JP6951167B2

JP6951167B2 - ガス分析装置及びガス分析方法

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Publication number: JP6951167B2
Application number: JP2017176640A
Authority: JP
Inventors: 佳洋横田
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 2016-11-29
Filing date: 2017-09-14
Publication date: 2021-10-20
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Description

本発明は、ガスの共存影響や干渉影響などの影響を補正することができるガス分析装置及びガス分析方法に関するものである。

例えば内燃機関の排ガスなどの試料ガスに含まれる測定対象成分の濃度を測定するガス分析装置としては、赤外吸収法を用いたものがある。

この赤外吸収法を用いて測定対象成分（例えば一酸化炭素（ＣＯ））の濃度を測定する場合には、前記測定対象成分とともに試料ガスに共存する他のガス成分（例えば二酸化炭素（ＣＯ_２））が共存影響を与えてしまうことが知られている。

この共存影響は、測定対象成分の赤外線の吸収スペクトルが、共存成分の分子間相互作用によって波数がシフトして、その線幅が広がることにより、ブロードな形に変化してしまうこと（ブロードニング現象）から生じると考えられている。

従来、この共存影響を除去するガス分析装置としては、特許文献１に示すガス分析装置がある。このガス分析装置は、校正時に、実サンプルにおける共存成分の平均濃度を用いて感度調整係数を決定して校正している。

しかしながら、このガス分析装置では、校正時に、実サンプルにおける共存成分の平均濃度を用いて感度調整係数を決定して校正しているので、校正時と共存成分濃度が異なるガスを測定する場合には、共存影響による誤差が生じてしまう。また、共存成分濃度が時々刻々変化する測定においても、正確に共存成分の共存影響を排除することができない。

特開２０００−３５６５８９号公報

そこで本発明は、上述した課題を解決すべくなされたものであり、共存成分である第２ガス成分の濃度が変動する場合であっても、第１ガス成分に対する第２ガス成分の影響をリアルタイムに精度良く補正することをその主たる課題とするものである。

すなわち本発明に係るガス分析装置は、試料ガスに含まれる第１ガス成分濃度を測定する第１ガス分析部と、前記試料ガスに含まれる第２ガス成分濃度を測定する第２ガス分析部と、前記第１ガスに対する前記第２ガスの影響を補正するための補正係数を格納する補正係数格納部と、前記第１ガス分析部により得られた第１ガス成分濃度を、前記補正係数、第１ガス分析部の校正に用いた校正ガスの第２ガス成分濃度、及び前記第２ガス分析部により得られた第２ガス成分濃度に基づいて補正する濃度補正部とを具備することを特徴とする。

また、本発明に係るガス分析方法は、試料ガスに含まれる第１ガス成分濃度を測定する第１ガス分析部と、前記試料ガスに含まれる第２ガス成分濃度を測定する第２ガス分析部とを用いたガス分析方法であって、前記第１ガス分析部により得られた第１ガス成分濃度を、前記第１ガスに対する前記第２ガスの影響を補正するための補正係数、第１ガス分析部の校正に用いた校正ガスの第２ガス成分濃度、及び前記第２ガス分析部により得られた第２ガス成分濃度に基づいて補正することを特徴とする。

このようなものであれば、第１ガス分析部により得られた第１ガス成分濃度を、補正係数と、第１ガス分析部の校正に用いた校正ガスの第２ガス成分濃度と、第２ガス分析部により得られた第２ガス成分濃度とに基づいて補正するので、共存成分である第２ガス成分の濃度が変動する場合であっても、第１ガス成分に対する第２ガス成分の影響をリアルタイムに精度よく補正することができる。また、第１ガス分析部の校正ガスとして、少なくとも第１ガス成分及び第２ガス成分を含む混合ガスを用いた場合であっても、第１ガス成分に対する第２ガス成分の影響をリアルタイムに精度よく補正することができる。

ガス分析装置における補正の具体的な実施の態様としては、前記濃度補正部は、前記第１ガス成分濃度を、前記補正係数と、前記校正ガスの第２ガス成分濃度及び前記第２ガス分析部により得られた第２ガス成分濃度の差とに基づいて補正するものであることが考えられる。

