JP6831698B2 - 焦点距離可変レンズ装置 - Google Patents
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Description
レンズシステムは、圧電材料で形成された円筒状の振動部材を、透明な液体に浸漬して形成される。レンズシステムにおいて、振動部材の内周面と外周面とに交流電圧を印加すると、振動部材が厚み方向に伸縮し、振動部材の内側の液体を振動させる。液体の固有振動数に応じて印加電圧の周波数を調整することで、液体には同心円状の定在波が形成され、振動部材の中心軸線を中心として屈折率が異なる同心円状の領域が形成される。このため、レンズシステムにおいて、振動部材の中心軸線に沿って光を通せば、この光は同心円状の領域ごとの屈折率に従って、拡大または縮小する経路を辿ることになる。
通常の凸レンズに平行光を入射させると、レンズを通過した光は所定の焦点距離にある焦点位置に焦点を結ぶ。これに対し、凸レンズと同軸に配置されたレンズシステムに平行光を入射させると、この光はレンズシステムで拡大または縮小され、凸レンズを通過した光は元の(レンズシステムがなかった状態の)焦点位置よりも遠くまたは近くにずれた位置に焦点を結ぶ。
従って、焦点距離可変レンズ装置においては、レンズシステムに入力される駆動信号(内部の液体に定在波を発生させる周波数の交流電圧)を印加し、この駆動信号の振幅を増減させることで、焦点距離可変レンズ装置としての焦点位置を一定の範囲内(対物レンズの焦点距離を基準としてレンズシステムにより増減できる所定の変化幅)で任意に制御することができる。
このような焦点距離可変レンズ装置を用いて画像を取得する際には、駆動信号の正弦波の位相に同期して発光信号を出力してパルス照明を行う。これにより、正弦波状に変化する焦点距離のうち、所定の焦点距離にある状態でパルス照明を行うことで、この焦点距離にある対象物の画像が検出される。一周期のうち複数の位相でパルス照明を行い、各位相に対応して画像検出を行えば、同時に複数の焦点距離の画像を得ることもできる。
そのような変化は内部の振動状態に影響を与え、焦点距離が描く波形も変化してしまう。その結果、パルス照明のタイミングが同一であっても、異なる焦点距離の画像が検出されるという問題がある。
また、内部の液体の温度や、振動部材の温度の変化により、定在波が得られる交流信号の周波数も変化してしまい、同じ条件でパルス照明を行っても得られる画像の焦点距離が異なるものになるという問題もある。
しかし、本発明では、制御部が温度検出部からの温度情報に基づいて、発光信号のタイミングを補正するため、入力される駆動信号に対応する焦点距離の変化分を解消することができ、常に駆動信号で指定される所期の焦点距離の画像を検出することができる。
なお、温度検出部は、例えばレンズシステムのインピーダンスなどの電気的なパラメータを基に温度を間接的に検出する構成としてもよい。
なお、補正値の元になるデータは、必ずしも焦点距離可変レンズ装置で個々に実測されたものに限らず、別途測定した補正値データを他の焦点距離可変レンズ装置に組み込むようにしてもよい。
図1において、焦点距離可変レンズ装置1は、焦点距離を可変しつつ測定対象物9の表面の画像を検出するために、当該表面に交差する同じ光軸A上に配置された対物レンズ2、レンズシステム3および画像検出部4を備えている。
さらに、焦点距離可変レンズ装置1は、測定対象物9の表面をパルス照明するパルス照明部5と、パルス照明部5、画像検出部4、レンズシステム3を制御する制御部6と、レンズシステム3に設置された温度センサ7とを備えている。
画像検出部4は、既存のCCD(Charge Coupled Device)イメージセンサあるいは他の形式のカメラ等で構成され、入射される画像Lgを所定の信号形式の検出画像Imとして制御部6へ出力することができる。
パルス照明部5は、LED(Light Emitting Diode)などの発光素子で構成され、制御部6から発光信号Ciが入力された際に、所定時間だけ照明光Liを発光させ、測定対象物9の表面に対するパルス照明を行うことができる。
