JP6729754B2

JP6729754B2 - 樹脂多層基板の製造方法

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Publication number: JP6729754B2
Application number: JP2019081948A
Authority: JP
Inventors: 喜人大坪; 麻人藤本
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2016-08-23
Filing date: 2019-04-23
Publication date: 2020-07-22
Anticipated expiration: 2037-04-28
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Description

本発明は、樹脂多層基板の製造方法に関するものである。

複数の樹脂層を積み重ねて積層体とし、これを熱圧着することによって樹脂多層基板を作製する例が、特開２０１４−２２５６０４号公報（特許文献１）に記載されている。

特許文献１に記載されているように、積層体にキャビティを設けておき、このキャビティ内に部品を配置し、この状態で熱圧着を行なうことによって、部品を内蔵した樹脂多層基板を作製することも可能である。

特開２０１４−２２５６０４号公報

たとえば、樹脂多層基板が部品を内蔵する積層体であって、かつ、内蔵される部品の真下に導体パターンがある場合に、この導体パターンに隣接する部分では、熱圧着工程を終えた後においても樹脂層同士の接合が不十分となる場合があった。このような部分が部品の真下に隠れることによって、熱圧着工程におけるプレスの熱や圧力が部品の真下に隠れていない箇所と比較して十分に伝わらないことが原因と考えられる。

部品の真下以外にも、積層体に積層方向に掘り下げるように設けられたキャビティを設ける場合におけるキャビティの真下においても同様の問題が生じうる。他にもいくつかの場合に同様の問題が生じうる。

そこで、本発明は、熱圧着工程におけるプレスの熱や圧力の作用が不十分となりがちな箇所における樹脂層間の未接合状態を解消した樹脂多層基板の製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明に基づく樹脂多層基板は、熱可塑性樹脂を主材料とする複数の樹脂層を積層したものである積層体と、上記積層体に内蔵された部品と、上記積層体の内部で上記樹脂層同士の隙間に配置され、上記積層体の積層方向の一方から見たとき外形線を有する１以上の第１種導体パターンと、上記積層体の内部で上記樹脂層同士の隙間に配置され、上記積層体の積層方向の一方から見たとき外形線を有する１以上の第２種導体パターンとを備える。上記第１種導体パターンの各々の外形線の少なくとも一部は、上記積層体の積層方向の一方から見たとき上記部品と重なる位置にある。上記第２種導体パターンの各々の外形線は、上記積層体の積層方向の一方から見たとき上記部品と全く重ならない位置にある。上記第１種導体パターンの各々の外形線のうち上記部品と重なる部分に沿って、上記第１種導体パターンの外側に隣接するように、熱可塑性樹脂から構成される樹脂部が配置されている。上記第２種導体パターンの各々の外形線に沿う部分には上記樹脂部が配置されていない。

本発明によれば、樹脂部が配置されているので、熱圧着工程におけるプレスの圧力の作用が不十分となりがちな箇所における樹脂層間の未接合状態を解消した樹脂多層基板とすることができる。

本発明に基づく実施の形態１における樹脂多層基板の断面図である。本発明に基づく実施の形態１における樹脂多層基板の第１種導体パターンが配置された層における平面図である。本発明に基づく実施の形態１における樹脂多層基板の第１の変形例の第１種導体パターンが配置された層における平面図である。本発明に基づく実施の形態１における樹脂多層基板の第２の変形例の第１種導体パターンが配置された層における平面図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板の断面図である。本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板の第１種導体パターンが配置された層における平面図である。本発明に基づく実施の形態３における樹脂多層基板の断面図である。本発明に基づく実施の形態４における樹脂多層基板の断面図である。本発明に基づく実施の形態４における樹脂多層基板の変形例の断面図である。本発明に基づく実施の形態５における樹脂多層基板の断面図である。本発明に基づく実施の形態５における樹脂多層基板の第１の変形例の断面図である。本発明に基づく実施の形態５における樹脂多層基板の第２の変形例の断面図である。本発明に基づく実施の形態５における樹脂多層基板の第３の変形例の断面図である。本発明に基づく樹脂多層基板の製造方法の第１の説明図である。本発明に基づく樹脂多層基板の製造方法の第２の説明図である。本発明に基づく樹脂多層基板の製造方法の第３の説明図である。本発明に基づく樹脂多層基板の製造方法の第４の説明図である。本発明に基づく樹脂多層基板の製造方法の第５の説明図である。本発明に基づく樹脂多層基板の製造方法の第６の説明図である。本発明に基づく実施の形態６における樹脂多層基板の断面図である。本発明に基づく実施の形態７における樹脂多層基板の断面図である。本発明に基づく実施の形態８における樹脂多層基板の断面図である。本発明に基づく実施の形態８における樹脂多層基板の変形例の断面図である。

図面において示す寸法比は、必ずしも忠実に現実のとおりを表しているとは限らず、説明の便宜のために寸法比を誇張して示している場合がある。以下の説明において、上または下の概念に言及する際には、絶対的な上または下を意味するとは限らず、図示された姿勢の中での相対的な上または下を意味する場合がある。

（実施の形態１）
図１〜図２を参照して、本発明に基づく実施の形態１における樹脂多層基板について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板１０１の断面図を図１に示す。

