JP7044492B2 - 流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。

従来、記録紙等の被記録媒体に液滴状のインクを吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタがある。インクジェットヘッドは、例えば各色に対応する複数のジェットモジュールがキャリッジに搭載されて構成されている。

上述したジェットモジュールは、インクを吐出するヘッドチップや、ヘッドチップにインクを供給するインク流路が形成された流路部材を備えている（例えば、下記特許文献１参照）。

特開２０１４－１５１５３９号公報

ところで、上述したインク流路では、上流から下流に向かうに従い流路幅を拡大させる場合がある。このとき、流路深さを一定にした状態で流路幅を拡大すると、インク流路の流路断面積が急拡大する。すると、インク流路にインクを充填しきれず、非充填領域の空気が気泡となってインク流路に滞留するおそれがある。インク流路に気泡が滞留すると、吐出不良の原因となる。

本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、インク流路内での気泡の発生を抑制し、吐出性能に優れた流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために本発明の一態様に係る流路部材は、液体の供給源とヘッドチップとの間を連通させる液体流路が形成された流路板を備え、前記液体流路は、上流側に位置する幅狭流路と、前記幅狭流路に対して下流側に位置する幅広流路と、前記幅狭流路と前記幅広流路とを接続する接続流路と、を備え、前記接続流路は、上流側から下流側に向かうに従い流路幅が除々に広くなる一方、上流側から下流側に向かうに従い流路深さが徐々に浅くなっており、前記接続流路の下流端での流路断面積は、上流端での流路断面積よりも小さい。

この構成によれば、接続流路において、上流側から下流側に向かうに従い流路幅を除々に広くする一方、上流側から下流側に向かうに従い流路深さを徐々に浅くすることで、流路幅の拡大に伴う流路断面積の変化量を緩やかにすることができる。これにより、流路断面積の急拡大に伴う気泡の発生を抑制できる。

また、本態様によれば、接続流路の下流端での流路断面積を上流端での流路断面積よりも小さくすることで、下流端での流速を上流端での流速よりも速めることができる。そのため、仮に接続流路内で気泡が存在した場合に、気泡を接続流路よりも下流側に押し流すことができる。その結果、接続流路内での気泡の滞留を抑制できる。

上記態様に係る流路部材において、前記流路幅及び前記流路深さが、上流側から下流側に向かうに従い漸次変化してもよい。
本態様によれば、接続流路において、流路断面積が漸次変化するので、接続流路での流速変化が一定になる。そのため、接続流路において、上流側から下流側に向けて液体をスムーズに流通させることができるとともに、接続流路内に滞留する気泡を下流側に効率的に押し流すことができる。

上記態様に係る流路部材において、前記幅広流路は、前記流路板の厚さ方向に沿って液体が流通し、前記幅広流路には、液体を濾過するフィルタが配置されていてもよい。
本態様によれば、液体がフィルタを通過する際に、液体に含まれる異物や気泡を捕捉できる。
特に、本態様では、幅広流路内で流路板の厚さ方向に液体を流通させることで、フィルタの厚さ方向を流路板の厚さ方向に沿わせてフィルタを配置できる。これにより、フィルタ自体の面積を拡大させるにあたって、流路板を厚くする必要がない。そのため、フィルタ面積を確保した上で、薄型の流路部材を提供できる。

上記態様に係る流路部材において、前記流路板には、前記流路板の幅方向において前記フィルタよりも外側に位置する部分で前記幅広流路と前記液体流路の外部とを連通させる気泡排出部が形成されていてもよい。
本態様によれば、液体が幅広流路内を幅方向の外側に向けて流通する過程で、フィルタで捕捉された気泡や幅広流路内で滞留する気泡を、気泡排出部に向けて押し出すことができる。これにより、気泡排出部を通じて気泡を効果的に排出できる。

上記態様に係る流路部材において、前記流路板は、前記流路板の幅方向及び前記厚さ方向に交差する方向が重力方向に沿って配置され、前記流路板には、前記フィルタよりも上方に位置する部分で前記幅広流路と前記液体流路の外部とを連通させる気泡排出部が形成されていてもよい。
本態様によれば、幅広流路内で浮かび上がった気泡が気泡排出部に導かれる。そのため、気泡排出部を通じて気泡を効果的に排出できる。

上記態様に係る流路部材において、前記気泡排出部は、前記幅広流路における前記幅方向の中心に対して線対称となる位置に一対で形成されていてもよい。
本態様によれば、気泡排出部が幅方向の中心に対して一方のみに配置されている場合に比べ、幅広流路内の気泡を効果的に排出できる。

本発明の一態様に係る液体噴射ヘッドは、上記態様に係る流路部材を備えている。
本態様によれば、気泡に起因する噴射ムラを抑制し、噴射性能に優れた液体噴射ヘッドを提供できる。

本発明の一態様に係る液体噴射装置は、上記態様に係る液体噴射ヘッドを備えている。
本態様によれば、気泡に起因する噴射ムラを抑制し、噴射性能に優れた液体噴射装置を提供できる。

本発明の一態様によれば、液体流路内での気泡の発生を抑制し、噴射性能に優れた流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供できる。

実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。 実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。 実施形態に係るインクジェットヘッドにおいて、一部を分解した斜視図である。 実施形態に係るインクジェットヘッドにおいて、ベース部材と第１ジェットモジュールの分解斜視図である。 実施形態に係る第１ジェットモジュールの分解斜視図である。 実施形態に係る吐出部の分解斜視図である。 図６のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿う断面図である。 実施形態に係る第１流路部材において、第１流路板から＋Ｙ方向に展開させた分解斜視図である。 実施形態に係る第１流路板を＋Ｙ方向から見た正面図である。 図８のＸ－Ｘ線に相当する第１ジェットモジュールの断面図である。 図１０のＸＩ部拡大図である。 実施形態に係る第１流路部材において、第１流路板から－Ｙ方向に展開させた分解斜視図である。 実施形態に係る第２流路板を＋Ｙ方向から見た正面図である。 図２のＸＩＶ－ＸＩＶ線に沿う部分断面図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

［プリンタ］
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、一対の搬送機構２，３と、インク供給機構４と、インクジェットヘッド５Ａ，５Ｂと、走査機構６と、を備えている。なお、以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。この場合、Ｘ方向は被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向（副走査方向）に一致している。Ｙ方向は走査機構６の走査方向（主走査方向）に一致している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する高さ方向（重力方向）を示している。以下の説明では、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のうち、図中矢印方向をプラス（＋）方向とし、矢印とは反対の方向をマイナス（－）方向として説明する。本実施形態において、＋Ｚ方向は重力方向の上方に相当し、－Ｚ方向は重力方向の下方に相当する。

搬送機構２，３は、被記録媒体Ｐを＋Ｘ方向に搬送する。具体的に、搬送機構２は、Ｙ方向に延設されたグリットローラ１１と、グリットローラ１１に平行に延設されたピンチローラ１２と、グリットローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備えている。同様に、搬送機構３は、Ｙ方向に延設されたグリットローラ１３と、グリットローラ１３に平行に延設されたピンチローラ１４と、グリットローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備えている。

インク供給機構４は、インクが収容されたインクタンク１５と、インクタンク１５とインクジェットヘッド５Ａ，５Ｂとを接続するインク配管１６と、を備えている。
本実施形態において、インクタンク１５は、Ｘ方向に複数並べられている。各インクタンク１５には、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクが各別に収容されている。
インク配管１６は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースである。インク配管１６は、各インクタンク１５と各インクジェットヘッド５Ａ，５Ｂとの間を接続している。

走査機構６は、インクジェットヘッド５Ａ，５ＢをＹ方向に往復走査させる。具体的に、走査機構６は、Ｙ方向に延設された一対のガイドレール２１，２２と、一対のガイドレール２１，２２に移動可能に支持されたキャリッジ２３と、キャリッジ２３をＹ方向に移動させる駆動機構２４と、を備えている。

駆動機構２４は、Ｘ方向におけるガイドレール２１，２２の間に配設されている。駆動機構２４は、Ｙ方向に間隔をあけて配設された一対のプーリ２５，２６と、一対のプーリ２５，２６間に巻回された無端ベルト２７と、一方のプーリ２５を回転駆動させる駆動モータ２８と、を備えている。

キャリッジ２３は、無端ベルト２７に連結されている。キャリッジ２３には、複数のインクジェットヘッド５Ａ，５ＢがＹ方向に並んだ状態で搭載されている。各インクジェットヘッド５Ａ，５Ｂは、１つのインクジェットヘッド５Ａ，５Ｂにつき２色のインクを吐出可能に構成されている。したがって、本実施形態のプリンタ１では、各インクジェットヘッド５Ａ，５Ｂそれぞれが互いに異なる２色のインクを吐出することで、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４色のインクを吐出可能に構成されている。

＜インクジェットヘッド＞
図２は、インクジェットヘッド５Ａの斜視図である。図３は、インクジェットヘッド５Ａにおいて、一部を分解した斜視図である。なお、インクジェットヘッド５Ａ，５Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同等の構成である。そのため、以下の説明ではインクジェットヘッド５Ａについて説明し、インクジェットヘッド５Ｂの説明を省略する。
図２、図３に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド５Ａは、ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂ（図３参照）やダンパ３１、ノズルプレート３２（図２参照）、ノズルガード３３等がベース部材３８に搭載されて構成されている。