焦点距離可変レンズ装置1において、焦点位置Pfまでの焦点距離Dfは、対物レンズ2の焦点距離を基本としつつ、レンズシステム3の屈折率を変化させることで、任意に変化させることができる。
振動部材32は、圧電材料を円筒状に形成したものであり、外周面33と内周面34との間に駆動信号Cfの交流電圧が印加されることで、厚み方向に振動する。
ケース31の内部には、透過性の高い液体35が充填されており、振動部材32は全体を液体35に浸漬され、円筒状の振動部材32の内側は液体35で満たされている。駆動信号Cfの交流電圧は、振動部材32の内側にある液体35に定在波を発生させる周波数に調整されている。
このとき、レンズシステム3の中心軸線からの距離(半径)と液体35の屈折率との関係は、図3(C)部に示す屈折率分布Wのようになる。
図4(A)の状態では、屈折率分布Wの振れ幅が最大となり、レンズシステム3は通過する光を収束させ、焦点位置Pfは近く、焦点距離Dfは最短となっている。
図4(B)の状態では、屈折率分布Wが平坦となり、レンズシステム3は通過する光をそのまま通過させ、焦点位置Pfおよび焦点距離Dfは標準的な値となっている。
図4(C)の状態では、屈折率分布Wが図4(A)と逆極性で振れ幅が最大となり、レンズシステム3は通過する光を拡散させ、焦点位置Pfは遠く、焦点距離Dfは最大となっている。
図4(D)の状態では、再び屈折率分布Wが平坦となり、レンズシステム3は通過する光をそのまま通過させ、焦点位置Pfおよび焦点距離Dfは標準的な値となっている。
図4(E)の状態では、再び図4(A)の状態に戻っており、以下同様の変動を繰り返すことになる。
この際、焦点変動波形Mfの任意の時点で焦点位置Pfにある測定対象物9をパルス照明すれば、照明時点での焦点距離Dfにある焦点位置Pfの画像が得られることになる。
図5において、制御部6からパルス照明部5に入力される発光信号Ciが、焦点変動波形Mfrに対して位相角θrに設定されているとすると、パルス照明で得られる画像は焦点距離Dfrにおける測定対象物9の表面の画像となる。
このような変化した焦点変動波形Mfmに対し、発光信号Ciを位相角θrのままであると、焦点距離Dfmとなり、元の焦点距離Dfrとはずれてしまう。その結果、焦点距離Dfrにおける測定対象物9の表面の画像が正しく得られなくなる。
このような変化に対し、発光信号Ciの焦点変動波形Mfmに対する位相角θmに調整することで、元の焦点距離Dfrに戻すことができる。このような調整により、焦点距離Dfrにおける測定対象物9の表面の画像を正しく得ることができる。
温度センサ7は、検出した温度情報Tdを制御部6に送るものであり、振動部材32の外周面またはケース31の内周面に装着されたもの、あるいは振動部材32の外周面とケース31の内周面との間に支持されたものとされ、いずれも液体35に浸漬されて液体35の温度を検出可能である。
温度センサ7は、振動部材32による液体35の振動を妨害しないように、振動部材32の内側に設置することは避けられる。
温度検出部61は、温度センサ7からの温度情報Tdを処理し、液体35の温度情報として取り出す。
補正演算部62は、補正値テーブル63を参照し、温度情報に応じて発光信号Ciの位相角θを補正する。
補正値テーブル63は、液体35の温度と発光信号Ciの位相角θの補正値との対応関係を示すデータを記憶している。
発光信号制御部64は、補正演算部62で位相角θを補正された発光信号Ciを、パルス照明部5に出力する。
そして、制御部6により、駆動信号Cfを基準とした特定の位相角θで発光信号Ciを出力し、この発光信号Ciに基づいてパルス照明部5を発光させることで、発光時点の焦点距離Dfでの測定対象物9の表面の画像Lgが、対物レンズ2およびレンズシステム3を通して画像検出部4へと導入され、検出画像Imとして検出することができる。
しかし、本実施形態では、制御部6が温度センサ7からの温度情報Tdに基づいて、発光信号Ciのタイミングを適切なタイミング(焦点変動波形Mfmに対して位相角θm)に補正するため、入力される駆動信号Cfに対応する焦点距離Dfmの変化分を解消することができ、常に駆動信号Cfで指定される所期の焦点距離Dfの画像を検出することができる。