ガス分析装置における補正の具体的な実施の態様としては、ガス分析装置が前記第１ガス分析部の校正に用いた校正ガスの第２ガス成分濃度に基づいて、前記補正係数を変更する補正係数変更部をさらに備え、前記濃度補正部は、前記第１ガス分析部により得られた第１ガス成分濃度を、前記補正係数変更部により変更された変更後の補正係数及び前記第２ガス分析部により得られた第２ガス成分濃度を用いて補正することが望ましい。

前記補正係数は、第２ガス成分濃度と当該第２ガス成分濃度における第１ガス成分濃度の相対誤差との関係を示すものであり、前記補正係数変更部は、前記補正係数において前記第１ガス成分濃度の相対誤差がゼロとなる第２ガス成分濃度と、前記第１ガス分析部の校正に用いた校正ガスの第２ガス成分濃度との差に基づいて前記補正係数を変更することが望ましい。

補正係数変更部の具体的な変更方法としては、前記補正係数変更部は、前記第１ガス成分濃度の相対誤差がゼロとなる第２ガス成分濃度が前記校正ガスの第２ガス成分濃度となるように、前記補正係数をシフトさせることが考えられる。

前記第１ガス分析部及び前記第２ガス分析部は、ＮＤＩＲ法を用いた検出器を有することが望ましい。特に、第１ガス分析部及び第２ガス分析部が、単一セルを有する１つのＮＤＩＲ検出器により構成される場合には、セル長が特定されるため使用できる波長が制限されて共存影響などの影響を受けやすい。このような構成の場合において、本が発明の効果が顕著となる。

試料ガスにおける測定対象成分が、一酸化炭素（ＣＯ）及び二酸化炭素（ＣＯ_２）の場合には、一酸化炭素（ＣＯ）に対する二酸化炭素（ＣＯ_２）の共存影響が測定誤差になる。この場合、前記第１ガス成分が一酸化炭素（ＣＯ）であり、前記第２ガス成分が二酸化炭素（ＣＯ_２）である。

このように構成した本発明によれば、共存成分である第２ガス成分の濃度が時々刻々変動する場合であっても、第１ガス成分に対する第２ガス成分の影響をリアルタイムに補正することができる。

本実施形態に係るガス分析装置の構成を示す模式図である。同実施形態の演算装置の機能構成図である。同実施形態の変更前後の補正係数である関係式を示す図である。同実施形態の補正前後のＣＯ濃度の相対誤差を示す図である。

以下に本発明に係るガス分析装置の一実施形態について図面を参照して説明する。

＜装置構成＞
本実施形態のガス分析装置１００は、例えばエンジンなどの排ガス源から排出される排ガスに含まれる複数のガス成分を分析するものである。本実施形態では、エンジン排ガスに含まれる第１ガス成分である一酸化炭素（ＣＯ）及び第２ガス成分である二酸化炭素（ＣＯ_２）を含む多成分ガスを同時に測定する非分散赤外吸収法（ＮＤＩＲ法）を用いたものである。ガス分析装置１００は、多成分ガスを同時に測定するものでなくても良いし、ＮＤＩＲ法以外の例えばＦＴＩＲ法等の光吸収法を用いたものであっても良い。

なお、第２ガス成分であるＣＯ_２は、ＮＤＩＲ法において、第１ガス成分であるＣＯに対して共存影響を与える。つまり、第１ガス成分であるＣＯの赤外線の吸収スペクトルは、ＣＯ_２の分子間相互作用によって波数がシフトして、その吸収スペクトルにブロードニングが生じる。

具体的にこのガス分析装置１００は、図１に示すように、エンジン排ガスに含まれるＣＯ濃度を連続測定する第１ガス分析部２と、エンジン排ガスに含まれるＣＯ_２濃度を連続測定する第２ガス分析部３と、各分析部２、３からの出力を取得してエンジン排ガスに含まれるＣＯ濃度及びＣＯ_２濃度を算出する演算装置４とを備えている。

第１ガス分析部２及び第２ガス分析部３は、ＮＤＩＲ検出器を有するものであり、共通の単一セルを用いて構成されている。具体的にこれらの分析部２、３は、エンジン排ガスが導入・導出される測定セル１０と、当該測定セル１０に赤外光を照射する例えば赤外光源などの赤外線照射部１１と、測定セル１０を通過した赤外線を検出する赤外線検出器１２とを備えている。