（ベース部材）
図４は、インクジェットヘッド５Ａにおいて、ベース部材３８と第１ジェットモジュール３０Ａの分解斜視図である。
図４に示すように、ベース部材３８は、Ｚ方向を厚さ方向とし、Ｘ方向を長手方向とする板状に形成されている。ベース部材３８は、各ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂを保持するベース本体部４１と、ベース部材３８をキャリッジ２３（図１参照）に固定するためのキャリッジ固定部４２と、を有している。なお、本実施形態において、ベース部材３８は、金属材料により一体で形成されている。

ベース本体部４１には、モジュール収容部（第１モジュール収容部４４Ａ及び第２モジュール収容部４４Ｂ）が形成されている。各モジュール収容部４４Ａ，４４Ｂは、ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂに対応してＹ方向に２つ並んで形成されている。各モジュール収容部４４Ａ，４４Ｂは、ベース本体部４１をＺ方向に貫通している。各モジュール収容部４４Ａ，４４Ｂには、対応するジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂがそれぞれ差込可能とされている。すなわち、ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂは、－Ｚ方向端部が各モジュール収容部４４Ａ，４４Ｂ内に差し込まれることで、ベース部材３８から＋Ｚ方向に起立した状態でベース本体部４１に保持されている。

ベース本体部４１において、各モジュール収容部４４Ａ，４４Ｂ間に位置する部分には、各モジュール収容部４４Ａ，４４Ｂ間を仕切る仕切部４６が形成されている。
ベース本体部４１におけるＸ方向で対向する一対の短辺部４５ａ，４５ｂには、Ｘ方向の内側に向けて突出する突出壁４７が形成されている。突出壁４７は、Ｘ方向で対向する突出壁４７同士を１組として、各モジュール収容部４４Ａ，４４Ｂ毎に形成されている。

第１短辺部４５ａには第１付勢部材４８が設けられている。第１付勢部材４８は、各モジュール収容部４４Ａ，４４Ｂに対応して設けられている。各第１付勢部材４８は、第１短辺部４５ａと各ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂとの間にそれぞれ介在する板ばね状に形成されている。各第１付勢部材４８は、各ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂを第２短辺部４５ｂに向けて（－Ｘ方向）付勢する。

キャリッジ固定部４２は、ベース本体部４１の＋Ｚ方向端部からＸＹ平面に張り出している。キャリッジ固定部４２には、ベース部材３８をキャリッジ２３（図１参照）に取り付けるための取付孔等が形成されている。

（ジェットモジュール）
図３に示すように、ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂは、Ｙ方向を厚さ方向とする板状に形成されている。ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂは、インクタンク１５（図１参照）から供給されるインクを被記録媒体Ｐに向けて吐出可能に構成されている。ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂは、ベース部材３８上にＹ方向に間隔をあけて搭載されている。

本実施形態のインクジェットヘッド５Ａでは、ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂのうち、各ジェットモジュールで１色ずつインクを吐出するようになっている。なお、ベース部材３８に搭載されるジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂの数や、ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂから吐出するインクの色、種類等は、適宜変更が可能である。各ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂは、同一の構成からなるジェットモジュール同士がＹ方向で互いに逆向きでベース部材３８に搭載されている。したがって、以下の構成では、第１ジェットモジュール３０Ａを例にして説明する。

図５は、第１ジェットモジュール３０Ａの分解斜視図である。
図５に示すように、第１ジェットモジュール３０Ａは、吐出部５０と、吐出部５０を間に挟んでＹ方向で対向する第１流路部材５１Ａ及び第２流路部材５１Ｂと、を主に備えている。

（吐出部）
図６は、吐出部５０の分解斜視図である。
図６に示すように、吐出部５０は、第１ヘッドチップ５２Ａと、第１ヘッドチップ５２Ａに対して＋Ｙ方向に積層された第２ヘッドチップ５２Ｂと、を有している。各ヘッドチップ５２Ａ，５２Ｂは、後述する吐出チャネル５７における延在方向（Ｚ方向）の端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのものである。

第１ヘッドチップ５２Ａは、第１アクチュエータプレート５５及び第１カバープレート５６がＹ方向に重ね合わされて構成されている。

第１アクチュエータプレート５５は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等により形成された圧電基板である。第１アクチュエータプレート５５は、分極方向が厚さ方向（Ｙ方向）に沿って一方向に設定されている。なお、第１アクチュエータプレート５５は、分極方向がＹ方向で異なる２枚の圧電基板を積層して形成しても構わない（いわゆる、シェブロンタイプ）。

第１アクチュエータプレート５５には、－Ｙ方向を向く面（以下、「表面」という。）で開口する複数のチャネル５７，５８が、Ｘ方向に間隔をあけて並設されている。各チャネル５７，５８は、それぞれＺ方向に沿って直線状に形成されている。各チャネル５７，５８は、第１アクチュエータプレート５５における－Ｚ方向端面上で開口している。なお、各チャネル５７，５８は、Ｚ方向に対して傾いて延在していても構わない。

図７は、図６のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿う断面図である。
図６、図７に示すように、上述した複数のチャネル５７，５８は、インクが充填される吐出チャネル５７、及びインクが充填されない非吐出チャネル５８である。吐出チャネル５７及び非吐出チャネル５８は、Ｘ方向に交互に並んで配置されている。各チャネル５７，５８は、第１アクチュエータプレート５５からなる駆動壁６１によってそれぞれＸ方向に仕切られている。なお、チャネル５７，５８の内面には、駆動電極５９が形成されている。駆動電極５９は、第１アクチュエータプレート５５の＋Ｚ方向端部において、第１アクチュエータプレート５５の表面に形成された駆動端子（不図示）に接続されている。

第１カバープレート５６は、Ｙ方向から見た平面視で矩形状に形成されている。第１カバープレート５６は、第１アクチュエータプレート５５の＋Ｚ方向端部を突出させた状態で、第１アクチュエータプレート５５の表面に接合されている（図１０参照）。

第１カバープレート５６は、－Ｙ方向を向く面（以下、「表面」という。）で開口する共通インク室６２と、＋Ｙ方向を向く面（以下、「裏面」という。）で開口する複数のスリット６３と、を有している。
共通インク室６２は、Ｚ方向において、吐出チャネル５７の＋Ｚ方向端部に対応する位置に形成されている。共通インク室６２は、第１カバープレート５６の表面から＋Ｙ方向に向けて窪むとともに、Ｘ方向に延設されている。共通インク室６２には、上述した第１流路部材５１Ａを通してインクが流入する。
スリット６３は、共通インク室６２のうち、吐出チャネル５７とＹ方向で対向する位置に形成されている。スリット６３は、共通インク室６２内と各吐出チャネル５７内とを各別に連通している。したがって、非吐出チャネル５８は、共通インク室６２内には連通していない。

第１カバープレート５６のうち、共通インク室６２よりもＸ方向の外側に位置する部分には、一対の第１気泡抜き孔６５Ａが形成されている。各第１気泡抜き孔６５Ａは、第１カバープレート５６をＹ方向に貫通した後、第１カバープレート５６と第１アクチュエータプレート５５との間を－Ｚ方向に延在している。すなわち、第１気泡抜き孔６５Ａのうち、第１開口部は第１カバープレート５６の表面で開口し、第２開口部は第１ヘッドチップ５２Ａの－Ｚ方向端面で開口している。

第２ヘッドチップ５２Ｂは、第２アクチュエータプレート７１及び第２カバープレート７２がＹ方向に重ね合わされて構成されている。以下の説明では、第２ヘッドチップ５２Ｂにおける第１ヘッドチップ５２Ａと同様の構成について、第１ヘッドチップ５２Ａと同一の符号を付して説明を省略する。

第２アクチュエータプレート７１は、第１アクチュエータプレート５５のうち、＋Ｙ方向を向く面（以下、「裏面」という。）に接合されている。第２ヘッドチップ５２Ｂの吐出チャネル５７及び非吐出チャネル５８は、第１ヘッドチップ５２Ａの吐出チャネル５７及び非吐出チャネル５８の配列ピッチに対して半ピッチずれて配列されている。すなわち、各ヘッドチップ５２Ａ，５２Ｂの吐出チャネル５７同士及び非吐出チャネル５８同士は、それぞれ千鳥状に配列されている。

第２カバープレート７２は、第２アクチュエータプレート７１における＋Ｙ方向を向く面（以下、「表面」という。）に接合されている。第２カバープレート７２のうち、共通インク室６２よりも少なくとも＋Ｘ方向に位置する部分には、第２気泡抜き孔６５Ｂが形成されている。第２気泡抜き孔６５Ｂは、第２カバープレート７２をＹ方向に貫通した後、第２カバープレート７２と第２アクチュエータプレート７１との間を－Ｚ方向に延在している。