本実施の形態における樹脂多層基板１０１は、熱可塑性樹脂を主材料とする複数の樹脂層２を積層したものである積層体１と、積層体１に内蔵された部品３と、積層体１の内部で樹脂層２同士の隙間に配置され、積層体１の積層方向の一方から見たとき外形線を有する１以上の第１種導体パターン７と、積層体１の内部で樹脂層２同士の隙間に配置され、積層体１の積層方向の一方から見たとき外形線を有する１以上の第２種導体パターンとを備える。樹脂層２の主材料としての熱可塑性樹脂は、たとえば液晶ポリマー（ＬＣＰ）である。複数の樹脂層２は、いずれも同じ厚みであってもよい。複数の樹脂層２は、異なる厚みの樹脂層同士を組み合わせたものであってもよい。

部品３は、下面に複数の電極４を備えている。電極４の各々は、下方に位置する導体パターンに対して導体ビア６を介して電気的に接続されている。ここで示す部品３の形状、構造は、あくまで一例である。部品は下面以外に電極を備えていてもよい。部品を断面図で見たときの形状は、長方形とは限らない。

図１に示した例では、樹脂多層基板１０１の内部の少なくとも１つの界面に第１種導体パターン７が配置されているが、この界面を図１における上側から見たときの位置関係を図２に示す。「積層方向」とは、図１における上下方向のことである。「積層方向の一方から見たとき」というのは、たとえば図１に示した積層体１を上または下から見たときという意味である。ここでは説明の便宜のために、「積層方向の一方から見たとき」の見え方に関しては、図１における上から下に向かって見た状態を示しながら説明する。以下の実施の形態においても同様である。

導体パターンは、基本的に樹脂層２同士の界面に配置されるか、積層体１の表面に露出する樹脂層２の表面に配置されるものであるが、以下の説明中では、積層体１の内部または表面で導体パターンが位置する平面のことを「層」という場合がある。

導体パターンは、金属箔または金属膜によって形成されたものであってよい。導体パターンは、たとえば銅、アルミニウム、金、銀などのいずれかの金属で形成されたものであってもよい。

図２に示すように、ある１つの層に１以上の第１種導体パターン７が配置されており、同じ層に第２種導体パターン８も配置されている。図１、図２に示すように、樹脂多層基板１０１の中で異なる高さの層にも少なくとも１つの第２種導体パターン８が配置されていてもよい。図１、図２に示した例では、１以上の第１種導体パターン７は全て同じ高さに配置されているが、これはあくまで一例であって、異なる高さに少なくとも１つの第１種導体パターン７が配置されていてもよい。図２においては、部品３は紙面より手前側に位置するが、部品３をこの界面に投影した輪郭が二点鎖線で示されている。

図２に示すように、第１種導体パターン７の各々の外形線の少なくとも一部は、積層体１の積層方向の一方から見たとき部品３と重なる位置にある。第２種導体パターン８の各々の外形線は、積層体１の積層方向の一方から見たとき部品３と全く重ならない位置にある。

第１種導体パターン７の各々の外形線のうち部品３と重なる部分に沿って、第１種導体パターン７の外側に隣接するように、熱可塑性樹脂の粉末、たとえば液晶ポリマーの粉末を主材料とする樹脂ペースト由来であり、この樹脂ペーストの液体成分が実質的に残留していない樹脂部１５が配置されている。第２種導体パターン８の各々の外形線に沿う部分には樹脂部１５が配置されていない。これは、第２種導体パターン８の各々の外形線に沿う部分に樹脂部１５を配置すると、上述の未接合の問題がない箇所に樹脂部１５が配置されることとなり、不必要に積層体の厚みが増すという問題、また、かえって積層体の表面のコプラナリティが劣化するといった問題が発生するおそれがあるからである。

部品３と重なる部分においては、熱圧着工程における熱や圧力の伝達が部品３によっていくらか遮られるので、作用する熱や圧力が不十分となる可能性があり、その結果、第１種導体パターンの外形線近傍において未接合状態の部分が生じるおそれがあるが、本実施の形態では、そのような部分に樹脂部１５が配置されているので、樹脂部が導体パターンの外形線近傍の隙間を埋めることとなる。したがって、熱圧着工程におけるプレスの熱や圧力の作用が不十分となりがちな箇所における樹脂層間の未接合状態を解消することができる。なお、樹脂部１５を構成する樹脂ペーストは、上記の熱圧着工程における熱および圧力によって、樹脂ペーストの液体成分が気化して実質的に残留していない状態となる。

（位置関係のバリエーション）
図２に示した例では、少なくとも１つの第１種導体パターン７は、第１種導体パターン７の外形線が部品３の外形線と重なるような位置に配置されているが、このような位置関係はあくまで一例である。たとえば図３に示すように、少なくとも１つの第１種導体パターン７は、部品３の外形線にまたがるように位置していてもよい。このような場合、図３に示すように、樹脂部１５は、第１種導体パターン７の外形線のうち部品３と重なる部分のみに沿って配置されていてもよい。第１種導体パターン７の外形線のうち部品３と重ならない部分には、樹脂部１５が配置されていなくてよい。しかし、このような構成に限るものではない。たとえば図４に示すように、少なくとも１つの第１種導体パターン７が、部品３の外形線にまたがるように位置していて、かつ、この第１種導体パターン７の外形線においては、部品３と重なる部分だけでなく重ならない部分にまで沿うように樹脂部１５が配置されていてもよい。図３、図４に示すような場合にも、部品３と重なる部分を全く有していない第２種導体パターン８の外形線に沿っては樹脂部１５が配置されていない。

