JP6920923B2 - ポンプ装置および基板処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体を吐出するポンプ装置および基板を処理する基板処理装置に関する。基板は、例えば、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ用基板、有機ＥＬ(Electroluminescence)用基板、ＦＰＤ(Flat Panel Display)用基板、光ディスプレイ用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、太陽電池用基板などである。

特許文献１は、モータとポンプと制御部を備えた基板処理装置を開示する。モータはポンプを駆動する。モータはパルスモータである。ポンプはレジスト液を吐出する。制御部には、ポンプの制御情報が入力される。制御情報は、レジストの吐出量、吐出時間および吐出速度である。制御部は、制御情報に基づいて、モータを制御する。制御部は駆動パルスによりモータを制御する。

さらに、制御部はレジスト液の吐出量の補正値を有する。補正値は、所定駆動パルスあたりの吐出量の実測値である。制御情報に従ってモータを制御したときに実際に吐出されるレジストの量を、制御部は補正値を用いて算出する。また、実際に吐出されるレジストの量が制御情報に規定される吐出量と等しくなるように、制御部は、制御情報に規定される吐出時間または吐出速度を補正値で補正する。

特開２００６−６０２５１号公報

しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、所定駆動パルスあたりの吐出量が一定でない場合、単に吐出時間や吐出速度を補正しても、レジストの吐出量を適切に調整できない。所定駆動パルスあたりの吐出量が一定でない場合とは、たとえば、パルス数の増加にしたがって、所定駆動パルスあたりの吐出量がばらつく場合である。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、液体を吐き出す量を精度良く調整できるポンプ装置および基板処理装置を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明は、液体を吐き出すポンプ装置において、液体を収容するポンプ室であって、前記ポンプ室内の容積の減少によって前記ポンプ室内の液体を前記ポンプ室外に吐き出す前記ポンプ室と、移動可能に設けられ、前記ポンプ室内の容積を変える可動部材と、前記可動部材に接続され、前記可動部材を移動させるアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記ポンプ室から吐き出される液体の吐き出し量の目標値である目標吐き出し量に関する情報を含む吐き出し命令と、前記可動部材の位置および前記吐き出し量の理論的な関係に関する理論情報と、前記可動部材の出発位置を参照して、仮想終点を特定し、前記可動部材の位置および前記吐き出し量の理論的な関係と前記可動部材の位置および前記吐き出し量の実際の関係との違いに関する補正情報を参照して、前記仮想終点を目標位置に補正し、前記可動部材を前記出発位置から前記目標位置に移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力するポンプ装置である。

制御部は吐き出し命令と理論情報と出発位置を用いて仮想終点を特定する。制御部は、補正情報を用いて仮想終点を目標位置に補正する。制御部は、目標位置に基づいてアクチュエータを制御する。アクチュエータは、可動部材を目標位置に移動させる。可動部材の移動に伴って、ポンプ室の内容積が減少し、ポンプ室は液体をポンプ室外に吐き出す。

ここで、目標位置は仮想終点そのものではなく、仮想終点が補正された位置である。特に、補正に用いられる補正情報は、可動部材の位置および吐き出し量の理論的な関係と可動部材の位置および吐き出し量の実際の関係との違いに関する情報である。このため、仮想終点がどの位置であっても、制御部は適切な目標位置を特定できる。よって、ポンプ室が実際に吐き出す液体の量を、目標吐出量に好適に近似させることができる。すなわち、ポンプ装置が吐き出す液体の量を精度良く調整できる。

上述のポンプ装置において、前記理論情報は、各位置と、前記可動部材が第１基準位置から前記各位置に到達するときの理論的な前記吐き出し量とを対応付け、前記補正情報は、理論位置と実際位置とを対応付け、前記可動部材が第２基準位置から前記理論位置に到達するときの理論的な前記吐き出し量は、前記可動部材が前記第２基準位置から、前記理論位置に対応する前記実際位置に到達するときの実際の前記吐き出し量と等しい
ことが好ましい。

理論情報における吐き出し量は、可動部材が第１基準位置から各位置に到達するときの吐き出し量の理論値である。理論情報がこのように構成されているので、制御部は理論情報を用いて仮想終点を好適に特定できる。

補正情報における理論位置は、任意の吐き出し量の液体を吐き出させるために可動部材が第２基準位置から理論的に到達する位置である。補正情報における実際位置は、任意の吐き出し量と同量の液体が吐き出されるときに可動部材が第２基準位置から実際に到達する位置である。補正情報がこのように構成されているので、制御部は補正情報を用いて仮想終点を目標位置に好適に補正できる。

上述のポンプ装置において、前記出発位置は、前記可動部材の現在位置であり、前記制御部は、前記補正情報を参照して、前記可動部材の前記現在位置を仮想始点に補正し、前記目標吐き出し量と前記理論情報と前記仮想始点を参照して、前記仮想終点を特定することが好ましい。

制御部は、補正情報を用いて現在位置を仮想始点に補正する。制御部は、仮想始点を基準とする仮想終点を特定する。これにより、制御部は、現在位置から出発する可動部材の目標位置を好適に特定できる。よって、可動部材の現在位置がどの位置であっても、可動部材の現在位置を出発位置とすることができる。

上述のポンプ装置において、前記制御部は、前記補正情報において前記可動部材の前記現在位置と等しい実際位置に対応付けられる理論位置を、前記仮想始点と特定し、前記理論情報において前記仮想始点と等しい位置に対応付けられる吐き出し量を初期吐き出し量と特定し、前記初期吐き出し量と前記目標吐き出し量との和である合計量を特定し、前記理論情報において前記合計量と等しい吐き出し量に対応付けられる位置を、前記仮想終点と特定し、前記補正情報において前記仮想終点と等しい理論位置に対応付けられる実際位置を、前記目標位置と特定することが好ましい。

制御部が上述した処理を行うことにより、制御部は、仮想始点、仮想終点および目標位置を好適に特定できる。

上述のポンプ装置において、前記ポンプ装置は、前記アクチュエータの駆動量および前記可動部材の位置の少なくともいずれかを検出するセンサを備え、前記制御部は、前記センサの検出結果に基づいて、前記可動部材の前記現在位置を特定することが好ましい。

ポンプ装置はセンサを備えるので、可動部材の現在位置を好適に特定できる。

上述のポンプ装置において、前記制御部は、補正情報に含まれる前記理論位置および前記実際位置を補間する直線または曲線によって、前記仮想終点および前記目標位置の少なくともいずれかを推定することが好ましい。

補正情報を補間することによって、仮想終点と等しい理論位置を精度良く推定できる。さらに、推定された理論位置に対応付けられる実際位置（すなわち、目標位置）を精度良く推定できる。このため、仮に補正情報が仮想終点と等しい理論位置を含まない場合であっても、目標位置を好適に特定できる。

上述のポンプ装置において、前記吐き出し命令は、前記ポンプ室から吐き出される液体の流量の目標値である目標流量に関する情報を含み、前記制御部は、前記理論情報を参照して、前記目標流量で前記ポンプ室から液体を吐き出すための前記可動部材の理論的な移動速度を理論速度と特定し、前記補正情報を参照して、前記理論速度を修正速度に補正し、前記可動部材を前記修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力することが好ましい。

制御部は理論情報を用いて理論速度を特定する。制御部は補正情報を用いて理論速度を修正速度に補正する。制御部は修正速度に基づいてアクチュエータを制御する。アクチュエータは可動部材は修正速度で移動させる。ポンプ室は修正速度に応じた流量で液体を吐き出す。

ここで、修正速度は理論速度そのものではなく、理論速度が補正された速度である。特に、補正に用いられる補正情報は、可動部材の位置および吐き出し量の理論的な関係と可動部材の位置および吐き出し量の実際の関係との違いに関する情報である。このため、ポンプ室が実際に吐き出す液体の流量を、目標流量に好適に近似させることができる。すなわち、液体の流量を精度良く調整できる。

上述のポンプ装置において、前記制御部は、前記補正情報を参照して、前記出発位置と前記目標位置の間に含まれる複数の区間を特定し、前記補正情報を参照して、前記理論速度を、前記区間のそれぞれにおける前記可動部材の前記修正速度に補正し、前記可動部材を、前記区間のそれぞれにおける前記修正速度で、前記区間のそれぞれにわたって移動させるための駆動命令を前記アクチュエータに出力することが好ましい。

制御部は、複数の区間を特定し、複数の区間ごとに修正速度を特定する。これにより、制御部は、可動部材の移動速度をきめ細かく設定できる。よって、ポンプ室が実際に吐き出す液体の流量を、目標流量に一層近似させることができる。すなわち、液体の流量を一層精度良く調整できる。

上述のポンプ装置において、前記補正情報は、前記出発位置と前記目標位置との間に位置する前記実際位置である１つの中間実際位置を含み、前記区間は、前記出発位置から前記中間実際位置までの第１区間と、前記中間実際位置から前記目標位置までの第２区間と、であることが好ましい。

制御部は、中間実際位置を用いて、出発位置と目標位置の間に含まれる２つの区間を好適に特定できる。

上述のポンプ装置において、前記補正情報は、前記中間実際位置に対応付けられる前記理論位置である１つの中間理論位置を含み、前記制御部は、前記仮想始点から前記中間理論位置までの仮想第１区間を特定し、前記中間理論位置から前記仮想終点までの仮想第２区間を特定し、前記第１区間の距離を前記仮想第１区間の距離で除した値を、前記理論速度に乗じて、前記第１修正速度を算出し、前記第２区間の距離を前記仮想第２区間の距離で除した値を、前記理論速度に乗じて、第２修正速度を算出し、前記可動部材を前記第１区間にわたって前記第１修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力し、前記可動部材を前記第２区間にわたって前記第２修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力することが好ましい。

