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JP6956063B2 - 加工品の表面損傷検査システム - Google Patents

加工品の表面損傷検査システム Download PDF

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Description

本発明は、加工品の表面損傷検査システムに関する。
従来、工作機械で加工した加工品は、バリ取り作業、洗浄作業を行った後、外観検査、ネジ検査、三次元測定検査などの各種検査を実施する(例えば、特許文献1参照)。これにより、不良品を排除し、信頼性の高い加工品を製品として出荷できるようにしている。
特開2012−068025号公報
一方、加工品の外観検査においては、一般に、検査者が目視で加工品の表面を検査し、傷や巣などの欠陥(損傷)の有無を判別するようにしている。
しかしながら、このように検査者の目視による外観検査では、傷や巣などの欠陥の見落としが発生するケースがあった。また、一般に、加工品(製品)は検査箇所によって判断基準が細かく設定されているため、これに伴い判断を誤るケースもあった。さらに、目視検査では、検査者の熟練度が検査結果に影響することもあり得る。
本発明は、上記事情に鑑み、撮像技術を用いて外観検査を自動化することができ、効率的且つ効果的に加工品の外観検査を行うことを可能にする加工品の表面損傷検査システムを提供することを目的とする。
本発明者は、効率的且つ効果的に加工品の外観検査を行う手段を見出し、本発明を完成するに至った。
(1)本発明は、検査対象である加工品(例えば、後述の加工品W)の表面の被検査面(例えば、後述の被検査面W1)の正面視で、互いに直交するX方向の前後方向とY方向の左右方向の4方向から前記被検査面に光(例えば、後述の光L)を照射する照明部(例えば、後述の照明部10)と、前記被検査面に対向するZ方向から前記被検査面の画像(例えば、後述の画像11)を撮像する撮像部(例えば、後述の撮像部12)と、前記撮像部で取得した前記被検査面の画像から前記被検査面の損傷を検出する損傷検出部(例えば、後述の損傷検出部15)と、前記照明部及び前記損傷検出部を有する損傷検査装置(例えば、後述の損傷検査装置9)を取り付けたロボット(例えば、後述の外観検査ロボット7)と、前記検査対象の加工品が配置されるテーブル(例えば、後述の検査用テーブル7)と、前記ロボットの駆動を制御する制御装置(例えば、後述の制御装置16)とを備え、前記制御装置は、前記テーブル上の前記検査対象の加工品、又は前記テーブルから前記ロボットが取って保持した前記検査対象の加工品を、前記損傷検査装置で検査するように前記ロボット及び前記損傷検査装置の駆動を制御することを特徴とする。
(2)本発明は、上記(1)において、前記加工品の表面のうち加工面を機械学習によって見分け、前記機械学習によって特定した前記加工面を検査領域として設定する検査領域設定部(例えば、後述の検査領域設定部)を備えてもよい。
本発明によれば、加工品の被検査面にX方向の前後方向とY方向の左右方向の4方向から光を照射することによって、従来の画像と異なり、汚れなどに対し傷や巣などの欠陥(損傷)を明瞭に映し出す(写し出す)ことができる。これにより、撮像技術を用いて外観検査を自動化することができ、効率的且つ効果的に加工品の外観検査を行うことが可能になる。
本発明の一実施形態に係る加工品の表面損傷検査システムを備えた外観検査等領域を示す図である。 本発明の一実施形態に係る加工品の表面損傷検査システムを示す図である。 加工品の表面の被検査面(傷、汚れ)と、本発明の一実施形態に係る加工品の表面損傷検査システムで撮像した加工品の表面の被検査面の画像とを示す図である。
以下、図1から図3を参照し、本発明の一実施形態に係る加工品の表面損傷検査システムについて説明する。
ここで、本実施形態は、工作機械で加工した加工品の表面の傷、巣(鋳物などの素材の巣)等の欠陥の有無を検査するためのシステムに関するものである。
また、検査対象の加工品は、例えば、工作機械で加工した後、パレットに載せられ、AGV (無人搬送車)などで自動倉庫の未検査品分散倉庫に搬入され、未検査品分散倉庫に具備されたスタッカクレーンで所定のスタッカラック(荷物棚)に格納される。
