記積層方向の一方の側に設けられた上部外層部と他方の側に設けられた下部外層部とを備え、
前記下部外層部の積層方向の厚みは、前記上部外層部の積層方向の厚みより厚い、
請求項1に記載の電子部品。 - 前記下部外層部の厚みは、前記上部外層部の厚みの3倍以上である、
請求項2に記載の電子部品。 - 前記下部外層部の厚みは、前記上部外層部の厚みの4倍以上である、
請求項2又は請求項3に記載の電子部品。 - 前記積層体の前記幅方向の寸法W0、前記積層方向Tの寸法T0としたときに、
W0<T0 である、
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の電子部品。 - 前記内層部の前記幅方向の寸法W1、前記積層方向Tの寸法T1としたときに、
T1<W1 である、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の電子部品。 - 前記電子部品は、積層セラミックコンデンサである、
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の電子部品。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020116886A JP2022014533A (ja) | 2020-07-07 | 2020-07-07 | 電子部品 |
US17/366,139 US11476050B2 (en) | 2020-07-07 | 2021-07-02 | Electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020116886A JP2022014533A (ja) | 2020-07-07 | 2020-07-07 | 電子部品 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022014533A true JP2022014533A (ja) | 2022-01-20 |
Family
ID=79172882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020116886A Pending JP2022014533A (ja) | 2020-07-07 | 2020-07-07 | 電子部品 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11476050B2 (ja) |
JP (1) | JP2022014533A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220139631A1 (en) * | 2020-11-02 | 2022-05-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer ceramic capacitor |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021174829A (ja) * | 2020-04-22 | 2021-11-01 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
JP2021174837A (ja) * | 2020-04-23 | 2021-11-01 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
JP2022014534A (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 電子部品 |
JP2022014533A (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 電子部品 |
KR20220074262A (ko) * | 2020-11-27 | 2022-06-03 | 삼성전기주식회사 | 적층형 커패시터 |
KR20220074263A (ko) * | 2020-11-27 | 2022-06-03 | 삼성전기주식회사 | 적층형 커패시터 |
JP7444048B2 (ja) * | 2020-12-22 | 2024-03-06 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法 |
KR20230068021A (ko) * | 2021-11-10 | 2023-05-17 | 삼성전기주식회사 | 적층형 커패시터 |
KR20230086074A (ko) * | 2021-12-08 | 2023-06-15 | 삼성전기주식회사 | 적층형 커패시터 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006126333A1 (ja) * | 2005-05-26 | 2006-11-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 積層セラミック電子部品およびその製造方法 |
JP2013021299A (ja) * | 2011-06-16 | 2013-01-31 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品 |
JP2013051392A (ja) * | 2011-08-02 | 2013-03-14 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品 |
JP6935707B2 (ja) * | 2016-12-22 | 2021-09-15 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
JP6787364B2 (ja) * | 2018-05-16 | 2020-11-18 | 株式会社村田製作所 | 導電性ペースト |
JP2019201106A (ja) * | 2018-05-16 | 2019-11-21 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
JP7124528B2 (ja) | 2018-07-31 | 2022-08-24 | Tdk株式会社 | 積層セラミック電子部品 |
JP2022014534A (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 電子部品 |
JP2022014532A (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 電子部品及び電子部品の製造方法 |
JP2022014536A (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 電子部品 |
JP2022014533A (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 電子部品 |
JP2022014535A (ja) * | 2020-07-07 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 電子部品 |
-
2020
- 2020-07-07 JP JP2020116886A patent/JP2022014533A/ja active Pending
-
2021
- 2021-07-02 US US17/366,139 patent/US11476050B2/en active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220139631A1 (en) * | 2020-11-02 | 2022-05-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer ceramic capacitor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11476050B2 (en) | 2022-10-18 |
US20220013291A1 (en) | 2022-01-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2022014533A (ja) | 電子部品 | |
CN112614697B (zh) | 层叠陶瓷电容器 | |
US12020867B2 (en) | Electronic component | |
JP2022014536A (ja) | 電子部品 | |
KR102112107B1 (ko) | 전자부품 및 전자부품의 제조 방법 | |
JP2022014532A (ja) | 電子部品及び電子部品の製造方法 | |
TWI623000B (zh) | Laminated coil parts | |
KR102632357B1 (ko) | 커패시터 부품 | |
JP7081543B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
US11594377B2 (en) | Electronic component including diffusion regions | |
JP7235088B2 (ja) | 積層型電子部品 | |
CN114334441B (zh) | 层叠陶瓷电容器 | |
JP7151543B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
CN114334443B (zh) | 层叠陶瓷电容器 | |
KR101973442B1 (ko) | 적층 세라믹 커패시터 및 그의 제조 방법 | |
US11784003B2 (en) | Electronic component | |
CN116344211B (zh) | 层叠陶瓷电容器及层叠陶瓷电容器的安装构造 | |
JP2022073617A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP2023086651A (ja) | 積層セラミックキャパシタ | |
JP2015043424A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP2023056513A (ja) | 積層型電子部品 | |
CN216015096U (zh) | 层叠陶瓷电容器 | |
WO2024142672A1 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
CN119731754A (zh) | 层叠陶瓷电容器 | |
WO2024247504A1 (ja) | 積層セラミックコンデンサ |