JP6912695B2 - 複合樹脂組成物及び複合樹脂硬化物 - Google Patents
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無機微粒子、
溶剤、
インデン、テトラリン、フルオレン、キサンテン、アントラセン、及び、ベンズアントラセンからなる群より選択される少なくとも1種に由来する縮環構造を有する縮環構造含有樹脂、並びに、
エポキシ基を1つ以上有する化合物を含み、
無機微粒子の分散後の平均粒子径は10〜70nmであることを特徴とする。
分散剤及び表面処理剤の合計含有量は、無機微粒子100重量部に対して、有効成分重量で5重量部以下であることが好ましい。
本発明の複合樹脂組成物は、
無機微粒子、
溶剤、
インデン、テトラリン、フルオレン、キサンテン、アントラセン、及び、ベンズアントラセンからなる群より選択される少なくとも1種に由来する縮環構造を有する縮環構造含有樹脂、並びに、
エポキシ基を1つ以上有する化合物を含み、
無機微粒子の分散後の平均粒子径は10〜70nmであることを特徴とする。
無機微粒子としては、特に限定されないが、例えば、金属酸化物微粒子、窒化物、2種以上の金属元素から構成される複合酸化物、金属酸化物に異種の元素がドープされた化合物等が挙げられる。
溶剤としては、特に限定されないが、例えば、メタノール、エタノール等のアルコール類;テトラヒドロフラン等のエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のエチレングリコールエーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル等のジエチレングリコールジアルキルエーテル類;ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のジエチレングリコールモノアルキルエーテル類;プロピレングリコールモノメチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル類;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、3−メトキシブチル−1−アセテート等のアルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルブタン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、コハク酸ジメチル、コハク酸ジエチル、アジピン酸ジエチル、マロン酸ジエチル、シュウ酸ジブチル等のエステル類等が挙げられる。これらの中では、エチレングリコールエーテル類、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、ジエチレングリコールジアルキルエーテル類、ケトン類及びエステル類が好ましく、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート及びメチルアミルケトンがより好ましい。これらの溶剤は、単独で用いても良いし、2種以上を併用しても良い。
インデン、テトラリン、フルオレン、キサンテン、アントラセン、及び、ベンズアントラセンからなる群より選択される少なくとも1種に由来する縮環構造を有する縮環構造含有樹脂としては、エポキシエステル樹脂(E)、多価カルボン酸樹脂(G)等を用いることができる。
エポキシエステル樹脂(E)は、下記一般式(1)で表されるエポキシ樹脂(A)と単塩基性カルボン酸(B)とを反応させることにより、又は、下記一般式(10)で表されるアルコール化合物(C)とグリシジルエステル化合物(D)とを反応させることにより、得ることができる。エポキシエステル樹脂(E)としては、分散性や耐熱性に優れることから、キサンテン又はフルオレンに由来する縮環構造を有するものが好ましい。
本発明の複合樹脂組成物は、エポキシ基を1つ以上有する化合物を含有する。ネガ型のフォトレジスト樹脂を用いてパターニングを行う際には、溶剤成分を加熱除去(プリベーク)し、紫外線等の放射線を照射後、未露光部を現像液により溶解させて除去する処理を行うが、本発明の複合樹脂組成物を熱硬化させる際に、縮環構造含有樹脂に残存するカルボキシル基が、エポキシ基を1つ以上有する化合物のエポキシ基と反応することで、得られる複合樹脂硬化物の耐薬品性を向上させることができる。
本発明の複合樹脂組成物は、分散剤及び/又は表面処理剤を全く含まない場合であっても良好な分散性を示すが、分散剤及び/又は表面処理剤を少量含有しても良い。