本実施形態の加工品の表面損傷検査システムAは、図1に示すように、例えば、上記の未検査品分散倉庫に隣接した外観検査領域(外観検査等領域)Rに設けられている。
加工品の表面損傷検査システムAは、外観検査領域Rの所定位置に設けられた仮置きテーブル1、2と、加工品Wを洗浄する洗浄装置3と、洗浄した加工品Wから洗浄液を除去するエアブロー装置4と、洗浄処理後の加工品Wを載置する検査用テーブル(テーブル)5と、仮置きテーブル1、2、洗浄装置3、エアブロー装置4、検査用テーブル5の間で加工品Wを運搬するハンドリングロボット6と、検査用テーブル5に送られた加工品Wの外観検査を行うための外観検査ロボット7とを備えて構成されている。
なお、本実施形態では、外観検査領域とネジ検査領域が同領域Rとされ、図1に示すように、加工品Wの雌ネジ孔のネジ検査を行うためのネジ検査ロボット8が外観検査ロボット7と並んで設けられている。そして、検査用テーブル7に送られた加工品Wに対し、外観検査ロボット7とネジ検査ロボット8がそれぞれ検査を行うように構成されている。
外観検査ロボット7は、多関節状のアームを備えて形成され、全方位の所定の領域内で自在に先端部を移動できるように構成されている。外観検査ロボット7は、先端部に、図2に示すような損傷検査装置(外観検査装置)9が取り付けられている。
損傷検査装置9は、図2、図3に示すように、検査対象である加工品Wの表面の被検査面W1の正面視で、互いに直交するX方向の前後方向とY方向の左右方向の4方向から被検査面W1に光Lを照射する照明部10と、被検査面W1に対向するZ方向から被検査面W1の画像11を撮像するCCDなどの撮像部12と、撮像部12で取得した被検査面W1の画像11を記憶する記憶部13と、被検査面W1の画像11から被検査面W1の傷や巣などの欠陥(損傷)14を検出する損傷検出部15とを備えている。
さらに、本実施形態の加工品の表面損傷検査システムAは、図1に示すように、検査用テーブル5上の加工品W、又は検査用テーブル5から外観検査ロボット7が取って保持した加工品Wを、損傷検査装置9で検査するように外観検査ロボット7及び損傷検査装置9の駆動を制御する 制御装置16を備えている。
そして、本実施形態の加工品の表面損傷検査システムAでは、損傷検査装置9の撮像部12で取得した被検査面W1の画像11が記憶部13に記憶され、損傷検出部15が記憶部13に記憶された被検査面W1の画像11を処理して傷や巣などの欠陥14の有無を検出する。
このとき、損傷検出部15は、図2、図3に示すように、前後の2方向、左右の2方向の全ての方向から光Lを照射した画像11を処理したり、前後の2方向、左右の2方向のそれぞれの方向から光Lを照射したときの画像11を合成処理するなどする。
これにより、本実施形態の加工品の表面損傷検査システムAでは、図3に示すように、例えば、被検査面W1にマジック等の汚れ17と傷(欠陥)14があった場合に、被検査面W1の画像11で、傷(欠陥)14を明瞭にし、逆に汚れ17が明瞭に示されないようにすることができる。
また、本実施形態の加工品の表面損傷検査システムAでは、加工品Wの表面のうち加工面を機械学習によって見分ける検査領域設定部18を設けるようにしてもよい。すなわち、機械学習によって、加工を施していない鋳物などの素材の素地面に対し、加工を施した加工面を特定し、この加工面を検査領域ひいては被検査面W1として設定する。
これにより、検査を必要とする加工品の面に対して効率的に損傷検査を行うことが可能になる。
したがって、本実施形態の加工品の表面損傷検査システムAによれば、撮像技術を用いて外観検査を自動化することができるとともに、効率的且つ効果的に加工品の外観検査を行うことが可能になる。
以上、本発明に係る加工品の表面損傷検査システムの一実施形態について説明したが、本発明は上記の一実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
3 洗浄装置
4 エアブロー装置
5 検査用テーブル(テーブル)
6 ハンドリングロボット
7 外観検査ロボット(ロボット)
8 ネジ検査ロボット
9 損傷検査装置
10 照明部
11 画像
12 撮像部
13 記憶部
14 欠陥(傷など)
15 損傷検出部
16 制御装置
17 汚れ
18 検査領域設定部
A 加工品の表面損傷検査システム
L 光
R 外観検査等領域
W 加工品
W1 被検査面(検査領域)