制御部が上述した処理を行うことにより、２つの区間における修正速度をそれぞれ好適に特定できる。

上述のポンプ装置において、前記補正情報は、前記出発位置と前記目標位置との間に位置する前記実際位置である複数の中間実際位置とを含み、前記区間は、前記出発位置から前記出発位置に最も近い前記中間実際位置までの第１区間と、隣り合う２つの前記中間実際位置の間の中間区間と、前記目標位置に最も近い前記中間実際位置から前記目標位置までの第２区間と、であることが好ましい。

制御部は、中間実際位置を用いて、出発位置と目標位置の間に含まれる３つ以上の区間を好適に特定できる。

上述のポンプ装置において、前記補正情報は、前記中間実際位置のそれぞれに対応付けられる前記理論位置である複数の中間理論位置を含み、前記制御部は、前記仮想始点から前記仮想始点に最も近い前記中間理論位置までの仮想第１区間を特定し、隣り合う２つの前記中間理論位置の間の中間理論区間を特定し、前記仮想終点に最も近い前記中間理論位置から前記仮想終点までの仮想第２区間を特定し、前記第１区間の距離を前記仮想第１区間の距離で除した値を、前記理論速度に乗じて、第１修正速度を算出し、前記中間区間の距離を前記仮想中間区間の距離で除した値を、前記理論速度に乗じて、中間修正速度を算出し、前記第２区間の距離を前記仮想第２区間の距離で除した値を、前記理論速度に乗じて、第２修正速度を算出し、前記可動部材を前記第１区間にわたって前記第１修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力し、前記可動部材を前記中間区間にわたって前記中間修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力し、前記可動部材を前記第２区間にわたって前記第２修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力することが好ましい。

制御部が上述した処理を行うことにより、３つ以上の区間における修正速度をそれぞれ好適に特定できる。

上述のポンプ装置において、前記制御部は、前記理論情報と前記補正情報を記憶する記憶部を有することが好ましい。

制御部は記憶部を備えるので、制御部は理論情報と補正情報を常に参照できる。このため、制御部は目標位置を円滑に特定できる。

上述のポンプ装置において、前記制御部は、前記ポンプ装置の外部機器から前記吐き出し命令を受け、前記吐き出し命令は、前記可動部材の出発位置、前記可動部材の現在位置、および、前記可動部材目標位置に関する情報を含まないことが好ましい。

吐き出し命令は可動部材の出発位置、現在位置および目標位置に関する情報を含まない。このため、吐き出し命令は簡素である。したがって、外部機器は、簡素な命令でポンプ装置を制御できる。

また、本発明は、基板に処理を行う基板処理装置において、基板を保持する保持部と、請求項１から１４のいずれかに記載の前記ポンプ装置と、前記ポンプ室に連通接続され、前記ポンプ室から吐き出された処理液を、前記保持部に保持される基板に供給するノズルと、を備えた基板処理装置である。

基板処理装置は、上述したポンプ装置を備える。ポンプ装置は、ポンプ室から吐き出された液体をノズルに送る。液体は基板を処理するための処理液である。このため、ノズルが基板に供給する処理液の量を、目標吐き出し量に好適に近似させることができる。すなわち、基板に供給される処理液の量を、精度良く調整できる。よって、基板に施す処理の品質を好適に向上できる。

なお、本明細書は、次のようなポンプ装置に係る発明も開示する。

（１）上述のポンプ装置において、前記出発位置は、予め決められた位置であり、仮想始点は、前記補正情報において前記出発位置と等しい実際位置に対応付けられる理論位置であり、前記制御部は、前記目標吐き出し量と前記理論情報と前記仮想始点を参照して、前記仮想終点を特定するポンプ装置。

可動部材の出発位置が予め決められた位置である場合、仮想始点も予め決められた位置である。すなわち、仮想始点は、既知である。この場合、制御部が仮想始点を特定することなく、仮想終点を特定する。これにより、制御部による処理を簡素化できる。

（２）上述のポンプ装置において、
前記制御部は、
前記補正情報を参照して、前記出発位置と前記目標位置の間に含まれる複数の区間を特定し、
前記補正情報を参照して、各区間の両端の位置と等しい実際位置に対応付けられる理論位置によって規定される仮想区間を特定し、
前記理論情報を参照して、前記仮想区間のそれぞれにおける前記可動部材の前記理論速度をそれぞれ特定し、
前記補正情報を参照して、前記仮想区間のそれぞれにおける前記理論速度を、前記仮想区間に対応する前記区間における前記修正速度に補正するポンプ装置。

制御部は、複数の区間を特定し、複数の仮想区間を特定する。制御部は、各仮想区間における理論速度をそれぞれ特定する。制御部は、各仮想区間における理論速度を補正し、各区間における修正速度をそれぞれ特定する。これにより、制御部は、可動部材の移動速度を一層きめ細かく設定できる。よって、ポンプ室が実際に吐き出す液体の流量を、目標流量に好適に一層近似させることができる。

（３）上述のポンプ装置において、
前記補正情報は、前記中間実際位置に対応付けられる前記理論位置である１つの中間理論位置を含み、
前記制御部は、
前記仮想始点から前記中間理論位置までの仮想第１区間と、
前記中間理論位置から前記仮想終点までの仮想第２区間と、
を特定し、
前記理論情報を参照して、前記仮想第１区間における前記理論速度である第１理論速度を特定し、
前記理論情報を参照して、前記仮想第２区間における前記理論速度である第２理論速度を特定し、
前記第１区間の距離を前記仮想第１区間の距離で除した値を、前記第１理論速度に乗じて、第１修正速度を算出し、
前記第２区間の距離を前記仮想第２区間の距離で除した値を、前記第２理論速度に乗じて、第２修正速度を算出し、
前記可動部材を前記第１区間にわたって前記第１修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力し、
前記可動部材を前記第２区間にわたって前記第２修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力するポンプ装置。

制御部は、２つの仮想区間を特定する。制御部は、２つの仮想区間における理論速度をそれぞれ特定する。制御部は、２つの仮想区間における理論速度をそれぞれ補正し、２つの区間における修正速度をそれぞれ特定する。これにより、制御部は、可動部材の移動速度を一層きめ細かく設定できる。

（４）上述のポンプ装置において、
前記補正情報は、前記中間実際位置のそれぞれに対応付けられる前記理論位置である複数の中間理論位置を含み、
前記制御部は、
前記仮想始点から前記仮想始点に最も近い前記中間理論位置までの仮想第１区間を特定し、
隣り合う２つの前記中間理論位置の間の中間理論区間を特定し、
前記仮想終点に最も近い前記中間理論位置から前記仮想終点までの仮想第２区間を特定し、
前記理論情報を参照して、前記仮想第１区間における前記理論速度である第１理論速度を特定し、
前記理論情報を参照して、前記仮想中間区間における前記理論速度である中間理論速度を特定し、
前記理論情報を参照して、前記仮想第２区間における前記理論速度である第２理論速度を特定し、
前記第１区間の距離を前記仮想第１区間の距離で除した値を、前記第１理論速度に乗じて、第１修正速度を算出し、
前記中間区間の距離を前記仮想中間区間の距離で除した値を、前記中間理論速度に乗じて、中間修正速度を算出し、
前記第２区間の距離を前記仮想第２区間の距離で除した値を、前記第２理論速度に乗じて、第２修正速度を算出し、
前記可動部材を前記第１区間にわたって前記第１修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力し、
前記可動部材を前記中間区間にわたって前記中間修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力し、
前記可動部材を前記第２区間にわたって前記第２修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力するポンプ装置。

制御部は、３つ以上の仮想区間を特定する。制御部は、３つ以上の仮想区間における理論速度をそれぞれ特定する。制御部は、３つ以上の仮想区間における理論速度をそれぞれ補正し、３つ以上の区間における修正速度をそれぞれ特定する。これにより、制御部は、可動部材の移動速度を一層きめ細かく設定できる。

（５）上述のポンプ装置において、前記ポンプ室の少なくとも一部を区画し、且つ、前記可動部材の移動によって変形する可動隔壁部材を備えるポンプ装置。

アクチュエータが可動部材を移動させることによって、ポンプ室内の容積を好適に変えることができる。

（６）上述のポンプ装置において、前記可動隔壁部材は、ダイヤフラム、チューブフラムおよびベローズの少なくともいずれかであるポンプ装置。

可動隔壁部材を好適に実現できる。

本発明によれば、ポンプ装置が吐き出す液体の量を精度良く調整できる。

実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。 理論情報を模式的に例示する図である。 補正情報を模式的に例示する図である。 ポンプ装置の動作の手順を示す図である。 目標位置を特定する処理を模式的に示す図である。 補正情報を補間する直線を模式的に示す図である。 変形実施形態における補正情報を模式的に示す図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図１は、実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。実施形態に係る基板処理装置１は、基板（例えば、半導体ウエハ）Ｗに処理液を供給する処理を行う装置である。

１．基板処理装置１の概要
基板処理装置１は、保持部３と回転モータ５を備える。保持部３は基板Ｗを略水平に保持する。保持部３は、例えば、基板Ｗの裏面（下面）を吸着保持する。回転モータ５は、保持部３の底部中央に連結する。回転モータ５は、保持部３を略鉛直軸回りに回転させる。これにより、保持部３に保持された基板Ｗは、略鉛直軸回りに回転する。