分散剤としては、特に限定されず、例えば、ポリアクリル酸系分散剤、ポリカルボン酸系分散剤、リン酸系分散剤、シリコン系分散剤等が挙げられる。これらの分散剤は、単独で使用しても良く、2種以上を併用しても良い。
本発明の複合樹脂組成物は、光硬化性の観点から、さらに脂肪族多官能アクリレートを含有することが好ましい。脂肪族多官能アクリレートとしては、特に限定されないが、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等の水酸基を有するモノマー類;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類等が挙げられる。これらは単独で用いても良いし、2種以上を併用しても良い。
硬化剤等の任意成分は、ビーズミルを用いた分散前、分散中、分散完了後のいずれの時点で添加しても良い。
本発明の複合樹脂硬化物は、本発明の複合樹脂組成物を熱硬化及び光硬化させたことを特徴とする。
本発明の光学フィルムは、本発明の複合樹脂硬化物を備えたことを特徴とする。
本発明の表示素子は、本発明の複合樹脂硬化物を備えたことを特徴とする。
以下の実施例及び比較例では、下記の材料を使用した。
1−1.無機微粒子
・酸化ジルコニウム(第一稀元素化学工業株式会社製、UEP−50)
・酸化ジルコニウム(第一稀元素化学工業株式会社製、UEP−100)
1−2.溶剤
・シクロヘキサノン(シノペック社製)
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(株式会社ダイセル製、PGMEA)
・プロピレングリコールモノメチルエーテル(日本乳化剤株式会社製、PGME)
1−3.分散剤
・高分子型分散剤(ビックケミー・ジャパン社製、BYK−118)
1−4.硬化剤
・2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン(BASFジャパン株式会社製、IRGACURE 907)
1−5.脂肪族多官能アクリレート
・ペンタエリスリトールトリアクリレート(PETA)(新中村化学株式会社製、A−TMM−3LM−N)
(合成例1)エポキシ化合物Aの合成
撹拌機と冷却管と温度計を備える1000mlの反応器に、ペンタエリスリトール100g、トルエン100g、三フッ化ホウ素エーテル錯体2.2gを仕込み、内温を90〜100℃に調整した。次に、エピクロルヒドリン407gを3時間かけて滴下し、滴下終了後更に3時間撹拌した。ガスクロマトグラフにより、エピクロルヒドリンが完全に消費された事を確認し、内温を50〜60℃に調整した。次に、49%液体苛性ソーダ240gを3時間かけて滴下して、引き続き1時間の熟成を行った。得られた反応液を2000mlの容器に移し、トルエン300gで希釈した後、生成した塩濃度が10%水溶液となるように軟水を加えて撹拌溶解し、トルエン層を分離抽出して、生成塩を除去したのち、軟水で有機層を洗い、エバポレータにより100℃で減圧濃縮を行って有機層からエピクロルヒドリンを除去してエポキシ化合物Aを得た。このエポキシ化合物Aのエポキシ当量は、240g/eqであった。
ポリブタジエングリコール(日本曹達株式会社製、NISSO−PB G−2000、数平均分子量2500、1,2−ブタジエン骨格/1,4−ブタジエン骨格=90/10)100部、エピクロルヒドリン35部、水酸化ナトリウム16部及びトルエン50部を仕込み、激しく攪拌しながら窒素雰囲気下で50℃、5時間反応させた。反応後、水100部を加え10分攪拌して水洗した。静置後、上層を分液し、濾過後、過剰のエピクロルヒドリンとトルエンを減圧除去し、残渣としてエポキシ化合物Bを得た。このエポキシ化合物Bのエポキシ当量は1520g/eqであった。
撹拌機と冷却管と温度計を備える1000mlの反応器に、トリメチロールプロパン114g及びエピクロルヒドリン700gを加え、さらにテトラメチルアンモニウムクロライドを5.4g加え、減圧下で液温度を55〜65℃に保ち、あわせて水を除去しながら、49%液体苛性ソーダ200gを4時間かけて滴下して、引き続き1時間の熟成を行った。
得られた反応液に対して、生成した塩濃度が10%水溶液となるように軟水を加えて撹拌溶解し、エピクロルヒドリン層を分離抽出して、生成塩を除去したのち、軟水で有機層を洗い、エバポレータにより100℃で減圧濃縮を行って有機層からエピクロルヒドリンを除去してエポキシ化合物Cを得た。このエポキシ化合物Cのエポキシ当量は、150g/eqであった。
合成例1の操作において、ペンタエリスリトールをソルビトール100gに変更し、エピクロルヒドリンの量を305g、49%苛性ソーダの量を256g、反応後のトルエンの量を500gとした以外は同様な操作を行い、エポキシ化合物Dを得た。このエポキシ化合物Dのエポキシ当量は、170g/eqであった。