本実施形態の赤外線検出器１２は、集電型赤外検出器であり、ＣＯ測定用の検出器１２ａ及びＣＯ_２測定用の検出器１２ｂを有している。その他、炭化水素（ＨＣ）測定用の検出器１２ｃ及び比較信号用の検出器１２ｄも備えている。各検出器１２ａ〜１２ｄと測定セル１０との間には、光学フィルタ１３ａ〜１３ｄが設けられており、各光学フィルタ１３ａ〜１３ｄはそれぞれ透過特性が異なり、ＣＯ、ＣＯ_２、ＨＣの吸収波長、及び、それらの吸収の無い参照用波長に対応している。なお、赤外線検出器１２としては、集電型赤外検出器の他に、ニューマチックセル型赤外検出器、セレン化鉛を用いた検出器又はサーモパイル型検出器などを用いることができる。

演算装置４は、ＣＰＵ、メモリ、入出力インターフェイス、ＡＤ変換器等を備えた専用乃至汎用のコンピュータであり、メモリに格納された分析プログラムに従って、ＣＯ濃度、ＣＯ_２濃度及びＨＣ濃度を算出するものである。

具体的に演算装置４は、第１ガス分析部２及び第２ガス分析部３を構成する赤外線検出器１２からの出力信号（光強度信号）を取得して、各検出器１２ａ〜１２ｄの光強度信号から得られた吸収スペクトルを用いて、ＣＯ濃度、ＣＯ_２濃度及びＨＣ濃度を算出するものである。

然して、この演算装置４は、第１ガス成分であるＣＯに対する第２ガス成分であるＣＯ_２の共存影響を補正する機能を有しており、メモリに格納された分析プログラムに従って、図２に示すように、濃度算出部４０、補正係数格納部４１、補正係数変更部４２及び濃度補正部４３等の機能を発揮する。

濃度算出部４０は、各検出器１２ａ〜１２ｄの光強度信号から得られた吸収スペクトルを用いて、ＣＯ濃度、ＣＯ_２濃度及びＨＣ濃度を算出するものである。

補正係数格納部４１は、第１ガス成分に対する第２ガス成分の共存影響を補正するための補正係数を格納するものである。この補正係数を示す補正係数データは、製品出荷前や製品稼働前に予め補正係数格納部４１に入力される。

ここで、補正係数とは、図３に示すように、ＣＯ_２濃度と、当該ＣＯ_２濃度におけるＣＯ濃度の相対誤差との関係を示すものである。補正係数の保存形式としては、前記関係を示す関数形式であっても良いし、ルックアップテーブル等の表形式であっても良い。

また、ＣＯ_２濃度におけるＣＯ濃度の相対誤差とは、下記の式で示されるように、ＣＯ_２の共存影響がない場合のＣＯ濃度（正確な値）に対する誤差の割合である。当該誤差は、ＣＯ_２の共存影響がない場合のＣＯ濃度とＣＯ_２の共存影響がある場合のＣＯ濃度との差で表される。
相対誤差＝（「ＣＯ濃度__{共存影響あり}」−「ＣＯ濃度__{共存影響なし}」）／「ＣＯ濃度__{共存影響なし}」×１００％

補正係数変更部４２は、第１ガス分析部２の校正に用いた校正ガスの第２ガス成分濃度に基づいて、補正係数を変更するものである。なお、本実施形態の第１ガス分析部２を含む赤外線検出器１２は、濃度既知のＣＯと濃度既知のＣＯ_２との混合ガスを校正ガスとして用いて校正される。また、第１ガス分析部２の校正に用いた校正ガスの第２ガス成分濃度のデータは、補正係数格納部４１又はその他のデータ格納部に格納されている。

例えば、補正係数が、ＣＯ_２濃度がゼロの場合にＣＯ濃度の相対誤差がゼロとなるものの場合、補正係数変更部４２は、第１ガス分析部２の校正に用いた校正ガスのＣＯ_２濃度をパラメータとして、以下のようにして補正係数を変更する。