（樹脂部）
樹脂部１５は、樹脂ペーストを所望領域に塗布し、樹脂ペースト中の液体成分を気化させることによって形成されたものである。したがって、樹脂部１５は、樹脂ペースト中の液体成分が実質的に残留していない状態、言い換えれば、樹脂ペースト中の樹脂成分のみが実質的に残留している状態のものとなっている。樹脂部１５を形成する際に用いられる樹脂ペーストは、パウダー状の熱可塑性樹脂、たとえばパウダー状の液晶ポリマーを液体に分散させたものであってよい。パウダー状の熱可塑性樹脂を分散させる液体成分、すなわち分散媒としては、たとえばエタノール、ターピネオール、ブチルラクトン、イソプロピルアルコールなどを用いることができる。このような液体成分にはバインダを含まないことが好ましい。

ここでいうパウダー状の熱可塑性樹脂としてパウダー状の液晶ポリマーを用いる場合、プラズマまたは紫外線による表面処理がされたものであることが好ましい。パウダー状の液晶ポリマーは、プラズマまたは紫外線による表面処理を施されることによって接合性が向上する。このような表面処理を施されたものを樹脂ペーストの材料に用いることによって、液晶ポリマーの粒子同士の接合性が向上し、樹脂部１５自体の強度が増す。また、液晶ポリマーの粒子と樹脂層２表面との間の接合性も向上するので、樹脂部１５と樹脂層２との接合強度も増す。特に樹脂層２が液晶ポリマーからなるものである場合にその効果が大きい。その結果、全体として強度が増した樹脂多層基板を得ることができる。なお、パウダー状の液晶ポリマーに対しては、プラズマによる表面処理よりも紫外線による表面処理の方が接合性向上効果が大きいので、より好ましい。

樹脂部１５の材料としての樹脂ペーストは、ワニス状の液晶ポリマーを含むことが好ましい。ワニス状の液晶ポリマーは、溶剤可溶型の液晶ポリマーを溶剤に溶解させることによって得ることができる。ワニス状の液晶ポリマーは、パウダー状の液晶ポリマーを液体に分散させたものとは異なり、個々の粒子が溶剤に完全に溶解している。なお、このようにワニス状の液晶ポリマーを用いる場合は、溶剤としては、樹脂層２を溶解しない溶剤を選択することが好ましい。すなわち、たとえば溶剤としてｎ−メチルピロリドンを用いるとした場合、樹脂層２としては溶剤不溶型の液晶ポリマーを用いることとし、一方、樹脂部１５の材料としての樹脂ペーストとしては分子構造の一部にアミド結合などを含み、この溶剤に可溶とした液晶ポリマーを用いることが好ましい。

樹脂部１５を形成する際に用いる樹脂ペーストは、フィブリル化された液晶ポリマーのパウダーを含むことが好ましい。樹脂ペーストを作製する際には、このようにフィブリル化された液晶ポリマーのパウダーを含ませることにより、たとえばスクリーン印刷のメッシュをペーストが通過しやすくなる。また、このようにフィブリル化された液晶ポリマーのパウダーを含ませることにより、樹脂ペーストの粘度を容易に高めることができる。また、フィブリル化された液晶ポリマーのパウダーは、たとえば球状、粒状の液晶ポリマー粉体に比べて、圧縮による厚みの変化ぶりが大きいので、厚く塗布したとしても、熱圧着工程を終えた時点での樹脂部１５としては導体パターンと同じ厚みまたはほぼ同じ厚みにしやすい。

（実施の形態２）
図５〜図６を参照して、本発明に基づく実施の形態２における樹脂多層基板について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板１０２の断面図を図５に示す。

実施の形態１における樹脂多層基板１０１（図１を参照）では、樹脂部１５は第１種導体パターン７の外形線のうち部品３と重なる部分に沿って一定幅で形成されていたのみであったが、図５に示すように、本実施の形態における樹脂多層基板１０２においては、部品３と重なる領域内では、第１種導体パターン７が覆っていない領域の全てを覆うように樹脂部１５が配置されている。樹脂部１５の配置の仕方は、このようなものであってもよい。

樹脂多層基板１０２のうちの第１種導体パターン７が配置されている層を、図５における上側から見たときの位置関係を図６に示す。図６では、説明の便宜のため、樹脂部１５の外形線を部品３の外形線からわずかにずらして表示しているが、両者は一致していてもよい。

本実施の形態においても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
（実施の形態３）
図７を参照して、本発明に基づく実施の形態３における樹脂多層基板について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板１０３の断面図を図７に示す。

実施の形態１における樹脂多層基板１０１においては、部品３の下方で最も部品３に近いところにある導体パターンが第１種導体パターン７であったが、本実施の形態では、第１種導体パターン７と部品３との間に他の導体パターン１１が位置する。部品３の下面に設けられた電極４と導体パターン１１とが導体ビア６によって電気的に接続されている。導体パターン１１と第１種導体パターン７とは電気的に接続されていてもよく、接続されていなくてもよい。このように、部品３から見て最も近い位置にある導体パターンが第１種導体パターン７ではない構成であってもよい。言い換えれば、第１種導体パターン７と部品３との間に第１種導体パターン７以外の導体パターンが位置する構成であってもよい。図７に示した樹脂多層基板１０３においては、第１種導体パターン７はさらに下方にある他の導体パターン１２に対して、導体ビア６によって電気的に接続されている。これはあくまで一例として示すものに過ぎず、このような構成に限らない。