Claims (2)

  1. 検査対象である加工品の表面の被検査面の正面視で、互いに直交するX方向の前後方向とY方向の左右方向の4方向から前記被検査面に光を照射する照明部と、
    前記被検査面に対向するZ方向から前記被検査面の画像を撮像する撮像部と、
    前記撮像部で取得した前記被検査面の画像から前記被検査面の損傷を検出する損傷検出部と、
    前記照明部及び前記損傷検出部を有する損傷検査装置を取り付けたロボットと、
    前記検査対象の加工品が配置されるテーブルと、
    前記ロボットの駆動を制御する制御装置とを備え、
    前記制御装置は、
    前記テーブル上の前記検査対象の加工品、又は前記テーブルから前記ロボットが取って保持した前記検査対象の加工品を、前記損傷検査装置で検査するように前記ロボット及び前記損傷検査装置の駆動を制御し、
    前記損傷検出部は、前記X方向の前後方向、前記Y方向の左右方向のそれぞれの方向から光を照射したときの前記被検査面の画像を合成処理する、加工品の表面損傷検査システム。
  2. 前記加工品の表面のうち加工面を機械学習によって見分け、前記機械学習によって特定した前記加工面を検査領域として設定する検査領域設定部を備える、請求項1に記載の加工品の表面損傷検査システム。
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CN201911235085.0A CN111289521A (zh) 2018-12-07 2019-12-05 加工品的表面损伤检查系统

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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6333871B2 (ja) * 2016-02-25 2018-05-30 ファナック株式会社 入力画像から検出した対象物を表示する画像処理装置
JP7111633B2 (ja) * 2019-01-18 2022-08-02 ファナック株式会社 加工品の自動三次元測定検査システム
US11686690B2 (en) * 2020-11-12 2023-06-27 Kla Corporation System and method for inspection and metrology of four sides of semiconductor devices
CN113029959A (zh) * 2021-04-12 2021-06-25 浙江机电职业技术学院 一种面向智能工厂的液晶屏缺陷在线检测系统

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04106461A (ja) * 1990-08-28 1992-04-08 Mazda Motor Corp 表面欠陥検査装置
JP2000249658A (ja) * 1999-03-02 2000-09-14 Olympus Optical Co Ltd 検査装置
US6905573B2 (en) * 2000-09-06 2005-06-14 Metso Paper, Inc. Method and equipment for cleaning and maintaining rolls
KR100492158B1 (ko) * 2002-11-19 2005-06-02 삼성전자주식회사 웨이퍼 검사 장치
JP5469839B2 (ja) * 2008-09-30 2014-04-16 株式会社日立ハイテクノロジーズ 物体表面の欠陥検査装置および方法
US8953870B2 (en) * 2009-11-18 2015-02-10 Honda Motor Co., Ltd. Surface inspection device and surface inspection method
JP2011149814A (ja) * 2010-01-21 2011-08-04 Central Motor Co Ltd 塗装検査装置及び塗装検査方法
JP5638327B2 (ja) 2010-09-21 2014-12-10 Ntn株式会社 外観検査装置
JP5895305B2 (ja) * 2011-12-06 2016-03-30 シーシーエス株式会社 検査用照明装置及び検査用照明方法
JP6370177B2 (ja) * 2014-09-05 2018-08-08 株式会社Screenホールディングス 検査装置および検査方法
JP2017062154A (ja) * 2015-09-24 2017-03-30 アイシン精機株式会社 欠陥検出装置及び欠陥検出方法
JP2017067633A (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 キヤノン株式会社 検査装置および物品製造方法
JP2017198612A (ja) * 2016-04-28 2017-11-02 キヤノン株式会社 検査装置、検査システム、および物品製造方法
JP6834174B2 (ja) * 2016-05-13 2021-02-24 株式会社ジェイテクト 外観検査方法および外観検査装置
ES2772928T3 (es) * 2016-11-26 2020-07-08 Agie Charmilles Sa Método para mecanizado e inspección de piezas de trabajo
JP6847709B2 (ja) * 2017-02-24 2021-03-24 京セラ株式会社 カメラ装置、検出装置、検出システムおよび移動体
CN108760765B (zh) * 2018-05-24 2021-12-07 武汉精测电子集团股份有限公司 一种基于侧视相机拍摄的表面损伤缺陷检测装置及方法

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