第１ガス分析部２の校正に濃度既知のＣＯと濃度既知（例えば１０％ｖｏｌ）のＣＯ_２との混合ガスを校正ガスとして用いた場合には、ＣＯ_２の既知濃度（１０％ｖｏｌ）において、相対誤差がゼロとなるように校正される。このため、補正係数変更部４２は、補正係数においてＣＯ濃度の相対誤差がゼロとなるＣＯ_２濃度（０％ｖｏｌ）と、第１ガス分析部２の校正に用いた校正ガスのＣＯ_２濃度（１０％ｖｏｌ）との差に基づいて補正係数を変更する。つまり、補正係数変更部４２は、校正に用いた校正ガスのＣＯ_２濃度において、ＣＯ濃度の相対誤差がゼロとなるように補正係数をシフトさせて変更する（図３参照）。なお、補正係数を変更するのに用いる相対誤差がゼロとなるＣＯ_２濃度（０％ｖｏｌ）は、相対誤差が所定範囲内にあるＣＯ_２濃度（０％ｖｏｌ）であっても良い。この所定範囲は、ユーザが選択する値である。

例えば、変更前の補正係数において、ＣＯ_２濃度が０％ｖｏｌにおいてＣＯの相対誤差が０％であり、ＣＯ_２濃度が１０％ｖｏｌにおいてＣＯの相対誤差が２．６５％であった場合、変更後の補正係数においては、ＣＯ_２濃度が０％ｖｏｌにおいてＣＯの相対誤差が−２．６５％であり、ＣＯ_２濃度が１０％ｖｏｌにおいてＣＯの相対誤差が０％となる。

濃度補正部４３は、第１ガス分析部２からの光強度信号を用いて濃度算出部４０により算出されたＣＯ濃度を、補正係数変更部４２により変更された変更後の補正係数と、第２ガス分析部３からの光強度信号を用いて濃度算出部４０により算出されたＣＯ_２濃度とを用いて補正するものである。

具体的に演算装置４は、補正係数変更部４２及び濃度補正部４３の機能に基づいて、以下の式により、ＣＯ濃度を補正する。

Ｃ（ＣＯ）_ｃｏｒｒ＝Ｃ（ＣＯ）／（１＋ｆ（Ｃ（ＣＯ_２）））
ここで、ｆ（Ｃ（ＣＯ_２））は、ＣＯ濃度の相対誤差を示す関数（補正後の補正係数）であり、
ｆ（Ｃ（ＣＯ_２））＝Ｋ_１×Ｃ（ＣＯ_２）×Ｃ（ＣＯ_２）＋Ｋ_２×Ｃ（ＣＯ_２）−｛Ｋ_１×Ｃ（ＣＯ_２_ｓｐａｎ）×Ｃ（ＣＯ_２_ｓｐａｎ）＋Ｋ_２×Ｃ（ＣＯ_２_ｓｐａｎ）｝

Ｃ（ＣＯ）_ｃｏｒｒ：補正後の実測時のＣＯ濃度［％ｖｏｌ］
Ｃ（ＣＯ）：補正前の実測時のＣＯ濃度［％ｖｏｌ］
Ｃ（ＣＯ_２）：実測時のＣＯ_２濃度［％ｖｏｌ］
Ｃ（ＣＯ_２_ｓｐａｎ）：ＣＯ計をスパン校正したときの共存ＣＯ_２濃度［％ｖｏｌ］
Ｋ_１、Ｋ_２：実験により求まる係数（本実施形態では、ＣＯ_２濃度とＣＯ濃度の相対誤差との関係を二次曲線に近似した場合の係数である。）

図４に、ＣＯ_２濃度が１４％ｖｏｌの混合ガスを校正ガスとして用いてＮＤＩＲ検出器のスパン校正をした場合における補正前後のＣＯ濃度の相対誤差を示す。
図４から分かるように、本実施形態の共存影響補正を行うことによって、補正後のＣＯ濃度の相対誤差が±１％の範囲に収まるように補正されていることがわかる。

＜本実施形態の効果＞
このように構成された本実施形態に係るガス分析装置１００によれば、第１ガス分析部２により得られたＣＯ濃度を、補正係数変更部４２により変更された変更後の補正係数と、第２ガス分析部３により得られた実測時のＣＯ_２濃度とに基づいて補正するので、共存成分であるＣＯ_２の濃度が変動する場合であっても、ＣＯに対するＣＯ_２の共存影響をリアルタイムに精度よく補正することができる。なお、赤外線検出器１２を用いた場合において、ＣＯ_２の吸収スペクトルとＣＯの吸収スペクトルとが重畳することによって生じる干渉影響も考えられるが、この干渉影響は、上述した共存影響に比べて小さい。ＣＯ濃度をより一層精度よく測定するためには、本実施形態に加えて、ＣＯに対するＣＯ_２の干渉影響をさらに補正するようにしてもよい。干渉影響補正についても、補正係数格納部４１に干渉影響補正用の補正係数を格納することで、共存影響と同様の方法を用いて補正することができる。