積層体１の内部に配置されている導体パターンの全てが、第１種導体パターンと第２種導体パターンのいずれかに分類されるとは限らない。上述の導体パターン１１のように、積層体１の内部にありながら第１種導体パターンでも第２種導体パターンでもない導体パターンもありうる。

上方から見たときに外形線の少なくとも一部が部品と重なる導体パターンの全てが第１種導体パターンであるとは限らない。上述の導体パターン１１のように、外形線の少なくとも一部が部品と重なる導体パターンでありながら第１種導体パターンに該当しない導体パターンもありうる。

本実施の形態においても、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
（実施の形態４）
図８を参照して、本発明に基づく実施の形態４における樹脂多層基板について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板１１１の断面図を図８に示す。樹脂多層基板１１１は、キャビティ２０を有する。キャビティとは凹部である。積層体１の一部が凹むことによってキャビティ２０となっている。キャビティ２０の部分とキャビティ２０以外の部分とでは、樹脂層２の積層数が異なっていてもよい。本実施の形態においては、キャビティ２０は、高い部分に囲まれた低い部分として把握することもできる。キャビティ２０は積層方向の一方から見たとき外周を完全に高い部分に囲まれていてもよいが、外周のうち一部のみが高い部分に接している構造であってもよい。すなわち、本発明において「キャビティ」とは、凹部であって、外周のうちの一部が高い部分に接している構造のものを指す。なお、積層方向の一方から見たときキャビティの一部の辺は積層体の端部につながっていてもよい。

樹脂多層基板１１１は、熱可塑性樹脂を主材料とする複数の樹脂層２を積層したものである積層体１と、積層体１に積層方向に掘り下げるように設けられたキャビティ２０と、積層体１の内部で樹脂層２同士の隙間に配置され、積層体１の積層方向の一方から見たとき外形線を有する１以上の第１種導体パターン７と、積層体１の内部で樹脂層２同士の隙間に配置され、積層体１の積層方向の一方から見たとき外形線を有する１以上の第２種導体パターン８とを備える。第１種導体パターン７の各々の外形線の少なくとも一部は、積層体１の積層方向の一方から見たときキャビティ２０と重なる位置にある。第２種導体パターン８の各々の外形線は、積層体１の積層方向の一方から見たときキャビティ２０と全く重ならない位置にある。第１種導体パターン７の各々の外形線のうちキャビティ２０と重なる部分に沿って、第１種導体パターン７の外側に隣接するように、熱可塑性樹脂の粉末、たとえば液晶ポリマーの粉末を主材料とする樹脂ペースト由来であり、前記樹脂ペーストの液体成分が実質的に残留していない樹脂部１５が配置されている。第２種導体パターン８の各々の外形線に沿う部分には樹脂部１５が配置されていない。

図８に示した樹脂多層基板１１１では、１以上の第２種導体パターン８はいずれも第１種導体パターン７と異なる層に位置しているが、これはあくまで一例であって、少なくとも１つの第２種導体パターン８が第１種導体パターン７と同じ層に位置していてもよい。

キャビティ２０と重なる部分においては、プレスの熱や圧力がキャビティの底まで行き渡りにくい場合があり、熱圧着工程において熱や圧力の作用が不十分となる可能性があり、その結果、第１種導体パターンの外形線近傍において未接合状態の部分が生じるおそれがあるが、本実施の形態では、そのような部分に樹脂部１５が配置されているので、樹脂部が導体パターンの外形線近傍の隙間を埋めることとなる。したがって、熱圧着工程におけるプレスの熱や圧力の作用が不十分となりがちな箇所における樹脂層間の未接合状態を解消することができる。

（変形例）
本実施の形態における樹脂多層基板の変形例として、図９に示すようなものも考えられる。図９には樹脂多層基板１１２が示される。樹脂多層基板１１２は、２つの層に第１種導体パターン７を備える。各層に１以上の第１種導体パターン７が配置されている。このように、複数の第１種導体パターン７は複数の層に分かれて配置されていてもよい。このことは、実施の形態４に限らず他の実施の形態においてもいえることである。

（実施の形態５）
図１０を参照して、本発明に基づく実施の形態５における樹脂多層基板について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板１２１の断面図を図１０に示す。樹脂多層基板１２１は、第１導体箔２５を備える。第１導体箔２５は、樹脂多層基板１２１に含まれる導体箔の中で最大の厚みを有するものである。ここでいう導体箔の概念は、導体パターンを含む。第１導体箔２５は、「最大厚み導体箔」とも呼ばれる。第１導体箔２５は、銅箔の一種であってもよい。第１導体箔２５が銅によって形成されている場合には、第１導体箔２５は「最大厚み銅箔」とも呼ばれる。

樹脂多層基板１２１は、熱可塑性樹脂を主材料とする複数の樹脂層２を積層したものである積層体１と、積層体１に内蔵された第１導体箔２５と、積層体１の内部で樹脂層２同士の隙間に配置され、積層体１の積層方向の一方から見たとき外形線を有する１以上の第１種導体パターン７と、積層体１の内部で樹脂層２同士の隙間に配置され、積層体１の積層方向の一方から見たとき外形線を有する１以上の第２種導体パターン８とを備える。

第１導体箔２５は、１以上の第１種導体パターン７および１以上の第２種導体パターン８のいずれよりも厚い。第１種導体パターン７の各々の外形線の少なくとも一部は、積層体１の積層方向の一方から見たとき第１導体箔２５と重なる位置にある。第２種導体パターン８の各々の外形線は、積層体１の積層方向の一方から見たとき第１導体箔２５と全く重ならない位置にある。