吐出部５０において、チャネル５７，５８が配列された領域を吐出領域Ｑ１とし、吐出領域Ｑ１に対してＸ方向の両側に位置する領域（最外のチャネル５７，５８よりも外側の領域）を一対の非吐出領域Ｑ２とする。非吐出領域Ｑ２には、吐出部５０（各ヘッドチップ５２Ａ，５２Ｂ）をＹ方向に貫通する連通孔７３（図６，７では、一方の連通孔７３のみを示す）が形成されている。連通孔７３は、各ヘッドチップ５２Ａ，５２Ｂ（アクチュエータプレート５５，７１及びカバープレート５６，７２）をＹ方向に貫通し、各ヘッドチップ５２Ａ，５２Ｂの共通インク室６２同士を連通させている。なお、連通孔７３の数や位置、形状等は適宜変更が可能である。

（第１流路部材）
図８は、第１流路部材５１Ａにおいて、第１流路板７７から＋Ｙ方向に展開させた分解斜視図である。
図８に示すように、第１流路部材５１Ａは、第１マニホールド７５と、流入ポート７６と、を有している。なお、第１マニホールド７５及び流入ポート７６は、一体に形成されていても構わない。
第１マニホールド７５は、全体としてＹ方向を厚さ方向とする板状に形成されている。図３に示すように、第１マニホールド７５は、－Ｚ方向端部が上述した第１モジュール収容部４４Ａ内に差し込まれることで、＋Ｚ方向に起立した状態でベース部材３８に保持されている。

図８に示すように、第１マニホールド７５は、第１流路板７７と、第１流路板７７に対して＋Ｙ方向に配設されたフロントカバー７８と、第１流路板７７に対して－Ｙ方向に配設されたリアカバー７９と、を有している。

第１流路板７７は、熱伝導性に優れた材料により形成されている。本実施形態において、第１流路板７７の材料には、金属材料（例えば、アルミニウム等）が好適に用いられている。第１流路板７７には、第１ヘッドチップ５２Ａに向けてインクが流通する第１インク流路８１が形成されている。

図９は、第１流路板７７を＋Ｙ方向から見た正面図である。
図８、図９に示すように、第１インク流路８１は、上流流路８３、濾過流路８４、下流流路８５及び供給流路８６（図１１参照）が連なって形成されている。
上流流路８３は、第１流路板７７において＋Ｙ方向に開口している。具体的に、上流流路８３は、幅狭流路９１と、幅狭流路９１及び濾過流路８４間を接続する接続流路９２と、を有している。

幅狭流路９１は、第１流路板７７における＋Ｘ方向、かつ＋Ｚ方向に位置する部分を上流端とし、第１流路板７７におけるＺ方向及びＸ方向の中央部に位置する部分を下流端として、上流端から下流端に向かうに従い屈曲しながら延在している。具体的に、幅狭流路９１は、上流端から－Ｚ方向に延在した後、－Ｚ方向に向かうに従い－Ｘ方向に延在し、さらに－Ｚ方向に延在している。本実施形態において、幅狭流路９１の流路幅（流通方向及びＹ方向に直交する方向での幅）、及び流路深さ（Ｙ方向での深さ）は、全体に亘って一様に設定されている。但し、幅狭流路９１の形状や流路幅、流路深さは、適宜変更が可能である。

図９に示すように、接続流路９２は、＋Ｙ方向から見た正面視において、－Ｚ方向に向かうに従い流路幅が漸次拡幅する三角形状に形成されている。接続流路９２は、＋Ｚ方向端部において、幅狭流路９１の下流端に連通している。本実施形態において、接続流路９２の上流端（＋Ｚ方向端部）での流路幅は、幅狭流路９１の下流端での流路幅と同等になっている。

図１０は、図８のＸ－Ｘ線に相当する第１ジェットモジュール３０Ａの断面図である。
図１０に示すように、接続流路９２は、＋Ｘ方向から見た断面視において、－Ｚ方向に向かうに従い流路深さが漸次浅くなっている。すなわち、本実施形態の接続流路９２は、上流側から下流側に向かうに従い流路幅が広くなる一方、上流側から下流側に向かうに従い流路深さが浅くなっている。本実施形態において、接続流路９２の上流端での流路深さは、幅狭流路９１の下流端での流路深さと同等になっている。

接続流路９２における下流端（－Ｚ方向端部）での流路断面積（ＸＹ平面での断面積）は、上流端での流路断面積よりも小さくなっていることが好ましい。但し、接続流路９２の流路幅や流路深さ、流路断面積は、適宜変更が可能である。
なお、本実施形態では、流路幅及び流路深さが連続的（直線状）に変化する構成について説明したが、この構成のみに限られない。すなわち、接続流路９２は、流路幅及び流路深さが下流側に向かうに従い徐々に変化する構成であれば、例えば階段状や曲線状に形成されていても構わない。また、傾きの異なる複数の直線が連なる構成であっても構わない。

図１１は、図１０のＸＩ部拡大図である。
図９、図１１に示すように、濾過流路８４は、接続流路９２における下流端とＺ方向で連通するとともに、接続流路９２から流入するインクを－Ｙ方向に向けて流通させる。具体的に、濾過流路８４は、＋Ｙ方向に位置するフィルタ入口流路９５と、フィルタ入口流路９５に対して－Ｙ方向に連なるフィルタ出口流路９６と、を有している。
フィルタ入口流路９５は、＋Ｚ方向端部（重力方向の上端部）において、接続流路９２に連通している。フィルタ入口流路９５におけるＸ方向での幅は、接続流路９２における下流端でのＸ方向の幅と同等になっている。

フィルタ出口流路９６は、Ｙ方向から見た正面視での面積（流路断面積）がフィルタ入口流路９５に比べて一回り小さくなっている。すなわち、フィルタ入口流路９５とフィルタ出口流路９６との境界部分には、＋Ｙ方向を向く段差面９７が形成されている。段差面９７は、フィルタ入口流路９５の外周縁に倣って延びる額縁状に形成されている。

フィルタ入口流路９５には、濾過流路８４をフィルタ入口流路９５とフィルタ出口流路９６とにＹ方向で仕切るメインフィルタ９９が配置されている。メインフィルタ９９は、Ｙ方向から見た平面視外形がフィルタ入口流路９５と同等の大きさに形成されたメッシュシートである。メインフィルタ９９は、外周部分が上述した段差面９７に＋Ｙ方向から接合されている。インクは、フィルタ入口流路９５からフィルタ出口流路９６に流通する過程でメインフィルタ９９を通過する。これにより、インク中に含まれる異物や気泡がメインフィルタ９９により捕捉される。

図１１に示すように、フィルタ出口流路９６の内面には、フィルタ出口流路９６と下流流路８５との間をＹ方向で仕切る貯留壁部１００が形成されている。貯留壁部１００は、フィルタ出口流路９６の内面のうち、－Ｚ方向（重力方向の下方）に位置する－Ｚ方向内側面から＋Ｚ方向に立設されるとともに、フィルタ出口流路９６におけるＸ方向の全体に亘って形成されている。

貯留壁部１００における＋Ｚ方向端部には、貯留壁部１００をＹ方向に貫通する連通流路１０２が形成されている。連通流路１０２は、貯留壁部１００（フィルタ出口流路９６）におけるＸ方向の全体に亘って連続的に形成されている。本実施形態において、連通流路１０２の内面のうち、＋Ｚ方向に位置する＋Ｚ方向内側面は、フィルタ出口流路９６の内面のうち、＋Ｚ方向に位置する＋Ｚ方向内側面と面一になっている。すなわち、連通流路１０２は、フィルタ出口流路９６の最上端部で開口している。但し、連通流路１０２及びフィルタ出口流路９６における＋Ｚ方向内側面同士は、面一である場合に限られない。

連通流路１０２の上流端での流路断面積（ＸＺ平面での面積）は、上述したフィルタ入口流路９５の最小流路断面積（ＸＹ平面での断面積）よりも小さくなっていることが好ましい。但し、連通流路１０２の流路断面積は、フィルタ入口流路９５の最小流路断面積と同等以上であっても構わない。なお、本実施形態では、フィルタ入口流路９５の最小流路断面積を、フィルタ入口流路９５の上流端（接続流路９２との境界部分）に設定した場合について説明したが、この構成のみに限られない。すなわち、フィルタ入口流路９５の最小流路断面積は、フィルタ入口流路９５の任意の位置に設定することが可能である。

図１２は、第１流路部材５１Ａにおいて、第１流路板７７から－Ｙ方向に展開させた分解斜視図である。
図１０、図１２に示すように、下流流路８５は、第１流路板７７において－Ｙ方向に開口している。具体的に、下流流路８５は、ストレート部１１０と、ストレート部１１０の下流側に連なる拡大部１１１と、を有している。

ストレート部１１０は、貯留壁部１００を間に挟んでフィルタ出口流路９６にＹ方向で対向している。ストレート部１１０は、Ｘ方向における流路幅がフィルタ出口流路９６と同等に形成されるとともに、Ｙ方向での流路深さがＺ方向の全体に亘って一様に形成されている。ストレート部１１０は、＋Ｚ方向の端部において、連通流路１０２を通じてフィルタ出口流路９６に連通している。なお、ストレート部１１０の流路幅や流路深さは、適宜変更が可能である。