＜その他の実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

例えば、前記実施形態では、演算装置４が補正係数変更部４２を有しており、当該補正係数変更部４２によって補正係数を変更するものであったが、補正係数を変更することなく、濃度補正部４３が、補正係数の第１ガス成分濃度の相対誤差がゼロとなる第２ガス成分濃度と、第１ガス分析部２の校正に用いた校正ガスの第２ガス成分濃度との差をパラメータとして、第１ガス成分濃度を補正しても良い。つまり、濃度補正部４３において、第１ガス分析部２により得られた第１ガス成分濃度を、変更されていない補正係数と第２ガス分析部３により得られた第２ガス成分濃度に基づいて補正し、その補正後の第１ガス成分濃度を、補正係数の第１ガス成分濃度の相対誤差がゼロとなる第２ガス成分濃度と、第１ガス分析部２の校正に用いた校正ガスの第２ガス成分濃度との差に基づいて更に補正するようにしても良い。
例えば、第１ガス分析部２により得られた第１ガス成分濃度が５％ｖｏｌであり、第２ガス分析部３により得られた第２ガス成分濃度が６％ｖｏｌであった場合には、濃度補正部４３は、補正係数（例えば前記実施形態の変更前の補正係数）を用いて、相対誤差を求める。この場合、相対誤差は、約＋２％である。そして、濃度補正部は、この相対誤差（約２％）を用いて、第１ガス成分濃度（５％ｖｏｌ）を補正する。その後、濃度補正部４３は、補正後の第１ガス成分濃度（約４．９％ｖｏｌ）を、補正係数の第１ガス成分濃度の相対誤差がゼロとなる第２ガス成分濃度（０％ｖｏｌ）と、第１ガス分析部２の校正に用いた校正ガスの第２ガス成分濃度（例えば１０％ｖｏｌ）との差（１０％ｖｏｌ）に基づき補正係数をシフトした場合の相対誤差の変化分（シフト量：−２．６５％）を用いて、補正後の第１ガス成分濃度（約４．９％）を更に補正する。この場合、更に補正した補正後の第１ガス成分濃度は、約５．３７％ｖｏｌとなる。

また、前記実施形態では、エンジン排ガスを分析するものであったが、その他、環境ガスなどの試料ガスを分析するものであっても良い。

さらに、前記実施形態では、第１ガス分析部２及び第２ガス分析部３が単一セルを用いて構成されているが、第１ガス分析部２及び第２ガス分析部３それぞれを単成分計として構成しても良い。

その上、前記実施形態では、２成分（ＣＯ、ＣＯ_２）についてＣＯに対するＣＯ_２の共存影響を補正するものであったが、ＣＯ_２に対するＣＯの共存影響を補正するものであっても良いし、その他の２成分（例えばＣＯ_２、Ｈ_２Ｏ、ＨＣ、ＮＯ、ＳＯ_２等から選ばれる２成分）についての共存影響を補正するものであっても良いし、３成分以上（ＣＯ、ＣＯ_２、Ｈ_２Ｏ、ＨＣ、ＮＯ、ＳＯ_２等から選ばれる３成分以上）についての共存影響を補正するものであっても良い。

加えて、前記実施形態の補正係数は、ＣＯ_２濃度が０％ｖｏｌにおいてＣＯの相対誤差が０％となるものであったが、その他のＣＯ_２濃度においてＣＯの相対誤差が０％となるものであっても良い。

さらに加えて、補正係数変更部により変更した補正後の補正係数を求めることなく、補正係数格納部４１に、校正ガスの第２ガス成分濃度に基づいて予めシフトした補正係数を格納しておき、濃度補正部が当該補正係数格納部４１に格納された変更後の補正係数を用いるものであっても良い。