合成例1の操作において、ペンタエリスリトールをグリセリン100gに変更し、エピクロルヒドリンの量を302g、49%苛性ソーダの量を253g、反応後のトルエンの量を500gとした以外は同様な操作を行い、エポキシ化合物Eを得た。このエポキシ化合物Eのエポキシ当量は、142g/eqであった。
合成例1の操作において、ペンタエリスリトールをソルビトール100gに変更し、エピクロルヒドリンの量を270g、49%苛性ソーダの量を226g、反応後のトルエンの量を500gとした以外は同様な操作を行い、エポキシ化合物Fを得た。このエポキシ化合物Fのエポキシ当量は、175g/eqであった。
合成例1の操作において、ペンタエリスリトールをPolyglycerol 4(ソルベイジャパン株式会社製)100gに変更し、エピクロルヒドリンの量を130g、49%苛性ソーダの量を107g、反応後のトルエンの量を500gとした以外は同様な操作を行い、エポキシ化合物Gを得た。このエポキシ化合物Gのエポキシ当量は、190g/eqであった。
300ml四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレンジグリシジルエーテル(大阪ガスケミカル株式会社製:オグソールPG)115g(エポキシ当量270g/eq)、触媒としてトリエチルベンジルアンモニウムクロライド600mg、重合禁止剤として2,6−ジイソブチルフェノール30mg、及びアクリル酸36gを仕込み、これに10mL/分の速度で空気を吹き込みながら90〜100℃で加熱溶解した。次に、これを徐々に120℃まで昇温させた。溶液は透明粘稠となったがそのまま攪拌を継続した。この間、酸価を測定し、1.0mgKOH/g未満になるまで加熱攪拌を続け、淡黄色透明で固体状の縮環構造含有エポキシエステル樹脂を得た。酸価が目標に達するまで15時間を要した。この縮環構造含有エポキシエステル樹脂に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)65gを加えて溶解した後、無水ピロメリット酸(PMDA)27g、テトラヒドロ無水フタル酸(THPA)7.6g及び臭化テトラエチルアンモニウム0.1gを混合し、これを徐々に昇温して110〜115℃で14時間反応させた。このようにして、縮環構造含有樹脂AのPGMEA溶液を得た。酸無水物の消失はIRスペクトルにより確認した。また、この縮環構造含有樹脂Aは、上記多価カルボン酸樹脂(G−a−ii)に相当する。
合成例8と同様にして得られた縮環構造含有エポキシエステル樹脂に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)65g及び多価アルコールとして、ジトリメチロールプロパン1.5gを加えて溶解した後、無水ピロメリット酸(PMDA)27g及び臭化テトラエチルアンモニウム0.1gを混合し、これを徐々に昇温して110〜115℃で14時間反応させた。さらに、テトラヒドロ無水フタル酸(THPA)7.6gを添加し、10時間反応させ、縮環構造含有樹脂BのPGMEA溶液を得た。酸無水物の消失はIRスペクトルにより確認した。また、この縮環構造含有樹脂Bは、上記多価カルボン酸樹脂(G−b−iii)に相当する。
下記式(13)で表されるエポキシエステル樹脂にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)65gを加えて溶解させた後、ビスフェノールテトラカルボン酸二無水物(BPDA)35g及び臭化テトラエチルアンモニウム0.1gを混合し、これを徐々に昇温して110〜115℃で14時間反応させ、縮環構造含有樹脂CのPGMEA溶液を得た。酸無水物の消失はIRスペクトルにより確認した。また、この縮環構造含有樹脂Cは、上記多価カルボン酸樹脂(G−a−i)に相当する。
なお、下記式(13)で表されるエポキシエステル樹脂は、特開2009−185270にて開示された方法に従い合成した。
(実施例1〜17、比較例1)
表1に示す重量比で無機微粒子、溶剤、縮環構造含有樹脂、エポキシ基を1つ以上有する化合物、分散剤及び脂肪族多官能アクリレートを混合し、メディア型分散機(ビーズミル)を用いて分散させ、さらに硬化剤を混合することにより複合樹脂組成物を得た。得られた複合樹脂組成物を用いて、後述する方法により無機微粒子の分散後の平均粒子径、屈折率、現像性、残膜率を評価した。結果を表1に示す。
4−1.無機微粒子の分散後の平均粒子径
各実施例及び比較例で得られた複合樹脂組成物について、Malvern社製ゼータサイザーナノZSを用いて、動的光散乱法にて測定した散乱強度分布に基づきZ−平均粒子径を算出した。