拡大部１１１は、ストレート部１１０の－Ｚ方向端部から－Ｚ方向に延在している。拡大部１１１は、Ｘ方向での流路幅がストレート部１１０と同等に形成されている。拡大部１１１は、Ｙ方向での流路深さが－Ｚ方向に向かうに従い漸次深くなっている。すなわち、拡大部１１１の流路断面積（Ｚ方向に直交する方向での断面積）は、下流側（－Ｚ方向）に向かうに従い漸次拡大している。

供給流路８６は、第１流路板７７の－Ｚ方向端部において、第１流路板７７をＹ方向に貫通している。供給流路８６におけるＸ方向での流路幅は、拡大部１１１よりも広くなっている。本実施形態において、供給流路８６の流路幅は、共通インク室６２と同等に設定されている。

供給流路８６における上流端（－Ｙ方向端部）は、拡大部１１１の下流端（－Ｚ方向端部）に連通している。一方、供給流路８６における下流端は、第１流路板７７において＋Ｙ方向に開口している。

図９に示すように、第１流路板７７には、第１インク流路８１に連通する第１気泡排出流路１２０が形成されている。第１気泡排出流路１２０は、濾過流路８４に対してＸ方向の両側に一対で形成されている。すなわち、各第１気泡排出流路１２０は、第１流路部材５１ＡにおけるＸ方向の中心を通り、Ｚ方向に延びる対称軸に対して線対称に形成されている。そのため、以下の説明では、第１インク流路８１に対して＋Ｘ方向に位置する第１気泡排出流路１２０について説明する。なお、第１気泡排出流路１２０は、一対に限られない。

図９、図１２に示すように、第１気泡排出流路１２０は、誘導部１２１と、第１貫通部１２２と、排出部１２３と、第２貫通部１２４と、を有している。
誘導部１２１は、第１流路板７７において＋Ｙ方向に開口している。誘導部１２１は、上述した接続流路９２及びフィルタ入口流路９５に対して＋Ｘ方向に連なっている。具体的に、誘導部１２１は、＋Ｘ方向に向かうに従いＺ方向の幅が漸次縮小するテーパ状に形成されている。具体的に、誘導部１２１の内面のうち、＋Ｚ方向に位置する＋Ｚ方向内側面は、Ｘ方向に沿って直線状に延在している。但し、＋Ｚ方向内側面は、＋Ｘ方向に向かうに従い＋Ｚ方向や－Ｚ方向に向けて傾斜して延在しても構わない。

誘導部１２１の内面のうち、－Ｚ方向に位置する－Ｚ方向内側面は、＋Ｘ方向に向かうに従い＋Ｚ方向に延びる傾斜面に形成されている。なお、誘導部１２１におけるＹ方向での深さは、誘導部１２１の全体に亘って一様になっている。但し、誘導部１２１の深さは、例えば＋Ｘ方向に向かうに従い徐々に浅くなっていても構わない。

第１貫通部１２２は、誘導部１２１の頂部（＋Ｚ方向内側面と－Ｚ方向内側面との交差部分）において、誘導部１２１に連通している。第１貫通部１２２は、第１流路板７７をＹ方向に貫通している。本実施形態において、第１貫通部１２２は、濾過流路８４よりも＋Ｚ方向であって、＋Ｘ方向に配置されている。なお、第１貫通部１２２は、濾過流路８４よりも＋Ｚ方向に配置されるか、濾過流路８４よりも＋Ｘ方向に配置されるかの何れか一方を満たしていることが好ましい。但し、第１貫通部１２２のＺ方向及びＸ方向での位置は適宜変更が可能である。

図１２に示すように、排出部１２３は、第１流路板７７において、－Ｙ方向に開口している。排出部１２３は、Ｚ方向に延在している。排出部１２３における＋Ｚ方向端部は、上述した第１貫通部１２２に連通している。

第２貫通部１２４は、排出部１２３の－Ｚ方向端部に連通している。第２貫通部１２４は、第１流路板７７をＹ方向に貫通している。第２貫通部１２４と排出部１２３との境界部分には、サブフィルタ１２６が配置されている。

リアカバー７９は、Ｙ方向から見た正面視で第１流路板７７と同等の外形を有し、かつＹ方向の厚さが第１流路板７７よりも薄い矩形板状に形成されている。リアカバー７９は、第１流路板７７のうち－Ｙ方向を向く面に固定されている。すなわち、リアカバー７９は、第１インク流路８１（下流流路８５や供給流路８６）及び第１気泡排出流路１２０（貫通部１２２，１２４や排出部１２３）を－Ｙ方向から閉塞している。なお、本実施形態において、リアカバー７９は、熱伝導性に優れた金属材料（例えば、ステンレス等）により形成されている。

リアカバー７９における－Ｙ方向を向く面には、ヒータ１３０が配置されている。ヒータ１３０は、リアカバー７９を通じて第１インク流路８１内を加熱することで、第１インク流路８１内を流通するインクを所定の温度範囲内に保持（保温）する。

図８に示すように、フロントカバー７８は、リアカバー７９と同形同大に形成された矩形板状のものである。すなわち、フロントカバー７８は、Ｙ方向の厚さが第１流路板７７よりも薄くなっている。フロントカバー７８は、第１流路板７７のうち、＋Ｙ方向を向く面に固定されている。すなわち、フロントカバー７８は、第１インク流路８１（上流流路８３や濾過流路８４）及び第１気泡排出流路１２０（誘導部１２１や貫通部１２２）を＋Ｙ方向から閉塞している。

フロントカバー７８のうち、Ｙ方向から見て供給流路８６と重なり合う位置には、供給流路８６を開放させる連通口１３２が形成されている。連通口１３２は、Ｙ方向から見た正面視で供給流路８６と同等の形状をなし、フロントカバー７８をＹ方向に貫通している。
フロントカバー７８のうち、Ｙ方向から見て上流流路８３の上流端（＋Ｚ方向端部）と重なり合う位置には、上流流路８３を開放させる流入口１３３が形成されている。流入口１３３は、フロントカバー７８をＹ方向に貫通している。

フロントカバー７８のうち、Ｙ方向から見て第２貫通部１２４と重なり合う位置には、第２貫通部１２４を開放させる排出口１３４が形成されている。排出口１３４は、フロントカバー７８をＹ方向に貫通している。

本実施形態では、第１流路板７７のみに溝状の第１インク流路８１を形成した場合について説明したが、この構成のみに限らず、第１流路板７７、フロントカバー７８及びリアカバー７９のうち少なくとも何れか一方にインク流路が形成されていれば構わない。この場合、例えば第１流路板７７やフロントカバー７８、リアカバー７９のそれぞれに溝部を形成し、これら溝部を重ね合わせてインク流路としても構わない。

流入ポート７６は、Ｚ方向に延びる筒状に形成されている。流入ポート７６は、フロントカバー７８における＋Ｚ方向端部に固定されている。流入ポート７６内は、上述した流入口１３３を通じて第１インク流路８１内に連通している。

（第１絶縁シート）
図８に示すように、フロントカバー７８における＋Ｙ方向を向く面には、第１絶縁シート１３５が設けられている。第１絶縁シート１３５は、Ｙ方向から見た正面視で－Ｚ方向に開口するＵ字状に形成されている。第１絶縁シート１３５は、フロントカバー７８において連通口１３２の周囲を取り囲んでいる。具体的に、第１絶縁シート１３５は、連通口１３２に対してＸ方向の両側に位置する一対の外側台座部１３６と、外側台座部１３６の＋Ｚ方向端部同士を接続するブリッジ部１３７と、を有している。なお、本実施形態において、第１絶縁シート１３５は、例えばポリイミドが好適に用いられている。但し、第１絶縁シート１３５の材料は、絶縁性や耐インク性（耐溶出性）を有し、かつ比較的軟質な材料（例えば、樹脂材料やゴム材料）により形成されていれば適宜変更が可能である。

外側台座部１３６において、Ｙ方向から見て上述した排出口１３４と重なり合う位置には、排出口１３４を露出させる露出口１４０が形成されている。露出口１４０は、外側台座部１３６をＹ方向に貫通している。
外側台座部１３６において、露出口１４０よりも＋Ｚ方向に位置する部分には、外側台座部１３６をＹ方向に貫通する位置決め孔１４２が形成されている。位置決め孔１４２は、第１流路部材５１Ａから＋Ｙ方向に突出する係合ピン１４３を収容している。なお、位置決め孔１４２は、ブリッジ部１３７に形成しても構わない。

ブリッジ部１３７は、連通口１３２に対して＋Ｚ方向に位置している。すなわち、フロントカバー７８において、連通口１３２に対して－Ｚ方向に位置する部分は、第１絶縁シート１３５が位置していないブランク領域１４１になっている。なお、第１絶縁シート１３５は、少なくとも非吐出領域Ｑ２に外側台座部１３６のみを有していれば構わない。

図１０に示すように、上述した第１ヘッドチップ５２Ａは、第１カバープレート５６の表面を－Ｙ方向に向けた状態でフロントカバー７８や第１絶縁シート１３５に固定されている。具体的に、第１カバープレート５６の表面のうち、第１絶縁シート１３５に対向する部分は、接着剤Ｓ１を介して第１絶縁シート１３５に固定されている。一方、第１カバープレート５６の表面のうち、ブランク領域１４１に対向する部分は、接着剤Ｓ１を介してフロントカバー７８に直接固定されている。