前記ガス分析装置を車両に搭載されて走行中の車両の排気管から排出される排ガスを分析する車両搭載型のものとしてもよい。この車両搭載型のガス分析装置においても濃度既知のＣＯ、ＣＯ_２、プロパン等の混合ガスを校正ガスとして用いて校正される。また、ガス分析装置が水分計を有しており、当該水分計により得られたＨ_２Ｏ濃度を用いてＣＯ濃度やＣＯ_２濃度を補正するようにしてもよい。

前記実施形態では、ＣＯに対するＣＯ_２の共存影響を補正するものであったが、共存影響補正の代わりに、干渉影響を補正するものであってもよい。干渉影響補正についても、補正係数格納部４１に干渉影響補正用の補正係数を格納することで、共存影響と同様の方法を用いて補正することができる。

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

１００・・・ガス分析装置
２・・・第１ガス分析部
３・・・第２ガス分析部
４・・・演算装置
４１・・・補正係数格納部
４２・・・補正係数変更部
４３・・・濃度補正部

Claims

試料ガスに含まれる第１ガス成分濃度を測定する第１ガス分析部と、
前記試料ガスに含まれる第２ガス成分濃度を測定する第２ガス分析部と、
前記第１ガスに対する前記第２ガスの影響を補正するためのものであり、第２ガス成分濃度と当該第２ガス成分濃度における第１ガス成分濃度の相対誤差との関係を示す補正係数を格納する補正係数格納部と、
前記第１ガス分析部により得られた第１ガス成分濃度を、
（ａ）前記補正係数と、
（ｂ）前記補正係数における第１ガス成分濃度の相対誤差がゼロとなる第２ガス成分濃度と、第１ガス分析部の校正に用いた校正ガスの第２ガス成分濃度との差と、
（ｃ）前記第２ガス分析部により得られた第２ガス成分濃度と
に基づいて決定される値で補正する濃度補正部と、を具備し、
前記第１ガス分析部は、少なくとも濃度既知の前記第１ガス成分及び濃度既知の前記第２ガス成分を含む混合ガスを前記校正ガスとして用いて校正されるガス分析装置。
前記濃度補正部は、前記第１ガス成分濃度を、前記補正係数と、前記校正ガスの第２ガス成分濃度及び前記第２ガス分析部により得られた第２ガス成分濃度の差とに基づいて補正するものである、請求項１記載のガス分析装置。
前記第１ガス成分濃度の相対誤差がゼロとなる第２ガス成分濃度が前記校正ガスの第２ガス成分濃度となるように、前記補正係数をシフトさせて変更する補正係数変更部をさらに備え、
前記濃度補正部は、前記第１ガス分析部により得られた第１ガス成分濃度を、前記補正係数変更部により変更された変更後の補正係数及び前記第２ガス分析部により得られた第２ガス成分濃度を用いて補正する、請求項１又は２記載のガス分析装置。
前記第１ガス分析部及び前記第２ガス分析部は、ＮＤＩＲ法を用いた検出器を有する、請求項１乃至３の何れか一項に記載のガス分析装置。
前記第１ガス成分又は前記第２ガス成分の一方が一酸化炭素（ＣＯ）であり、
前記第１ガス成分又は前記第２ガス成分の他方が二酸化炭素（ＣＯ_２）である、請求項１乃至４の何れか一項に記載のガス分析装置。
前記試料ガスは、内燃機関から排出される排ガスである、請求項１乃至５の何れか一項に記載のガス分析装置。
試料ガスに含まれる第１ガス成分濃度を測定する第１ガス分析部と、前記試料ガスに含まれる第２ガス成分濃度を測定する第２ガス分析部とを用いたガス分析方法であって、
前記第１ガス分析部を、少なくとも濃度既知の前記第１ガス成分及び濃度既知の前記第２ガス成分を含む混合ガスを校正ガスとして用いて校正し、
前記第１ガス分析部により得られた第１ガス成分濃度を、
（ａ）前記第１ガスに対する前記第２ガスの影響を補正するためのものであり、第２ガス成分濃度と当該第２ガス成分濃度における第１ガス成分濃度の相対誤差との関係を示す補正係数と、
（ｂ）前記補正係数における第１ガス成分濃度の相対誤差がゼロとなる第２ガス成分濃度と、第１ガス分析部の校正に用いた前記校正ガスの第２ガス成分濃度との差と、
（ｃ）前記第２ガス分析部により得られた第２ガス成分濃度と、に基づいて補正するガス分析方法。