第１種導体パターン７の各々の外形線のうち第１導体箔２５と重なる部分に沿って、第１種導体パターン７の外側に隣接するように、熱可塑性樹脂の粉末、たとえば液晶ポリマーの粉末を主材料とする樹脂ペースト由来であり、前記樹脂ペーストの液体成分が実質的に残留していない樹脂部１５が配置されている。第２種導体パターン８の各々の外形線に沿う部分には樹脂部１５が配置されていない。

第１導体箔２５と重なる部分においては、熱圧着工程において作用する熱や圧力が不十分となる可能性があり、その結果、第１種導体パターンの外形線近傍において未接合状態の部分が生じるおそれがあるが、本実施の形態では、そのような部分に樹脂部１５が配置されているので、樹脂部が第１種導体パターンの外形線近傍の隙間を埋めることとなる。したがって、熱圧着工程におけるプレスの熱や圧力の作用が不十分となりがちな箇所における樹脂層間の未接合状態を解消することができる。

（変形例）
本実施の形態における樹脂多層基板の変形例として、図１１に示すようなものも考えられる。図１１には樹脂多層基板１２２が示される。樹脂多層基板１２２は、２つの層に第１種導体パターン７を備える。このように、複数の第１種導体パターン７は複数の層に分かれて配置されていてもよい。

本実施の形態における樹脂多層基板の変形例として、図１２に示すようなものも考えられる。図１２には樹脂多層基板１２３が示される。樹脂多層基板１２３においては、第１導体箔２５と重なる部分では、第１種導体パターン７以外の領域は全て樹脂部１５によって覆われている。このような構成であってもよい。

本実施の形態における樹脂多層基板の変形例として、図１３に示すようなものも考えられる。図１３には樹脂多層基板１２４が示される。樹脂多層基板１２４においては、第１導体箔２５と第１種導体パターン７のうちの少なくとも１つとが導体ビア６を介して電気的に接続されている。複数の第１種導体パターン７は異なる層に分かれて配置されている。異なる層にある第１種導体パターン７同士が導体ビア６を介して電気的に接続されている。

ここでは、説明の便宜のため、第１導体箔２５と、第１導体箔２５の下側にのみ第１種導体パターン７が配置されているが、第１種導体パターン７が配置されるのは、第１導体箔２５の上側であってもよい。第１導体箔２５の上側および下側の両方に第１種導体パターン７が配置されていてもよい。その場合、たとえば、第１導体箔２５と、第１導体箔２５の下側にある第１種導体パターン７との間が導体ビア６によって接続され、なおかつ、第１導体箔２５と、第１導体箔２５の上側にある第１種導体パターン７との間が導体ビア６によって接続されてもよい。

（樹脂多層基板の製造方法）
樹脂多層基板の製造方法の一例を説明する。製造方法は、以下の実施の形態にも共通する。樹脂多層基板を製造するためには、まず、導体箔付き樹脂シートを用意する。導体箔は、たとえば金属箔であってよい。導体箔は、たとえば銅箔であってもよい。この時点では、樹脂シートの全面が導体箔に覆われていてもよい。この導体箔付き樹脂シートの導体箔の表面に、レジストパターンを印刷する。ここでいうレジストパターンとは、所望の導体パターンに対応した形状を有するレジスト層によるパターンである。レジストパターンをマスクとして、レジストで覆われていない部分の導体箔を、酸により除去する。酸はたとえばＨＣｌであってよい。次に、アルカリ液によりレジストパターンを除去する。必要に応じて中和処理をする。こうして、導体箔の一部が所望の形状で残ったもの、すなわち、導体パターンが樹脂シートの表面に得られる。ここでは複数の導体パターンが形成される。複数の導体パターンは、第１種導体パターン７および第２種導体パターン８を含む。樹脂シートは樹脂層２となる。一例として、第１種導体パターン７が樹脂層２の表面に配置されている状態を図１４に示す。

樹脂層２の導体パターンがない側の表面からレーザ加工を行なう。このレーザ加工により樹脂シートに貫通孔を設ける。この貫通孔に、導電体ペーストを充填する。こうして樹脂シートの所望の箇所に導体ビアが得られる。

ここまで仕上げた樹脂シートの表面に、樹脂ペーストを塗布する。樹脂ペーストの塗布は、公知技術によって行なうことができる。樹脂ペーストの塗布は、たとえばスクリーン印刷で行なってもよい。樹脂ペーストは、導体パターンの外形線の一部または全部に沿って配置される。一例として、第１種導体パターン７が樹脂層２の表面に配置され、第１種導体パターン７の外形線に沿うように樹脂ペースト１５ａが配置されたものを図１５に示す。樹脂ペースト１５ａを配置する際には、たとえば図１６に示すように、第１種導体パターン７の端部に樹脂ペースト１５ａの一部が被さった状態となっていてもよい。

ここまでの処理を行なった樹脂シートを積み重ねる。一例として、ある１つの第１種導体パターン７の近傍の様子を図１７に示す。矢印に示すように他の樹脂層２が上側から重ねられている。