第１ヘッドチップ５２Ａが第１流路部材５１Ａに固定された状態において、駆動壁６１（図６に示す吐出領域Ｑ１）はブランク領域１４１にＹ方向で対向する。すなわち、本実施形態において、駆動壁６１とフロントカバー７８との間には、接着剤Ｓ１のみが介在する（第１絶縁シート１３５が介在しない）ようになっている。この場合、接着剤Ｓ１は、共通インク室６２及び連通口１３２の周囲を取り囲み、第１ヘッドチップ５２Ａと第１流路部材５１Ａとの間をシールしている。なお、本実施形態で用いる接着剤Ｓ１は、絶縁性を有し、かつ比較的軟質（第１絶縁シート１３５よりも軟質）な材料（例えば、シリコーン系）等が用いられている。

第１ヘッドチップ５２Ａが第１流路部材５１Ａに固定された状態において、第１カバープレート５６の共通インク室６２は、連通口１３２を通じて供給流路８６に連通する。一方、図８に示すように、第１ヘッドチップ５２Ａの第１気泡抜き孔６５Ａ（図７参照）は、露出口１４０及び排出口１３４を通じて第１気泡排出流路１２０（第２貫通部１２４）に連通する。

（第２流路部材）
図５に示すように、第２流路部材５１Ｂは、第２マニホールド１５０と、第２付勢部材１５１と、を有している。
第２マニホールド１５０は、全体としてＹ方向を厚さ方向とし、Ｚ方向の長さが第１マニホールド７５よりも短い板状に形成されている。図３に示すように、第２マニホールド１５０は、－Ｚ方向端部が上述した第１モジュール収容部４４Ａ内に差し込まれることで、＋Ｚ方向に起立した状態でベース部材３８に保持されている。

図５に示すように、第２マニホールド１５０は、第２流路板１５２と、流路カバー１５３と、を有している。
第２流路板１５２は、第１流路板７７と同様に、金属材料（例えば、アルミニウム等）等により形成されている。第２流路板１５２には、第２ヘッドチップ５２Ｂに向けてインクが流通する第２インク流路１５５が形成されている。

図１３は、第２流路板１５２を＋Ｙ方向から見た正面図である。
図１３に示すように、第２インク流路１５５は、第２流路板１５２をＹ方向に貫通するとともに、Ｘ方向に帯状に延在している。第２インク流路１５５は、Ｙ方向から見た正面視外形が共通インク室６２と同等の形状に形成されている。したがって、吐出部５０の連通孔７３は、第２インク流路１５５におけるＸ方向の両端部において、第２インク流路１５５にＹ方向で対向している。なお、本実施形態において、第２インク流路１５５及び第２ヘッドチップ５２Ｂの共通インク室６２の合計容積は、上述した供給流路８６及び第１ヘッドチップ５２Ａの共通インク室６２の合計容積と同等に設定されていることが好ましい。

図１３における符号１５７は、第２インク流路１５５に連通する洗浄流路である。洗浄流路１５７には、メンテナンス時等において、後述するノズル孔２４０から吸い上げられ、吐出部５０や第２インク流路１５５等を通過した洗浄液が流入する。洗浄流路１５７に流入した洗浄液は、洗浄ポート１５８を通じて吸引される。

第２流路板１５２には、第２インク流路１５５に連通する第２気泡排出流路１６０が形成されている。第２気泡排出流路１６０は、排出部１６１と、貫通部１６２と、を有している。
排出部１６１は、第２流路板１５２において＋Ｙ方向に開口している。排出部１６１は、第２流路板１５２のうち、第２インク流路１５５に対して＋Ｚ方向に位置する部分をＸ方向に延在している。排出部１６１の上流端は、第２インク流路１５５の内面における＋Ｚ方向（重力方向の上方）に位置する＋Ｚ方向内側面のうち、Ｘ方向の中央部で開口している。すなわち、上述した一対の連通孔７３と排出部１６１の上流端とのＸ方向での距離は、それぞれ同等に設定されている。なお、一対の連通孔７３と排出部１６１の上流端とのＸ方向での距離は、適宜変更が可能である。また、連通孔７３の数や位置は、適宜変更が可能である。

排出部１６１の下流端は、第２インク流路１５５に対して＋Ｘ方向に位置する部分で貫通部１６２に連通している。なお、本実施形態では、第２インク流路１５５に対して＋Ｚ方向に第２気泡排出流路１６０が配置される構成について説明したが、この構成のみに限られない。

貫通部１６２は、第２流路板１５２をＹ方向に貫通している。貫通部１６２内には、サブフィルタ１６５が配置されている。

第２流路板１５２において、第２気泡排出流路１６０の＋Ｚ方向に位置する部分には、センサ収容部１６７が形成されている。センサ収容部１６７は、第２流路板１５２において＋Ｙ方向に開口するとともに、Ｘ方向に延在している。

図５に示すように、流路カバー１５３は、Ｙ方向から見た正面視で第２流路板１５２と同等の外形を有し、かつＹ方向の厚さが第２流路板１５２よりも薄い矩形板状に形成されている。流路カバー１５３は、第２インク流路１５５、第２気泡排出流路１６０及びセンサ収容部１６７を＋Ｙ方向から閉塞している。なお、流路カバー１５３は、熱伝導性に優れた金属材料（例えば、ステンレス等）により形成されている。

第２付勢部材１５１は、第２流路板１５２におけるＸ方向の両端部に一対で設けられている。各第２付勢部材１５１は、第２流路板１５２に対して＋Ｙ方向に自由端が配置された板ばね状とされている。図３に示すように、第２付勢部材１５１は、第２流路部材５１Ｂが第１モジュール収容部４４Ａに差し込まれた状態において、ベース本体部４１におけるＹ方向で対向する長辺部４５ｃ，４５ｄのうち、第１長辺部４５ｃと第２マニホールド１５０との間に介在する。すなわち、第２付勢部材１５１は、ジェットモジュール３０Ａを－Ｙ方向に向けて付勢する。

（第２絶縁シート）
図５に示すように、第２流路板１５２における－Ｙ方向を向く面には、第２絶縁シート１７０が設けられている。第２絶縁シート１７０は、上述した第１絶縁シート１３５と同様に、外側台座部１７１及びブリッジ部１７２有している。

各外側台座部１７１のうち、＋Ｘ方向に位置する外側台座部１７１において、Ｙ方向から見て貫通部１６２と重なり合う位置には、貫通部１６２を露出させる露出口１７５が形成されている。露出口１７５は、外側台座部１７１をＹ方向に貫通している。

ブリッジ部１７２は、第２インク流路１５５に対して＋Ｚ方向に位置している。すなわち、第２流路板１５２において、第２インク流路１５５に対して－Ｚ方向に位置する部分は、第２絶縁シート１７０が位置していないブランク領域１７８（図１０参照）になっている。
ブリッジ部１７２において、Ｘ方向の両端部には、ブリッジ部１７２をＹ方向に貫通する位置決め孔１７３が形成されている。位置決め孔１７３は、第２流路部材５１Ｂから－Ｙ方向に突出する係合ピン（不図示）を収容している。なお、位置決め孔１７３は、外側台座部１７１に形成しても構わない。

図１０に示すように、上述した第２ヘッドチップ５２Ｂは、第２カバープレート７２の表面を＋Ｙ方向に向けた状態で第２流路板１５２や第２絶縁シート１７０に固定されている。具体的に、第２カバープレート７２の表面のうち、第２絶縁シート１７０に対向する部分は、接着剤Ｓ２を介して第２絶縁シート１７０に固定されている。一方、第２カバープレート７２の表面のうち、ブランク領域１７８に対向する部分は、接着剤Ｓ２を介して第２流路板１５２に直接固定されている。第２ヘッドチップ５２Ｂが第２流路部材５１Ｂに固定された状態において、駆動壁６１（図６に示す吐出領域Ｑ１）はブランク領域１７８にＹ方向で対向する。この場合、接着剤Ｓ２は、共通インク室６２及び第２インク流路１５５の周囲を取り囲み、第２ヘッドチップ５２Ｂと第２流路部材５１Ｂとの間をシールしている。なお、接着剤Ｓ１，Ｓ２には、同様の材料が用いられている。

本実施形態では、各ヘッドチップ５２Ａ，５２Ｂと流路部材５１Ａ，５１Ｂとの間に絶縁シート１３５，１７０を各別に介在させる構成について説明したが、少なくとも第１ヘッドチップ５２Ａと第１流路部材５１Ａとの間に第１絶縁シート１３５が介在していれば構わない。

第２ヘッドチップ５２Ｂが第２流路部材５１Ｂに固定された状態において、第２カバープレート７２の共通インク室６２は、第２インク流路１５５に連通する。第２ヘッドチップ５２Ｂの第２気泡抜き孔６５Ｂは、露出口１７５を通じて第２気泡排出流路１６０（貫通部１６２）に連通する。

このように、本実施形態のジェットモジュール３０Ａは、第１流路部材５１Ａ及び第２流路部材５１ＢがＹ方向で対向するとともに、各流路部材５１Ａ，５１Ｂ間に２つのヘッドチップ５２Ａ，５２Ｂを有する吐出部５０が挟持されている。