基板処理装置１は、ノズル７とカップ９を備える。ノズル７は、保持部３の上方にあたる吐出位置に移動可能に設けられる。ノズル７は、保持部３に保持された基板Ｗに処理液を吐出する。カップ９は、保持部３の側方を囲むように配置される。カップ９は、基板Ｗから飛散した処理液を受けとめて回収する。

基板処理装置１は配管１１と処理液供給源１３を備える。配管１１は、ノズル７と連通接続する第１端を有する。配管１１は、処理液供給源１３と連通接続する第２端を有する。処理液供給源１３は、例えば、処理液を貯留する処理液タンクである。処理液は、例えば、レジスト膜材料や各種の塗膜材料、薬液、シンナー、純水である。処理液供給源１３の処理液は、配管１１内を通じて、処理液供給源１３からノズル７に流れる。

基板処理装置１はポンプ装置１５を備える。ポンプ装置１５は配管１１上に設けられる。ポンプ装置１５は、処理液供給源１３に供給される処理液を吸い込み、吸い込んだ処理液をノズル７に送る。処理液は、本発明における液体の例である。

ここで、ポンプ装置１５の上流側の配管１１を、「一次側配管１１ａ」と呼び、ポンプ装置１５の下流側の配管１１を「二次側配管１１ｂ」と呼ぶ。一次側配管１１ａは、ポンプ装置１５に連通接続される第１端と、処理液供給源１３に接続される第２端を有する。二次次側配管１１ｂは、ポンプ装置１５に連通接続される一端と、ノズル７に接続される第２端を有する。

基板処理装置１は開閉弁１７、１８を備える。開閉弁１７は一次側配管１１ａ上に設けられる。開閉弁１７は、一次側配管１１ａ内における処理液の流路を開閉する。開閉弁１８は二次側配管１１ｂ上に設けられる。開閉弁１８は、二次側配管１１ｂ内における処理液の流路を開閉する。

２．ポンプ装置１５の構成
ポンプ装置１５はポンプ室２１を備える。ポンプ室２１は内部空間を有する。内部空間は、例えば円筒形状を呈する。ポンプ室は、その内部空間に処理液を収容する。ポンプ室２１は、一次側配管１１ａおよび二次側配管１１ｂに連通接続される。

ポンプ室２１は、筐体２２とダイヤフラム２３によって区画される。筐体２２は、円筒形状を呈する。筐体２２は、開口が形成される一端部を有する。筐体２２は変形不能である。より具体的には、筐体２２は、後述するピストン２５の移動に起因して、変形しない。筐体２２は一次側配管１１ａおよび二次側配管１１ｂと接続される。ダイヤフラム２３は、筐体２２の一端部に取り付けられ、筐体２２の開口を閉塞する。これにより、ポンプ室２１は閉塞される。ダイヤフラム２３は変形可能である。より具体的には、筐体２２は、後述するピストン２５の移動によって、変形する。ダイヤフラム２３の材質は、例えば合成樹脂である。ダイヤフラム２３が変形することによって、ポンプ室２１内の容積が変わる。ポンプ室２１内の容積が減少することによって、ポンプ室２１は、ポンプ室２１内の処理液をポンプ室２１外（二次側配管１１ｂ）に吐き出す。ポンプ室２１内の容積が増加することによって、ポンプ室２１は、ポンプ室２１外（一次側配管１１ａ）から処理液をポンプ室２１内に吸い込む。ダイヤフラムは、本発明における可動隔壁部材の例である。

以下では、ポンプ室２１から吐き出される処理液の量を、適宜に「吐き出し量」と呼ぶ。

ポンプ装置１５はピストン２５とモータ２７を備える。ピストン２５は、モータ２７に連結される第１端を有する。モータ２７はピストン２５を移動させる。このように、ピストン２５は移動可能に設けられる。ピストン２５は、本発明における可動部材の例である。

モータ２７とピストン２５は、モータ２７の回転運動をピストン２５の直線運動に変換する不図示の機構を介して連結される。モータ２７が正転及び逆転すると、ピストン２５はモータ２７に対して往復直線移動する。図１は、ピストン２５が移動する方向Ｄ１、Ｄ２を例示する。ピストン２５の移動距離はモータ２７の回転量（角度）に比例する。ピストン２５の移動速度はモータ２７の回転速度に比例する。

モータ２７はステッピングモータである。モータ２７はパルス（電気パルス信号）によって駆動される。モータ２７の回転量およびピストン２５の移動量は、パルス数に比例する。モータ２７の回転速度およびピストン２５の移動速度は、パルスレート（パルスの周波数）に比例する。モータ２７は、本発明におけるアクチュエータの例である。

ピストン２５は、ダイヤフラム２３の外面に取り付けられる第２端を有する。ピストン２５はダイヤフラム２３と接続する。ピストン２５がポンプ室２１に対して移動することにより、ダイヤフラム２３が変形し、ポンプ室２１内の容積が変わる。ピストン２５が方向Ｄ１に移動するとき、ピストン２５はポンプ室２１に近づき、ポンプ室２１内の容積は減少する。ピストンが方向Ｄ２に移動するとき、ピストン２５はポンプ室２１から遠ざかり、ポンプ室２１内の容積は増加する。

ポンプ装置１５はエンコーダ２９を備える。エンコーダ２９はモータ２７に取り付けられる。エンコーダ２９はモータ２７の回転量を検出する。エンコーダ２９は、本発明におけるセンサの例である。

ポンプ装置１５は制御部３１を備える。制御部３１は、モータ２７およびエンコーダ２９と電気的に接続される。制御部３１はモータ２７を制御する。制御部３１はエンコーダ２９の検出結果を受ける。

制御部３１は、さらに、ポンプ装置１５の外部機器（不図示）と通信可能に接続される。外部機器は、例えば、ポンプ装置１５を制御する上位制御部、および、ユーザーによって操作される入力部の少なくともいずれかである。制御部３１は、外部機器から吐き出し命令Ｃを受ける。吐き出し命令Ｃは、目標吐き出し量に関する情報と目標流量に関する情報を含む。目標吐き出し量は、吐き出し量の目標値である。目標流量は、ポンプ室２１から吐き出される処理液の流量の目標値である。

制御部３１は記憶部３２と演算部３３と駆動回路３４を有する。記憶部３２は理論情報Ａと補正情報Ｂを記憶している。演算部３３は、記憶部３２に記憶される理論情報Ａと補正情報Ｂを参照して、吐き出し命令Ｃを処理する。駆動回路３４は、演算部３３の処理結果に応じた駆動命令（パルス）を、モータ２７に出力する。

理論情報Ａは、ピストン２５の位置および吐き出し量の理論的な関係に関する。

例えば、理論情報Ａは、各位置と、ピストン２５が第１基準位置から各位置に到達するときの理論的な吐き出し量とを対応付ける。「理論的な吐き出し量」とは、例えば、吐き出し量の理論値である。理論情報Ａは、第１基準位置を基準とした情報である。

図２は、理論情報を模式的に例示する図である。図２に示す理論情報Ａは、パルス数に基づく位置［ｐｌｓ］を横軸とし、吐き出し量［ｃｃ］を縦軸とするグラフである。パルス数［ｐｌｓ］はピストン２５の位置を示す指標である。図２の理論情報Ａでは、第１基準位置は０［ｐｌｓ］である。すなわち、第１基準位置における吐き出し量は０［ｃｃ］である。図２の理論情報Ａでは、位置１００［ｐｌｓ］と吐き出し量１［ｃｃ］が対応付けられる。これは、ピストン２５が第１基準位置（０［ｐｌｓ］）から１００［ｐｌｓ］に到達するとき、理論的な吐き出し量が１［ｃｃ］であることを示す。

理論情報Ａは、例えば、ピストン２５の位置および吐き出し量の関係を示す仕様、理論データ、設計データである。

補正情報Ｂは、ピストン２５の位置および吐き出し量の理論的な関係と、ピストン２５の位置および吐き出し量の実際の関係との違いに関する。

例えば、補正情報Ｂは、理論位置と実際位置とを対応付ける。ここで、理論位置と実際位置とは、以下の関係を有する。ピストン２５が第２基準位置から理論位置に到達するときの理論的な吐き出し量は、ピストン２５が第２基準位置から、理論位置に対応する実際位置に到達するときの実際の吐き出し量と等しい。言い換えれば、補正情報Ｂにおける理論位置は、任意の吐き出し量の処理液を吐き出させるためにピストン２５が第２基準位置から理論的に到達する位置である。補正情報Ｂにおける実際位置は、任意の吐き出し量と同量の処理液が吐き出されるときにピストン２５が第２基準位置から実際に到達する位置である。補正情報Ｂは、第２基準位置を基準とした情報である。

図３は、補正情報を模式的に例示する図である。図３に示す補正情報Ｂは、理論位置と実際位置が対応付けられた表である。補正情報Ｂは、互いに対応付けられる理論位置および実際位置の対を７つ含む。図３では、便宜上、対番号０、１、２、…、６を示す。理論位置および実際位置はそれぞれ、パルス数［ｐｌｓ］によって表記される。図３の補正情報Ｂでは、第２基準位置は０［ｐｌｓ］である。すなわち第２基準位置における吐き出し量は０［ｃｃ］である。このように、第２基準位置は理論情報の第１基準位置と同じである。さらに、図３は、参考として、吐き出し量を付記する。