各実施例及び比較例で得られた複合樹脂組成物を、スピンナーを用いてシリコン基板に塗布した後、100℃のホットプレート上で2分間プリベークして厚み約0.1μmの塗膜を形成した。この塗膜を有するシリコン基板の塗膜表面に所定のパターンを有するマスクを置き、窒素雰囲気下で、250Wの高圧水銀ランプを用いて、波長365nmにて光強度18.9mW/cm2の紫外線を1000mJ/cm2のエネルギー量となるように照射した。次いで、0.5重量%の水酸化カリウム水溶液を用いて23℃で60秒間の現像処理を行い、塗膜の未露光部を除去した。その後、超純水でリンス処理を行った。得られた塗膜を有する基板を200℃のオーブンに入れ、ポストベーク処理を30分間行い、塗膜を加熱硬化させ、複合樹脂硬化物を得た。得られた複合樹脂硬化物について、光干渉式膜質測定機を用いて、550nmにおける屈折率を測定した。
上記4−2.に記載の現像処理を行った時の、現像後の未露光部について、残渣の有無を目視で確認した。
◎:残渣なし
○:わずかに残渣あり
上記4−2.に記載のポストベーク処理後の塗膜を有するシリコン基板を用い、25℃の条件下、下記(i)〜(iv)の工程に従って耐薬品性試験を行い、試験後の残膜率((試験後の膜厚/試験前の膜厚)×100)を求めた。
(i)PGMEA中に基板を180秒間浸した後、150℃のオーブンに入れて塗膜中に残存する溶剤を除去した。
(ii)5重量%の水酸化カリウム水溶液中に180秒間浸した後、超純水でリンス処理を行い、150℃のオーブンに入れて残存する水を除去した。
(iii)3.4重量%のシュウ酸水溶液に180秒間浸した後、(ii)と同様に洗浄・乾燥を行った。
(iv)2.38重量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)水溶液に180秒間浸した後、(ii)と同様に洗浄・乾燥を行った。
Claims (11)
- 無機微粒子、
溶剤、
インデン、テトラリン、フルオレン、キサンテン、アントラセン、及び、ベンズアントラセンからなる群より選択される少なくとも1種に由来する縮環構造を有するエポキシエステル樹脂又は多価カルボン酸樹脂、並びに、
エポキシ基を1つ以上有する化合物を含み、
エポキシ基を1つ以上有する化合物は、ポリブタジエンジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、及び、ポリグリセロールポリグリシジルエーテルからなる群より選択される少なくとも1種であり、
無機微粒子の分散後の平均粒子径は10〜70nmであり、
無機微粒子が、酸化ジルコニウム、酸化チタン及びチタン酸バリウムからなる群より選択される少なくとも1種であることを特徴とする複合樹脂組成物。 - さらに、分散剤及び/又は表面処理剤を含み、
分散剤及び表面処理剤の合計含有量は、無機微粒子100重量部に対して、有効成分重量で5重量部以下である、請求項1に記載の複合樹脂組成物。 - エポキシエステル樹脂又は多価カルボン酸樹脂が、フルオレンに由来する縮環構造、及び、(メタ)アクリロイル基を有する、請求項1又は2に記載の複合樹脂組成物。
- エポキシ基を1つ以上有する化合物の水溶率が0〜70重量%である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の複合樹脂組成物。
- エポキシ基を1つ以上有する化合物のエポキシ当量が100〜1000g/eqであり、かつ、エポキシ基を1つ以上有する化合物の含有量が全固形分中0.1〜45重量%である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の複合樹脂組成物。
- さらに、脂肪族多官能アクリレートを含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の複合樹脂組成物。
- 無機微粒子の含有量が、全固形分中30〜80重量%である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の複合樹脂組成物。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の複合樹脂組成物を熱硬化及び光硬化させたことを特徴とする複合樹脂硬化物。
- 薄膜又は成形体である、請求項8に記載の複合樹脂硬化物。
- 請求項8又は9に記載の複合樹脂硬化物を備えたことを特徴とする光学フィルム。
- 請求項8又は9に記載の複合樹脂硬化物を備えたことを特徴とする表示素子。
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