（ＦＰＣユニット）
図５に示すように、第１マニホールド７５のフロントカバー７８には、ＦＰＣユニット１８０が支持されている。ＦＰＣユニット１８０は、駆動基板１８１及び配線基板１８２を備えている。駆動基板１８１及び配線基板１８２は、それぞれフレキシブルプリント基板であって、ベースフィルムに配線パターンが形成されて構成されている。

駆動基板１８１は、実装部１８５、チップ接続部１８６、センサ接続部１８７及び引出部１８８を有している。なお、駆動基板１８１は、実装部１８５にリジッド基板等を用いても構わない。

実装部１８５は、フロントカバー７８に支持されている。実装部１８５には、例えば複数のドライバ１９０Ａ，１９０Ｂが実装されている。ドライバ１９０Ａ，１９０Ｂは、第１ヘッドチップ５２Ａを駆動する第１ドライバ１９０Ａ、及び第２ヘッドチップ５２Ｂを駆動する第２ドライバ１９０Ｂである。各ドライバ１９０Ａ，１９０Ｂは、Ｘ方向に直線状に並んでいる。なお、本実施形態では、１枚の駆動基板１８１に第１ドライバ１９０Ａ及び第２ドライバ１９０Ｂがまとめて実装された構成について説明するが、この構成のみに限らず、各ドライバに対応して駆動基板を設けても構わない。

図１０に示すように、チップ接続部１８６は、実装部１８５から－Ｚ方向に延設されている。チップ接続部１８６の－Ｚ方向端部は、第１アクチュエータプレート５５の＋Ｚ方向端部に圧着等により固定されている。これにより、第１ドライバ１９０Ａと、第１ヘッドチップ５２Ａの駆動電極５９と、がチップ接続部１８６を介して電気的に接続される。

図５、図１３に示すように、センサ接続部１８７は、実装部１８５から＋Ｘ方向に延設されている。センサ接続部１８７の先端部には、温度センサ１９１（例えば、サーミスタ等）が実装されている。センサ接続部１８７は、上述したセンサ収容部１６７内に収容されている。すなわち、温度センサ１９１は、第２流路板１５２を介して吐出部５０のインク温度を検出する。

引出部１８８は、実装部１８５から＋Ｚ方向に延設されている。引出部１８８は、インターフェイス１９２（図３参照）に接続されている。インターフェイス１９２は、例えばインクジェットヘッド５Ａの外部から供給される電力をＦＰＣユニット１８０に電力を供給したり、制御信号の送受信を行ったりするためのものである。

図５、図１０に示すように、配線基板１８２は、実装部１８５と第２ヘッドチップ５２Ｂとの間を接続している。具体的に、配線基板１８２のうち、＋Ｚ方向端部が実装部１８５に接続され、－Ｚ方向端部が第２アクチュエータプレート７１の＋Ｚ方向端部に圧着等により固定されている。これにより、第２ドライバ１９０Ｂと、第２ヘッドチップ５２Ｂの駆動電極５９と、が配線基板１８２を介して電気的に接続される。

図３、図５に示すように、第１流路部材５１Ａのうち、Ｙ方向から見て上述したドライバ１９０Ａ，１９０Ｂと重なり合う位置には、放熱板１９５が配置されている。放熱板１９５は、駆動基板１８１をＸ方向に跨るように形成されている。放熱板１９５は、伝熱シート１９６を間に挟んでドライバ１９０Ａ，１９０Ｂを覆っている。放熱板１９５のＸ方向の両端部は、駆動基板１８１よりも外側において第１流路部材５１Ａに固定されている。なお、放熱板１９５及び伝熱シート１９６は、熱伝導性に優れた材料により形成されている。本実施形態において、放熱板１９５は例えばアルミニウム等により形成され、伝熱シート１９６は例えばシリコーン樹脂等により形成されている。

図３、図４に示すように、上述した第１ジェットモジュール３０Ａは、第１流路部材５１Ａが－Ｙ方向を向き、第２流路部材５１Ｂが＋Ｙ方向を向いた状態で、第１モジュール収容部４４Ａ内に差し込まれている。この際、第１ジェットモジュール３０Ａは、第２流路部材５１Ｂと第１短辺部４５ａとの間に第１付勢部材４８が介在し、第２流路部材５１Ｂと第１長辺部４５ｃとの間に第２付勢部材１５１が介在した状態でベース部材３８に保持されている。そのため、第１ジェットモジュール３０Ａは、第１付勢部材４８によって－Ｘ方向（第２短辺部４５ｂに向かう方向）に付勢され、第２付勢部材１５１によって－Ｙ方向（仕切部４６に向かう方向）に付勢された状態でベース部材３８に保持されている。この際、吐出部５０の－Ｚ方向端面は、ベース部材３８（ベース本体部４１）の－Ｚ方向端面と面一に配置されるか、ベース部材３８の－Ｚ方向端面よりも－Ｚ方向に配置されることが好ましい。

第２ジェットモジュール３０Ｂは、第１流路部材５１Ａが＋Ｙ方向を向き、第２流路部材５１Ｂが－Ｙ方向を向いた状態で、第２モジュール収容部４４Ｂ内に差し込まれている。すなわち、第２ジェットモジュール３０Ｂの第１流路部材５１Ａは、第１ジェットモジュール３０Ａの第１流路部材５１ＡにＹ方向で対向している。なお、各ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂは、対応するモジュール収容部４４Ａ，４４Ｂに接着剤により固定される。

（ステーユニット）
図２に示すように、ベース部材３８には、ベース部材３８への搭載部品を支持するステーユニット２００が設けられている。ステーユニット２００は、ベース部材３８から＋Ｚ方向に起立するとともに、各ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂの周囲をまとめて取り囲んでいる。

ステーユニット２００のうち、Ｘ方向の両側に位置するＸ方向ステー（第１ステー２０１及び第２ステー２０２）と、ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂと、の間にはモジュール保持機構２１０が介在している。なお、各モジュール保持機構２１０は何れも同様の構成からなるため、以下の説明では、第１ステー２０１と第１ジェットモジュール３０Ａとの間に介在するモジュール保持機構２１０を例にして説明する。

第１ステー２０１は、ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂに対して＋Ｘ方向に位置している。第１ステー２０１は、－Ｚ方向端部がモジュール収容部４４Ａ，４４Ｂ内に差し込まれた状態で、ベース部材３８から＋Ｚ方向に起立している。なお、第１ステー２０１は、ベース部材３８へのジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂの組付後にベース部材３８に組み付けられる。

図１４は、図２のＸＩＶ－ＸＩＶ線に沿う部分断面図である。
図３、図１４に示すように、モジュール保持機構２１０は、第１流路部材５１Ａに設けられた位置決めピン２１２と、第１ステー２０１に形成された第１収容部２１４と、位置決めピン２１２と第１ステー２０１との間を連結するサポート片２１６と、を有している。

位置決めピン２１２は、第１流路板７７から＋Ｘ方向に突出している。なお、位置決めピン２１２は、ベース部材３８に対してＺ方向に離間した位置に配置されることが好ましい。本実施形態において、位置決めピン２１２は、第１流路板７７におけるＺ方向の中央部よりも＋Ｚ方向に位置する部分に配置されている。

第１収容部２１４は、第１ステー２０１のうち、Ｘ方向から見た側面視で、位置決めピン２１２と重なり合う部分をＸ方向に貫通して形成されている。第１収容部２１４は、Ｘ方向から見た側面視で円形に形成されるとともに、内径が一様に形成されている。第１収容部２１４の内径は、位置決めピン２１２の外径よりも大きくなっている。上述した位置決めピン２１２は、第１収容部２１４を貫通して第１ステー２０１に対して＋Ｘ方向に突出している。

サポート片２１６は、Ｚ方向を長手方向とする板材である。サポート片２１６は、＋Ｘ方向から第１収容部２１４を閉塞するように第１ステー２０１に固定されている。具体的に、サポート片２１６において、Ｘ方向から見た側面視で、第１収容部２１４と重なり合う位置には、サポート片２１６をＸ方向に貫通する第２収容部２２０が形成されている。第２収容部２２０は、Ｘ方向から見た側面視で円形に形成されるとともに、内径が一様に形成されている。第２収容部２２０の内径は、第１収容部２１４の内径よりも小さく、位置決めピン２１２の外径よりも大きくなっている。上述した位置決めピン２１２は、第２収容部２２０内に挿入されている。そして、位置決めピン２１２の外周面が第２収容部２２０の内周面に接触することで、第１ステー２０１に対する第１ジェットモジュール３０ＡのＸ方向に直交する方向での移動が規制される。

なお、位置決めピン２１２は、第２収容部２２０に嵌合されていても構わない。第１収容部２１４及び第２収容部２２０は、側面視内形は円形に限らず、矩形状や三角形状であっても構わない。また、第１収容部２１４及び第２収容部２２０は、互いに異形状であっても構わない。このような場合においても、第２収容部２２０の開口面積は、第１収容部２１４の開口面積よりも小さく設定されている。
第２収容部２２０は、位置決めピン２１２が挿入可能であれば、サポート片２１６を貫通していなくても構わない。
第１収容部２１４や第２収容部２２０は、内径が徐々に変化する構成であっても構わない。