図３の補正情報Ｂの対番号「１」では、理論位置５０［ｐｌｓ］と実際位置２５［ｐｌｓ］が対応付けられる。これは、ピストン２５が第２基準位置（０［ｐｌｓ］）から理論位置５０［ｐｌｓ］に移動したときの理論的な吐き出し量（０．５［ｃｃ］）が、ピストン２５が第２基準位置から実際位置２５［ｐｌｓ］に移動したときの実際の吐き出し量（０．５［ｃｃ］）と等しいことを示す。

なお、ピストン２５が第２基準位置から理論位置に移動したときの理論的な吐き出し量は、理論情報Ａによって特定される。ピストン２５が第２基準位置から到達する実際位置、および、ピストン２５が第２基準位置から実際位置に到達したときの実際の吐き出し量は、実験等によって測定される。したがって、補正情報Ｂは、理論情報Ａと、ピストン２５の位置および吐き出し量の実測値とに基づいて生成される。補正情報Ｂに含まれる理論位置は、理論情報Ａに含まれる位置に比べて離散的であってもよい。補正情報Ｂに含まれる理論位置の範囲は、理論情報Ａに含まれる位置の範囲に比べて小さくてもよい。

制御部３１は、例えば、各種処理を実行するプロセッサ（例えば、中央演算処理装置（ＣＰＵ））、演算処理の作業領域となるＲＡＭ（Random-Access Memory）や、各種情報を記憶する半導体メモリによって実現される。

３．ポンプ装置１５の動作例
図４は、ポンプ装置１５の動作の手順を示す図である。

＜ステップＳ１＞ 吐き出し命令の受信
制御部３１は、不図示の外部機器から吐き出し命令Ｃを受信する。吐き出し命令Ｃは、目標吐き出し量に関する情報と、目標流量に関する情報を含む。

＜ステップＳ２＞ 現在位置の特定
演算部３３は、エンコーダ２９の検出結果に基づいて、ピストン２５の現在位置を特定する。現在位置は、例えば、演算部３３が本ステップＳ２の処理を行う時点におけるピストン２５の位置である。あるいは、現在位置は、例えば、ポンプ装置１５（ポンプ室２１）が処理液の吸い込み動作を完了した後の時点におけるピストン２５の位置である。後述するように、制御部３１は、ピストン２５の現在位置を、ピストン２５の出発位置として扱う。

＜ステップＳ３＞ 仮想始点の特定
演算部３３は、記憶部３２に記憶される補正情報Ｂを参照して、ピストン２５の現在位置を仮想始点に補正する。具体的には、演算部３３は、補正情報Ｂにおいてピストン２５の現在位置と等しい実際位置に対応付けられる理論位置を、仮想始点と特定する。言い換えれば、制御部３１は、現在位置を実際位置とみなし、補正情報Ｂを用いて実際位置を理論位置に変換し、変換された理論位置を仮想始点に決定する。

ここで、以下に示す処理条件１のもとで、演算部３３が行う処理を例示する。
（処理条件１）
目標吐き出し量：２．２５［ｃｃ］
目標流量：１［ｃｃ／ｓｅｃ］
ピストン２５の現在位置Ｑ：２５［ｐｌｓ］
理論情報Ａ：図２に示すグラフ
補正情報Ｂ：図３に示す表

図５は、処理条件１のもとで、目標位置を特定する処理を模式的に示す図である。図５の上段の図は、図３に示す補正情報Ｂをプロットしたグラフである。以下、図５の上段のグラフを、「補正グラフＢｇ」と呼ぶ。補正グラフＢｇの横軸は理論位置であり、補正グラフＢｇの縦軸は実際位置である。補正グラフＢｇにおいて点Ｐに付する数字０、１、…、６は、補正情報Ｂにおける対番号を示す。例えば、点Ｐ１は、対番号１における理論位置および実際位置の座標である。図５の下段の図は、図２と同じ理論情報Ａである。

図３と図５を参照する。処理条件１では、演算部３３は以下の手順で仮想始点を特定する。ピストン２５の現在位置Ｑは２５［ｐｌｓ］であるので、ピストン２５の現在位置Ｑと等しい実際位置は２５［ｐｌｓ］である。補正情報Ｂにおいて実際位置２５［ｐｌｓ］に対応付けられる理論位置は、５０［ｐｌｓ］である。よって、５０［ｐｌｓ］が仮想始点ｑである。補正グラフＢｇにおける符号ａは、仮想始点を特定する処理を模式的に示す。

＜ステップＳ４＞ 仮想終点の特定
演算部３３は、吐き出し命令Ｃと理論情報Ａと仮想始点を参照して、仮想終点を特定する。具体的には、演算部３３は、理論情報Ａにおいて仮想始点と等しい位置に対応付けられる吐き出し量を初期吐き出し量と特定する。演算部３３は、初期吐き出し量と目標吐き出し量との和である合計量を特定する。制御部３１は、理論情報Ａにおいて合計量と等しい吐き出し量に対応付けられる位置を仮想終点と特定する。

図３と図５を参照する。処理条件１では、演算部３３は以下の手順で仮想終点を特定する。仮想始点ｑは５０［ｐｌｓ］であるので、仮想始点ｑと等しい位置は５０［ｐｌｓ］である。理論情報Ａにおいて位置５０［ｐｌｓ］に対応付けられる吐き出し量は、０．５［ｃｃ］である。よって、０．５［ｃｃ］が初期吐き出し量である。図５の理論情報Ａにおける符号ｂは、初期吐き出し量を特定する処理を模式的に示す。

目標吐き出し量は２．２５［ｃｃ］である。よって、初期吐き出し量と目標吐き出し量の合計量は、２．７５［ｃｃ］である。図５の理論情報Ａにおける符号ｃは、初期吐き出し量を特定する処理を模式的に示す。

理論情報Ａにおいて、合計量と等しい吐き出し量に対応付けられる位置は、２７５［ｐｌｓ］である。したがって、２７５［ｐｌｓ］が仮想終点ｒである。図５の理論情報Ａにおける符号ｄは、仮想終点ｒを特定する処理を模式的に示す。

＜ステップＳ５＞ 目標位置の特定
演算部３３は、補正情報Ｂを参照して、仮想終点を目標位置に補正する。具体的には、補正情報Ｂにおいて仮想終点と等しい理論位置に対応付けられる実際位置を目標位置と特定する。言い換えれば、制御部３１は、補正情報Ｂを用いて、仮想終点を目標位置に逆変換する。

図３と図５を参照する。処理条件１では、演算部３３は以下の手順で目標位置を特定する。仮想終点ｒは２７５［ｐｌｓ］であるので、仮想終点ｒと等しい理論位置は２７５［ｐｌｓ］である。補正情報Ｂにおいて理論位置２７５［ｐｌｓ］に対応付けられる実際位置は、２００［ｐｌｓ］である。よって、２００［ｐｌｓ］が目標位置Ｒである。補正グラフＢｇにおける符号ｅは、目標位置を特定する処理を模式的に示す。

＜ステップＳ６＞ 区間の特定
演算部３３は、補正情報Ｂを参照して、現在位置と目標位置の間に含まれる区間を特定する。各区間は互いに重ならない。区間は、補正情報Ｂにおいて現在位置と目標位置との間に位置する実際位置によって、区分される。以下では、現在位置と目標位置との間に位置する実際位置を適宜に、「中間実際位置」と呼ぶ。

処理条件１では、演算部３３は以下の手順で区間を特定する。現在位置が２５［ｐｌｓ］であり、目標位置が２００［ｐｌｓ］であるので、補正情報Ｂは、２つの中間実際位置５０［ｐｌｓ］と１２０［ｐｌｓ］を含む。現在位置に最も近い中間実際位置は、５０［ｐｌｓ］である。目標位置に最も近い中間実際位置は、１２０［ｐｌｓ］である。したがって、現在位置から目標位置までの間に含まれる区間は、以下の３つである。
・第１区間：現在位置２５［ｐｌｓ］から中間実際位置５０［ｐｌｓ］まで
・中間区間：中間実際位置５０［ｐｌｓ］から中間実際位置１２０［ｐｌｓ］まで
・第２区間：中間実際位置１２０［ｐｌｓ］から目標位置２００［ｐｌｓ］まで

＜ステップＳ７＞ 仮想区間の特定
演算部３３は、補正情報Ｂを参照して、各区間に対応する仮想区間を特定する。言い換えれば、制御部３１は、補正情報Ｂを用いて、各区間を仮想区間に変換する。各仮想区間は、仮想始点と仮想終点の間に含まれる。各仮想区間は、各区間の両端の位置と等しい実際位置に対応付けられる理論位置によって規定される。仮想区間は、補正情報Ｂにおいて中間実際位置に対応付けられる理論位置によって、区分される。以下では、中間実際位置に対応付けられる理論位置を適宜に、「中間理論位置」と呼ぶ。

処理条件１では、演算部３３は以下の手順で仮想区間を特定する。補正情報Ｂにおいて中間実際位置５０［ｐｌｓ］に対応付けられる中間理論位置は、１００［ｐｌｓ］である。補正情報Ｂにおいて中間実際位置１２０［ｐｌｓ］に対応付けられる中間理論位置は、２００［ｐｌｓ］である。仮想始点に最も近い中間理論位置は、１００［ｐｌｓ］である。仮想始点に最も近い中間理論位置は、２００［ｐｌｓ］である。したがって、仮想区間は、以下の３つである。
・仮想第１区間：仮想始点５０［ｐｌｓ］から中間理論位置１００［ｐｌｓ］まで
・仮想中間区間：中間理論位置１００［ｐｌｓ］から中間理論位置２００［ｐｌｓ］まで
・仮想第２区間：中間理論位置２００［ｐｌｓ］から仮想終点２７５［ｐｌｓ］まで