積み重ねたものに対して熱圧着工程を行なう。これにより、導体パターンの外形線の一部または全部に沿って配置されていた樹脂ペーストは熱および圧力によって変形して、図１８に示すように、樹脂層同士の隙間または導体パターンと樹脂層との隙間を埋める形で樹脂部１５となる。このとき、樹脂部１５は液体成分が実質的に残留していない状態である。そして、積層体１は一体化し、樹脂多層基板が得られる。なお、この変形によって、第１種導体パターン７の端部に樹脂ペーストの一部が被さった場合であっても、樹脂ペーストが流動して第１種導体パターン７の外形線の外側に流れる。また、各樹脂シートは樹脂層２となる。導体ビアを形成していた導電体ペーストは固化し、導体ビアとして出来上がる。

図１５および図１７では、樹脂層２の表面に第１種導体パターン７が形成され、この第１種導体パターン７を囲むように樹脂ペースト１５ａが配置されていたが、このような方法に限らず、図１９に示すような方法であってもよい。すなわち、樹脂層２の表面に第１種導体パターン７が形成され、この第１種導体パターン７が形成されている樹脂層２の表面ではなく、他の樹脂層２の表面に樹脂ペースト１５ａが配置されている。樹脂ペースト１５ａは、第１種導体パターン７の外形線に対応した形状で配置されている。図１９に示すように、第１種導体パターン７が配置された第１の樹脂層２と、樹脂ペースト１５ａが配置された第２の樹脂層２とを重ね合わせて熱圧着することによって、図１８に示すような状態を得ることができる。このような方法を採用してもよい。

（実施の形態６）
図２０を参照して、本発明に基づく実施の形態６における樹脂多層基板について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板１３１の断面図を図２０に示す。樹脂多層基板１３１は、部品３を備える。樹脂多層基板１３１は、導体ビア第１種接合部１７と、導体ビア第２種接合部１８とを備える。

樹脂多層基板１３１は、熱可塑性樹脂を主材料とする複数の樹脂層２を積層したものである積層体１と、積層体１に内蔵された部品３と、積層体１の内部において複数の樹脂層２のいずれかを貫通するように配置された導体ビア同士が積層体１の積層方向に沿って連なるように接合している部分であり、積層体１の積層方向の一方から見たとき接合面の外形線を有する１以上の導体ビア第１種接合部１７と、積層体１の内部において複数の樹脂層２のいずれかを貫通するように配置された導体ビア同士が積層体１の積層方向に沿って連なるように接合している部分であり、積層体１の積層方向の一方から見たとき接合面の外形線を有する１以上の導体ビア第２種接合部１８とを備える。導体ビア第１種接合部１７においては、導体ビア６ａと導体ビア６ｂとが互いに接合している。導体ビア６ａは、図２０における上方にいくほど径が大きくなるテーパ形状を有している。導体ビア６ｂは、図２０における下方にいくほど径が大きくなるテーパ形状を有している。導体ビア第１種接合部１７においては、導体ビア６ａの径が大きい方の端面と、導体ビア６ｂの径が大きい方の端面とが向かい合って接合している。導体ビア第２種接合部１８においても同様である。

導体ビア第１種接合部１７の各々の外形線の少なくとも一部は、積層体１の積層方向の一方から見たとき部品３と重なる位置にある。導体ビア第２種接合部１８の各々の外形線は、積層体１の積層方向の一方から見たとき部品３と全く重ならない位置にある。導体ビア第１種接合部１７の各々の外形線のうち部品３と重なる部分に沿って、導体ビア第１種接合部１７の外側に隣接するように、熱可塑性樹脂の粉末、たとえば液晶ポリマーの粉末を主材料とする樹脂ペースト由来であり、この樹脂ペーストの液体成分が実質的に残留していない樹脂部１５が配置されている。導体ビア第２種接合部１８の各々の外形線に沿う部分には樹脂部１５が配置されていない。

部品３と重なる部分においては、熱圧着工程における熱や圧力の伝達が部品３によっていくらか遮られるので、作用する熱や圧力が不十分となる可能性があり、その結果、導体ビア第１種接合部の近傍において樹脂層が未接合状態となる部分が生じるおそれがあるが、本実施の形態では、そのような部分に樹脂部１５が配置されているので、樹脂部が導体ビア同士の接合部の外形線近傍の隙間を埋めることとなる。したがって、熱圧着工程におけるプレスの熱や圧力の作用が不十分となりがちな箇所における樹脂層間の未接合状態を解消することができる。

（実施の形態７）
図２１を参照して、本発明に基づく実施の形態７における樹脂多層基板について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板１３２の断面図を図２１に示す。樹脂多層基板１３２は、キャビティ２０を備える。樹脂多層基板１３２は、導体ビア第１種接合部１７と、導体ビア第２種接合部１８とを備える。

樹脂多層基板１３２は、熱可塑性樹脂を主材料とする複数の樹脂層２を積層したものである積層体１と、積層体１に積層方向に掘り下げるように設けられたキャビティ２０と、積層体１の内部において複数の樹脂層２のいずれかを貫通するように配置された導体ビア同士が積層体１の積層方向に沿って連なるように接合している部分であり、積層体１の積層方向の一方から見たとき接合面の外形線を有する１以上の導体ビア第１種接合部１７と、積層体１の内部において複数の樹脂層２のいずれかを貫通するように配置された導体ビア同士が積層体１の積層方向に沿って連なるように接合している部分であり、積層体１の積層方向の一方から見たとき接合面の外形線を有する１以上の導体ビア第２種接合部１８とを備える。