サポート片２１６は、第２収容部２２０に対してＺ方向の両側において、ビス２２２によって第１ステー２０１に固定されている。具体的に、サポート片２１６のうち、第２収容部２２０に対してＺ方向の両側には、逃げ孔２２３が形成されている。逃げ孔２２３の内径は、ビス２２２の軸部の外径よりも大きくなっている。ビス２２２は、逃げ孔２２３を通して第１ステー２０１に締結されている。ビス２２２の頭部と第１ステー２０１との間に、サポート片２１６がＸ方向で挟持されることで、サポート片２１６が第１ステー２０１に固定されている。なお、ビス２２２の先端部は、第１流路板７７に対してＸ方向で近接している。

このように、本実施形態の第１ジェットモジュール３０Ａは、－Ｚ方向端部が第１モジュール収容部４４Ａ内に差し込まれることでベース部材３８に保持され、＋Ｚ方向端部がモジュール保持機構２１０によって保持されている。

（ダンパ）
図２に示すように、ダンパ３１は、ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂに対して＋Ｚ方向に、各ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂに対応して（インクの色に対応して）設けられている。各ダンパ３１は、Ｙ方向に並んで設けられている。なお、各ダンパ３１は、供給されるインクの色以外は何れも同等の構成である。そのため、以下の説明では、一方のダンパ３１（第１ジェットモジュール３０Ａのダンパ３１）について説明し、他方のダンパ３１の説明を省略する。

ダンパ３１は、第１ジェットモジュール３０Ａに対して＋Ｚ方向において、上述したステーユニット２００に固定されている。ダンパ３１は、入口ポート２３０と、圧力緩衝部２３１と、出口ポート２３２と、を有している。なお、ダンパ３１は、インクジェットヘッド５Ａとは別に設けても構わない。

入口ポート２３０は、圧力緩衝部２３１から＋Ｚ方向に突設された筒状に形成されている。入口ポート２３０には、上述したインク配管１６（図１参照）が接続される。入口ポート２３０は、インクタンク１５内のインクがインク配管１６内を通して流入する。
圧力緩衝部２３１は、箱型に形成されている。圧力緩衝部２３１は、その内部に可動膜等が収納されて構成されている。圧力緩衝部２３１は、インクタンク１５（図１）と第１ジェットモジュール３０Ａとの間に配置されて、入口ポート２３０を通してダンパ３１に供給されるインクの圧力変動を吸収する。

出口ポート２３２は、圧力緩衝部２３１における入口ポート２３０と対角となる位置から－Ｚ方向に突設されている。出口ポート２３２内には、圧力緩衝部２３１内から排出されたインクが流入する。出口ポート２３２には、第１ジェットモジュール３０Ａの流入ポート７６が接続されている。

Ｙ方向で対向するダンパ３１同士の間に位置する部分には、上述したインターフェイス１９２が配置されている。インターフェイス１９２は、ステーユニット２００に支持されている。

（ノズルプレート）
上述したノズルプレート３２は、ポリイミド等の樹脂材料により形成されている。ノズルプレート３２は、ベース本体部４１の－Ｚ方向端面や吐出部５０の－Ｚ方向端面（モジュール収容部４４Ａ，４４Ｂから露出した部分）に接着剤等を介して固定されている。ノズルプレート３２は、各ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂの吐出部５０を－Ｚ方向からまとめて覆っている。

図６、図７に示すように、ノズルプレート３２には、ノズルプレート３２をＺ方向に貫通するノズル孔２４０が形成されている。ノズル孔２４０は、各ヘッドチップ５２Ａ，５２Ｂの吐出チャネル５７にＺ方向で対向する位置に各別に形成されている。

ノズルプレート３２において、上述した気泡抜き孔６５Ａ，６５ＢとＺ方向で対向する位置には、ノズルプレート３２をＺ方向に貫通する排出孔２４１Ａ，２４１Ｂが形成されている。すなわち、本実施形態において、ノズル孔２４０及び排出孔２４１Ａ，２４１Ｂは、ノズルプレート３２の吐出面（－Ｚ方向を向く面）上でそれぞれ開口している。本実施形態の排出孔２４１Ａ，２４１Ｂは、第１気泡抜き孔６５Ａに連通する第１排出孔２４１Ａ、及び第２気泡抜き孔６５Ｂに連通する第２排出孔２４１Ｂである。第２排出孔２４１Ｂの内径（開口面積）は、第１排出孔２４１Ａの内径よりも小さくなっている。但し、各排出孔２４１Ａ，２４１Ｂの内径は、適宜変更が可能である。また、各排出孔２４１Ａ，２４１Ｂは、丸孔である場合に限られない。

なお、ノズル孔２４０及び排出孔２４１Ａ，２４１Ｂ内のインクは、ノズル孔２４０及び排出孔２４１Ａ，２４１Ｂそれぞれの内面で作用する表面張力等により適正（凹面状）なメニスカスが形成される。すなわち、本実施形態のプリンタ１では、インクタンク１５の液面とメニスカスの液面との水頭差により、吐出チャネル５７内の圧力を所望の負圧に保持している。これにより、上述したメニスカスが保持され、インクが不意に漏れ出ないようになっている。

なお、ノズルプレート３２は、樹脂材料に限らず、金属材料（ステンレス等）で形成してもよく、樹脂材料と金属材料の積層構造としても構わない。本実施形態では、１枚のノズルプレート３２が各ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂをまとめて覆う構成について説明したが、この構成のみに限らず、複数枚のノズルプレート３２で各ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂを個別に覆う構成でも構わない。

（ノズルガード）
図２に示すように、ノズルガード３３は、例えばステンレス等の板材にプレス加工が施されて形成されている。ノズルガード３３は、ノズルプレート３２を間に挟んだ状態で、ベース本体部４１を－Ｚ方向から覆っている。

ノズルガード３３のうち、各ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂの吐出部５０とＺ方向で対向する位置には、ノズルプレート３２を外部に露出させる露出孔２４５が形成されている。露出孔２４５は、ノズルガード３３をＺ方向に貫通するとともに、Ｘ方向に延在するスリット状に形成されている。露出孔２４５は、各ジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂに対応してＹ方向で間隔をあけて２列形成されている。上述したノズル孔２４０及び排出孔２４１Ａ，２４１Ｂは、露出孔２４５を通じてインクジェットヘッド５Ａの外部に連通している。なお、ノズルガード３３には、インクの充填時や印刷動作の停止時等に、ノズルガード３３に－Ｚ方向から密着して、上述したノズル孔２４０及び排出孔２４１Ａ，２４１Ｂを封止するキャップが装着される構成であっても構わない。

［プリンタの動作方法］
次に、上述したプリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに情報を記録する方法について説明する。
図１に示すように、プリンタ１を作動させると、搬送機構２，３のグリットローラ１１，１３が回転することで、これらグリットローラ１１，１３及びピンチローラ１２，１４間を被記録媒体Ｐが＋Ｘ方向に搬送される。また、これと同時に駆動モータ２８がプーリ２６を回転させて無端ベルト２７を走行させる。これにより、キャリッジ２３がガイドレール２１，２２にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
この間に、各インクジェットヘッド５Ａ，５Ｂにおいて、ヘッドチップ５２Ａ，５２Ｂの駆動電極５９（図７参照）に駆動電圧を印加する。これにより、駆動壁６１に厚みすべり変形を生じさせ、吐出チャネル５７内に充填されたインクに圧力波を発生させる。この圧力波により、吐出チャネル５７の内圧が高まり、インクがノズル孔２４０を通して吐出される。そして、インクが被記録媒体Ｐ上に着弾することで、各種情報が被記録媒体Ｐ上に記録される。

ここで、インクジェットヘッド５Ａの第１ジェットモジュール３０Ａ内でのインクの流れについて説明する。
本実施形態において、インクタンク１５からインクジェットヘッド５Ａに供給されるインクは、図３に示すように、ダンパ３１を通過した後、流入ポート７６を通してジェットモジュール３０Ａの第１マニホールド７５内に流入する。

図１０の実線矢印で示すように、第１マニホールド７５内に流入したインクは、上流流路８３を通過した後、濾過流路８４のフィルタ入口流路９５内に＋Ｚ方向から流入する。図１１の実線矢印で示すように、フィルタ入口流路９５内に流入したインクは、フィルタ入口流路９５からフィルタ出口流路９６に向かう過程で、メインフィルタ９９を通過する。これにより、インク内に含まれる異物や気泡がメインフィルタ９９で捕捉される。フィルタ出口流路９６内に到達したインクは、貯留壁部１００によって－Ｙ方向（下流流路８５）への流れが塞き止められる。これにより、フィルタ出口流路９６がインクで満たされる。

フィルタ出口流路９６に満たされたインクは、連通流路１０２に達すると、連通流路１０２を通じて下流流路８５内に流入する。インクは、下流流路８５内を－Ｚ方向に流通した後、供給流路８６を＋Ｙ方向に向けて流れる。供給流路８６内を流れるインクは、連通口１３２を通じて第１ヘッドチップ５２Ａの共通インク室６２内に流入する。第１ヘッドチップ５２Ａの共通インク室６２内に流入したインクのうち、一部のインクは第１ヘッドチップ５２において、スリット６３を通過して吐出チャネル５７に流入した後、ノズル孔２４０を通じて吐出される。