ここで、仮想第１区間は第１区間と対応する。仮想中間区間は中間区間と対応する。仮想第２区間は第２区間と対応する。

＜ステップＳ８＞ 理論速度の特定
演算部３３は、理論情報Ａを参照して、目標流量で処理液を吐き出すためのピストン２５の理論的な移動速度を理論速度と特定する。

処理条件１では、演算部３３は以下の手順で理論速度を特定する。目標流量は１［ｃｃ／ｓｅｃ］である。理論情報Ａでは、吐き出し量はピストン２５の移動距離に比例する。具体的には、ピストン２５の移動距離が１００［ｐｌｓ］増加するごとに、吐き出し量は１［ｃｃ］増加する。よって、ピストン２５の理論速度は、いずれの仮想区間においても一律に１００［ｐｌｓ／ｓｅｃ］である。パルスレート［ｐｌｓ／ｓｅｃ］は、ピストン２５の速度を示す指標である。

＜ステップＳ９＞ 修正速度の特定
演算部３３は、補正情報Ｂを参照して、理論速度を修正速度に補正する。具体的には、制御部３１は、理論速度を区間ごとに補正する。これにより、制御部３１は、各区間における修正速度を特定する。各区間における修正速度は、各区間の距離を各区間に対応する仮想区間で除した値を、理論速度に乗じた値である。

処理条件１では、演算部３３は以下の手順で修正速度を特定する。上述した第１区間、中間区間および第２区間における修正速度をそれぞれ、「第１修正速度」、「中間修正速度」および「第２修正速度」と呼ぶ。

第１修正速度は、下記の式により算出する。
第１修正速度＝理論速度×（第１区間の距離）÷（第１仮想区間の距離）
＝１００×（５０−２５）÷（１００−５０）
＝５０［ｐｌｓ／ｓｅｃ］

第２修正速度は、下記の式により算出する。
第２修正速度＝理論速度×（第２区間の距離）÷（第２仮想区間の距離）
＝１００×（１２０−５０）÷（２００−１００）
＝７０［ｐｌｓ／ｓｅｃ］

第３修正速度は、下記の式により算出する。
第３修正速度＝理論速度×（第３区間の距離）÷（第３仮想区間の距離）
＝１００×（２００−１２０）÷（２７５−２００）
＝１０７［ｐｌｓ／ｓｅｃ］

＜ステップＳ１０＞ 駆動命令の出力
演算部３３は、特定された目標位置および修正速度を駆動回路３４に与える。駆動回路３４は、目標位置および修正速度に応じた駆動命令をモータ２７に出力する。具体的には、駆動命令は、ピストン２５を現在位置から目標位置まで移動させる命令である。駆動命令は、ピストン２５を修正速度で移動させる命令である。駆動命令は、ピストン２５を各区間にわたって各区間に応じた修正速度で移動させる命令である。

処理条件１では、駆動回路３４は以下の３つの駆動命令をモータ２７に出力する。
・ピストン２５を現在位置２５［ｐｌｓ］から位置５０［ｐｌｓ］まで第１修正速度５０［ｐｌｓ／ｓｅｃ］で移動させる駆動命令
・ピストン２５を位置５０［ｐｌｓ］から位置１２０［ｐｌｓ］まで修正速度７０［ｐｌｓ／ｓｅｃ］で移動させる駆動命令
・ピストン２５を位置１２０［ｐｌｓ］から位置２００［ｐｌｓ］まで修正速度１０７［ｐｌｓ／ｓｅｃ］で移動させるため駆動命令

＜ステップＳ１１＞ 処理液の吐き出し
モータ２７が、駆動命令に従ってピストン２５を移動させる。ピストン２５の出発位置は現在位置である。ピストン２５は、現在位置から目標位置まで修正速度で移動する。ピストン２５の移動により、ポンプ室２１内の容積は減少し、ポンプ室２１は、ポンプ室２１内の処理液をポンプ室２１外に吐き出す。ポンプ室２１は、ピストン２５の現在位置から目標位置までの移動に応じた量の処理液を吐き出す。ポンプ室２１は、ピストン２５の移動速度に応じた流量で処理液を吐き出す。

４．基板処理装置１の動作例
基板処理装置１が基板Ｗに液処理を行う動作を簡単に説明する。保持部３は基板Ｗを保持する。ノズル７が吐出位置に移動する。開閉弁１７は閉じられている。開閉弁１８は開放されている。制御部３１が１つの吐き出し命令Ｃに従って、モータ２７を制御する。これにより、ピストン２５が移動し、ポンプ室２１が二次側配管１１ｂに処理液を吐き出す。二次側配管１１ｂは、処理液をノズル７に送る。ノズル７は、保持部３に保持される基板Ｗに処理液を供給する。ノズル７が処理液を基板Ｗに供給するとき、回転モータ５は基板Ｗを回転させてもよい。

ピストン２５が目標位置に到達した後、ピストン２５が静止する。ポンプ装置１５は処理液の吐き出しを終了し、ノズル７は処理液の供給を終了する。これにより、ポンプ装置１５は、１つの吐き出し命令Ｃに応じた、処理液の吐き出し動作を完了する。

続いて、ポンプ装置１５は、処理液の吸い込み動作を行う。具体的には、開閉弁１７が開放し、開閉弁１８が閉じる。ピストン２５がポンプ室２１から後退する。ポンプ室２１内の容積が増加し、ポンプ室２１は一次側配管１１ａから処理液を吸い込む。

ポンプ装置１５が処理液の吸い込み動作を完了した後、開閉弁１７が閉じ、開閉弁１８が開く。ポンプ装置１５は、次の吐き出し命令Ｃに従った動作を開始する。

４．本実施形態の効果
ポンプ装置１５は制御部３１を備える。制御部３１は、吐き出し命令Ｃと理論情報Ａと現在位置を参照して、仮想終点を特定する。制御部３１は、補正情報Ｂを用いて仮想終点を目標位置に補正する。ここで、補正情報Ｂは、ピストン２５の位置および吐き出し量の理論的な関係とピストン２５の位置および吐き出し量の実際の関係との違いに関する情報である。このため、仮想終点がどの位置に決定された場合であっても、適切な目標位置を特定できる。よって、ポンプ室２１が実際に吐き出す処理液の量を、目標吐出量に好適に近似させることができる。すなわち、処理液の吐出量を精度良く調整できる。

理論情報Ａは、各位置と、ピストン２５が第１基準位置から各位置に到達するときの理論的な吐き出し量とを対応付ける。このため、制御部３１は、理論情報Ａを用いて仮想終点を好適に特定できる。

補正情報Ｂは、任意の吐き出し量の処理液を吐き出させるためにピストン２５が第２基準位置から理論的に到達する理論位置と、任意の吐き出し量と同じ吐き出し量の処理液を吐き出させるためにピストン２５が第２基準位置から実際に到達する実際位置と、を対応付ける。このため、制御部３１は、補正情報Ｂを用いて仮想終点を目標位置に好適に補正できる。

理論情報Ａの第１基準位置は、補正情報Ｂの第２基準位置と同じである。このため、仮想終点がどのような位置であっても、制御部３１は、補正情報Ｂを用いて仮想終点を目標位置に補正できる。同様に、ピストン２５の現在位置がどのような位置であっても、制御部３１は、補正情報Ｂを用いて現在位置を仮想始点に補正できる。

制御部３１は、補正情報Ｂを参照して、ピストン２５の現在位置を仮想始点に補正する。制御部３１は、吐き出し命令Ｃと理論情報Ａと仮想始点を参照して、仮想始点を基準とする仮想終点を特定する。これにより、制御部は、現在位置にあるピストン２５が到達すべき目標位置を好適に特定できる。よって、ピストン２５の現在位置がどの位置であっても、ピストン２５の現在位置を出発位置とすることができる。

制御部は、補正情報Ｂにおいてピストン２５の現在位置と等しい実際位置に対応付けられる理論位置を、仮想始点と特定する。この処理により、制御部３１は仮想始点を好適に特定できる。

制御部３１は、理論情報Ａにおいて仮想始点と等しい位置に対応付けられる吐き出し量を、初期吐き出し量と特定する。制御部は、初期吐き出し量と、目標吐き出し量との和である合計量を、特定する。さらに、制御部３１は、理論情報Ａにおいて合計量と等しい吐き出し量に対応付けられる位置を、仮想終点と特定する。この一連の処理により、制御部３１は仮想終点を好適に特定できる。

制御部は、補正情報Ｂにおいて仮想終点と等しい理論位置に対応付ける実際位置を、目標位置と特定する。この処理により、制御部３１は目標位置を好適に特定できる。

ポンプ装置１５はエンコーダ２９を備える。このため、制御部３１はピストン２５の現在位置を好適に特定できる。

制御部３１は、目標流量と理論情報Ａを参照して、ピストン２５の理論速度と特定する。制御部３１は、補正情報Ｂを用いて、理論速度を修正速度に補正する。ここで、補正情報Ｂは、ピストン２５の位置および吐き出し量の理論的な関係とピストン２５の位置および吐き出し量の実際の関係との違いに関する情報である。このため、ピストンの仮想終点がどの位置に決定された場合であっても、適切な修正速度を特定できる。よって、ポンプ室２１が実際に吐き出す処理液の流量を、目標流量に好適に近似させることができる。すなわち、処理液の流量を精度良く調整できる。