導体ビア第１種接合部１７の各々の外形線の少なくとも一部は、積層体１の積層方向の一方から見たときキャビティ２０と重なる位置にあり、導体ビア第２種接合部１８の各々の外形線は、積層体１の積層方向の一方から見たときキャビティ２０と全く重ならない位置にある。導体ビア第１種接合部１７の各々の外形線のうちキャビティ２０と重なる部分に沿って、導体ビア第１種接合部１７の外側に隣接するように、熱可塑性樹脂の粉末、たとえば液晶ポリマーの粉末を主材料とする樹脂ペースト由来であり、前記樹脂ペーストの液体成分が実質的に残留していない樹脂部１５が配置されている。導体ビア第２種接合部１８の各々の外形線に沿う部分には樹脂部１５が配置されていない。

キャビティ２０と重なる部分においては、熱圧着工程において熱や圧力の作用が不十分となる可能性があり、その結果、導体ビア第１種接合部の近傍において樹脂層が未接合状態となる部分が生じるおそれがあるが、本実施の形態では、そのような部分に樹脂部１５が配置されているので、樹脂部が導体ビア同士の接合部の外形線近傍の隙間を埋めることとなる。したがって、熱圧着工程におけるプレスの熱や圧力の作用が不十分となりがちな箇所における樹脂層間の未接合状態を解消することができる。

（実施の形態８）
図２２を参照して、本発明に基づく実施の形態８における樹脂多層基板について説明する。本実施の形態における樹脂多層基板１４１の断面図を図２２に示す。樹脂多層基板１４１は、第１導体箔２５を備える。樹脂多層基板１４１は、導体ビア第１種接合部１７と、導体ビア第２種接合部１８とを備える。

樹脂多層基板１４１は、熱可塑性樹脂を主材料とする複数の樹脂層２を積層したものである積層体１と、積層体１に内蔵された第１導体箔２５と、積層体１の内部において複数の樹脂層２のいずれかを貫通するように配置された導体ビア同士が積層体１の積層方向に沿って連なるように接合している部分であり、積層体１の積層方向の一方から見たとき接合面の外形線を有する１以上の導体ビア第１種接合部１７と、積層体１の内部において複数の樹脂層２のいずれかを貫通するように配置された導体ビア同士が積層体１の積層方向に沿って連なるように接合している部分であり、積層体１の積層方向の一方から見たとき接合面の外形線を有する１以上の導体ビア第２種接合部とを備える。

第１導体箔２５は、積層体１の内部に存在するいずれの導体箔よりも厚い。導体ビア第１種接合部１７の各々の外形線の少なくとも一部は、積層体１の積層方向の一方から見たとき第１導体箔２５と重なる位置にある。導体ビア第２種接合部１８の各々の外形線は、積層体１の積層方向の一方から見たとき第１導体箔２５と全く重ならない位置にある。

導体ビア第１種接合部１７の各々の外形線のうち第１導体箔２５と重なる部分に沿って、導体ビア第１種接合部１７の外側に隣接するように、熱可塑性樹脂の粉末、たとえば液晶ポリマーの粉末を主材料とする樹脂ペースト由来であり、この樹脂ペーストの液体成分が実質的に残留していない樹脂部１５が配置されている。導体ビア第２種接合部１８の各々の外形線に沿う部分には樹脂部１５が配置されていない。

第１導体箔２５と重なる部分においては、第１種導体箔２５の厚みが厚く、この部分の剛性が相対的に高くなるので、熱圧着工程において積層体の形状に沿った変形が起こりにくくなる。これにより、熱圧着工程において作用する熱や圧力が不十分となる可能性があり、その結果、導体ビア第１種接合部の近傍において未接合状態の部分が生じるおそれがあるが、本実施の形態では、そのような部分に樹脂部１５が配置されているので、樹脂部が導体ビア同士の接合部の外形線近傍の隙間を埋めることとなる。したがって、熱圧着工程におけるプレスの熱や圧力の作用が不十分となりがちな箇所における樹脂層間の未接合状態を解消することができる。

（変形例）
本実施の形態における樹脂多層基板の変形例として、図２３に示すようなものも考えられる。図２３には樹脂多層基板１４２が示される。樹脂多層基板１４２においては、同一層に並ぶ複数の導体ビア第１種接合部１７をつなぐように樹脂部１５が配置されている。このような構成であってもよい。

樹脂層２の主材料である熱可塑性樹脂は液晶ポリマーであり、樹脂部１５の熱可塑性樹脂は液晶ポリマーであることが好ましい。この構成を採用することにより、熱圧着の際の樹脂層２と樹脂部１５との密着性が高まる。樹脂層２の主材料である液晶ポリマーと、樹脂部１５の液晶ポリマーとは、実質的に同種の液晶ポリマー材料からなることが好ましい。この構成を採用することにより、積層体１の中の樹脂層２および樹脂部１５が同種の液晶ポリマー材料によって構成されるので、積層体の絶縁体部分の特性の場所によるばらつきを抑えることができる。

なお、上記実施の形態のうち複数を適宜組み合わせて採用してもよい。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。

１積層体、２樹脂層、３部品、４電極、６，６ａ，６ｂ導体ビア、７第１種導体パターン、８第２種導体パターン、１１，１２導体パターン、１５樹脂部、１７導体ビア第１種接合部、１８導体ビア第２種接合部、２０キャビティ、２５第１導体箔、１０１，１０２，１０３，１１１，１１２，１２１，１２２，１２３，１２４，１３１，１３２，１４１，１４２樹脂多層基板。