本実施形態は、前述した第1実施形態と基本的な構成は共通し、一部の構成が異なる。このため、以下共通する部分についての重複する説明は省略し、相違する部分について説明する。
前述した第1実施形態においては、レンズシステム3の内部に温度センサ7を設置するとともに、図6に示すような制御部6を用い、温度情報Tdに応じた焦点距離Dfの補正のうえ、パルス照明部5に適正なタイミングの発光信号Ciを出力した。
本実施形態では、図7に示すような制御部6Aを用い、レンズシステム3に入力される駆動信号Cfの波形を検出し、その周波数からレンズシステム3の内部の液体35の密度を演算し、これにより温度を間接的に検出する。
駆動信号制御部60Aは、レンズシステム3の駆動電極36Aに駆動信号Cfを出力するものである。駆動電極36Aは、前述した第1実施形態における円筒状の振動部材32の外周面33および内周面34に形成される正負一対の電極である。
ここで、レンズシステム3の液体35の温度変化により、レンズシステム3の固有振動数が変化すると、駆動信号制御部60Aは駆動信号Cfとする交流電圧の周波数を追従させる。従って、駆動信号制御部60Aが設定する駆動信号Cfの周波数に基づいて、レンズシステム3の液体35の温度変化を検出することができる。
補正演算部62Aは、補正関数63Aを参照し、温度演算部61Aで得た温度情報に応じて発光信号Ciの位相角θを補正する。
補正関数63Aは、液体35の温度と発光信号Ciの位相角θの補正値との対応関係を示す関数を記憶したものである。
発光信号制御部64は、補正演算部62Aで位相角θを補正された発光信号Ciを、パルス照明部5に出力する。
第2実施形態においては、前述した第1実施形態のような温度センサ7を用いないでよいため、構成を簡素にすることができる。とくに、レンズシステム3に関しては機器の追加などが必要なく、周辺との干渉を生じることもない。
前記各実施形態では、予めレンズシステム3の内部の液体35の温度と焦点距離Dfの変化量との対応関係を測定しておき、これを液体35の温度と焦点距離Dfの補正値との関係を示す補正値テーブル63または補正関数63Aとして準備しておいた。
これに対し、補正値の元になるデータは、必ずしも焦点距離可変レンズ装置1で個々に実測されたものに限らず、別途測定した補正値データを他の焦点距離可変レンズ装置1に組み込むようにしてもよい。
また、補正データは制御部6または図示しない記憶装置にソフトウェア(またはその一部)として格納しても良い。
レンズシステム3の具体的構成は適宜変更してよく、ケース31および振動部材32は円筒状のほか六角筒状などであってもよく、制御部6,6Aの具体的構成も実施にあたって適宜選択することができる。
Claims (3)
- 液体が充填されたケースと、前記液体に浸漬されかつ圧電材料で形成された円筒状の振動部材と、を備え、交流電圧の駆動信号を前記振動部材に印加して、前記振動部材の内側の前記液体に同心円状の定在波を形成することで、屈折率が異なる領域を形成するレンズシステムと、
前記レンズシステムと同じ光軸上に配置された対物レンズと、
前記レンズシステムおよび前記対物レンズを通して測定対象物の画像を検出する画像検出部と、
入力される発光信号に基づいて前記測定対象物をパルス照明するパルス照明部と、
前記レンズシステムの内部の温度情報を検出する温度検出部と、
前記駆動信号および前記発光信号を出力するとともに前記温度情報に基づいて前記発光信号のタイミングを補正する制御部と、を有することを特徴とする焦点距離可変レンズ装置。 - 請求項1に記載の焦点距離可変レンズ装置において、
前記温度検出部は、前記ケースの内部の液体に浸漬された温度センサ、前記振動部材に装着された温度センサ、または前記ケースに装着された温度センサのいずれかを含むことを特徴とする焦点距離可変レンズ装置。 - 請求項1または請求項2に記載の焦点距離可変レンズ装置において、
前記制御部は、予め前記ケースの内部の液体の温度と前記焦点距離可変レンズ装置としての焦点距離の補正値との対応関係を記録した補正値テーブルまたは補正関数を有することを特徴とする焦点距離可変レンズ装置。
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