制御部３１は、補正情報Ｂを用いて、現在位置と目標位置の間に含まれる複数の区間を特定する。制御部３１は、補正情報Ｂを用いて、理論速度を区間ごとに補正し、各区間における修正速度をそれぞれ特定する。これにより、制御部３１は、ピストン２５の移動速度をきめ細かく設定できる。よって、ポンプ室２１が実際に吐き出す処理液の流量を、目標流量に一層近似させることができる。

制御部３１は、２つの中間実際位置を用いて、現在位置から目標位置の間に含まれる３つの区間（すなわち、第１区間と中間区間と第２区間）を好適に特定できる。

制御部３１は、第１区間の距離と仮想第１区間の距離と理論速度とから、第１修正速度を算出する。そして、制御部３１は、ピストン２５を第１区間にわたって第１修正速度で移動させる駆動命令をモータ２７に出力する。これにより、ピストン２５が第１区間を移動するとき、ポンプ室２１が実際に吐き出す処理液の流量を、目標流量に好適に近似させることができる。

同様に、制御部３１は、第２区間における第２修正速度を算出し、ピストン２５を第２区間にわたって第２修正速度で移動させる駆動命令をモータ２７に出力する。これにより、ピストン２５が第２区間を移動するときも、ポンプ室２１が実際に吐き出す処理液の流量を、目標流量に好適に近似させることができる。

同様に、制御部３１は、第３区間における第３修正速度を算出し、ピストン２５を第３区間にわたって第３修正速度で移動させる駆動命令をモータ２７に出力する。これにより、ピストン２５が第３区間を移動するときも、ポンプ室２１が実際に吐き出す処理液の流量を、目標流量に好適に近似させることができる。

制御部３１は記憶部を有する。このため、制御部３１は理論情報Ａと補正情報Ｂを常に参照できる。このため、制御部３１は目標位置等を円滑に特定できる。

制御部３１は、外部機器から吐き出し命令Ｃを受ける。これにより、制御部３１は、目標位置等を好適に特定できる。

目標吐き出し量は、ピストン２５の単なる移動距離に関連する情報である。同様に、目標流量は、ピストン２５の単なる移動速度に関連する情報である。したがって、目標吐き出し量および目標流量は、ピストン２５の出発位置、ピストン２５の現在位置、および、ピストン２５の目標位置に関する情報ではない。このため、吐き出し命令Ｃは簡素である。したがって、外部機器は、簡素な吐き出し命令によってポンプ装置１５を制御できる。

基板処理装置１は、ポンプ装置１５を備える。このため、基板Ｗに実際に供給される処理液の量を、目標吐き出し量に好適に近似させることができる。すなわち、基板Ｗに供給される処理液の量を、精度良く調整できる。よって、基板Ｗに施す処理の品質を好適に向上できる。

ポンプ室２１の一部は、ダイヤフラムによって区画される。このため、モータ２７がピストン２５を移動させることによって、ポンプ室２１内の容積を好適に変えることができる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した処理条件１のもとでは、補正情報Ｂは、現在位置と等しい実際位置および仮想終点と等しい理論位置を含んでいたが、これに限られない。例えば、補正情報Ｂは、現在位置と等しい実際位置を含まなくてもよい。補正情報Ｂは、仮想終点と等しい理論位置を含まなくてもよい。本変形実施形態であっても、制御部３１は、補正情報Ｂを補間することによって、現在位置を仮想始点に補正できる。同様に、制御部３１は、補正情報Ｂを補間することによって、仮想終点を目標位置に補正できる。

図６は、補正情報Ｂを補間する直線を模式的に示す図である。図６は、図３に示す補正情報Ｂをプロットしたグラフである。以下、図６のグラフを、「補正グラフＢｇ」と呼ぶ。

図６の補正グラフＢｇは、補正情報Ｂを補間する直線Ｌを示す。直線Ｌは、点Ｐ０、Ｐ１、Ｐ２、・・・、Ｐ６を線分でつないだものである。直線Ｌは、隣接する２つの点Ｐを結ぶ線分の集合である。隣接する２つの点Ｐは、例えば点Ｐ０と点Ｐ１である。したがって、直線Ｌは、例えば点Ｐ０と点Ｐ１を結ぶ線分を含む。直線Ｌは、例えば折れ線である。制御部３１は、補正情報Ｂに含まれる理論位置および実際位置を、直線Ｌによって補間する。制御部３１は、直線Ｌを用いて、仮想終点と等しい理論位置を推定できる。さらに、制御部３１は、直線Ｌを用いて、推定された理論位置に対応付けられる実際位置を、目標位置として推定できる。

例えば、仮想終点ｒが３５０［ｐｌｓ］であるとする。この場合、制御部３１はステップＳ４において以下の処理を行う。仮想終点ｒと等しい理論位置は、３５０［ｐｌｓ］である。直線Ｌにおいて理論位置３５０［ｐｌｓ］に対応付けられる実際位置は、３７５［ｐｌｓ］である。したがって、３７５［ｐｌｓ］が目標位置Ｒである。図６の補正グラフＢｇにおける符号ｆは、直線Ｌによって目標位置を推定する処理を模式的に示す。

同様に、制御部３１は、直線Ｌによって、現在位置と等しい実際位置を推定できる。さらに、制御部３１は、直線Ｌによって、推定された実際位置に対応付けられる理論位置を、仮想始点として推定できる。

なお、上述した変形実施形態では、制御部３１は、補正情報Ｂを直線Ｌで補間したが、これに限られない。例えば、制御部３１は、補正情報Ｂに含まれる理論位置および実際位置を曲線で補間し、補正情報Ｂを補間する曲線によって、仮想終点および目標位置の少なくともいずれかを推定してもよい。補正情報を曲線で補間することにより、仮想終点および目標位置の推定精度を向上できる。他方、補正情報を直線Ｌで補間する態様では、制御部３１における処理を軽減できる。

（２）上述した処理条件１のもとでは、補正情報Ｂに含まれる中間実際位置の数は、２つであったが、これに限られない。

例えば、補正情報Ｂに含まれる中間実際位置の数は、３つ以上でもよい。この態様では、ステップＳ６では、制御部３１は、現在位置と目標位置との間に含まれる、４つ以上の区間を特定する。具体的には、制御部３１は、１つの第１区間と１つの第２区間と２つ以上の中間区間を特定する。ステップＳ７では、制御部３１は、４つ以上の仮想区間を特定する。具体的には、制御部３１は、１つの仮想第１区間と１つの仮想第２区間と２つ以上の仮想中間区間を特定する。ステップＳ９では、制御部３１は、１つの第１修正速度と１つの第２修正速度と２つ以上の中間修正速度を特定する。

例えば、補正情報Ｂに含まれる中間実際位置の数は、１つでもよい。この態様では、ステップＳ６では、制御部３１は、２つの区間を特定する。２つの区間は、現在位置から中間実際位置までの第１区間と、中間実際位置から目標位置までの第２区間である。ステップＳ７では、制御部３１は、２つの仮想区間を特定する。具体的には、補正情報Ｂは、中間実際位置に対応付けられる前記理論位置である１つの中間理論位置を含む。制御部３１は、仮想始点から中間理論位置までの仮想第１区間を特定する。制御部３１は、中間理論位置から仮想終点までの仮想第２区間を特定する。ステップＳ９では、制御部３１は、２つの修正速度を特定する。具体的には、制御部３１は、第１区間の距離を仮想第１区間の距離で除した値を、理論速度に乗じて、第１修正速度を算出する。制御部３１は、第２区間の距離を仮想第１区間の距離で除した値を、前記第２理論速度に乗じて、第２修正速度を算出する。ステップＳ１０では、制御部３１は、ピストン２５を第１区間にわたって第１修正速度で移動させる駆動命令をモータ２７に出力する。制御部３１は、ピストン２５を第２区間にわたって第２修正速度で移動させる駆動命令をモータ２７に出力する。

例えば、補正情報Ｂに含まれる中間実際位置の数は、０でもよい。すなわち、補正情報Ｂは中間実際位置を含まなくてもよい。この場合、制御部３１は、区間を特定する処理（ステップＳ６）と、仮想区間を特定する処理（ステップＳ７）を省略する。ステップＳ９では、制御部３１は、１つの修正速度を特定する。具体的には、制御部３１は、現在位置と目標位置の距離を仮想始点と仮想終点の距離で除した値を、理論速度に乗じて、修正速度を算出する。ステップＳ１０では、制御部３１は、ピストン２５を現在位置から目標位置に修正速度で移動させる駆動命令をモータ２７に出力する。

（３）上述した実施形態では、吐き出し量がピストン２５の移動距離に比例する理論情報Ａを例示した。このため、ピストン２５の理論移動速度は、ピストン２５の位置に関係無く、一定であった。ただし、本発明は、これに限られない。理論情報において吐き出し量がピストン２５の移動距離に比例しなくてもよい。ピストン２５の理論移動速度がピストン２５の位置に応じて変動してもよい。本変形実施形態では、制御部３１は、理論情報Ａを参照して、各仮想区間における理論速度をそれぞれ特定することが好ましい。