Claims

導体パターンが形成された樹脂シートを用意する工程と、
前記樹脂シートを積み重ねて熱圧着する工程とを含む、樹脂多層基板の製造方法であって、
前記樹脂多層基板に部品を内蔵する工程と、
前記樹脂シートを積み重ねる前に、積層方向から見て前記部品と重なる位置にある１以上の第１種導体パターンと、前記部品と重ならない位置にある１以上の第２種導体パターンとが存在するように前記導体パターンを形成する工程と、
前記樹脂シートの表面に前記第１種導体パターンの各々の外形線に沿った位置に配置され、前記第２種導体パターンの各々の外形線に沿った部分には配置されないように、熱可塑性樹脂から構成される樹脂部を形成する工程とを含む、樹脂多層基板の製造方法。
導体パターンが形成された樹脂シートを用意する工程と、
前記樹脂シートを積み重ねて熱圧着する工程とを含む、樹脂多層基板の製造方法であって、
前記樹脂多層基板にキャビティを形成する工程と、
前記樹脂シートを積み重ねる前に、積層方向から見て前記キャビティと重なる位置にある１以上の第１種導体パターンと、前記キャビティと重ならない位置にある１以上の第２種導体パターンとが存在するように前記導体パターンを形成する工程と、
前記樹脂シートの表面に前記第１種導体パターンの各々の外形線に沿った位置に配置され、前記第２種導体パターンの各々の外形線に沿った部分には配置されないように、熱可塑性樹脂から構成される樹脂部を形成する工程とを含む、樹脂多層基板の製造方法。
導体パターンが形成された樹脂シートを用意する工程と、
前記樹脂シートを積み重ねて熱圧着する工程とを含む、樹脂多層基板の製造方法であって、
前記樹脂多層基板に第１導体箔を内蔵する工程と、
前記樹脂シートを積み重ねる前に、積層方向から見て前記第１導体箔と重なる位置にある１以上の第１種導体パターンと、前記第１導体箔と重ならない位置にある１以上の第２種導体パターンとが存在するように前記導体パターンを形成する工程と、
前記樹脂シートの表面に前記第１種導体パターンの各々の外形線に沿った位置に配置され、前記第２種導体パターンの各々の外形線に沿った部分には配置されないように、熱可塑性樹脂から構成される樹脂部を形成する工程とを含み、
前記第１導体箔は、前記第１種導体パターンおよび前記第２種導体パターンのいずれよりも厚い、樹脂多層基板の製造方法。
導体ビア接合部が形成された樹脂シートを用意する工程と、
前記樹脂シートを積み重ねて熱圧着する工程とを含む、樹脂多層基板の製造方法であって、
前記樹脂多層基板に部品を内蔵する工程と、
前記樹脂シートを積み重ねる前に、積層方向から見て前記部品と重なる位置にある１以上の導体ビア第１種接合部と、前記部品と重ならない位置にある１以上の導体ビア第２種接合部とが存在するように前記導体ビア接合部を形成する工程と、
前記樹脂シートの表面に前記導体ビア第１種接合部の各々の外形線に沿った位置に配置され、前記導体ビア第２種接合部の各々の外形線に沿った部分には配置されないように、熱可塑性樹脂から構成される樹脂部を形成する工程とを含む、樹脂多層基板の製造方法。
導体ビア接合部が形成された樹脂シートを用意する工程と、
前記樹脂シートを積み重ねて熱圧着する工程とを含む、樹脂多層基板の製造方法であって、
前記樹脂多層基板にキャビティを形成する工程と、
前記樹脂シートを積み重ねる前に、積層方向から見て前記キャビティと重なる位置にある１以上の導体ビア第１種接合部と、前記キャビティと重ならない位置にある１以上の導体ビア第２種接合部とが存在するように前記導体ビア接合部を形成する工程と、
前記樹脂シートの表面に前記導体ビア第１種接合部の各々の外形線に沿った位置に配置され、前記導体ビア第２種接合部の各々の外形線に沿った部分には配置されないように、熱可塑性樹脂から構成される樹脂部を形成する工程とを含む、樹脂多層基板の製造方法。
導体ビア接合部が形成された樹脂シートを用意する工程と、
前記樹脂シートを積み重ねて熱圧着する工程とを含む、樹脂多層基板の製造方法であって、
前記樹脂多層基板に第１導体箔を内蔵する工程と、
前記樹脂シートを積み重ねる前に、積層方向から見て前記第１導体箔と重なる位置にある１以上の導体ビア第１種接合部と、前記第１導体箔と重ならない位置にある１以上の導体ビア第２種接合部とが存在するように前記導体ビア接合部を形成する工程と、
前記樹脂シートの表面に前記導体ビア第１種接合部の各々の外形線に沿った位置に配置され、前記導体ビア第２種接合部の各々の外形線に沿った部分には配置されないように、熱可塑性樹脂から構成される樹脂部を形成する工程とを含み、
前記第１導体箔は、前記樹脂シートを積み重ねて熱圧着したものの内部に存在するいずれの導体箔よりも厚い、樹脂多層基板の製造方法。
前記樹脂部を形成する工程は、樹脂ペーストを塗布する工程を含む、請求項１から６のいずれか１項に記載の樹脂多層基板の製造方法。
前記樹脂ペーストは、フィブリル化された液晶ポリマーを含む、請求項７に記載の樹脂多層基板の製造方法。
前記樹脂部を構成する熱可塑性樹脂は、前記樹脂シートの主材料である熱可塑性樹脂と同一種類である、請求項１から８のいずれか１項に記載の樹脂多層基板の製造方法。