一方、第１ヘッドチップ５２Ａの共通インク室６２内に流入したインクのうち、一部のインクは、共通インク室６２におけるＸ方向の両端部において連通孔７３内に流入する。その後、インクは、連通孔７３を通じて第２ヘッドチップ５２Ｂの共通インク室６２内に流入する。第２ヘッドチップ５２Ｂの共通インク室６２内に流入したインクは、第２インク流路１５５内も満たしながら、Ｘ方向の内側に向けて流通する。その後、第２ヘッドチップ５２Ｂ内に流入したインクは、スリット６３を通過して吐出チャネル５７に流入した後、ノズル孔２４０を通じて吐出される。

ところで、図９の破線矢印で示すように、第１インク流路８１内において、フィルタ入口流路９５内（メインフィルタ９９に対して上流側）に滞留する気泡は、第１気泡排出流路１２０を通じて第１ジェットモジュール３０Ａの外部に排出される。具体的に、メインフィルタ９９で捕捉された気泡や、フィルタ入口流路９５内に滞留する気泡は、インクがフィルタ入口流路９５内をＸ方向の両側に流通する過程でＸ方向の両側に押し出される。その後、気泡は、誘導部１２１に進入した後、誘導部１２１内をＸ方向の外側、かつ＋Ｚ方向に移動する。そして、気泡は、第１貫通部１２２を通じて－Ｙ方向に移動する。その後、気泡は排出部１２３を通じて－Ｚ方向に移動した後、サブフィルタ１２６（図１２参照）を通じて第２貫通部１２４に進入する。第２貫通部１２４に進入した気泡は、図６に示すように第１ヘッドチップ５２Ａの第１気泡抜き孔６５Ａに進入した後、ノズルプレート３２の第１排出孔２４１Ａを通して外部に排出される。

一方、第２ヘッドチップ５２Ｂの共通インク室６２内や、第２流路部材５１Ｂ（第２インク流路１５５）に気泡が滞留している場合、気泡は第２気泡排出流路１６０を通じて第１ジェットモジュール３０Ａの外部に排出される。具体的に、第２インク流路１５５等に滞留する気泡は、排出部１６１を通じて貫通部１６２に到達する。貫通部１６２に到達した気泡は、サブフィルタ１６５を通過した後、図６に示す第２ヘッドチップ５２Ｂの第２気泡抜き孔６５Ｂに進入する。その後、気泡は、ノズルプレート３２の第２排出孔２４１Ｂを通して外部に排出される。

このように、本実施形態では、接続流路９２が、上流側から下流側に向かうに従い流路幅が広くなる一方、上流側から下流側に向かうに従い流路深さが浅くなっている構成とした。
この構成によれば、流路幅の拡大に伴う流路断面積の変化量を緩やかにすることができる。これにより、流路断面積の急拡大に伴う気泡の発生を抑制できる。

本実施形態では、接続流路９２の下流端での流路断面積を上流端での流路断面積よりも小さくすることで、下流端での流速を上流端での流速よりも速めることができる。そのため、仮に接続流路９２内で気泡が存在した場合に、気泡を接続流路９２よりも下流側に押し流すことができる。その結果、接続流路９２内での気泡の滞留を抑制できる。

本実施形態では、接続流路９２の流路幅及び流路深さが、上流側から下流側に向かうに従い漸次変化している構成とした。
この構成によれば、接続流路９２において、流路断面積が漸次変化するので、接続流路９２での流速変化が一定になる。そのため、接続流路９２において、上流側から下流側に向けてインクをスムーズに流通させることができるとともに、接続流路９２内に滞留する気泡を下流側に効率的に押し流すことができる。

本実施形態では、濾過流路８４にメインフィルタ９９が配置されているため、インクがメインフィルタ９９を通過する際に、インクに含まれる異物や気泡をメインフィルタ９９によって捕捉できる。
特に、本実施形態では、濾過流路８４内において第１流路板７７の厚さ方向にインクを流通させることで、メインフィルタ９９の厚さ方向を第１流路板７７の厚さ方向に沿わせてメインフィルタ９９を配置できる。これにより、メインフィルタ９９自体の面積を拡大させるにあたって、第１流路板７７を厚くする必要がない。そのため、フィルタ面積を確保した上で、薄型の第１流路部材５１Ａを提供できる。

本実施形態では、メインフィルタ９９に対してＸ方向の外側に貫通部１２２を形成する構成とした。
この構成によれば、インクが濾過流路８４内をＸ方向の外側に向けて流通する過程で、メインフィルタ９９で捕捉された気泡や濾過流路８４内で滞留する気泡を、貫通部１２２に向けて押し出すことができる。これにより、貫通部１２２を通じて気泡を効果的に排出できる。

本実施形態では、メインフィルタ９９に対して＋Ｚ方向に貫通部１２２を形成する構成とした。
この構成によれば、濾過流路８４内で浮かび上がった気泡が貫通部１２２に導かれる。そのため、貫通部１２２を通じて気泡を効果的に排出できる。

本実施形態では、貫通部１２２が第１流路部材５１ＡにおけるＸ方向の中心を通り、Ｚ方向に延びる対称軸に対して線対称に形成されている構成とした。
この構成によれば、貫通部１２２がＸ方向の中心に対して一方のみに配置されている場合に比べ、濾過流路８４内の気泡を効果的に排出できる。

本実施形態では、上述した第１流路部材５１Ａを備えているため、気泡に起因する吐出ムラを抑制し、吐出性能に優れたインクジェットヘッド５Ａ、５Ｂ及びプリンタ１を提供できる。

なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。

上述した実施形態では、ベース部材３８上にジェットモジュール３０Ａ，３０Ｂが２つ搭載された構成について説明したが、この構成のみに限られない。ベース部材３８に搭載するジェットモジュールの数は、１つでも３つ以上の複数でも構わない。

上述した実施形態では、エッジシュートのヘッドチップについて説明したが、これに限られない。例えば、吐出チャネルにおける延在方向の中央部からインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのヘッドチップに本発明を適用しても構わない。
また、インクに加わる圧力の方向と、インクの吐出方向と、を同一方向とした、いわゆるルーフシュートタイプのヘッドチップに本発明を適用しても構わない。

上述した実施形態では、Ｚ方向が重力方向に一致する構成について説明したが、この構成のみに限らず、Ｚ方向を水平方向に一致させても構わない。
上述した実施形態では、濾過流路８４を幅広流路とした構成について説明したが、この構成のみに限られない。例えば、幅広流路が共通インク室６２に連通する構成であっても構わない。

上述した実施形態では、１つのジェットモジュールに２つのヘッドチップ５２Ａ，５２Ｂが搭載された構成について説明したが、この構成のみに限られない。すなわち、１つのジェットモジュールに１つのヘッドチップが搭載された構成であっても構わない。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。

１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
５Ａ，５Ｂ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
１５…インクタンク
５１Ａ…第１流路部材（流路部材）
５２Ａ，５２Ｂ…ヘッドチップ
７７…第１流路板
８１…第１インク流路（液体流路）
８３…上流流路
８４…濾過流路（幅広流路）
９１…幅狭流路
９９…メインフィルタ（フィルタ）
１２２…貫通部（気泡排出部）

Claims (8)

1. 液体の供給源とヘッドチップとの間を連通させる液体流路が形成された流路板を備え、
   前記液体流路は、
   上流側に位置する幅狭流路と、
   前記幅狭流路に対して下流側に位置する幅広流路と、
   前記幅狭流路と前記幅広流路とを接続する接続流路と、を備え、
   前記接続流路は、上流側から下流側に向かうに従い流路幅が除々に広くなる一方、上流側から下流側に向かうに従い流路深さが徐々に浅くなっており、
   前記接続流路の下流端での流路断面積は、上流端での流路断面積よりも小さいことを特徴とする流路部材。
2. 前記流路幅及び前記流路深さが、上流側から下流側に向かうに従い漸次変化することを特徴とする請求項１に記載の流路部材。
3. 前記幅広流路は、前記流路板の厚さ方向に沿って液体が流通し、
   前記幅広流路には、液体を濾過するフィルタが配置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の流路部材。
4. 前記流路板には、前記流路板の幅方向において前記フィルタよりも外側に位置する部分で前記幅広流路と前記液体流路の外部とを連通させる気泡排出部が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の流路部材。
5. 前記流路板は、前記流路板の幅方向及び前記厚さ方向に交差する方向が重力方向に沿って配置され、
   前記流路板には、前記フィルタよりも上方に位置する部分で前記幅広流路と前記液体流路の外部とを連通させる気泡排出部が形成されていることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の流路部材。
6. 前記気泡排出部は、前記幅広流路における前記幅方向の中心に対して線対称となる位置に一対で形成されている請求項４又は請求項５に記載の流路部材。
7. 請求項１から請求項６の何れか１項に記載の流路部材を備えていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
8. 請求項７に記載の液体噴射ヘッドを備えていることを特徴とする液体噴射装置。

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