具体的には、ステップＳ８では、制御部３１は、仮想第１区間における第１理論速度と、仮想中間区間における中間理論速度と、仮想第２区間における第２理論速度を特定する。
ステップＳ９では、制御部３１は、補正情報Ｂを参照して、第１理論速度を第１修正速度に補正し、中間理論速度を中間修正速度に補正し、第２理論速度を第２修正速度に補正する。具体的には、制御部３１は、第１区間の距離を仮想第１区間の距離で除した値を、第１理論速度に乗じて、第１修正速度を算出する。制御部３１は、中間区間の距離を仮想中間区間の距離で除した値を、中間理論速度に乗じて、中間修正速度を算出する。制御部３１は、第２区間の距離を仮想第２区間の距離で除した値を、第２理論速度に乗じて、第２修正速度を算出する。これにより、ピストン２５の理論移動速度がピストン２５の位置に応じて変動する場合であっても、制御部３１は、ピストン２５の移動速度を適切に設定できる。

（４）上述した実施形態では、ピストン２５の出発位置はピストン２５の現在位置であった。すなわち、ピストン２５の出発位置は、予め決められていなかった。但し、本発明は、これに限られない。例えば、ピストン２５の出発位置はピストン２５の現在位置でなくてもよい。例えば、ピストン２５の出発位置は予め決められた位置であってもよい。すなわち、ピストン２５の出発位置は常に同じ位置であってもよい。

例えば、制御部２１は、ポンプ装置１５が処理液の吸い込み動作を行うとき、ピストン２５を常に所定の位置まで後退させてもよい。これによれば、ピストン２５の出発位置を所定の位置に容易に保つことができる。

出発位置は、例えば、理論情報Ａの第１基準位置と等しい位置でもよい。あるいは、出発位置は、補正情報Ｂの基準である第２基準位置と等しい位置でもよい。

本変形実施形態では、エンコーダ２９の検出結果に基づいてピストン２５の現在位置を特定するまでもなく、ピストン２５の出発位置は既知である。このため、制御部３１は、ステップＳ２における処理（現在位置の特定）を省略してもよい。これにより、制御部３１の処理を簡素化できる。さらに、ポンプ装置１５は、エンコーダ２９を備えなくてもよい。エンコーダ２９を省略することにより、ポンプ装置１５の構成を簡素化できる。

ピストン２５の出発位置が予め決められた位置であるので、仮想始点も予め決められた位置である。すなわち、仮想始点は既知である。このため、制御部３１は、ステップＳ３における処理（仮想始点の特定）を省略してもよい。これにより、制御部３１の処理をさらに簡素化できる。

本変形実施形態では、ピストン２５の出発位置は、現在位置とは限らない。このため、ステップＳ６では、制御部３１は、「出発位置」と目標位置の間に含まれる区間を特定する。例えば、制御部３１は、「出発位置」から中間実際位置までの区間を、第１区間と特定する。

（５）上述した実施形態では、補正情報Ｂの数は１つであったが、これに限られない。補正情報Ｂの数は複数であってもよい。例えば、補正情報は、第１の補正情報と、第１の補正情報とは異なる第２の補正情報を含んでもよい。制御部３１は、処理液の条件に基づいて、第１の補正情報および第２の補正情報のいずれかを選択し、選択された第１の補正情報および第２の補正情報のいずれかを参照して、仮想終点を目標位置に補正してもよい。処理液の条件は、例えば、処理液の種類、処理液の粘度、処理液の密度および処理液の使用温度の少なくともいずれかである。さらに、記憶部３２は、第１の補正情報および第２の補正情報を記憶することが好ましい。

（６）上述した実施形態では、理論情報Ａの数は１つであったが、これに限られない。理論情報Ａの数は複数であってもよい。例えば、理論情報は、第１の理論情報と、第１の理論情報とは異なる第２の理論情報を含んでもよい。制御部３１は、処理液の条件に基づいて、第１の理論情報および第２の理論情報のいずれかを選択し、選択された第１理論情報および第２の理論情報のいずれかを参照して、仮想終点を特定してもよい。処理液の条件は、例えば、処理液の種類、処理液の粘度、処理液の密度および処理液の使用温度の少なくともいずれかである。さらに、記憶部３２は、第１の理論情報および第２の補正情報を記憶することが好ましい。

（７）上述した実施形態では、理論情報Ａおよび補正情報Ｂは、ピストン２５の位置をパルス数で表記したが、これに限られない。例えば、理論情報Ａおよび補正情報Ｂの少なくともいずれかは、ピストン２５の位置を、第１／第２基準位置からの距離で表記してもよい。

（８）上述した実施形態では、理論速度および修正速度を、パルスレート［ｐｌｓ／ｓｅｃ］で表記したが、これに限られない。例えば、理論速度および修正速度を、単位時間当たりの距離で表記してもよい。

（９）上述した実施形態では、理論情報Ａの形式はグラフであったが、これに限られない。例えば、理論情報Ａの形式は、関数または表であってもよい。上述した実施形態では、補正情報Ｂの形式は、表であったが、これに限られない。例えば、補正情報Ｂの形式は、関数またはグラフであってもよい。

（１０）上述した実施形態では、第２基準位置は第１基準位置と同じであったが、これに限られない。すなわち、第２基準位置は、第１基準位置と異なっていてもよい。

図７は、変形実施形態における補正情報を模式的に示す図である。図７に示す補正情報Ｂでは、第２基準位置は２５［ｐｌｓ］である。すなわち、第２基準位置における吐き出し量は０［ｃｃ］である。図３に示す補正情報Ｂに代えて、図７に示す補正情報Ｂを用いても、制御部３１は、実施形態と同じ目標位置を特定できる。

（１１）上述した実施形態では、吐き出し命令Ｃは、目標流量に関する情報を含んでいたが、これに限られない。すなわち、吐き出し命令Ｃは、目標流量に関する情報を含まなくてもよい。本変形実施形態では、制御部３１は、ステップＳ６乃至Ｓ９の処理を省略し、修正速度を特定しない。ステップＳ１０では、制御部３１は、ピストン２５を現在位置から目標位置に単に移動させる駆動命令をモータ２７に出力する。すなわち、制御部３１は、ピストン２５の移動速度に関する駆動命令をモータ２７に出力しない。

（１２）上述した実施形態では、吐き出し命令Ｃは、目標吐き出し量および目標流量に関する情報を含むが、これに限られない。例えば、吐き出し命令Ｃは、目標吐き出し量と目標流量と目標吐き出し時間のいずれか２つを含んでもよい。目標吐き出し量は、目標流量と目標吐き出し時間によって一義的に決まる。目標流量は、目標吐き出し量と目標吐き出し時間によって一義的に決まる。したがって本変形実施形態であっても、吐き出し命令Ｃに含まれる２つの情報から、目標吐き出し量および目標流量を一義的に特定できる。

（１３）上述した実施形態では、目標吐き出し量に関する情報として、処理液の量［ｃｃ］を例示したが、これに限られない。吐き出し量がピストン２５の移動距離によって一義的に決まる場合には、目標吐き出し量に関する情報はピストン２５の移動距離によって規定されてもよい。上述した実施形態では、目標流量に関する情報として、単位時間当たりの処理液の量［ｃｃ／ｓｅｃ］を例示したが、これに限られない。流量がピストン２５の移動速度によって一義的に決まる場合には、目標流量に関する情報はピストン２５の移動速度によって規定されてもよい。

（１４）上述した実施形態では、可動隔壁部材（具体的には、ダイヤフラム）はポンプ室２１の一部を区画したが、これに限られない。すなわち、可動隔壁部材はポンプ室２１の全部を区画してもよい。

（１５）上述した実施形態では、可動隔壁部材はダイヤフラムであったが、これに限られない。可動隔壁部材は、例えば、チューブフラムまたはベローズであってもよい。

（１６）上述した実施形態では、ピストン２５は、可動隔壁部材（ダイヤフラム）に接続したが、これに限られない。ピストン２５は、可動隔壁部材に接触しなくてもよい。上述した実施形態では、ピストン２５は可動隔壁部材（ダイヤフラム）を直接的に変形するが、これに限られない。例えば、ピストン２５は可動隔壁部材を間接的に変形してもよい。例えば、ピストン２５は、間接液または作動流体を介して、可動隔壁部材を変形させてもよい。例えば、ピストン２５は、間接液または作動流体の圧力を変えることによって、可動隔壁部材を変形させてもよい。

（１７）上述した実施形態では、可動部材としてピストン２５を例示したが、これに限られない。可動部材は、例えば、ロッドまたはシャフトでもよい。

（１８）上述した実施形態では、モータ２７はステッピングモータであったが、これに限られない。例えば、モータ２７は、例えば、サーボモータであってもよい。上述した実施形態では、アクチュエータとしてモータ２７を例示したが、これに限られない。ポンプ装置１５が有するアクチュエータは、エアシリンダであってもよい。エアシリンダは、空圧駆動シリンダとも呼ばれる。本変形実施形態では、制御部３１はエアシリンダを制御する。例えば、制御部３１は、電空レギュレータを制御することによって、エアシリンダの動力源であるエア圧力を制御してもよい。これによれば、制御部３１はエアシリンダを好適に制御できる。

（１９）上述した実施形態では、ポンプ装置１５はエンコーダ２９を備えたが、これに限られない。例えば、ポンプ装置１５は、ピストン２５の位置を検出するセンサを備えてもよい。制御部３１は、センサの検出結果に基づいてピストン２５の現在位置を好適に特定できる。

（２０）上述した実施形態では、ポンプ装置１５はエンコーダ２９を備えたが、これに限られない。例えば、制御部３１は、現在までにモータ２７に出力した駆動命令に基づいて、ピストン２５の現在位置を特定してもよい。例えば、制御部３１は、現在までにモータ２７に出力したパル数の積算値に基づいて、ピストン２５の現在位置を特定してもよい。本変形実施形態では、ポンプ装置１５は、実施形態で説明したエンコーダ２９を備えなくてもよい。エンコーダ２９を省略することにより、ポンプ装置１５の構成を簡素化できる。

（２１）上述した実施形態では、１つの制御部３１は、ポンプ室２１、ピストン２５およびモータ２７からなる１つのユニットを制御したが、これに限られない。１つの制御部３１が、複数のユニットを制御してもよい。

（２２）上述した各実施形態および上記（１）から（２１）で説明した各変形実施形態については、さらに各構成を他の変形実施形態の構成に置換または組み合わせるなどして適宜に変更してもよい。

１ … 基板処理装置
３ … 保持部
７ … ノズル
１５ … ポンプ装置
２１ … ポンプ室
２３ … ダイヤフラム（可動隔壁部材）
２５ … ピストン（可動部材）
２７ … モータ
２９ … エンコーダ（センサ）
３１ … 制御部
３２ … 記憶部
３３ … 演算部
３４ … 駆動回路
Ａ … 理論情報
Ｂ … 補正情報
Ｃ … 吐き出し命令
Ｑ … 現在位置
ｑ … 仮想始点
Ｒ … 目標位置
ｒ … 仮想終点
Ｗ … 基板

Claims (15)

1. 液体を吐き出すポンプ装置において、
   液体を収容するポンプ室であって、前記ポンプ室内の容積の減少によって前記ポンプ室内の液体を前記ポンプ室外に吐き出す前記ポンプ室と、
   移動可能に設けられ、前記ポンプ室内の容積を変える可動部材と、
   前記ポンプ室の少なくとも一部を区画し、且つ、前記可動部材の移動によって変形する可動隔壁部材と、
   前記可動部材に接続され、前記可動部材を移動させるアクチュエータと、
   前記アクチュエータを制御する制御部と、
   を備え、
   前記制御部は、
   前記ポンプ室から吐き出される液体の吐き出し量の目標値である目標吐き出し量に関する情報を含む吐き出し命令と、前記可動部材の位置および前記吐き出し量の理論的な関係に関する理論情報と、前記可動部材の出発位置を参照して、仮想終点を特定し、
   前記可動部材の位置および前記吐き出し量の理論的な関係と前記可動部材の位置および前記吐き出し量の実際の関係との違いに関する補正情報を参照して、前記仮想終点を目標位置に補正し、
   前記可動部材を前記出発位置から前記目標位置に移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力するポンプ装置。
   
2. 請求項１に記載のポンプ装置において、
   前記理論情報は、各位置と、前記可動部材が第１基準位置から前記各位置に到達するときの理論的な前記吐き出し量とを対応付け、
   前記補正情報は、理論位置と実際位置とを対応付け、
   前記可動部材が第２基準位置から前記理論位置に到達するときの理論的な前記吐き出し量は、前記可動部材が前記第２基準位置から、前記理論位置に対応する前記実際位置に到達するときの実際の前記吐き出し量と等しいポンプ装置。
3. 請求項２に記載のポンプ装置において、
   前記出発位置は、前記可動部材の現在位置であり、
   前記制御部は、
   前記補正情報を参照して、前記可動部材の前記現在位置を仮想始点に補正し、
   前記目標吐き出し量と前記理論情報と前記仮想始点を参照して、前記仮想終点を特定するポンプ装置。
4. 請求項３に記載のポンプ装置において、
   前記制御部は、
   前記補正情報において前記可動部材の前記現在位置と等しい実際位置に対応付けられる理論位置を、前記仮想始点と特定し、
   前記理論情報において前記仮想始点と等しい位置に対応付けられる吐き出し量を初期吐き出し量と特定し、
   前記初期吐き出し量と前記目標吐き出し量との和である合計量を特定し、
   前記理論情報において前記合計量と等しい吐き出し量に対応付けられる位置を、前記仮想終点と特定し、
   前記補正情報において前記仮想終点と等しい理論位置に対応付けられる実際位置を、前記目標位置と特定するポンプ装置。
5. 請求項３または４に記載のポンプ装置において、
   前記ポンプ装置は、前記アクチュエータの駆動量および前記可動部材の位置の少なくともいずれかを検出するセンサを備え、
   前記制御部は、前記センサの検出結果に基づいて、前記可動部材の前記現在位置を特定するポンプ装置。
6. 請求項２から５のいずれかに記載のポンプ装置において、
   前記制御部は、補正情報に含まれる前記理論位置および前記実際位置を補間する直線または曲線によって、前記仮想終点および前記目標位置の少なくともいずれかを推定するポンプ装置。
7. 請求項２から６のいずれかに記載のポンプ装置において、
   前記吐き出し命令は、前記ポンプ室から吐き出される液体の流量の目標値である目標流量に関する情報を含み、
   前記制御部は、
   前記理論情報を参照して、前記目標流量で前記ポンプ室から液体を吐き出すための前記可動部材の理論的な移動速度を理論速度と特定し、
   前記補正情報を参照して、前記理論速度を修正速度に補正し、
   前記可動部材を前記修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力するポンプ装置。
8. 請求項７に記載のポンプ装置において、
   前記制御部は、
   前記補正情報を参照して、前記出発位置と前記目標位置の間に含まれる複数の区間を特定し、
   前記補正情報を参照して、前記理論速度を、前記区間のそれぞれにおける前記可動部材の前記修正速度に補正し、
   前記可動部材を、前記区間のそれぞれにおける前記修正速度で、前記区間のそれぞれにわたって移動させるための駆動命令を前記アクチュエータに出力するポンプ装置。
9. 請求項８に記載のポンプ装置において、
   前記補正情報は、前記出発位置と前記目標位置との間に位置する前記実際位置である１つの中間実際位置を含み、
   前記区間は、
   前記出発位置から前記中間実際位置までの第１区間と、
   前記中間実際位置から前記目標位置までの第２区間と、
   であるポンプ装置。
10. 請求項９に記載のポンプ装置において、
    前記補正情報は、前記中間実際位置に対応付けられる前記理論位置である１つの中間理論位置を含み、
    前記制御部は、
    前記仮想始点から前記中間理論位置までの仮想第１区間を特定し、
    前記中間理論位置から前記仮想終点までの仮想第２区間を特定し、
    前記第１区間の距離を前記仮想第１区間の距離で除した値を、前記理論速度に乗じて、前記第１修正速度を算出し、
    前記第２区間の距離を前記仮想第２区間の距離で除した値を、前記理論速度に乗じて、第２修正速度を算出し、
    前記可動部材を前記第１区間にわたって前記第１修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力し、
    前記可動部材を前記第２区間にわたって前記第２修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力するポンプ装置。
11. 請求項８に記載のポンプ装置において、
    前記補正情報は、前記出発位置と前記目標位置との間に位置する前記実際位置である複数の中間実際位置とを含み、
    前記区間は、
    前記出発位置から前記出発位置に最も近い前記中間実際位置までの第１区間と、
    隣り合う２つの前記中間実際位置の間の中間区間と、
    前記目標位置に最も近い前記中間実際位置から前記目標位置までの第２区間と、
    であるポンプ装置。
12. 請求項１１に記載のポンプ装置において、
    前記補正情報は、前記中間実際位置のそれぞれに対応付けられる前記理論位置である複数の中間理論位置を含み、
    前記制御部は、
    前記仮想始点から前記仮想始点に最も近い前記中間理論位置までの仮想第１区間を特定し、
    隣り合う２つの前記中間理論位置の間の中間理論区間を特定し、
    前記仮想終点に最も近い前記中間理論位置から前記仮想終点までの仮想第２区間を特定し、
    前記第１区間の距離を前記仮想第１区間の距離で除した値を、前記理論速度に乗じて、第１修正速度を算出し、
    前記中間区間の距離を前記仮想中間区間の距離で除した値を、前記理論速度に乗じて、中間修正速度を算出し、
    前記第２区間の距離を前記仮想第２区間の距離で除した値を、前記理論速度に乗じて、第２修正速度を算出し、
    前記可動部材を前記第１区間にわたって前記第１修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力し、
    前記可動部材を前記中間区間にわたって前記中間修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力し、
    前記可動部材を前記第２区間にわたって前記第２修正速度で移動させる駆動命令を前記アクチュエータに出力するポンプ装置。
13. 請求項１から１２のいずれかに記載のポンプ装置において、
    前記制御部は、前記理論情報と前記補正情報を記憶する記憶部を有するポンプ装置。
14. 請求項１から１３のいずれかに記載のポンプ装置において、
    前記制御部は、前記ポンプ装置の外部機器から前記吐き出し命令を受け、
    前記吐き出し命令は、前記可動部材の出発位置、前記可動部材の現在位置、および、前記可動部材の目標位置に関する情報を含まないポンプ装置。
15. 基板に処理を行う基板処理装置において、
    基板を保持する保持部と、
    前記保持部に保持される基板に処理液を供給するノズルと、
    前記ノズルに連通接続される、請求項１から１４のいずれかに記載の前記ポンプ装置と、
    を備えた基板処理装置。

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